JP4463046B2 - Ceramic electronic components and capacitors - Google Patents
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Description
本発明は、セラミック電子部品及びコンデンサに関するものである。 The present invention relates to a ceramic electronic component and a capacitor.
代表的なセラミック電子部品として、セラミックコンデンサを用いて説明する。 A typical ceramic electronic component will be described using a ceramic capacitor.
図4は、従来のセラミックコンデンサを示す横断面図である。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional ceramic capacitor.
図において、セラミックコンデンサ30は、複数個の誘電体層(セラミック層)32を積層した積層体31の内部で、隣接する誘電体層32間に内部電極(配線導体)33、34を介在させるとともに、積層体31の側面に内部電極33、34の端部に電気的に接続される外部電極35、36を形成し、外部電極35、36の一端を積層体31の4つの主面に延在させている。
In the figure, a
上記セラミックコンデンサ10によれば、外部電極35、36は、金属成分とガラス成分を含有する。そして、焼付時に、ガラス成分が外部電極35、36の金属成分と、積層体31の側面及び4つの主面との界面に集まることにより、外部電極35、36と積層体31は接続される(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上記セラミックコンデンサ30によれば、外部電極35、36の内、積層体31の側面に形成された部分は、内部電極33、34と金属−金属結合により強固に接続しているが、積層体31の4つの主面に形成された部分は、積層体31との接続強度が弱いため、図5に示すように、外部からの衝撃により、剥離37が生じやすいという問題点があった。
However, according to the
本発明は、上述の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、簡単且つ安価な方法で、外部電極の剥離を効果的に防止できるセラミック電子部品及びコンデンサを提供することにある。 The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a ceramic electronic component and a capacitor that can effectively prevent peeling of external electrodes by a simple and inexpensive method. is there.
本発明は、複数個のセラミック層を積層した積層体の表面及び/又は内部に配線導体を配設するとともに、前記積層体の主面に前記配線導体と電気的に接続される外部電極を形成してなるセラミック電子部品において、前記積層体の内部に、前記外部電極に対して1層のセラミック層を隔ててダミー配線を配設するとともに、該ダミー配線及び前記外部電極間のセラミック層内に、前記ダミー配線中の金属成分と焼結によって接続され、且つ、一部が前記外部電極側に露出された複数個の金属粒子を埋設し、これら金属粒子の露出部を起点に析出させた金属材料を相互に連結した金属メッキ膜により前記外部電極を形成したことを特徴とするものである。 In the present invention, a wiring conductor is disposed on the surface and / or inside a laminated body in which a plurality of ceramic layers are laminated, and an external electrode electrically connected to the wiring conductor is formed on the main surface of the laminated body. In this ceramic electronic component, a dummy wiring is disposed inside the multilayer body with a ceramic layer separated from the external electrode, and in the ceramic layer between the dummy wiring and the external electrode. A metal which is connected to the metal component in the dummy wiring by sintering, and a plurality of metal particles partially exposed to the external electrode side are embedded, and deposited from the exposed portion of the metal particles The external electrode is formed of a metal plating film in which materials are connected to each other.
また、前記セラミック層内に存在する金属粒子の平均粒径Aが、前記ダミー配線と前記外部電極との間に位置するセラミック層の厚みBに対し100%〜200%に設定されていることを特徴とするものである。 The average particle size A of the metal particles present in the ceramic layer is set to 100% to 200% with respect to the thickness B of the ceramic layer located between the dummy wiring and the external electrode. It is a feature.
さらに、複数個の誘電体層を積層した積層体の内部で、隣接する誘電体層間に内部電極を介在させるとともに、前記積層体の側面に前記内部電極の端部に電気的に接続される外部電極を形成し、該外部電極の一端を前記積層体の主面に延在させてなるコンデンサにおいて、前記積層体の内部に、前記外部電極に対して1層の誘電体層を隔ててダミー配線を配設するとともに、該ダミー配線及び前記外部電極間の誘電体層内に、前記ダミー配線中の金属成分と焼結によって接続され、且つ、一部が前記外部電極側に露出された複数個の金属粒子を埋設し、これら金属粒子の露出部を起点に析出させた金属材料を相互に連結した金属メッキ膜により前記外部電極を形成したことを特徴とするものである。 Further, an internal electrode is interposed between adjacent dielectric layers in a multilayer body in which a plurality of dielectric layers are stacked, and an external part electrically connected to an end portion of the internal electrode on the side surface of the multilayer body In a capacitor in which an electrode is formed and one end of the external electrode extends to the main surface of the multilayer body, a dummy wiring is provided inside the multilayer body with a dielectric layer separated from the external electrode by one layer. In the dielectric layer between the dummy wiring and the external electrode, a plurality of metal components in the dummy wiring are connected by sintering and a part thereof is exposed to the external electrode side. The external electrode is formed by a metal plating film in which metal particles are embedded and metal materials deposited from the exposed portions of the metal particles are interconnected.
そして、前記誘電体層内に存在する金属粒子の平均粒径Aが、前記ダミー配線と前記外部電極の間に位置する誘電体層の厚みBに対し100%〜200%に設定されていることを特徴とするものである。 The average particle diameter A of the metal particles existing in the dielectric layer is set to 100% to 200% with respect to the thickness B of the dielectric layer located between the dummy wiring and the external electrode. It is characterized by.
本発明によれば、積層体の内部に、外部電極に対して1層のセラミック層を隔ててダミー配線を配設するとともに、ダミー配線及び外部電極間のセラミック層内に、ダミー配線中の金属成分と焼結によって接続され、且つ、一部が外部電極側に露出された複数個の金属粒子を埋設し、これら金属粒子の露出部を起点に析出させた金属材料を相互に連結した金属メッキ膜により外部電極を形成してなる。 According to the present invention, the dummy wiring is disposed inside the laminated body with the ceramic layer being separated from the external electrode, and the metal in the dummy wiring is disposed in the ceramic layer between the dummy wiring and the external electrode. Metal plating that embeds a plurality of metal particles that are connected to the components by sintering and that are partially exposed to the external electrode side, and that interconnects metal materials deposited from the exposed portions of these metal particles An external electrode is formed by a film.
すなわち、外部電極は、積層体主面において、一部が積層体内に埋設した金属粒子の露出部と強固な金属−金属結合により接合しているため、外部電極と積層体主面間の接続強度を増大させることができ、外部電極の剥離を防止できる。 That is, since the external electrode is joined to the exposed portion of the metal particles partially embedded in the laminate by a strong metal-metal bond on the main surface of the laminate, the connection strength between the external electrode and the laminate main surface is Can be increased, and peeling of the external electrode can be prevented.
また、金属粒子とダミー配線中の金属成分の接続は、焼結によってなされているため、通常の製造ラインを変更することなく、上記外部電極の剥離を防止できるとともに、金属粒子とダミー配線は一体化しており、これによっても、外部電極の剥離を効果的に防止できる。 In addition, since the metal particles and the metal components in the dummy wiring are connected by sintering, the external electrodes can be prevented from being peeled off without changing the normal production line, and the metal particles and the dummy wiring are integrated. This also effectively prevents the external electrode from peeling off.
また、金属粒子の一部がダミー配線と接合しているため、金属粒子自体が積層体内で確実に固定され、これによっても、外部電極の剥離を効果的に防止できる。さらに、外部電極とダミー配線間に配設された誘電体層と、ダミー配線間の剥離も防止できる。 Further, since some of the metal particles are bonded to the dummy wiring, the metal particles themselves are securely fixed in the laminated body, and this can also effectively prevent the external electrodes from peeling off. Furthermore, it is possible to prevent peeling between the dielectric layer disposed between the external electrode and the dummy wiring and the dummy wiring.
またさらに、外部電極が複数の金属粒子の露出部を起点に析出させた金属材料を相互に連結した金属メッキ膜により形成されているため、外部電極の厚み精度が向上するとともに、積層体を無電解メッキ用のメッキ液に所定時間浸漬しておくだけの簡単且つ安価な方法によって、外部電極を形成することができる。 Furthermore, since the external electrode is formed of a metal plating film in which metal materials deposited from the exposed portions of a plurality of metal particles are connected to each other, the thickness accuracy of the external electrode is improved and the laminate is not required. The external electrode can be formed by a simple and inexpensive method in which the electrode is immersed in a plating solution for electrolytic plating for a predetermined time.
さらにまた、セラミック層内に存在する金属粒子の平均粒径Aが、ダミー配線と外部電極との間に位置するセラミック層の厚みBに対し100%〜200%に設定されていることが望ましい。すなわち、上記金属粒子の平均粒径Aが、セラミック層の厚みBに対し100%以上であるため、金属粒子がセラミック層を貫通し、ダミー配線と外部電極を確実に接合することができる。一方、上記金属粒子の平均粒径Aが、セラミック層の厚みBに対し200%以下であるため、製造時に、スクリーン印刷等によりダミー配線を精度良く形成することができるとともに、積層体となるセラミック層及び配線導体を加圧加熱する際に、セラミック層間の密着性の低下が問題になることがない。 Furthermore, it is desirable that the average particle diameter A of the metal particles present in the ceramic layer is set to 100% to 200% with respect to the thickness B of the ceramic layer located between the dummy wiring and the external electrode. That is, since the average particle diameter A of the metal particles is 100% or more with respect to the thickness B of the ceramic layer, the metal particles penetrate the ceramic layer, and the dummy wiring and the external electrode can be reliably bonded. On the other hand, since the average particle diameter A of the metal particles is 200% or less with respect to the thickness B of the ceramic layer, the dummy wiring can be formed with high precision by screen printing or the like at the time of manufacture, and the ceramic that becomes the laminate When pressurizing and heating the layers and the wiring conductor, there is no problem that the adhesion between the ceramic layers is lowered.
そして、上記理由から、本発明は、複数個の誘電体層を積層した積層体の内部で、隣接する誘電体層間に内部電極を介在させるとともに、積層体の側面に内部電極の端部に電気的に接続される外部電極を形成し、外部電極の一端を前記積層体の主面に延在させてなるコンデンサに特に好適である。 For the reasons described above, the present invention interposes an internal electrode between adjacent dielectric layers in a laminated body in which a plurality of dielectric layers are laminated, and electrically connects the end of the internal electrode to the side surface of the laminated body. It is particularly suitable for a capacitor in which external electrodes to be connected are formed, and one end of the external electrode is extended to the main surface of the laminate.
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の一実施形態に係るセラミックコンデンサを示す図であり、(a)は外観斜視図、(b)は横断面図である。図2は、図1のセラミックコンデンサの製造方法を示す断面図である。 1A and 1B are diagrams showing a ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is an external perspective view, and FIG. 1B is a cross-sectional view. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a method for manufacturing the ceramic capacitor of FIG.
図において、セラミックコンデンサ10は、複数個の誘電体層(セラミック層)2を積層した積層体1の内部で、隣接する誘電体層2間に内部電極(配線導体)3、4を介在させるとともに、積層体1の側面に内部電極3、4の端部に電気的に接続される外部電極5、6を形成し、外部電極5、6の一端を積層体1の4つの主面に延在させている。
In the figure, a
誘電体層2は、例えば、BaTiO3、CaTiO3、SrTiO3等を主成分とする誘電体材料によって1層あたり0.5μm〜2μmの厚みに形成されており、かかる誘電体層2を、セラミックコンデンサ10の実装面に垂直な方向に、例えば20層〜2000層だけ積層することによって積層体1が形成される。
The
内部電極3a、4aは、Ni、Cu、Cu−Ni、Ag−Pd等の金属を主成分とする導体材料によって、例えば0.5μm〜2.0μmの厚みに形成されている。
The
本発明において重要なことは、積層体1の内部に、外部電極5、6に対して1層の誘電体層2を隔ててダミー配線3b、4b(配線導体)を配設するとともに、ダミー配線3b、4b及び外部電極5、6間の誘電体層2内に、ダミー配線3b、4b中の金属成分と焼結によって接続され、且つ、一部が外部電極5、6側に露出された複数個の金属粒子Mを埋設する点である。図中、内部電極3a、4aとダミー電極3b、4bを合わせて配線導体3、4としている。ダミー電極3b、4bは、内部電極3a、4aと同じ導体材料であっても良く、異なる導体材料であっても良い。また、金属粒子Mは、ダミー電極3b、4b中の他の小さな金属粒子(金属微粒子)mと同じ金属でも良く、異なる金属でも良い。さらに図中、ダミー電極3b、4bは積層体1の一方の主面側に2層配設されているが、1層以上であれば何層でも良い。ダミー電極3b、4bの数が多い程、外部電極5、6と積層体1主面間の接続強度を増大させることができ、外部電極5、6の剥離を防止できる。また図中、隣接するダミー電極(3b−3b、4b−4b)間に跨るように複数個の金属粒子Mを埋設しているが、このような金属粒子Mは特に埋設しなくても良い。
What is important in the present invention is that the
さらに、外部電極5、6は、これら金属粒子Mの露出部を起点に析出させた金属材料を相互に連結した金属メッキ膜により形成されている。
Further, the
そして、誘電体層2内に存在する金属粒子Mの粒径Aが、ダミー配線3b、4bと外部電極5、6の延在部の間に位置する誘電体層2の厚みBに対し100%〜200%に設定されている。ここで、金属粒子Mの粒径Aは、焼成後の積層体1の破断面をケミカルエッチングした後、金属顕微鏡により確認できる。
The particle size A of the metal particles M existing in the
このとき、ダミー配線3b、4b及び外部電極5、6間の誘電体層2内、あるいはダミー配線3b、4b間の誘電体層2内に、1個または2個の金属粒子Mが存在することとなる。これにより、金属粒子全体として不定形状となり、外部衝撃などにより誘電体層2から抜け落ちることはない。
At this time, one or two metal particles M exist in the
以下、上述したセラミックコンデンサ10の製造方法について説明する。なお、図中の各符号は焼成の前後で区別しないこととする。
Hereinafter, a method for manufacturing the above-described
まず、BaTiO3、CaTiO3、SrTiO3等を主成分とする誘電体材料の粉末に適当な有機溶剤、ガラスフリット、有機バインダ等を添加・混合して泥漿状のセラミックスラリを作製するとともに、得られたセラミックスラリを従来周知のドクターブレード法等による、所定形状、所定厚みの誘電体層となるセラミックグリーンシート2を形成する。
First, an appropriate organic solvent, glass frit, organic binder, and the like are added to and mixed with a dielectric material powder mainly composed of BaTiO 3 , CaTiO 3 , SrTiO 3, etc. to produce a slurry ceramic slurry. A ceramic
次に、セラミックグリーンシート2上に、Ni、Cu、Cu−Ni、Ag−Pd等の金属材料の粉末に適当な有機溶剤、有機バインダ等を添加・混合して得た導体ペーストを従来周知のスクリーン印刷等によって所定パターンに塗布し、配線導体となる導体パターン3、4を形成する。このとき、図2(a)に示すように、ダミー電極となる導体ペースト3b、4b中に、粒径の大きな金属粒子Mを混合しておく。具体的には、セラミックグリーンシート2の厚みが0.5μm〜1μmである場合、金属粒子Mの平均粒径は0.5μm〜2μm、その他の金属粒子mの平均粒径は0.1μm〜0.3μmの範囲にあることが望ましい。一方、セラミックグリーンシート2の厚みが1μm〜2μmである場合、金属粒子Mの平均粒径は1〜4μm、その他の金属微粒子mの平均粒径は0.3μm〜0.5μmの範囲にあることが望ましい。また、セラミックグリーンシート2の厚みが2μm〜3μmである場合、金属粒子Mの平均粒径は2〜6μm、金属微粒子mの平均粒径は0.4μm〜0.6μmの範囲にあることが望ましい。そして、セラミックグリーンシート2の厚みが3μm〜4μmである場合、金属粒子Mの平均粒径は3μm〜8μm、金属微粒子mの平均粒径は0.5μm〜0.1μmの範囲にあることが望ましい。
Next, a conductive paste obtained by adding and mixing an appropriate organic solvent, an organic binder, etc. to a powder of a metal material such as Ni, Cu, Cu—Ni, Ag—Pd, etc. on the ceramic
次に、図2(b)に示すように、導体パターン3、4が形成されたセラミックグリーンシート2を所定の枚数だけ積層する。
Next, as shown in FIG. 2B, a predetermined number of ceramic
次に、積層された導体パターン3、4及びセラミックグリーンシート2を加圧加熱することにより、大型積層体11が得られる。このとき、図2(c)に示すように、ダミー配線となる導体パターン3b、4b中に、金属粒子となる金属粒子Mが含有されるため、金属粒子Mがセラミックグリーンシート2を突き破って、大型積層体11表面に露出する。また、金属粒子Mにより突き破られるセラミックグリーンシート2は、その他のセラミックグリーンシート2に比べ、やわらかいことが望ましい。
Next, the large
次に、図2(b)に示すように、導体パターン3、4が形成されたセラミックグリーンシート2を所定の枚数だけ積層する。
Next, as shown in FIG. 2B, a predetermined number of ceramic
次に、積層された導体パターン3、4及びセラミックグリーンシート2を加圧加熱することにより、大型積層体11が得られる。このとき、図2(c)に示すように、ダミー電極となる導体パターン3b、4b中に、粒径の大きな金属粒子Mが含有されるため、金属粒子Mがセラミックグリーンシート2を突き破って、大型積層体11表面に露出したり、隣接するダミー電極となる導体パターン(3b−3b、4b−4b)に跨る。また、金属粒子Mにより突き破られるセラミックグリーンシート2は、その他のセラミックグリーンシート2に比べ、圧力変形が容易でやわらかいこと、あるいは熱可塑性のセラミックグリーンシート2であることが望ましい。
Next, the large
次に、大型積層体11を所定の寸法で切断することにより、未焼成状態の積層体1が得られる。
Next, the large-sized
次に、得られた未焼成状態の積層体1を例えば1100℃〜1400℃の温度で焼成することにより、積層体1が得られる。このとき、焼成後の積層体1をバレル研磨することにより、積層体1内に埋設した複数の金属粒子Mの一部を積層体1の表面に露出させることができる。
Next, the
次に、積層体1の一対の端面に、無電解メッキ法により、外部電極5、6を形成する。具体的には、積層体1の端面における内部電極3a、4aの露出部、及び図2(d)に示すように、積層体1の主面における金属粒子Mの露出部を起点として、Cu、Ni、Ag、Auなどの金属メッキ膜5、6を析出させるとともに、これらの析出物同士を相互に連結させることによって一体的に形成される。この場合、外部電極5、6の厚み精度が向上するとともに、積層体1を無電解メッキ用のメッキ液に所定時間浸漬しておくだけの簡単な加工によって外部電極5、6を所望するパターンに形成することができ、セラミックコンデンサ10の生産性向上に供することが可能である。このとき、上記無電解メッキ法による金属メッキ膜5、6を析出させた積層体1に熱処理(アニール)を施すことにより、金属粒子Mと金属メッキ膜5、6の境界に合金層を形成させ、金属粒子Mと金属メッキ膜5、6の接合強度をさらに向上させるようにしても良い。具体的には、金属粒子MがNi、金属メッキ膜5、6がCuである場合は、約600℃で熱処理することが望ましい。また、必要に応じて、Cu、Ni、Ag、Auなどの金属メッキ膜の表面に、Niメッキ膜、Snメッキ膜など(図示せず)を電解メッキ法により形成しても良い。このとき、上記熱処理は、これらのNiメッキ膜、Snメッキ膜などを形成する前に施す必要がある。
Next,
このようにして、図1に示すようなセラミックコンデンサ10が得られる。
In this way, a
かくして、本発明によれば、積層体1の内部に、外部電極5、6に対して1層の誘電体層2を隔ててダミー配線3b、4bを配設するとともに、ダミー配線3b、4b及び外部電極5、6間の誘電体層2内に、ダミー配線3a、4a中の金属成分と焼結によって接続され、且つ、一部が外部電極5、6側に露出された複数個の金属粒子Mを埋設し、これら金属粒子Mの露出部を起点に析出させた金属材料を相互に連結した金属メッキ膜により外部電極5、6を形成してなるため、外部電極5、6は、積層体1の主面において、一部が積層体1内に埋設された金属粒子Mの露出部と強固な金属−金属結合により接合していることから、外部電極5、6と積層体1主面間の接続強度を増大させることができ、外部電極5、6の剥離37を防止できる。
Thus, according to the present invention, the
また、金属粒子Mとダミー配線3b、4b中の金属成分の接続は、焼結によってなされているため、通常の製造ラインを変更することなく、上記外部電極5、6の剥離37を防止することができ、金属粒子Mとダミー配線3b、4bは一体化しており、これによっても、外部電極5、6の剥離37を有効に防止することができる。
Further, since the metal particles M and the metal components in the
また、金属粒子Mの一部がダミー配線3b、4bと接合しているため、金属粒子M自体が積層体1内で確実に固定され、これによっても、外部電極5、6の剥離37を効果的に防止できる。さらに、外部電極5、6とダミー配線3b、4b間に配設された誘電体層2と、ダミー配線3b、4b間の剥離も有効に防止することができる。
In addition, since a part of the metal particles M are bonded to the
そして、誘電体層2内に存在する金属粒子Mの平均粒径Aが、ダミー配線3b、4bと外部電極5、6との間に位置する誘電体層2の厚みBに対し100%〜200%に設定されていることが望ましい。すなわち、上記金属粒子Mの平均粒径Aが、誘電体層2の厚みBに対し100%以上であるため、金属粒子Mが誘電体層2を貫通し、ダミー配線3b、4bと外部電極5、6を確実に接合することができる。一方、上記金属粒子Mの平均粒径Aが、誘電体層2の厚みBに対し200%以下であるため、製造時に、スクリーン印刷等によりダミー配線となる導体パターン3b、4bを精度良く形成することができるとともに、大型積層体11となるセラミックグリーンシート2及び導体パターン3、4を加圧・加熱する際に、セラミックグリーンシート2間の密着性が低下するのを有効に防止することができる。
The average particle size A of the metal particles M present in the
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be made without departing from the scope of the present invention.
例えば、上記実施の形態では、セラミック電子部品としてセラミックコンデンサを用いて説明したが、本発明は、積層圧電部品、回路基板、半導体部品等、あらゆるセラミック電子部品に用いることができる。 For example, in the above embodiment, the ceramic capacitor is used as the ceramic electronic component. However, the present invention can be used for any ceramic electronic component such as a laminated piezoelectric component, a circuit board, and a semiconductor component.
また図3は、本発明の他の実施形態に係るセラミック電子部品を示す横断面図である。同図に示すように、本発明のセラミック電子部品10は、回路基板10にも適用できる。また、外部電極5は、積層体1の側面から離間させても良い。さらに、外部電極5やダミー配線3bより寸法の大きいダミー配線4bを埋設するとともに、ダミー配線3bとダミー配線4bとを両者間のセラミック層2内に存在する金属粒子Mを介して接続するようにしても良い。これにより、外部電極5と積層体1の主面との間の接続強度をさらに増大させることができ、外部電極5の剥離をさらに効果的に防止できる。なおこのとき、ダミー配線4bとなる導体ペースト中に金属粒子Mを含有すると、ダミー配線3bの外側に金属粒子Mがはみ出てしまうため、ダミー配線3bとダミー配線4bは、ダミー配線3bとなる導体ペースト中に含有される金属粒子Mにより接続されるようにする。また図中、3aは内部配線導体、7はビアホール導体、8は他の電子部品である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a ceramic electronic component according to another embodiment of the present invention. As shown in the figure, the ceramic
さらに、ダミー配線3b、4b中に、誘電体層2と略同一のセラミック粒子が含有されるようにしても良い。すなわち、セラミック粒子が、ダミー配線3b、4bを挟んでいる誘電体層2間の架橋となるため、これによっても、誘電体層2とダミー配線3b、4b間の剥離を防止できる。
Furthermore, the
10・・・セラミック電子部品(コンデンサ)
1・・・積層体
2・・・誘電体層(セラミック層)
3、4・・・配線導体
3a、4a・・・内部電極
3b、4b・・・ダミー配線(ダミー電極)
5、6・・・外部電極(外部端子電極)
M・・・金属粒子
10 ... Ceramic electronic components (capacitors)
DESCRIPTION OF
3, 4 ...
5, 6 ... External electrode (external terminal electrode)
M ... Metal particles
Claims (4)
前記積層体の内部に、前記外部電極に対して1層のセラミック層を隔ててダミー配線を配設するとともに、該ダミー配線及び前記外部電極間のセラミック層内に、前記ダミー配線中の金属成分と焼結によって接続され、且つ、一部が前記外部電極側に露出された複数個の金属粒子を埋設し、これら金属粒子の露出部を起点に析出させた金属材料を相互に連結した金属メッキ膜により前記外部電極を形成したことを特徴とするセラミック電子部品。 A ceramic in which a wiring conductor is disposed on the surface and / or inside of a laminate in which a plurality of ceramic layers are laminated, and an external electrode electrically connected to the wiring conductor is formed on the main surface of the laminate. In electronic components,
Inside the laminate, a dummy wiring is disposed with a ceramic layer separated from the external electrode, and a metal component in the dummy wiring is formed in the ceramic layer between the dummy wiring and the external electrode. A metal plating in which a plurality of metal particles, which are connected by sintering and are partially exposed to the external electrode side, are embedded, and metal materials deposited from the exposed portions of the metal particles are interconnected. A ceramic electronic component, wherein the external electrode is formed of a film.
前記積層体の内部に、前記外部電極に対して1層の誘電体層を隔ててダミー配線を配設するとともに、該ダミー配線及び前記外部電極間の誘電体層内に、前記ダミー配線中の金属成分と焼結によって接続され、且つ、一部が前記外部電極側に露出された複数個の金属粒子を埋設し、これら金属粒子の露出部を起点に析出させた金属材料を相互に連結した金属メッキ膜により前記外部電極を形成したことを特徴とするコンデンサ。 An internal electrode is interposed between adjacent dielectric layers in a multilayer body in which a plurality of dielectric layers are stacked, and an external electrode electrically connected to an end portion of the internal electrode is provided on a side surface of the multilayer body. In a capacitor formed and extending one end of the external electrode to the main surface of the laminate,
A dummy wiring is disposed inside the stacked body with a dielectric layer separated from the external electrode by a single dielectric layer, and in the dielectric layer between the dummy wiring and the external electrode, A plurality of metal particles that are connected to the metal component by sintering and that are partly exposed to the external electrode side are embedded, and the metal materials deposited from the exposed portions of the metal particles are interconnected. A capacitor characterized in that the external electrode is formed of a metal plating film.
Priority Applications (2)
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