JP4462408B2 - 加工物品の製造方法 - Google Patents
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- Cleaning In General (AREA)
Description
しかるに、残念ながら、これまでは、上記のような方法は全く知られていなかった。
前記表面に存在する付着物質及び/又は吸着物質を除去するクリーニング工程、
クリーニングされた表面に硬度低減物質を担持させて、固体の表面硬度を低減する工程、及び
前記硬度低減工程の後、または硬度低減工程中に、前記硬度低減物質を担持させた表面に機械的加工を施す工程
を含み、前記固体がコバルトバインダー含有炭化タングステンであり、前記硬度低減物質がn−デカノールである、前記加工物品の製造方法である。
本発明の方法により、高硬度材、硬脆材の3次元の形状加工がナノオーダーの精度で、容易に行なうことができる。従って、この方法は、光学部品やその成形金型を始めとする、多くの分野の超精密加工に多大な寄与が可能である。
硬度低減物質としての、直鎖アルキルアルコールは、直鎖アルキルアルコールそのものを使用できるほか、直鎖アルキルアルコールの水溶液を使用することもできる。但し、水溶液を用いる場合には、直鎖アルキルアルコール濃度が90%以上、より好ましくは95%以上のものとすることが好適である。
図1に通常の固体表面の状態を模式的に示す。図1に示すように、固体表面には、一般に、表面側から、汚れの付着層(厚さ>数十nm)、吸着分子層(厚さ<5nm)、酸化膜(厚さ10〜20nm)がある。
このような固体表面を湿式洗浄すると、図2に示すように、汚れの付着層は、かなり除去できる(一部残る)が、吸着分子層及び酸化膜は除去できない。
そこで、上記クリーニング工程を施すことで、図3に示すように、吸着分子層は除去され、酸化膜もかなり除去できる。
そして、図4に示すように、クリーニング工程後の固体表面に硬度低減物質を吸着させる。硬度低減物質を吸着させた固体表面の拡大図を図5に示す。図5は、硬度低減物質としてn−デカノールを吸着させた状態である。固体表面近くの物質(WC)は、n−デカノールの吸着エネルギーにより、タングステンと炭素との間の結合エネルギーが弱められる。
発明者らは、上記硬度低減物質が、上記のクリーニングを施した固体表面に接触すると、固体の表面近傍に配列する固体を構成する分子の結合状態が変化して、固体表面エネルギーが低減し、その結果、表面硬度が低下することを見出した。
共有結合性の物質としては、例えば、炭化物及び窒化物(例えば、WC:炭化タングステン、WC-Co:コバルトバインダー含有炭化タングステン、TaC:炭化タンタル、TiC:炭化チタン、SiC:炭化ケイ素、Si3N4:窒化ケイ素)等を挙げることができる。
クリーニング工程
実験方法・条件
(試験材料)
超硬材料(主成分はWC:炭化タングステン、コバルトを含む)
ダイヤモンド砥粒(平均粒径1mm)を用いて表面研磨しシリカ粒子(平均粒径0.25mm)で仕上げた試験片を、アセトン及び石油ベンジンの混合液にて洗浄後、100℃以上で15分以上乾燥させた。
パルスYAGレーザの第二高調波(波長532nm、パルス幅5ナノ秒、繰り返し周波数10Hz、照射時間10秒)を、洗浄後の試験片表面に大気中で照射した。このときレーザ照射エネルギー密度(フルエンス)を、0.90、0.25J/cm2と換え、それぞれについて表面状態観察及び表面分析を行った。
表面の分析にはESCA(XPS)分析法を用いた。真空中にてレーザ照射内の200x200mm2の領域をArイオンエッチングしながら最表面から65nmまでの深さ方向の組成分析と最表面の状態分析を行った。比較のため、レーザ照射を行わなかった材料の表面に対しても同様の測定を行った。表面分析結果は以下の通りである。
図6に各フルエンスでの表面観察結果を示す。0.90J/cm2では、表面損傷が発生し、表面形状の変化が若干認められる。これに対し0.25J/cm2では、レーザ照射による表面損傷がないことがわかる。
図8にタングステン、炭素、コバルト、酸素に注目した深さ方向の組成分析の結果を示す。未処理試料では表面に炭素や酸素が多く存在し、30nm程度から深さ方向に安定した値を示すようになっている。これに対して、レーザフルエンスが0.90J/cm2では、未処理試料の組成変化から大きくずれ、表面で分離・分解が起こっていることがわかる(例えば、0.90J/cm2の矢印)。これに対して0.25J/cm2では、表面の炭素量と酸素量の比率が、レーザ照射によってやや減少した。状態分析の結果とあわせて考えると、タングステンとの結合に寄与しない不要な炭素と、酸化によると考えられる酸素が減少したと考えられ、充分なクリーニングが達成されたと結論できる。
実験方法・条件
(試験材料)
実施例1の前処理を行った試験材料で、表面形状損傷がなく、かつ、表面の汚染が排除されている条件、すなわちフルエンスを、0.25J/ cm2としたものに、以下のように硬度低減物質を作用させた。
加工液(デカノール:C10H22O 95%水溶液)の滴下は、レーザ照射直後に20-30mlを試験片に直接滴下する方法で行った。その後、試験片表面から液が切れるのを防ぐため、加工液に浸漬させて硬さ測定器まで搬送した。
硬さ測定の条件は、ヌープ圧子を用いたヌープ硬さ測定において、荷重10g保持時間10秒の条件で行った。クリーニング後、上記加工液を滴下した試験片を硬さ測定器に固定した。比較のため、湿式洗浄のみの試験片、湿式洗浄後レーザ照射(0.25J/ cm2)によるクリーニングのみの試験片、湿式洗浄後加工液(デカノール)を滴下したのみの試験片、及び湿式洗浄後レーザ照射によるクリーニングを行い直ちに加工液を滴下した試験片に対して測定を行った。
表1に硬さ測定結果を示す。( )内にはサンプル15点以上を用いたときの各測定における標準偏差を示した。表面を加工液で覆うことにより硬さが低下し、その効果は表面の不要な炭素(ハイドロカーボン等)や酸素を取り除くことにより、明確になることがわかる。その効果は、湿式洗浄のみの試験片の表面硬さと比べ、湿式洗浄後レーザを照射してクリーニングし、直ちに加工液を滴下した試験片の表面硬さは、約15%低減した。更に、標準偏差の値から、硬さのばらつきも減少していることがわかる。これは、加工抗力が一定なスムーズな加工が可能であることを意味する。なお、このときの押し込み深さは250〜400nmであり、切削や研削における切込み深さにも有用に適用される範囲である。このことからもクリーニング処理及び加工液滴下した表面は、表面の変形が容易になり、加工も容易にできることがわかる。
表面硬度低減工程で作製した試験片(レーザ照射後、表面にデカノールを滴下した超硬材、主成分はWC、バインダー材Co含有量10〜20wt%)を被削材として、切削加工した。
Claims (6)
- 固体表面に機械的加工を施して加工物品を製造する方法であって、
前記表面に存在する付着物質及び/又は吸着物質を除去するクリーニング工程、
クリーニングされた表面に硬度低減物質を担持させ、固体の表面硬度を低減する工程、及び
前記硬度低減工程の後、または硬度低減工程中に、前記硬度低減物質を担持させた表面に機械的加工を施す工程
を含み、前記固体がコバルトバインダー含有炭化タングステンであり、前記硬度低減物質がn−デカノールである、前記加工物品の製造方法。 - 前記クリーニング工程は、表面の付着物質及び吸着物質を除去することに加え、表面に形成された化学変化層の少なくとも一部を除去する工程であることを特徴とする、請求項1の製造方法。
- 前記化学変化層が酸化物層であり、酸化物層の平均膜厚が10nm以下となるように酸化物層を除去することを特徴とする、請求項2に記載の製造方法。
- 前記クリーニング工程が、表面にパルス幅30ナノ秒以下のレーザを照射することを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記レーザは、エネルギー密度が0.7J/cm2以下のパルスレーザであることを特徴とする、請求項4の製造方法。
- 前記機械的加工が、研削、研磨及び切削加工の少なくとも1つである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の製造方法。
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