JP4460042B2

JP4460042B2 - 光スイッチモジュール

Info

Publication number: JP4460042B2
Application number: JP2001168089A
Authority: JP
Inventors: 政仁森本
Original assignee: THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Current assignee: THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Priority date: 2000-07-07
Filing date: 2001-06-04
Publication date: 2010-05-12
Anticipated expiration: 2021-06-04
Also published as: JP2002082291A; US20020003919A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信において使用される、経路切り替え用の光スイッチ、又は光アド／ドロップ多重化装置用の光スイッチモジュールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical system）技術を用いた小型の光スイッチが提案されており、その一例として、図５に示すような４×４型のマトリクススイッチがある。この光スイッチは、電子情報通信学会２０００年総合大会の抄録C-3-105 に記載されているものである。
【０００３】
同図の（ａ）に示すように、マトリクスチップ３５の端面２５には、４本の並設された入力側光ファイバ１が配置されており、入力側光ファイバ１と端面２５との間にレンズアレイ２６が設けられている。レンズアレイ２６にはそれぞれの入力側光ファイバ１の接続端面に対応させてレンズ２７が設けられている。マトリクスチップ３５の他の端面２８には、４本の並設された出力側光ファイバ２が対向配置されており、出射側光ファイバ２と端面２８との間にレンズアレイ２９が設けられている。レンズアレイ２９には、それぞれの出力側光ファイバ２の接続端面に対応させてレンズ３０が設けられている。
【０００４】
マトリクスチップ３５は１６個（４×４＝１６）のマトリクスに区分されており、それぞれのマトリクスは、同図の（ｂ）、（ｃ）に示すように、固定電極基板２１上にフレーム基板２２を介して可動電極２３を配置し、可動電極２３上に可動ミラー２４を設けて形成されている。
【０００５】
同図に示す光スイッチは、スプリングで支持された可動電極２３を静電駆動することにより、可動ミラー２４を固定電極基板２１の面と垂直な方向（図の上下方向）に可動させ、光路を切り替えるものである。
【０００６】
すなわち、例えば同図の（ａ）の実線で示す可動ミラー２４を同図の（ｂ）、（ｃ）に示すようにフレーム基板２２の上面よりも上側に配置し、それ以外の、同図の（ａ）の破線に示す可動ミラー２４を固定電極基板２１側に引き付けてフレーム基板２２の上面よりも下側に配置する。そうすると、同図の（ａ）の実線で示した可動ミラー２４によって入力側光ファイバ１と出力側光ファイバ２が光結合される。
【０００７】
この光スイッチにおいて、各可動ミラー２４は固定電極基板２１の面と垂直な方向に移動自在であるため、フレーム基板２２の上面よりも上側に配置する可動ミラー２４を可変することにより、光結合される入力側光ファイバ１と出力側光ファイバ２の組合せを可変できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５に示したようなマトリクススイッチは、例えばＮ×Ｍ（Ｎ、Ｍは正の整数）の光路切り替え可能なマトリクススイッチを構成するために、Ｎ×Ｍ個の可動ミラー２４が必要となり、その構成が複雑になってしまうといった問題があった。
【０００９】
また、図５に示した光スイッチは、波長多重化装置用として光スイッチに要求される機能、すなわち、複数の入力光を１の出力ファイバへ反射させる機能を有しないという問題がある。また、Ｎ×Ｍ光路の同時の切り替え可能な光スイッチを構成することができないといった問題があった。本発明は上記従来の課題を解決するために成されたものであり、その目的は、簡単な構成で、Ｎ×Ｍの光路を同時に自在に切り替え可能な光スイッチモジュールを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。発明の第１の態様は、下記の構造を備えたことを特徴とする光スイッチモジュールである。
（ａ）平板状基板のＸ軸方向の端部にはＮ本の入力側光ファイバが列状に配列され、（ｂ）前記入力光ファイバの光軸上に入力光ファイバの本数と同数の回転可能なミラーが基板上に前記他の各ミラーの光路を遮らないように列状に立設され、（ｃ）前記基板のＹ軸方向端部には出力側のＭ本の光ファイバが列状に配列され、（ｄ）前記入力光ファイバから入力された光信号を任意の前記出力側光ファイバへ反射するように前記ミラーを回転する駆動機構を備えている。
【００１１】
発明の第２の態様は、前記基板のＸ軸とＹ軸が直交していることを特徴とする光スイッチモジュールである。
【００１２】
発明の第３の態様は、前記ミラーの列は前記Ｘ軸またはＹ軸に対して３０〜６０度傾斜していることを特徴とする光スイッチモジュールである。
【００１３】
発明の第４の態様は、前記入力側の光ファイバの本数Ｎと前記出力側の光ファイバの本数Ｍとが同数又は異なることを特徴とする光スイッチモジュールである。
【００１４】
発明の第５の態様は、前記入力側の光ファイバの本数Ｎと前記出力側の光ファイバの本数Ｍは、それぞれ２から１０の何れかの整数であることを特徴とする光スイッチモジュールである。
【００１５】
発明の第６の態様は、前記入力側光ファイバ、又は出力側光ファイバの端部にはコリメートレンズを備えていることを特徴とする光スイッチモジュールである。
【００１６】
発明の第７の態様は、前記入力側光ファイバ、又は出力側光ファイバの端部にはコリメート作用があるマルチモードファイバを備えていることを特徴とする光スイッチモジュールである。
【００１７】
発明の第８の態様は、前記ミラーを回転する駆動機構は、静電モータであることを特徴とする光スイッチモジュールである。
【００１８】
発明の第９の態様は、前記平板状の基板は四角形の半導体基板であることを特徴とする光スイッチモジュールである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下において本実施形態を説明するが、本発明を限定するものでなく、説明した実施形態を当業者が任意に組み合わせることができる発明の態様を含むものと理解すべきである。また、説明において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。図１には、本発明に係る光スイッチの一実施形態例の要部構成が模式的に示されている。
【００２０】
同図に示すように、四角形の半導体基板３の端面２５に複数（同図では８本）の入力側光ファイバ１（１ａ〜１ｈ）が、例えば２５０μｍピッチで列状に配置されている。また、複数（同図では８本）の出力側光ファイバ２（２ａ〜２ｈ）が例えば２５０μｍピッチで直角方向の端面２８に配置されている。半導体基板３としては、例えば厚み６２５から１０００μｍのＳｉ基板を用いることができる。
【００２１】
なお、本実施形態例において、入力側光ファイバ１ａ〜１ｈと出力側光ファイバ２ａ〜２ｈの配列ピッチが上記各値であるため、入力側光ファイバ１ａ〜１ｈと出力側光ファイバ２ａ〜２ｈの配設幅は共に約１．７５ｍｍである。また、入力側光ファイバ１ａから端面２８までの距離は３ｍｍ、出力側光ファイバ２ｈから端面３９とまでの距離は１ｍｍである。従って、半導体基板のＸ方向端面の長さ２５は約５ｍｍ，Ｙ方向端面の長さ２８は約３ｍｍである。
【００２２】
本実施形態例では、前記それぞれの入力側光ファイバ１ａ〜１ｈに１つずつ対応させて、半導体基板３の光軸上に回転ミラー４ａ〜４ｈを立設状態で配置しており、前記出力側光ファイバ２は、上記回転ミラー４の光反射方向に設けられている。このミラー４の寸法は例えば巾約１５０μｍ、高さ約３００μｍのマイクロミラーである。
【００２３】
また、前記それぞれの入力側光ファイバ１ａ〜１ｈに対応する回転ミラー４ａ〜４ｈは対応する入力側光ファイバ１ａ〜１ｈの光軸上に設けられており、かつ、それぞれの回転ミラー４ａ〜４ｈは互いに入力側光ファイバ１ａ〜１ｈの長手方向（Ｙ方向）に位置をずらして設けられている。例えば回転ミラー４ａ〜４ｈのＹ方向の配列ピッチは３５０μｍである。
【００２４】
回転ミラー４ａの回転角度は最大３５°であり、回転ミラー４ａの回転角度は０、５、１０、１５、２０、２５、３０、３５度の８段階に切り替え制御可能としている。なお、各回転ミラー４ａ〜４ｈの回転角度０°は、それぞれのミラーが反射した光が出力側光ファイバ２ａに入射される場合の角度である。
【００２５】
また、回転ミラー４ｂの回転角度は最大３３°であり、回転ミラー４ｂの回転角度は４．７°ごとに８段階に切り替え制御可能と成している。同様に、回転ミラー４ｃ〜４ｈの回転角度はそれぞれ８段階に切り替え制御可能であり、それぞれの回転角度が適宜設定されている。回転ミラー４ｈの回転角度は最大１８°であり、回転ミラー４ｈの回転角度は２．６°ごとに８段階に切り替え制御可能となっている。
【００２６】
このように回転ミラー４ａ〜４ｈは、それぞれ角度を８段階に切り替え可能とした。これは、入力側光ファイバ１ａ〜１ｈの８本と出力側光ファイバ２ａ〜２ｈの８本の光ファイバを任意に組み合わせることを可能とするためである。一般的に述べると、ミラーの個数は入力側光ファイバの本数と同数とし、その回転角度のステップ数は出力側の光ファイバの本数に合わせて切り替え可能に設計することを意味する。このように設計することにより、それぞれの入力側光ファイバを全ての出力側光ファイバとの結合が可能となる。
【００２７】
それぞれの入力側光ファイバ１の接続端面にはコリメートレンズ９、ファイバ２の接続端面側には、コリメート１０が設けられている。コリメートレンズに代えてマルチモードファイバを利用することもできる。
本実施形態例において、それぞれの入力側光ファイバ１の接続端面側に設けられたコリメートレンズ９は、対応する入力側光ファイバ１から入力される光を平行光として、対応する回転ミラー４側にほぼ１００％導出する構成としている。
【００２８】
また、それぞれの出力側光ファイバ２の接続端面側に設けられたコリメートレンズ１０は、回転ミラー４による反射光を対応する出力側光ファイバ２にほぼ１００％受光させる受光角度（ここでは最大受光角度θ＝７０°）を有している。なお、
本実施形態例においては、コリメートレンズ９、１０を設けることにより、図１の斜線部分を除く位置に回転ミラー４を設ければ、回転ミラー４の反射光を全ての出力側光ファイバ２に光結合可能である。望ましくは、図示するように、ミラーの列は互いに直交するＸ軸又はＹ軸に対して３０から６０度の角度で直線的に配列することが製作上望ましい。
【００２９】
基板の形状とミラーの配置については、上記実施例で長方形としたが、この形状と配置に限定されない。可能な形状と配置を図２（ａ）から（ｆ）に示す。図２（ａ）は図１と同じ配置である。図２（ｂ）はミラーの列の配置を図２（ａ）の配置に対して約９０°回転した配置である。図２（ｃ）から（ｆ）は基板の形状を平行四辺形としたものであり、この場合にもミラーの列の配置は図２（ａ）と（ｂ）と同様に配置できる。これらの基板形状とミラーの配置において、ミラーによる光の反射角度（α）ができる限り小さいほうが、ノイズが少ない点で望ましい。この点から図２（ａ），（ｂ），（ｄ）に示す配置はより望ましい。
【００３０】
上記において、入力側の光ファイバの本数Ｎと出力側の光ファイバ本数Ｍはそれぞれ４であるが、ＮとＭは限定されないが、２から１０が実用的に利用できる光スイッチモジュールである。特にＮとＭが１０以上では反射角度が広がるので、反射光束がブロードになるので望ましくない。ＮとＭが共に２以下の場合にはこのような構造の光スイッチモジュールはやや複雑すぎる。また、ＮとＭは同数である必要はなく、異なる整数でもよい。更に、Ｘ軸とＹ軸が直角の場合が一般的であるが、かららずしも限定されず、光の反射角度（α）が例えば１５０°以内であれば、Ｘ軸とＹ軸は直角である必要はない。
【００３１】
図３には、回転ミラー４の回転駆動機構として静電モータ（静電アクチュエータとも言う）の斜視図を示す。ここで、この静電モータの概要を説明する。図３に示すように、ロータ７の上に回転ミラー４が固定されている。ロータ７の外周面には外側に突出する突起部８が互いに周方向に一定の間隔をおいて形成され、ロータ７の外周側の突起部８に対向する分割片からなるステータ５が互いに間隔を介して配置されている。
【００３２】
なお、本実施形態における回転ミラー４の静電モータにおいて、ロータ７の直径は例えば２５０μｍ、分割されたステータ５の配列外周側の径が例えば５００μｍである。また、突起部８やステータ５の数は、回転角度に応じて設けられており、隣り合うステータ５は、例えばロータ７の中心を中心とした角度がそれぞれの回転ミラー４ａ〜４ｈの回転角度に対応する角度η（例えば回転ミラー４ａの場合５°）となる間隔で配置されている。
【００３３】
上記、静電モータのロータは、Ｐ型又はＮ型の半導体で構成され、正又は負の直流電気が供給される。他方、ステータにはパルス電流が供給されてロータをステップ状に回転させる。
【００３４】
以下に、回転ミラー４の動作原理を図４で説明する。例えば、図４の突起部８ａ，８ｂ，８ｃは正側に帯電させる。一方、ステータ５側は、ステータの分割片５ａ，５ｃ，５ｅ，・・・・を正側に帯電させ、分割片５ｂ，５ｄ，５ｆ，・・・・は負側に帯電させるといったように、１つおきに正電気と負電気を交互に帯電させ、時間ごとに変化させる。
【００３５】
そうすると、クーロン力（静電力）が働き、また、突起部８ａとステータの分割片５ａは相対応し、突起部８ｂはステータ分割片５ｂ，５ｃの間に位置するように設計されているので、作用する力は中心からずれて回転方向にトルクが働き、ロータ７が回転する。したがって、前記直流電気回路で回路に流す電流を時間的に制御すれば、任意の角度で回転ミラー４を回転させる（言い換えれば回転ミラー４の任意の回転角を得る）ことができる。
【００３６】
なお、上記とは逆に、ロータの突起部８ａ，８ｂ，８ｃは負側に帯電させてもよいし、突部５側は正と負が交互になればよい。この種の帯電は、例えば突起部８をまとめて１つの直流電気回路に接続し、分割片５は、１つずつ、独立に正側に帯電する直流回路と負側に帯電する直流回路に交互に接続することにより行なうことができる。
【００３７】
そこで、例えば回転ミラー４ａの回転角度が０°のときには、入力側光ファイバ１ａから入力された光は、回転ミラー４ａで出力側光ファイバ２ａ側に反射し、出力側光ファイバ２ａを通って出力される。また、回転ミラー４ａの回転角度が５°のときには、入力側光ファイバ１ａから入力された光は、回転ミラー４ａで出力側光ファイバ２ｂ側に反射し、出力側光ファイバ２ｂを通って出力される。
【００３８】
このように、回転ミラー４ａの回転角度を５°ずつ可変することにより、入力側光ファイバ１ａから入力された光は、回転ミラー４ａで出力側光ファイバ２ａ〜２ｈの何れかの光ファイバ側に反射され、その光ファイバから出力される。
【００３９】
また、同様に、回転ミラー４ｂ〜４ｈの回転角度をそれぞれの回転ミラー４ｂ〜４ｈに設定されている角度間隔ごとに可変することにより、入力側光ファイバ１ｂ〜１ｈから入力された光は、回転ミラー４ｂ〜４ｈで出力側光ファイバ２ａ〜２ｈの何れかの出力光ファイバ２側に反射されて、その光ファイバから出力される。
【００４０】
以上のように、本実施形態例では、回転ミラー４ａ〜４ｈの回転角度を変化させることにより、入力側光ファイバ１ａ〜１ｈから入力された光を、出力側光ファイバ２ａ〜２ｈの何れかの光ファイバから出力することができるので、入力側光ファイバ１ａ〜１ｈと出力側光ファイバ２ａ〜２ｈの組合せを自在に可変制御できる８×８光スイッチ又は光アド／ドロップ多重化装置とすることができる。
【００４１】
また、本実施形態例において、例えば回転ミラー４ａ〜４ｈの回転角度をすべて０°に設定すると、入力側光ファイバ１ａ〜１ｈから入力された光を全て多重化して、出力側光ファイバ２ａから出力することができるといったように、本実施形態例の光スイッチは光の合波も自在にできる光スイッチモジュールとすることができる。
【００４２】
さらに、本実施形態例は、回転ミラー４ａ〜４ｈを半導体加工技術を用いて半導体基板３上に形成した小型で巧みな構成であり、回転ミラー４ａ〜４ｈの数も入力側光ファイバ１ａ〜１ｈの本数だけ設ければよく、従来のようなマトリクススイッチに比べてミラーの数を格段に少なくできる。
【００４３】
さらに、本実施形態例によれば、回転ミラー４ａ〜４ｈの回転角度を静電力によって容易に可変することができ、上記のような光路切り替えや光多重化を容易に行なうことができる。
【００４４】
さらに、本実施形態によれば、基板は半導体基板３とし、回転ミラー４は半導体エッチング加工技術を用いて形成しているので、半導体の加工におけるように正確に回転ミラー４を形成でき、非常に小型で正確な光スイッチモジュールを構成することができる。ミラー４の反射面は金又はアルミニウムメッキすることは反射効率を高めるために望ましい。上記ミラーと静電モータを作成方法の詳細は、例えば、IEEE １９９９年，Vol.5、No.1 第２６〜３１頁に詳細に開示されている。その概要は、目的とするミラーとモータを作成するように予めマスクを用意し、ホトレジストを使用して、エッチングを繰り返して、最終的にミラーを備えた静電モータを基板上に作成する。
【００４５】
なお、本発明は上記実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、本発明の光スイッチに適用される回転ミラー４ａ〜４ｈの配列ピッチや各回転ミラー４ａ〜４ｈの回転角度は、上記実施形態の値に限定されるものではなく適宜設定されるものである。回転ミラー４ａ〜４ｈの配列ピッチは、例えば入力側光ファイバ１や出力側光ファイバ２の接続端面側に設けられるコリメートレンズ９、１０の最大受光角度、コリメートレンズ９、１０の集光後のビームウエスト、チップサイズ、回転ミラー４による反射光が別の回転ミラー４に遮られない幾何学的配置によって決定される。
【００４６】
また、上記実施形態例では、回転ミラー４を静電モータにより回転させるようにしたが、回転ミラー４を電磁力を利用したステッピングモータにより回転させることも可能であり、静電力と電磁力により回転させる回転手段を設けてもよい。
【００４７】
さらに、上記実施形態例では入力側光ファイバ１の本数を８本、出力側光ファイバ２の本数を８本としたが、これらの光ファイバ１，２の本数は特に限定されるものではなく適宜設定され、限定されるものでないが、望ましくは２から１０本である。
【００４８】
例えば、出力側光ファイバ２の本数を入力側光ファイバ１の本数よりも多く形成し、それらの出力側光ファイバ２を通常は使用しない予備の出力側光ファイバ２としておけば、出力側光ファイバ２や出力側光ファイバ２の接続相手に支障が生じたり、電話回線などの回線の移動が行なわれたときに、上記予備の出力側光ファイバ２側に光路を切り替えて使用することもできる。
【００４９】
また、多数の入力光を多重して用いる光スイッチの場合、入力側光ファイバ１の本数を出力側光ファイバ２の本数よりも多く形成すると都合がよい場合もあり、上記のように、入力側と出力側の光ファイバ１，２の本数は光スイッチの仕様等に応じて適宜設定されるものである。
【００５０】
さらに、上記実施形態例では、入力側光ファイバ１を半導体基板３の端面２５に列状に配置し、出力側光ファイバ２を半導体基板３の端面２８に列状に配置したが、これらの光ファイバ２の配置態様は特に限定されるものでなく、入力側光ファイバ１と出力側光ファイバ２とが、基板上の回転ミラー４を介して光接続されるように適宜設定されるものである。
【００５１】
さらに、上記実施形態例では、それぞれの入力側光ファイバ１（１ａ〜１ｈ）に対応する回転ミラー４（４ａ〜４ｈ）は対応する入力側光ファイバ１ａ〜１ｈの光軸上に設け、かつ、それぞれの回転ミラー４は互いに入力側光ファイバ１の長手方向（Ｙ方向）に位置をずらして設けたが、回転ミラー４の配設態様は特に限定されるものではなく、それぞれの入力側光ファイバ１に１つずつ対応させて基板上に設け、反射光を出力側光ファイバ２側に反射されるように、適宜設定されるものである。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、複数の入力側光ファイバのそれぞれに対応させて、それぞれの入力側光ファイバから入力される光を反射する回転ミラーを基板上に立設状態で配置し、回転ミラーの光反射側には複数の出力側光ファイバを設けたものであるから、回転ミラーの回転角度を可変することにより、入力側光ファイバから入力された光を、何れかの出力側光ファイバを通して出力させることができ、光路切り替えを自在に行なうことができる。
【００５３】
また、上記光路切り替えに際し、回転ミラーの回転角度によっては、例えば複数の入力側光ファイバから入力される光を１つの出力側光ファイバ側に反射させて入力することもできるので、従来の光スイッチにおいては行われなかった光の多重化を行なうこともできる。
【００５４】
また、複数の入力側光ファイバを並設し、回転ミラーをそれぞれ対応する入力側光ファイバの光軸上に設け、かつ、それぞれの回転ミラーを互いに入力側光ファイバの長手方向に位置をずらして設けた本発明によれば、本発明の光スイッチの設計を容易にできるし、入力側光ファイバと出力側光ファイバの結合効率も良好にできる。
【００５５】
さらに、それぞれの入力側光ファイバの接続端面側とそれぞれの出力側光ファイバの接続端面側の少なくとも一方にコリメートレンズを設けた構成によれば、これらのレンズを介して、入力側光ファイバと出力側光ファイバとの光結合を確実に行なえるようにすることができる。
【００５６】
さらに、それぞれの入力側光ファイバの接続端面側に設けられたコリメートレンズは対応する入力側光ファイバから入力される光を対応する回転ミラー側にほぼ１００％導出することができ、それぞれの出力側光ファイバの接続端面側に設けられたコリメートレンズは回転ミラーによる反射光を対応する出力側光ファイバにほぼ１００％受光させる受光角度を有しているので、これらのレンズを介しての入力側光ファイバと出力側光ファイバとの光結合を非常に良好に行なえる。
【００５７】
さらに、回転ミラーを静電力と電磁力の少なくとも一方の力で回転させる回転手段を設けた構成によれば、静電力や電磁力によって、回転ミラーを、容易に、かつ、正確に回転でき、上記優れた効果を奏することができる。
【００５８】
さらに、基板と回転ミラーをＳｉ等の半導体で作成するのが、この場合高度の発達した半導体加工技術を利用するため、非常に小型で正確な光スイッチを構成することができる。
【００５９】
さらに、入力側光ファイバの本数と出力側光ファイバの本数を互いに異なる本数とした構成によれば、例えば出力側光ファイバの本数を多くすることにより支障移転時に対応しやすい光スイッチを構成したり、入力側光ファイバの本数を多くすることにより、波長多重化に都合のよい光スイッチモジュールを構成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光スイッチの一実施形態例を示す要部構成図である。
【図２】本発明における基板形状とミラー配置の種々の態様を示す図である。
【図３】上記実施形態例に適用される回転ミラーを回転する静電モータの概要を示す図である。
【図４】上記静電モータの回転機構を説明する図である。
【図５】従来のＭＥＭＳ技術を用いた光スイッチの１例を示す説明図である。
【符号の説明】
１入力側光ファイバ
２出力側光ファイバ
３半導体基板
４回転ミラー
５ステータ
７ロータ
８突起部
９コリメートレンズ
１０コリメートレンズ
２５，２８基板の端面

Claims

下記の構造を備えたことを特徴とする光スイッチモジュール。
（ａ）平板状基板のＸ軸方向の端部にはＮ本の入力側光ファイバが列状に配列され、（ｂ）前記入力光ファイバの光軸上に入力光ファイバの本数と同数の回転可能なミラーが基板上に前記他の各ミラーの光路を遮らないように列状に立設され、（ｃ）前記基板のＹ軸方向端部には出力側のＭ本の光ファイバが列状に配列され、（ｄ）前記入力光ファイバから入力された光信号を任意の前記出力側光ファイバへ反射するように前記ミラーを回転する駆動機構を備えている。
前記基板のＸ軸とＹ軸が直交していることを特徴とする請求項１記載の光スイッチモジュール。
前記ミラーの列は前記Ｘ軸またはＹ軸に対して３０〜６０度傾斜していることを特徴とする請求項１又は２記載の光スイッチモジュール。
前記入力側の光ファイバの本数Ｎと前記出力側の光ファイバの本数Ｍとが同数又は異なることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の光スイッチモジュール。
前記入力側の光ファイバの本数Ｎと前記出力側の光ファイバの本数Ｍは、それぞれ２から１０の何れかの整数であることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の光スイッチモジュール。
前記入力側光ファイバ、又は出力側光ファイバの端部にはコリメートレンズを備えていることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の光スイッチモジュール。
前記入力側光ファイバ、又は出力側光ファイバの端部にはコリメート作用があるマルチモードファイバを備えていることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の光スイッチモジュール。
前記ミラーを回転する駆動機構は、静電モータであることを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載の光スイッチモジュール。
前記平板状の基板は平行四辺形を含む四角形の半導体基板であることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の光スイッチモジュール。