JP4471092B2

JP4471092B2 - Clean room

Info

Publication number: JP4471092B2
Application number: JP2004084550A
Authority: JP
Inventors: 和良那須原
Original assignee: Shimizu Corp
Current assignee: Shimizu Corp
Priority date: 2004-03-23
Filing date: 2004-03-23
Publication date: 2010-06-02
Anticipated expiration: 2024-03-23
Also published as: JP2005273945A

Description

本発明は、たとえば半導体や液晶の生産施設等として使用されるクリーンルーム、特にその内部にクリーンルーム用保管庫とスタッカークレーンを設置する場合に採用して好適なクリーンルームに関する。 The present invention relates to a clean room used as, for example, a semiconductor or liquid crystal production facility, and more particularly to a clean room suitable for use when a clean room storage and a stacker crane are installed therein.

そのようなクリーンルームとしては図４に示す構造のものが一般的である。これは、クリーンルーム内の床面上にクリーンルーム用保管庫１を２列をなすように対向配置して、それらの間においてスタッカークレーン２を走行可能に設け、そのスタッカークレーン２によって収容物を搬送してクリーンルーム用保管庫１の各収納棚に出し入れするようにしたものである。この場合、クリーンルーム内の全体が清浄領域とされ、その天井面には天井チャンバー３から室内に清浄空気を吹き出すためのファンフィルターユニット４を設け、室内の壁面には清浄空気を天井チャンバー３に戻すための還気経路であるレタンスペース５を設けるようにしている。 As such a clean room, a structure shown in FIG. 4 is generally used. This is because the storage room 1 for the clean room is arranged oppositely on the floor surface in the clean room , and the stacker crane 2 is provided so as to be able to travel between them. The storage room 1 for the clean room is put in and out of each storage shelf. In this case, the entire clean room is a clean area, the fan filter unit 4 for blowing clean air from the ceiling chamber 3 to the room is provided on the ceiling surface, and the clean air is returned to the ceiling chamber 3 on the wall surface of the room. For this purpose, a return space 5 as a return air path is provided.

また、特許文献１には、ケーシング内に収容棚と移載ロボットを組み込むとともにファンフィルターユニットを備えたストッカーについての提案がある。
特開２０００−２５９１２号公報 Patent Document 1 also proposes a stocker that incorporates a storage shelf and a transfer robot in a casing and includes a fan filter unit.
JP 2000-25912 A

ところで、図４に示したような従来一般の構造のクリーンルームを施工するに際しては、天井チャンバー３やレタンスペース５を建屋工事として施工し、その後にファンフィルターユニット４等の建屋に付帯する設備機器類を設備工事として施工し、さらにその後にクリーンルーム用保管庫１やスタッカークレーン２を生産機器の設置工事として後施工するようにしている。そのため全体工期が長くかかるばかりでなく、それら各種の工事を手戻りなく効率的に実施するためには複雑な施工管理や工程管理を必要とし、しかもそれぞれの工事を独立に行うために各所に充分な作業スペースや機器設置スペースを確保しておく必要があるので、クリーンルームの面積や高さに充分な余裕を持たせる必要があり、特にクリーンルームの有効幅Ｗやその設置階の階高Ｈを大きく設定する必要がある。 By the way, when constructing a clean room having a conventional general structure as shown in FIG. 4, the ceiling chamber 3 and the letter space 5 are constructed as building work, and then the equipment and equipment attached to the building such as the fan filter unit 4. As a construction work, after that, the clean room storage 1 and the stacker crane 2 are post-installed as production equipment installation work. For this reason, not only does the overall construction period take a long time, but it also requires complex construction management and process management in order to efficiently carry out the various constructions without reworking. It is necessary to secure sufficient work space and equipment installation space, so it is necessary to provide sufficient space for the clean room area and height, especially the effective width W of the clean room and the height H of the installation floor. Must be set.

したがって、図５に示すように階高Ｈをあまり大きく確保できない場合にはクリーンルーム用保管庫１の高さを小さくして収容量を犠牲にせざるを得ないし、そのような場合には図示しているように各階にクリーンルームを設けて収容量を確保することもあるが、クリーンルームを各階に独立に設ける限りはスペース効率を改善できないばかりか、各階のクリーンルーム相互間にわたって収容物を搬送するために上下方向の搬送手段も別に必要となるので、無駄なスペースがますます増大してしまうものである。 Therefore, as shown in FIG. 5, when the floor height H cannot be secured so large, the height of the clean room storage 1 must be reduced and the accommodation capacity must be sacrificed. However, as long as clean rooms are provided on each floor independently, space efficiency may not be improved, and in order to transport the contents between clean rooms on each floor, Since a conveying means in the direction is also required separately, the useless space is further increased.

なお、特許文献１に示されるようなファンフィルターユニットを備えたストッカーをそのまま図４や図５に示したような通常のクリーンルームに設置することは、ファンフィルターユニットが二重に設けられることになるので過剰設備となってしまい、現実的ではない。 In addition, installing the stocker provided with the fan filter unit as shown in Patent Document 1 in a normal clean room as shown in FIGS. 4 and 5 as it is, the fan filter unit is provided twice. So it becomes over-equipped and is not realistic.

上記事情に鑑み、本発明は施工性とスペース効率を改善することのできる有効なクリーンルームを提供することにある。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide an effective clean room capable of improving workability and space efficiency.

請求項１の発明は、クリーンルーム用保管庫およびスタッカークレーンを設置するためのクリーンルームであって、該クリーンルームの天井部に前記スタッカークレーンの設置領域の上部を除いて天井チャンバーを設けることにより、前記スタッカークレーンの設置領域を上層階の天井面まで清浄領域として設定するとともに、前記天井チャンバーから該清浄領域の上部に向けて清浄空気を横向きに吹き出すファンフィルターユニットを前記天井チャンバーの側壁面に設け、前記クリーンルーム用保管庫はその最上部に前記天井チャンバーから清浄空気を吸引してケーシング内に吹き出すファンフィルターユニットを具備してその内部空間がそれ自体で清浄領域とされ、かつ、前記天井チャンバーから清浄領域およびクリーンルーム用保管庫内に吹き出された清浄空気の還気経路であるレタンスペースをクリーンルーム用保管庫の隣接位置にそのクリーンルーム用保管庫のケーシングを利用して周囲より区画して形成したことを特徴とするものである。 The invention according to claim 1 is a clean room for installing a storage room for a clean room and a stacker crane, wherein a ceiling chamber is provided on a ceiling portion of the clean room except for an upper portion of an installation area of the stacker crane. The crane installation area is set as a clean area up to the ceiling surface of the upper floor, and a fan filter unit that blows clean air laterally from the ceiling chamber toward the upper portion of the clean area is provided on the side wall surface of the ceiling chamber, The storage room for the clean room has a fan filter unit that sucks clean air from the ceiling chamber and blows it into the casing at the uppermost part thereof, and its internal space is itself a clean area, and the clean area from the ceiling chamber and the vault for clean rooms It is characterized in that formed by partitions from the surroundings urethane space which is return air path of the clean air blown by utilizing the casing of the clean room for depot to adjacent positions of the cleanroom vault.

請求項２の発明は、請求項１の発明のクリーンルームにおいて、クリーンルーム用保管庫を建屋の２階層にわたって上下に２段積みにして設置し、下段側のクリーンルーム用保管庫には下段側のスタッカークレーンを下階層の床面上に設置し、上段側のクリーンルーム用保管庫には上段側のスタッカークレーンを上層階の天井面より吊り支持して設置したことを特徴とするものである。
請求項３の発明は、請求項２の発明のクリーンルームにおいて、上層階の天井面より吊り支持して設置した上段側のスタッカークレーンの駆動部からの発塵を天井チャンバーに吸引するための吸込口を該天井チャンバーの側壁面に設けたことを特徴とするものである。 The invention of claim 2 is the clean room of the invention of claim 1, wherein the storage room for the clean room is installed in two layers on the top and bottom of the two levels of the building, and the lower stacker crane is installed in the storage room for the lower stage Is installed on the lower floor, and the upper stacker crane is suspended and supported from the ceiling of the upper floor in the upper clean room storage .
A third aspect of the present invention is the clean room according to the second aspect, wherein the suction port for sucking dust from the drive unit of the upper stacker crane installed suspended from the ceiling surface of the upper floor into the ceiling chamber. Is provided on the side wall surface of the ceiling chamber.

請求項１の発明のクリーンルームは、その内部に設置するクリーンルーム用保管庫としてファンフィルターユニットを具備してそれ自体で清浄環境を維持可能なものを採用することにより、そのクリーンルーム用保管庫の設置領域を清浄領域とせずにスタッカークレーンの設置領域のみを限定的に清浄領域とするものであり、それによりクリーンルーム用保管庫の他には必要最小限のファンフィルターユニットのみを設置することでクリーンルーム全体を合理的に清浄領域とすることができる。すなわち、本発明ではスタッカークレーンの設置領域を上層階の天井面まで清浄領域としてそこでは天井チャンバーを省略し、その清浄領域の上部に清浄空気を横向きに吹き出すためのファンフィルターユニットを天井チャンバーの側壁面に設けることにより、クリーンルームの所要高さ寸法を小さくすることが可能であって階高を小さくすることも可能である。また、クリーンルームの施工に際しては、建屋工事と並行作業によりクリーンルーム用保管庫の設置工事が可能であり、しかもレタンスペースをクリーンルーム用保管庫のケーシングを利用して形成することによりそれを建屋工事として独立に設ける場合に較べて省スペースを実現でき、以上のことから効率的な施工が可能であるしスペース効率を充分に高めることができる。 Clean room of the invention of claim 1, by comprises a fan filter unit as a clean room for storage box for installing therein to adopt a capable of maintaining itself clean environment, installation area of the clean room for depot The only clean area is the stacker crane installation area without using the clean area, and by installing only the minimum required fan filter unit in addition to the clean room storage , Reasonably clean area. That is, in the present invention, the installation area of the stacker crane is set as a clean area up to the ceiling surface of the upper floor, in which the ceiling chamber is omitted, and a fan filter unit for blowing clean air sideways is formed on the upper side of the clean area. By providing the wall surface, the required height dimension of the clean room can be reduced, and the floor height can be reduced. In addition, when installing a clean room, it is possible to install a clean room storage in parallel with the building work. In addition, by forming a letter space using the casing of the clean room storage, it is independent of the building work. Space saving can be realized compared with the case where it is provided in the above, and from the above, efficient construction is possible and the space efficiency can be sufficiently increased.

請求項２の発明のクリーンルームは、上記に加え、クリーンルーム用保管庫を２階層にわたって２段積みにして設置してそれぞれにスタッカークレーンを設け、特に上段側のクリーンルーム用保管庫にはスタッカークレーンを上層階の天井面から吊り支持して設置することにより、各階の階高が小さい場合でも充分な収容量を確保できるし、無駄なスペースが生じることなくスペース効率を充分に高めることができる。
請求項３の発明のクリーンルームは、上層階の天井面より吊り支持して設置した上段側のスタッカークレーンの駆動部からの発塵を天井チャンバーの側壁面に設けた吸込口から天井チャンバーに吸引することにより、そこでの清浄度を維持することが可能である。 Clean room according to a second aspect of the invention, in addition to the above, the stacker crane is provided to each installed in the vault cleanroom to double stack over two levels, the upper stacker crane in particular the upper side of the clean room for vault By suspending and supporting from the ceiling surface of the floor, a sufficient capacity can be secured even when the floor height of each floor is small, and the space efficiency can be sufficiently increased without generating a useless space.
The clean room of the invention of claim 3 sucks dust generated from the drive unit of the upper stacker crane installed suspended from the ceiling surface of the upper floor into the ceiling chamber from the suction port provided on the side wall surface of the ceiling chamber. It is possible to maintain the cleanliness there.

図１は本発明の実施形態であるクリーンルームを示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。このクリーンルームは、図４に示した従来のものと同様にその内部にクリーンルーム用保管庫１を２列に並べて配置し、それらクリーンルーム用保管庫１の間にスタッカークレーン２を設置するものであるが、クリーンルーム用保管庫１としてはその上部にファンフィルターユニット１０を具備しているものを採用している。すなわちそのクリーンルーム用保管庫１は、それ自身が備えているファンフィルターユニット１０により天井チャンバー３から清浄空気を吸引することによりそれ自体でその内部空間を清浄に維持できるものとなっている。 FIG. 1 shows a clean room according to an embodiment of the present invention, in which (a) is a sectional view and (b) is a plan view. This clean room has a clean room storage 1 arranged in two rows in the same manner as the conventional one shown in FIG. 4, and a stacker crane 2 is installed between the clean room storages 1. As the clean room storage 1, one having a fan filter unit 10 at the upper part thereof is adopted. That is, the clean room storage 1 can maintain its internal space clean by sucking clean air from the ceiling chamber 3 by the fan filter unit 10 provided in the clean room .

実施形態のクリーンルームはそのようなクリーンルーム用保管庫１を設置するものであることから、クリーンルーム用保管庫１の設置領域については清浄領域とする必要がなく、それ以外の領域、つまりクリーンルーム用保管庫１の間に設置されるスタッカークレーン２の設置領域を主たる清浄領域として設定すれば充分であり、したがって天井チャンバー３に設けるファンフィルターユニット４を、スタッカークレーン２の設置領域を対象としてそこに清浄空気を吹き出すように設けることで足りるものとなっている。そこで本実施形態のクリーンルームでは、図４に示した従来の場合のように天井チャンバー３を全面的に設けてそこに多数のファンフィルターユニット４を設置することに代えて、図１（ａ）に示すように天井チャンバー３をクリーンルーム用保管庫１の設置領域の上部にのみ設けてスタッカークレーン２の設置領域の上部においては天井チャンバー３を省略しており、またクリーンルーム用保管庫１の上部に設けた天井チャンバー３の側壁面に対してファンフィルターユニット４を設けることにより、そのファンフィルターユニット４によって天井チャンバー３からスタッカークレーン２の設置領域に対して清浄空気を横向きに吹き出してそこを清浄に維持するものとなっている。 Since the clean room of the embodiment has such a clean room storage 1 installed, the installation area of the clean room storage 1 does not need to be a clean area, and other areas, that is, a clean room storage. It is sufficient to set the installation area of the stacker crane 2 installed between 1 as the main clean area. Therefore, the fan filter unit 4 provided in the ceiling chamber 3 can be used as the target for the installation area of the stacker crane 2 with clean air. It is sufficient to install so as to blow out. Therefore, in the clean room of this embodiment, instead of providing the ceiling chamber 3 over the entire surface and installing a large number of fan filter units 4 there as in the conventional case shown in FIG. As shown, the ceiling chamber 3 is provided only in the upper part of the installation area of the clean room storage 1 and the ceiling chamber 3 is omitted in the upper part of the installation area of the stacker crane 2 and is provided in the upper part of the clean room storage 1. By providing the fan filter unit 4 on the side wall surface of the ceiling chamber 3, clean air is blown sideways from the ceiling chamber 3 to the installation area of the stacker crane 2 by the fan filter unit 4 to keep it clean. It is supposed to be.

さらに、本実施形態のクリーンルームでは、図１（ｂ）に示すようにクリーンルーム用保管庫１の背面とクリーンルームの壁面１１との間に若干のクリアランスを確保し、そのクリアランスの左右にクリーンパーティション１２を取り付けることのみでそこに清浄空気の還気経路であるレタンスペース５を形成しており、ファンフィルターユニット１０によってクリーンルーム用保管庫１内に吹き出された清浄空気、およびファンフィルターユニット４によりスタッカークレーン２の設置領域に吹き出された清浄空気は、そのレタンスペース５を通して天井チャンバー３に戻されて循環させられるようになっている。 Furthermore, in the clean room of this embodiment, as shown in FIG. 1B, a slight clearance is secured between the back surface of the clean room storage 1 and the wall surface 11 of the clean room, and the clean partitions 12 are provided on the left and right sides of the clearance. A retentive space 5 which is a return path of clean air is formed only by mounting, and the stacker crane 2 is formed by the clean air blown into the clean room storage 1 by the fan filter unit 10 and the fan filter unit 4. The clean air blown into the installation area is returned to the ceiling chamber 3 through the letter space 5 and circulated.

このように、本実施形態のクリーンルームでは、それ自体で清浄環境を維持可能なクリーンルーム用保管庫１を採用することにより、スタッカークレーン２の設置領域を限定的に清浄領域とすることのみで支障なく清浄度を維持できるので合理的であるし、天井チャンバー３やファンフィルターユニット４は必要最小限に設ければ良いから、クリーンルーム全体の構成の簡略化を図ることができる。すなわち、スタッカークレーン２の設置領域は上層階の天井面まで清浄領域としてそこでは天井チャンバー３を省略し、その清浄領域の上部に清浄空気を横向きに吹き出すためのファンフィルターユニット４を天井チャンバー３の側壁面に設ければ良く、それによりクリーンルームの所要高さ寸法を小さくすることが可能であって階高Ｈを小さくすることも可能である。また、クリーンルーム用保管庫１のケーシングを利用して壁面１１との間にレタンスペース５を形成することにより、そのレタンスペース５のために格別のスペースを確保することなく無駄なスペースを有効活用することができ、クリーンルームの有効幅Ｗを小さくすることができる。そして、クリーンルーム用保管庫１やスタッカークレーン２等の設置工事を建屋工事や設備工事と並行作業により行うことも可能であるので施工性を改善できるし、それらの作業のために必要とされる余裕スペースも削減することが可能であるのでスペース効率に優れたものとできる。 As described above, in the clean room according to the present embodiment, by adopting the clean room storage 1 that can maintain the clean environment by itself, there is no problem only by limiting the installation area of the stacker crane 2 to the clean area. Since the cleanliness can be maintained, it is reasonable, and the ceiling chamber 3 and the fan filter unit 4 need only be provided to the minimum necessary, so that the configuration of the entire clean room can be simplified. That is, the installation area of the stacker crane 2 is a clean area up to the ceiling surface of the upper floor, in which the ceiling chamber 3 is omitted, and a fan filter unit 4 for blowing clean air sideways is provided above the clean area. What is necessary is just to provide in a side wall surface, and it can make the required height dimension of a clean room small, and can also make the floor height H small. In addition, by forming the lettan space 5 between the wall surface 11 using the casing of the clean room storage 1, the wasted space 5 can be effectively utilized without securing a special space. The effective width W of the clean room can be reduced. And installation work such as the clean room storage 1 and stacker crane 2 can be performed in parallel with the building work and the equipment work, so the workability can be improved and the margin required for such work. Since the space can be reduced, the space efficiency can be improved.

なお、レタンスペース５を上記のようにクリーンルーム用保管庫１の背面側に設けることに代えて、図２に示すようにクリーンパーティション１２をクリーンルーム用保管庫１のケーシングに連なるように取り付けることでレタンスペース５をクリーンルーム用保管庫１に並べて設置することも可能であり、それによればクリーンルームの有効幅Ｗをより小さくすることが可能である。 Instead of providing the letter space 5 on the back side of the clean room storage 1 as described above, the clean partition 12 is attached so as to be connected to the casing of the clean room storage 1 as shown in FIG. It is also possible to arrange the space 5 side by side in the clean room storage 1 and according to this, the effective width W of the clean room can be further reduced.

図３は他の実施形態を示す。これは、図５に示したように建屋の階高Ｈが充分に確保できない場合の適用例であるが、通常のように各階に独立にクリーンルームを設置するのではなく、単一のクリーンルームを２階層にわたって設けるようにしたものである。すなわち、連続している２階層の間のスラブに開口部１５を設けて、下層階の床面からクリーンルーム用保管庫１（１ａ、１ｂ）を開口部１５を通して上下に２段積みにしてその頂部が上層階の天井部に達するように設置している。それらクリーンルーム用保管庫１は図１に示したものと同様に最上部にファンフィルターユニット１０を具備していて、それ自体で内部空間を清浄に維持できるものである。 FIG. 3 shows another embodiment. This is an application example when the floor height H of the building cannot be sufficiently secured as shown in FIG. 5, but instead of installing clean rooms independently on each floor as usual, two single clean rooms are provided. It is provided over the hierarchy. That is, an opening 15 is provided in a slab between two consecutive layers, and the clean room storage 1 (1a, 1b) is stacked in two stages vertically from the floor of the lower floor through the opening 15, and the top of the slab. Is installed to reach the ceiling of the upper floor. These storage rooms 1 for clean rooms are equipped with a fan filter unit 10 at the uppermost portion in the same manner as shown in FIG. 1, and the internal space itself can be kept clean.

そして、本実施形態では、上記実施形態と同様に２段積みにしたクリーンルーム用保管庫１を２列をなすように対向配置してそれらの間にスタッカークレーン２（２ａ、２ｂ）を設置するのであるが、下段側のクリーンルーム用保管庫１ａには下段側のスタッカークレーン２ａを通常のように床面上に設置し、上段側のクリーンルーム用保管庫１ｂには上段側のスタッカークレーン２ｂを上層階の天井面より吊り支持して設置しており、これにより上段側のクリーンルーム用保管庫１ｂに対する収納物の出し入れを支障なく行うことができるものとなっている。勿論、本実施形態においても、スタッカークレーン２（２ａ、２ｂ）の設置領域の上部では天井チャンバー３が省略されているので、上段側のスタッカークレーン２ｂを上層階の天井面に対して支障なく吊り支持して設置することができる。 And in this embodiment, since the storage room 1 for clean rooms 1 stacked in two stages is arranged oppositely so as to form two rows, and the stacker crane 2 (2a, 2b) is installed between them. However, the lower stacker crane 2a is installed on the floor as usual in the lower clean room storage 1a, and the upper stacker crane 2b is installed on the upper floor in the upper clean room storage 1b. Thus, the stored items can be taken in and out without any trouble with respect to the clean room storage 1b on the upper stage side. Of course, also in this embodiment, since the ceiling chamber 3 is omitted above the installation area of the stacker crane 2 (2a, 2b), the upper stacker crane 2b is suspended without hindrance from the ceiling surface of the upper floor. It can be installed in support.

また、上記実施形態と同様に、それらスタッカークレーン２（２ａ、２ｂ）の設置領域を対象としてその上部に周囲の天井チャンバー３から清浄空気を横向きに吹き出すためのファンフィルターユニット４を天井チャンバー３の側壁面に設置しており、そのファンフィルターユニット４およびクリーンルーム用保管庫１に設けられたファンフィルターユニット１０からの清浄空気を、上記実施形態と同様にしてクリーンルーム用保管庫１の背面側に形成したレタンスペース５により天井チャンバー３に戻すようにしている。 Similarly to the above embodiment, a fan filter unit 4 for blowing clean air laterally from the surrounding ceiling chamber 3 on the upper portion of the installation area of the stacker crane 2 (2a, 2b) is provided on the ceiling chamber 3 as an object. Clean air from the fan filter unit 4 provided in the side wall surface and the fan filter unit 10 provided in the fan filter unit 4 and the clean room storage 1 is formed on the back side of the clean room storage 1 in the same manner as the above embodiment. The return space 5 is returned to the ceiling chamber 3.

本実施形態によれば、各階の階高Ｈを大きく確保できない場合であっても、クリーンルーム用保管庫１を２階層にわたって２段積みにして設置することにより、２階層分の全高を有効に活用することができてスペース効率を充分に高めることができる。具体例を挙げれば、従来において図５に示したように各階のクリーンルーム用保管庫１の収容棚が２段である場合には全体として４段の収納棚しか確保できないが、同一階高であっても本実施形態のようにクリーンルーム用保管庫１を２階層にわたって連続的に多段に設置すれば６段の収容棚を確保でき、収容効率を５０％も拡大することができることになる。 According to the present embodiment, even when the floor height H of each floor cannot be secured large, the total height of the two floors can be effectively utilized by installing the clean room storage 1 in two layers over two floors. And space efficiency can be sufficiently increased. By way of example, but can only secure storage rack as a whole four stages in the case urchin each floor shelf of cleanroom stocker 1 by as shown in FIG. 5 is a two-stage conventionally, there at the same floor height However, if the storage rooms 1 for clean rooms are installed in multiple stages continuously over two layers as in this embodiment, a six-stage storage shelf can be secured and the storage efficiency can be increased by 50%.

そして、図５に示したように各階にそれぞれクリーンルームを独立に設ける場合には、それぞれの階に全面的に天井チャンバー３を設けてそこに多数のファンフィルターユニット４を設置する必要があるばかりでなく、上下のクリーンルームどうしを連絡して収容物を相互に搬送するための上下方向の搬送手段も必要となり、そのためのスペースを確保する必要があるが、本実施形態ではそのような上下方向の搬送手段を必要としないことは言うに及ばず、下階側には天井チャンバー３やファンフィルターユニット４すらも必要なく、したがってスペース効率を十分に高めることができるばかりでなく、コストおよび施工性の点でも極めて有効である。 And, as shown in FIG. 5, when each clean room is provided independently on each floor, it is only necessary to provide a ceiling chamber 3 on each floor and install a large number of fan filter units 4 there. In addition, in this embodiment, it is necessary to secure a space for transporting the contents between the upper and lower clean rooms and transporting the contents between them. Needless to say, no means are required, and even the ceiling chamber 3 and the fan filter unit 4 are not required on the lower floor side, so that not only can the space efficiency be sufficiently increased, but also the cost and workability are also reduced. But it is extremely effective.

なお、吊り支持により設置した上段側のスタッカークレーン２ｂの駆動部からの発塵によってその周囲の清浄度が低下することが懸念される場合には、図示しているようにその近辺に吸込口１６を設けて天井チャンバー３に吸引することにより、そこでの清浄度を維持することが可能である。 In addition, when it is concerned that the cleanliness of the circumference | surroundings falls by the dust generation from the drive part of the upper stage stacker crane 2b installed by the suspension support, as shown in the drawing, the suction port 16 is provided in the vicinity thereof. It is possible to maintain the cleanliness of the ceiling chamber 3 by sucking the ceiling chamber 3.

本発明の一実施形態であるクリーンルームの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the clean room which is one Embodiment of this invention. 同、レタンスペースの位置を変更した場合の例を示す図である。It is a figure which shows the example at the time of changing the position of a letter space similarly. 同、他の実施形態であるクリーンルームの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the clean room which is other embodiment same as the above. 従来一般のクリーンルームの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the conventional general clean room. 同、他の例を示す図である。It is a figure which shows another example same as the above.

１クリーンルーム用保管庫
２スタッカークレーン
３天井チャンバー
４ファンフィルターユニット
５レタンスペース
１０ファンフィルターユニット
１１壁面
１２クリーンパーティション
１５開口部
１６吸込口 1 Clean room storage 2 Stacker crane 3 Ceiling chamber 4 Fan filter unit 5 Lettan space 10 Fan filter unit 11 Wall 12 Clean partition 15 Opening 16 Suction port

Claims

A clean room for installing a storage room for a clean room and a stacker crane, wherein a ceiling chamber is provided in a ceiling portion of the clean room except for an upper portion of the installation area of the stacker crane, whereby the installation area of the stacker crane is and sets as the ceiling surface cleaning area of the is provided with a fan filter unit that blows from the ceiling chamber sideways clean air toward the upper part of the cleaning area on the side wall surface of the ceiling chamber, the depository for the cleanroom its outermost It has a fan filter unit that sucks clean air from the ceiling chamber and blows it into the casing at the top, and its internal space is itself a clean area, and from the ceiling chamber to the clean area and the clean room storage Kiyo was blown out Clean room, characterized in that formed by partitions from the surroundings urethane space which is return air path of the air by utilizing the casing of the clean room for depot to adjacent positions of the cleanroom depot.

2. The clean room according to claim 1, wherein the clean room storage is installed in a two-tier stack over the second floor of the building, and the lower stacker crane is installed in the lower clean room storage. A clean room that is installed on the upper floor, with the upper stacker crane suspended and supported from the ceiling of the upper floor in the upper clean room storage .

3. The clean room according to claim 2, wherein a suction port for sucking dust from the drive unit of the upper stacker crane installed suspended from the ceiling surface of the upper floor to the ceiling chamber is provided on the side of the ceiling chamber. A clean room characterized by being provided on the wall.