JP4458895B2 - バイポーラトランジスタ - Google Patents
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Description
図1〜図9は本実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明するための断面図である。
本実施形態においては、単結晶シリコン膜がSi/SiGe膜616上にエピタキシャル成長により成膜された場合の形態について説明する。
本実施形態においては、エミッタ開口部に多結晶シリコン膜を成膜して活性領域を微細化した場合の形態について説明する。
Claims (1)
- 半導体基板上に、コレクタ領域、ベース領域、エミッタ領域が設けられたバイポーラトランジスタの製造方法であって、
該半導体基板上にコレクタ領域を形成する工程と、
前記コレクタ領域上に第一の絶縁層を形成する工程と、
前記第一の絶縁層上に半導体層を形成する工程と、
前記半導体層上に第二の絶縁層を形成する工程と、
前記第二の絶縁層上に導電膜を形成する工程と、
前記導電膜上にペデスタルを形成する工程と、
前記ペデスタルを保護膜として前記半導体層の一部に不純物を注入することで外部ベース領域を形成する工程と、
前記ペデスタルを保護膜として前記導電膜の上部を熱酸化して一部を第三の絶縁層に変化させる工程と、
前記ペデスタルを除去し、除去した箇所の前記導電膜をエッチングにより除去する工程と、
前記第三の絶縁層を保護膜として前記第一の絶縁層の一部をエッチングにより除去して前記半導体層の一部を露出するとともに前記第三の絶縁層を除去する工程と、
前記工程により露出された前記導電膜と、前記半導体層との上にエミッタ電極を形成する工程と、
前記エミッタ電極を熱処理することで、前記半導体層のうち、前記半導体層と前記エミッタ電極との界面近傍をエミッタ領域に変化させる工程と、
を含むバイポーラトランジスタの製造方法。
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