JP4466308B2 - 微粒子測定装置 - Google Patents
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Description
図6に示す微粒子測定装置60は、長手方向中心線(光軸61)に沿って円柱形状に貫通する光路空間62を有する円筒形状の測定管63を備える。
測定管63の一端部には、光路空間62を外界と遮光状態に閉塞する円板部材70が固定されている。その円板部材70の固定端と反対側の端には、光路空間62を外界と遮光状態に閉塞する円板状の止板66が固定されている。このように外界と遮光された測定管63の内壁は、光吸収性の良い黒色塗装等の反射防止加工がなされている。
空気口72は、図示せぬ排気/吸引用のポンプ又はファンモータに接続されており、そのポンプ又はファンモータによって噴出流路から噴出された気体が吸引流路で吸引されることによって、光路空間62に光軸61と交差状態に気流が流れるようになっている。
また、その気流が流れる光路空間62の内壁には、散乱光検出用フォトダイオード64,65が配置されている。そして、シリンドリカルレンズ67からの扁平ビーム光と気流とが交差する際に、気流中の粉塵等の微粒子で散乱した光(散乱光)が散乱光検出用フォトダイオード64,65で受光されるようになっている。
半導体レーザ69から出射されたレーザ光は、コリメートレンズ68によって平行ビーム光とされ、更にシリンドリカルレンズ67の焦点距離位置に発生する扁平ビーム光とされる。シリンドリカルレンズ67から焦点距離の位置には、空気口72から微粒子を含んだ空気が、光軸61に対して垂直方向で且つ散乱光検出用フォトダイオード64,65の検出方向の線分に対して垂直方向に流れている。
この種の従来の微粒子測定装置として、例えば特許文献1及び2に記載のものがある。
また、光源に信頼性が低く寿命が短い半導体レーザを使用するため、必然的に微粒子測定装置も信頼性が低く寿命が短くなるという問題がある。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、装置全体の小型、大量生産の実施、製造コストの低減を図ることができ、更に装置自体の信頼性の向上と長寿命化を図ることができる微粒子測定装置を提供することを目的としている。
この構成によれば、第1の半導体基板に溝を形成し、この溝内に受光素子及び光源を配設して第2の半導体基板で蓋をすれば微粒子測定装置を構成することができるので、装置全体を小型化することが可能となる。
この構成によれば、光源を信頼性が高く寿命が長い発光ダイオードを用いて構成することができるので、その分、微粒子測定装置の信頼性の向上と長寿命化を図ることができる。
この構成によれば、光源が半導体基板に一体状態に組み込まれるので、光源並びにその位置を安定的に固定することができ、これによって微粒子測定を安定して行うことができる。
この構成によれば、光源からの出射光が流路を流れる流体に照射され、この照射時に流体中に含まれる微粒子で散乱した光が、効率よく受光素子で受光されるようになる。
この構成によれば、受光素子を半導体基板と一体に形成することができると共に、容易で安定的に形成することができる。
この構成によれば、半導体基板をエッチングして流路、光源の配設部分を形成することができるので、上記のドーピングによる受光素子の形成方法と併用すれば、微粒子測定装置を大量生産することができ、製造コストも低減させることができる。
この構成によれば、流体に照射される光の光量を増加させることができるので、より微粒子の数及び大きさを正確に演算することができる。
(実施の形態)
図1は、本発明の実施の形態に係る微粒子測定装置の外観構成を示す斜視図である。
図1に示す微粒子測定装置10は、矢印方向に貫通する溝による流路11が形成された長方形状のシリコン基板12と、このシリコン基板12の上に固定される板状のシリコン基板13とが陽極接合されて構成されている。また、矢印方向に流路11を空気が流入して通過するようになっているが、本実施の形態では空気の流入手段については特筆しない。
流路11は、エッチングによって形成され、流路軸21に沿って空気の流入口から基板内部へ向かうに従って扇状に狭まり、最も狭い幅で流路軸21に沿って所定長(長方形状)とされた中央部分11aから空気の流出口へ向かうに従って流入側と対称形状に広がる形状を成している。
また、シリコン基板12には、中央部分11aに対して垂直な側壁部分をエッチングによって直方体形状に刳り貫いた光源穴23が形成されている。
この光源24は、図4及び図5に示すように、流路11側に流路軸21と平行に発光面が配置され、この発光面から光を発光する面発光LED24aと、この面発光LED24aから発光される光を扁平ビーム光に変換し、この扁平ビーム光を、流路軸21に直交する光軸27に沿って流路11側へ出射するシリンドリカルレンズ24bとが、直方体形状の半導体材料に一体に組み込まれて形成されている。
このような構成の微粒子測定装置10による微粒子の数と大きさの測定動作を説明する。
光源24において、面発光LED24aから発光される光がシリンドリカルレンズ24bで扁平ビーム光に変換され、この扁平ビーム光が、流路軸21に直交する光軸27に沿って流路11へ出射される。
また、流路11と、光源24と、受光素子22とを、流路11の空気が通過する方向の流路軸21と、光源24からの出射光の光軸とが直交する点の直下に受光素子22が位置する配置関係とした。これによって、光源24からの出射光が流路11を流れる空気に照射され、この照射時に空気中に含まれる微粒子で散乱した光が、効率よく受光素子22で受光されるようになる。
また、流路11と光源穴23はエッチングによって形成できるので、受光素子22のドーピングによる形成方法と併用すれば、微粒子測定装置10を大量生産することができ、製造コストも低減させることができる。
11 流路
21 流路軸
11a 流路の中央部分
12,13 シリコン基板
21 流路軸
22 受光素子
23 光源穴
24 光源
24a 面発光LED
24b シリンドリカルレンズ
27 光軸
Claims (7)
- 流路に流れる流体に光源からの出射光を照射し、この照射時に流体中に含まれる微粒子からの散乱光を受光素子で受光し、この受光に応じて受光素子から出力される電気信号をもとに微粒子の数及び大きさを演算して求める微粒子測定装置において、
基板表面に一端面から他端面に抜けて形成された溝と、この溝内に受光面が露出した状態で埋設された受光素子と、出射光が前記受光面に直接照射されず当該受光面上を通過するように前記溝内に配設された光源とを有する第1の半導体基板と、
前記溝が塞がれて前記流体の流路となるように前記第1の半導体基板の上に固定された第2の半導体基板と
を備えたことを特徴とする微粒子測定装置。 - 前記光源は、所定領域の面から光を発光する発光ダイオードと、この発光ダイオードからの発光光を扁平ビーム光に変換して出射するレンズとが、当該レンズの出射面が露出される状態で半導体材料に被覆されてなる
ことを特徴とする請求項1に記載の微粒子測定装置。 - 前記光源は、前記溝の側壁を凹状に削り取った配設部分に嵌合されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の微粒子測定装置。 - 前記流路と、前記光源と、前記受光素子とは、前記流路の流体が通過する方向の流路軸と、前記光源からの出射光の光軸とが直交する点の直下に前記受光素子が位置する配置関係である
ことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の微粒子測定装置。 - 前記受光素子は、前記第1の半導体基板のP型及びN型の何れか一方と異なる型の半導体がドーピングされて形成されている
ことを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の微粒子測定装置。 - 前記溝と、前記光源の配設部分は、エッチングによって形成される
ことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の微粒子測定装置。 - 前記発光ダイオードは、面発光ダイオードである
ことを特徴とする請求項2項に記載の微粒子測定装置。
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