CN115202032A - 静电mems微镜 - Google Patents

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Abstract

本申请提供了一种静电MEMS微镜，可以应用在手机、麦克风、摄像头、雷达、光开光等器件上，包括：支撑梁、微镜和驱动组件；驱动组件包括梳齿框、以及位于梳齿框内的驱动梳齿；支撑梁和微镜通过梳齿框相连，梳齿框中与微镜连接的两条边框分别位于支撑梁的延伸线确定的旋转轴的两侧；驱动梳齿包括至少一对梳齿对，梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，动梳齿结构包括多个动梳齿，动梳齿的一端固定在梳齿框上，静梳齿结构用于与动梳齿结构产生静电力，其中，动梳齿的固定端到旋转轴的距离大于动梳齿的另一端到旋转轴的距离。该结构能够进一步提高静电MEMS微镜的转角范围和稳定性。

Description

静电MEMS微镜
技术领域
本申请涉及微机电技术领域，尤其涉及一种静电MEMS微镜。
背景技术
微机电系统(micro electro-mechanical system，MEMS)技术是一种基于微电子技术将电子、机械和光学等功能模块集成为微米级系统的技术。MEMS技术将机械构件、光学系统、驱动部件和电控系统集成为一个整体单元，不仅能够实现采集、处理与发送信息或指令，还能够实现按照信息采取行动。与传统机械系统相比，采用MEMS技术的系统具有微型化、集成化、低能耗、低成本、高精度、长寿命，以及动态性好等优势。
现代光通信产业中的一项重要技术是在多个信道之间实现光互通，而转动式MEMS器件正是实现这一技术的关键器件之一。如图1所示，在驱动电压的作用下，MEMS驱动器带动反光面绕着转轴发生转动，从而可以精确地将入射光反射到不同的端口。
静电MEMS微镜是转动式微机电系统产品中的一种，其采用静电驱动的方式。所谓静电驱动技术，就是利用电荷间的库仑力作为驱动力进行驱动的技术。通过静电作用使可以活动的微镜面转动，从而改变光路。静电MEMS微镜的转角范围与稳定性直接决定了该器件的性能。扩大转角范围意味着反射光可以进入更多的端口，实现多端口光切换。此外，静电MEMS微镜的稳定性会受到诸如残余应力、温度变化、外界冲击等因素的干扰，比如残余应力会使器件发生屈曲，外界冲击会导致器件的断裂失效。
因此，如何提高静电MEMS微镜的性能是目前亟待解决的技术问题。
发明内容
本申请提供一种静电MEMS微镜，能够提高静电MEMS微镜的转角范围和稳定性。
第一方面，提供了一种静电MEMS微镜，包括：支撑梁、微镜和驱动组件；所述驱动组件包括梳齿框、以及位于所述梳齿框内的驱动梳齿；所述支撑梁和所述微镜通过所述梳齿框相连，所述梳齿框中与所述微镜连接的两条边框分别位于所述支撑梁的延伸线确定的旋转轴的两侧；所述驱动梳齿包括至少一对梳齿对，所述梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，所述动梳齿结构包括多个动梳齿，所述动梳齿的一端固定在所述梳齿框上，所述静梳齿结构用于与所述动梳齿结构产生静电力，其中，所述动梳齿的固定端到所述旋转轴的距离大于所述动梳齿的另一端到所述旋转轴的距离。
本申请实施例中，静电MEMS微镜的梳齿框位于旋转轴两侧，通过多个点与微镜接触并支撑微镜，该设计增大了静电MEMS微镜的惯性矩，从而提高了器件的稳定性。另外，动梳齿的一端固定在梳齿框上，由于旋转轴附近无梳齿框，因此可以把动梳齿的自由端延伸至旋转轴附近来增加动梳齿的长度，从而能够有效提高该器件的驱动力，进而提高转角范围。
结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述梳齿框关于所述旋转轴对称。
本申请实施例中，梳齿框关于所述旋转轴对称的情况下，该器件的驱动力和稳定性最佳。
结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述动梳齿在所述梳齿框上的固定点与所述旋转轴之间的垂直距离L0的范围满足如下关系：0.7T1/sinθ≤L0≤1.1T1/sinθ，其中，θ为所述微镜的最大转角，T1为所述动梳齿的厚度。
结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述静电MEMS微镜还包括至少一个加强杆，所述至少一个加强杆的两端均固定于所述梳齿框上。
本申请实施例在静电MEMS微镜中引入加强杆，可以将两侧的梳齿框机械连接并加固，能够抑制高阶模态的干扰，进一步提高器件的稳定性。
结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述加强杆的宽度为所述动梳齿宽度的2倍。
结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述静梳齿结构包括多个静梳齿，所述静电MEMS微镜还包括：位于所述动梳齿的开口面向所述静梳齿的凹槽；和/或位于所述静梳齿的开口面向所述动梳齿的凹槽。
结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述凹槽为矩形槽，所述凹槽的形心与所述旋转轴之间的垂直距离为d＝h/sinα，其中，所述α为所述动梳齿绕所述旋转轴的旋转角度，所述h为所述凹槽的厚度，α＞0，0＜T/2≤h≤T，T为所述凹槽所在的梳齿的厚度。
本申请实施例中，通过在静电MEMS微镜的梳齿对上刻蚀出凹槽，使得动梳齿和静梳齿在垂直方向上的间距变大，从而可以增强动梳齿旋转至特定转角下的驱动力。
结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述凹槽的形状为台阶状。
结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，所述静电MEMS微镜还包括：第一驱动组件，所述第一驱动组件位于所述支撑梁和所述驱动组件之间，或者，所述第一驱动组件位于所述驱动组件和所述微镜之间；所述第一驱动组件包括梳齿杆和驱动梳齿，所述梳齿杆位于所述旋转轴上；所述驱动梳齿包括至少一对梳齿对，所述梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，所述动梳齿结构包括多个动梳齿，所述动梳齿的一端固定在所述梳齿杆上，其中，所述动梳齿的固定端到所述旋转轴的距离小于所述动梳齿的另一端到所述旋转轴的距离。
本申请实施例中的静电MEMS微镜可以削弱垂直梳齿对在y方向(与旋转轴垂直的方向)上的吸引力，从而提高吸合电压，增强微镜的稳定性。
第二方面，提供了一种微镜阵列，所述微镜阵列包括多个以阵列方式排列的如第一方面以及第一方面任意实现方式中所述的静电MEMS微镜。
第三方面，提供了一种光开关，所述光开关包括输入端口阵列、输出端口阵列和至少一个如第二方面所述的微镜阵列，所述输入端口阵列用于接收光信号，所述光信号经所述至少一个微镜阵列反射后，经所述输出端口阵列输出。
第四方面，提供了一种光学器件，所述光学器件包括控制器，以及如第一方面以及第一方面任意实现方式中所述的静电MEMS微镜或如第二方面所述的微镜阵列。
第五方面，提供了一种终端设备，所述终端设备包括控制器，以及如第一方面以及第一方面任意实现方式中所述的静电MEMS微镜或如第二方面所述的微镜阵列。
附图说明
图1是转动式MEMS器件实现光信道切换的示意图。
图2是现有的一种静电MEMS微镜的立体图。
图3是本申请提供的一种静电MEMS微镜的立体图。
图4是本申请提供的一种静电MEMS微镜的俯视图。
图5是本申请提供的一种半反式静电MEMS微镜的立体图。
图6是本申请提供半反式静电MEMS微镜在y方向上的受力示意图。
图7是本申请提供的一种静电MEMS微镜阵列的立体图。
图8是本申请提供的一种垂直梳齿对的立体图。
图9是本申请提供的另一种垂直梳齿对的立体图。
图10是图8中A处的左视图。
图11是三级驱动垂直梳齿对在特定角度进行驱动的原理示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行描述。
参见图2，图2是现有的一种静电MEMS微镜的立体图。
该静电MEMS微镜包括支撑梁、微镜、驱动组件。驱动组件位于支撑梁和微镜之间，在微镜左右两侧分别设置有相同的驱动组件，该驱动组件一般为常规的垂直梳齿驱动。该驱动组件包括梳齿杆和驱动梳齿，梳齿杆位于该静电MEMS微镜的旋转轴上；驱动梳齿包括至少一对梳齿对在垂直方向上相互错开的梳齿对，梳齿对包括静梳齿结构和动梳齿结构，梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，动梳齿结构包括多个动梳齿，动梳齿的一端固定在梳齿杆上，梳齿的形貌通常设计为简单的矩形或梯形。该静电MEMS微镜采用静电驱动的方式，所谓静电驱动技术，就是利用电荷间的库仑力作为驱动力进行驱动的技术，即同性相斥，异性相吸，当两组梳齿对的电场变化时，梳齿之间的电场发生变化产生静电力驱动微镜扭转。
参见图3，图3是本申请提供的一种静电MEMS微镜的立体图。该静电MEMS微镜包括：支撑梁、微镜、驱动组件，其中，驱动组件包括梳齿框、以及设置于梳齿框内的驱动梳齿，支撑梁和微镜通过梳齿框相连，梳齿框中与微镜连接的两条边框分别位于支撑梁的延伸线确定的旋转轴的两侧。
可选的，如图3所示，在一种具体的实现方式中，在微镜的左右两侧均设置有一个驱动组件，其中，每侧梳齿框中与微镜连接的两条边框关于旋转轴对称。
驱动梳齿包括至少一对梳齿对，梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，动梳齿结构包括多个动梳齿，动梳齿的一端固定在梳齿框上，静梳齿结构用于与动梳齿结构产生静电力，来驱动微镜随梳齿框绕旋转轴发生平动或转动，其中，动梳齿的固定端到旋转轴的距离大于动梳齿的另一端到旋转轴的距离。
应理解，这里的梳齿对可以为平行梳齿对，也可以为垂直梳齿对，本申请对此不作具体限定。
可选的，动梳齿和静梳齿可以是常规的矩形或梯形。
可选的，本申请对微镜的形状不做限制，例如：微镜镜面可以为圆形、矩形、椭圆形等。
在一种实现方式中，该静电MEMS微镜还可以包括至少一个加强杆，加强杆的两端均固定于梳齿框上，连接上下两侧的梳齿框。一般情况下，加强杆的方向与旋转轴垂直，加强杆的宽度大于2倍的梳齿宽度或支撑梁宽度。
为统一描述，本申请中某一部件的宽度是指该部件在x方向上的距离，本申请中某一部件的长度是指该部件在y方向上的距离，本申请中某一部件的厚度是指该部件在z方向上的距离。
还应理解，这里的垂直只是为了便于说明加强杆的位置，实际生产中由于制造工艺或制造精度可能会产生一些偏差，并不表示加强杆一定要完全垂直于旋转轴。
由上可以看出，本申请提出的新型静电MEMS微镜的梳齿框的边框位于旋转轴两侧，通过多个点与微镜接触并支撑微镜，该静电MEMS微镜在本申请中也可以称之为反式静电MEMS微镜。该反式MEMS微镜结构除了能够提高器件的稳定性，还可以增加器件的转角范围。此外，这种反式设计中引入了加强杆，将两侧的梳齿框机械连接并加固，能够抑制高阶模态的干扰，进一步提高器件的稳定性。
下面结合图4具体说明该反式MEMS微镜结构能够提高微镜转角范围和稳定性的原因以及如何调整微镜的最大转角。
参见图4，图4是本申请提供的一种静电MEMS微镜的俯视图。应理解，图3和图4中为同一静电MEMS微镜不同角度的示意图。如图4所示，动梳齿的长度为L1，动梳齿在梳齿框上的悬挂点与旋转轴之间的垂直距离为L0，与微镜连接的任意一条梳齿框在y方向上的中心位置与旋转轴之间的垂直距离为Lf。
(1)L1与驱动组件的驱动能力成正比。该反式设计由于旋转轴附近无梳齿框，故该部分空间可以被利用起来。具体的，静梳齿可以沿y方向无限靠近旋转轴，从而可以把动梳齿的自由端延伸至旋转轴附近来增加动梳齿的长度L1，这样能够有效提高微镜的驱动力，进而提高转角范围。
(2)Lf与该微镜器件的惯性矩成正比。惯性矩是一个几何量，通常被用作描述截面抵抗弯曲的性质。惯性矩越大，器件的稳定性越高。可以看出，图2中梳齿框在y方向上的中心位置与旋转轴之间的垂直距离为Lp，Lf的长度明显大于Lp，因此本申请中的该反式设计增大了静电MEMS微镜的惯性矩，从而提高了器件的稳定性。
(3)L0可以根据该微镜器件所需的最大转角θ进行调整，L0的范围可根据公式(1)确定。其中，T1为动梳齿的厚度，该厚度为动梳齿在z方向上的厚度：
0.7T1/sinθ≤L0≤1.1T1/sinθ (1)
参见图5，图5是本申请提供的一种半反式静电MEMS微镜的立体图。可以看出，该半反式MEMS微镜与图3所示的MEMS微镜的不同之处在于驱动组件部分的构成，该半反式MEMS微镜的驱动组件由图2中的常规驱动组件和图3中的反式驱动组件共同组成。
可选的，如图5所示，常规驱动组件可以位于支撑梁和反式驱动组件之间。
可选的，常规驱动组件也可以位于反式驱动组件和微镜之间。
该半反式设计的优势在于可以削弱垂直梳齿对在y方向上的吸引力，从而提高吸合电压，增强微镜的稳定性。为便于理解，这里结合图6具体说明该半反式MEMS微镜的设计原理。
如图6所示，动梳齿围绕旋转轴进行转动，图2中的常规设计的驱动组件，由于动梳齿位于旋转轴附近，所以静梳齿对动梳齿的静电吸引力总体朝着y轴负方向，大小为Fy2；而图3中的反式设计的驱动组件，由于动梳齿随梳齿框被移至远离旋转轴，所以静梳齿对动梳齿的静电吸引力总体朝着y轴正方向，其大小为Fy1。该实施例中的半反式设计将常规设计与反式设计结合使用，可以平衡动梳齿在y方向受到的外力，从而提高了器件的稳定性。在实际应用中反式设计的驱动组件与常规设计的驱动组件的长度比例A可根据需要进行调节，例如：选取A＝Fy2:Fy1时，动梳齿在y方向受到的外力最小。
参见图7，图7是本申请提供的一种静电MEMS微镜阵列的立体图。该阵列微镜由多个单一的静电MEMS微镜组成，其中，组成静电MEMS微镜阵列中的任意一个静电MEMS微镜可以为本申请提供的反式静电MEMS微镜或者半反式静电MEMS微镜中的任意一种。
以上，详细描述了反式静电MEMS微镜或者半反式静电MEMS微镜的结构，以下，描述本申请实施例提供的一种垂直梳齿对，对图2中的常规设计的驱动组件和图3中的反式设计的驱动组件中的垂直梳齿对的结构进行了优化，优化后的垂直梳齿对可以进一步扩大微镜的转角范围。
参见图8，图8是本申请提供的一种垂直梳齿对的立体图。应理解，图8可以看做是图2中的常规设计的驱动组件的一部分，也可以看做是图3中的反式设计的驱动组件的一部分。为便于描述，本申请中规定位于动梳齿上的凹槽称为第一凹槽，位于静梳齿上的凹槽成为第二凹槽。
该垂直梳齿对包括位于动梳齿的第一凹槽，第一凹槽的开口面向静梳齿；和/或位于静梳齿的第二凹槽，第二凹槽的开口面向动梳齿，其中，第一凹槽和第二凹槽用于增强静梳齿结构与动梳齿结构之间的驱动力。
可选的，如图9所示，第一凹槽和第二凹槽可以为矩形凹槽或台阶状凹槽。应理解，图9只是示意性的给出第一凹槽为台阶状凹槽，第二凹槽为矩形凹槽。
还应理解，图8只是示意性的给出一种即包括第一凹槽，又包括第二凹槽，且第一凹槽和第二凹槽为矩形凹槽的垂直梳齿对。
应理解，本实施例中改进的垂直梳齿可以应用于对任意垂直梳齿驱动器，本申请对此不做限定。
参见图10，图10是图8中A处的左视图。图10中第一凹槽位于动梳齿，第二凹槽位于静梳齿，第一凹槽和第二凹槽均为矩形凹槽。由于静梳齿在y方向上相对于动梳齿更靠近旋转轴，因此图10可以看做是图3中的反式设计的垂直梳齿对的左视图。
如图10所示，动梳齿长度为L1，厚度为T1。第一凹槽的长度l1，厚度为h1，第一凹槽的形心到旋转轴的垂直距离为d1。静梳齿长度为L2，厚度为T2。第二凹槽长度l2，厚度为h2，第二凹槽的形心到旋转轴的垂直距离为d2。
可以理解，本申请提供的垂直梳齿对上由于被刻蚀出凹槽，上下梳齿垂直方向间距变大，所以会在动梳齿旋转大转角的情况下产生驱动力。
下面，结合图11具体说明第一凹槽和第二凹槽能够增强静梳齿结构与动梳齿结构之间的驱动力的原理。
需要说明的是，图10和图11为相同的左视图，图11中动梳齿、静梳齿、第一凹槽以及第二凹槽的具体参数参见图10中的描述，这里不再赘述。如图11所示，动梳齿被第一凹槽分为A1、A2、A3三个区域，静梳齿被第二凹槽分为B1、B2两个区域。
(1)如图11的(a)所示，动梳齿与静梳齿在不加电情况下不在同一平面内。当动梳齿刚开始转动时，A1与B1区域在y方向相距较近，在静梳齿接地、动梳齿接高压的条件下，两者之间由于电压差而产生静电作用力，形成第一级驱动。此时的其他区域由于距离较远，产生的静电作用力很弱，对驱动力贡献可以忽略。
(2)如图11的(b)所示，当动梳齿旋转到角度α1(α1＞0)时，A3与B2区域在y方向产生交叠、静电作用力变强，就形成第二级的驱动力。角度α1由第一凹槽的位置决定，其中d1＝h1/sinα1，一般T1/2≤h1≤T1，视不同器件需求而定，一般的1°≤α1≤8°。该级驱动的驱动能力表现为转动所需的力矩M1，且M1∝d1*l1。
(3)如图11的(c)所示，当动梳齿旋转到角度α2(α2＞0)时，A2与B2区域在y方向开始产生交叠、静电作用力变强，就形成了第三级的驱动力。角度α2由第二凹槽的位置决定，其中d2＝h2/sinα2，一般T2/2≤h2≤T2，视不同器件需求而定，一般的8°≤α2≤15°。该级驱动的驱动能力表现为转动所需的力矩M2，且M2∝d2*l2。
应理解，图10和图11只是示意性的给出了一种三级驱动的垂直梳齿对，对于其他多级驱动的垂直梳齿对，可以通过增加梳齿凹槽的数量来提升其他旋转角度下的驱动力。
本申请提出的多级驱动的垂直梳齿结构，通过在活动梳齿和/或固定梳齿上刻蚀出特定的凹槽，可用于增强特定转角下的驱动力或者用于调节微镜的电压转角关系，凹槽的形心与厚度决定了微镜转角的改善效果。
本申请还提出一种光开关，该光开关包括输入端口阵列、输出端口阵列和至少一个如图7中所示的微镜阵列，其中，输入端口阵列用于接收光信号，光信号经至少一个微镜阵列反射后，经输出端口阵列输出。
本申请还提出一种光学器件，该光学器件包括控制器，以及本申请提供的任意一种静电MEMS微镜或图7中所示的微镜阵列。作为示例，该光学器件可以为波长选择开关(wavelength selective switching，WSS)、光功率检测器(optical power monitor，OPM)、可调光衰减器(variable optical attenuator，VOA)等。还提出一种终端设备，该终端设备包括控制器，以及本申请提供的任意一种静电MEMS微镜或图7中所示的微镜阵列。作为示例，该终端设备可以为手机、摄像头、麦克风、激光雷达等等。
以上对多级驱动垂直梳齿的结构和原理做了详细的说明，由于梳齿的结构做了改进，制作工艺也需要相应进行改进，下面以图10中的三级驱动垂直梳齿为例，对相关的制作工艺流程进行简单说明。
(1)在晶圆(wafer)1正面用甩胶工艺做掩膜，然后刻蚀出第二凹槽。
(2)在wafer1正面通过喷胶工艺做掩膜，然后刻蚀出静梳齿。
(3)在wafer2的背面刻蚀出第一凹槽。
(4)将wafer2与wafer1键合，形成支撑锚点。
(5)从wafer2正面将wafer打磨到指定厚度。
(6)从wafer2正面通过甩胶工艺做掩膜，然后刻蚀出动梳齿。
对于台阶状梳齿槽则需要多次采用喷胶的工艺形成掩膜，对梳齿凹槽进行多次刻蚀。
注意，上述仅为本申请的较佳实施例。本领域技术人员会理解，本申请不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本申请的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本申请进行了较为详细的说明，但是本申请不仅仅限于以上实施例，在不脱离本申请构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本申请的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (12)

1.一种静电MEMS微镜，其特征在于，包括：
支撑梁、微镜和驱动组件；
所述驱动组件包括梳齿框、以及位于所述梳齿框内的驱动梳齿；
所述支撑梁和所述微镜通过所述梳齿框相连，所述梳齿框中与所述微镜连接的两条边框分别位于所述支撑梁的延伸线确定的旋转轴的两侧；
所述驱动梳齿包括至少一对梳齿对，所述梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，所述动梳齿结构包括多个动梳齿，所述动梳齿的一端固定在所述梳齿框上，所述静梳齿结构用于与所述动梳齿结构产生静电力，
其中，所述动梳齿的固定端到所述旋转轴的距离大于所述动梳齿的另一端到所述旋转轴的距离。
2.根据权利要求1所述的静电MEMS微镜，其特征在于，所述梳齿框关于所述旋转轴对称。
3.根据权利要求1或2所述的静电MEMS微镜，其特征在于，所述动梳齿在所述梳齿框上的固定点与所述旋转轴之间的垂直距离L0的范围满足如下关系：
0.7T1/sinθ≤L0≤1.1T1/sinθ，
其中，θ为所述微镜的最大转角，T1为所述动梳齿的厚度。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的静电MEMS微镜，其特征在于，所述静电MEMS微镜还包括至少一个加强杆，所述至少一个加强杆的两端均固定于所述梳齿框上。
5.根据权利要求4所述的静电MEMS微镜，其特征在于，所述加强杆的宽度为所述动梳齿宽度的2倍。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的静电MEMS微镜，其特征在于，所述静梳齿结构包括多个静梳齿，所述静电MEMS微镜还包括：
位于所述动梳齿的开口面向所述静梳齿的凹槽；
和/或
位于所述静梳齿的开口面向所述动梳齿的凹槽。
7.根据权利要求6所述的静电MEMS微镜，其特征在于，所述凹槽为矩形槽，所述凹槽的形心与所述旋转轴之间的垂直距离为d＝h/sinα，其中，所述α为所述动梳齿绕所述旋转轴的旋转角度，所述h为所述凹槽的厚度，α＞0，0＜T/2≤h≤T,T为所述凹槽所在的梳齿的厚度。
8.根据权利要求6所述的静电MEMS微镜，其特征在于，所述凹槽的截面形状为台阶状。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的静电MEMS微镜，其特征在于，还包括：
第一驱动组件，所述第一驱动组件位于所述支撑梁和所述驱动组件之间，或者，所述第一驱动组件位于所述驱动组件和所述微镜之间；
所述第一驱动组件包括梳齿杆和驱动梳齿，所述梳齿杆位于所述旋转轴上；
所述驱动梳齿包括至少一对梳齿对，所述梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，所述动梳齿结构包括多个动梳齿，所述动梳齿的一端固定在所述梳齿杆上，其中，所述动梳齿的固定端到所述旋转轴的距离小于所述动梳齿的另一端到所述旋转轴的距离。
10.一种微镜阵列，其特征在于，所述微镜阵列包括多个以阵列方式排列的如权利要求1至9中任一项所述的静电MEMS微镜。
11.一种光开关，其特征在于，所述光开关包括输入端口阵列、输出端口阵列和至少一个如权利要求10所述的微镜阵列，所述输入端口阵列用于接收光信号，所述光信号经所述至少一个微镜阵列反射后，经所述输出端口阵列输出。
12.一种光学器件，其特征在于，包括控制器，以及如权利要求1-8中任一项所述的静电MEMS微镜或如权利要求10所示的微镜阵列。
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