JP4458056B2 - めっき装置 - Google Patents
めっき装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4458056B2 JP4458056B2 JP2006091457A JP2006091457A JP4458056B2 JP 4458056 B2 JP4458056 B2 JP 4458056B2 JP 2006091457 A JP2006091457 A JP 2006091457A JP 2006091457 A JP2006091457 A JP 2006091457A JP 4458056 B2 JP4458056 B2 JP 4458056B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- pod
- cylinder
- space
- cathode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
また、ポッド12は、その構造から、洗浄及び乾燥の効率に優れている。
Claims (6)
- めっき液を貯留するめっき槽と、
被めっき物を収容するめっき用ポッドと、
前記めっき槽内に配されると共に前記めっき用ポッドを内部に配するシリンダと、
前記めっき槽内であって、前記めっき用ポッド外に配されるアノードと、を備えており、
前記めっき用ポッドは、
一方の端部から他方の端部まで伸びる貫通空間が形成された胴体と、
前記胴体の前記両端部のそれぞれに配され、被めっき物の通過を規制する一対の篩部材と、
前記一対の篩部材のうち一方の篩部材に配され、少なくとも一部が前記貫通空間に露出するカソードと、を備えると共に、前記貫通空間が伸びる方向が前記シリンダの長手方向と平行になるように前記シリンダの内部に配されており、
前記貫通空間の、前記貫通空間が伸びる方向に対して垂直な断面での断面積が、前記一方の端部から前記他方の端部に向けて同一である、あるいは単純減少で変化する、あるいはこれらの組み合わせで変化し、
前記めっき用ポッド内のめっき液を前記一対の篩部材の一方の篩部材を介して前記めっき用ポッド外に流出させ、前記めっき用ポッド外のめっき液を前記一対の篩部材の他方の篩部材を介して前記めっき用ポッド内に流入させて、前記めっき用ポッド内に前記他方の篩部材側から前記一方の篩部材側へ向かう液流を発生させることを特徴とするめっき装置。 - 前記貫通空間を画成する前記胴体の内壁には、前記貫通空間が伸びる方向に沿って稜線を形成する突起部が設けられていることを特徴とする請求項1記載のめっき装置。
- 前記貫通空間を画成する前記胴体の内壁には、前記胴体の前記一方の端部から前記他方の端部まで伸びる平面が形成されていることを特徴とする請求項1記載のめっき装置。
- 前記カソードの前記貫通空間に露出する部分の、前記貫通空間が伸びる方向に対して垂直な断面での断面積が、前記カソードが配された前記一方の篩部材から離れるにしたがって単純減少で変化することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記載のめっき装置。
- 前記カソードの前記貫通空間に露出する部分が、凸面形状を有していることを特徴とする請求項4記載のめっき装置。
- めっき液を貯留するめっき槽と、
被めっき物を収容するめっき用ポッドと、
前記めっき槽内に配されると共に前記めっき用ポッドを内部に配するシリンダと、
前記めっき槽内であって、前記めっき用ポッド外に配されるアノードと、を備えており、
前記めっき用ポッドは、
両端部が開口した筒と、
互いに対向するように前記筒の前記両端部にそれぞれ配される一対の篩部材と、
前記一対の篩部材のうち一方の篩部材に配され、少なくとも一部が前記筒の内部空間に露出するカソードと、を備えると共に、前記筒の内部空間が伸びる方向が前記シリンダの長手方向と平行になるように前記シリンダの内部に配されており、
前記筒の内部空間の、前記一対の篩部材の対向方向に対して垂直な断面での断面積が、前記対向方向に沿って同一であり、
前記めっき用ポッド内のめっき液を前記一対の篩部材の一方を介して前記めっき用ポッド外に流出させ、前記めっき用ポッド外のめっき液を前記一対の篩部材の他方を介して前記めっき用ポッド内に流入させて、前記めっき用ポッド内に前記他方の篩部材側から前記一方の篩部材側へ向かう液流を発生させることを特徴とするめっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006091457A JP4458056B2 (ja) | 2005-07-28 | 2006-03-29 | めっき装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005219137 | 2005-07-28 | ||
JP2006091457A JP4458056B2 (ja) | 2005-07-28 | 2006-03-29 | めっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007056360A JP2007056360A (ja) | 2007-03-08 |
JP4458056B2 true JP4458056B2 (ja) | 2010-04-28 |
Family
ID=37920088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006091457A Active JP4458056B2 (ja) | 2005-07-28 | 2006-03-29 | めっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4458056B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008248272A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tdk Corp | めっき装置 |
JP6381248B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2018-08-29 | 中央機械株式会社 | めっき装置、及びめっき方法 |
EP3733934A4 (en) * | 2017-12-26 | 2021-07-14 | Hallmark Technology Co., Ltd. | ELECTRODEPOSITION ASSEMBLY MECHANISM |
-
2006
- 2006-03-29 JP JP2006091457A patent/JP4458056B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007056360A (ja) | 2007-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4458056B2 (ja) | めっき装置 | |
JP4458057B2 (ja) | めっき装置及びめっき方法 | |
US20220186397A1 (en) | Container for multi-phase processing | |
KR20210106361A (ko) | 패들, 해당 패들을 구비한 처리 장치 및 해당 패들의 제조 방법 | |
JP2007527948A6 (ja) | 流れ攪拌器及び/又は複数電極を用いて微小特徴加工物を処理する方法及びシステム | |
JP3930832B2 (ja) | 水槽 | |
JP4843315B2 (ja) | メッキ用バレル | |
US10844507B2 (en) | Cathode system for electrodeposition of metals on microspheres | |
JP4766279B2 (ja) | バレルめっき装置 | |
JP2005272875A (ja) | 電解処理方法及び装置 | |
JP2008202135A (ja) | 中空部材の製造方法及び陽極酸化処理用治具 | |
JP6552485B2 (ja) | めっき装置及び収容槽 | |
JP4196808B2 (ja) | 電子部品の振動メッキ装置 | |
JP7234984B2 (ja) | めっき装置及びめっき方法 | |
JP2005054263A (ja) | メッキ用のバレル | |
JP4433927B2 (ja) | めっき装置 | |
JP2014040633A (ja) | パターン形成装置及びパターン形成方法 | |
JP4198161B2 (ja) | バレルめっき方法 | |
JP2005281820A (ja) | バレルメッキ装置 | |
KR20010080373A (ko) | 전착 코팅을 위해 유용한 개선된 멤브레인 전극 장치 | |
JP7486699B1 (ja) | めっき装置 | |
JP4312801B2 (ja) | 水槽 | |
JP2017200687A (ja) | 撹拌装置および撹拌方法 | |
JP4410013B2 (ja) | バレルメッキ装置 | |
JP2005290452A (ja) | クロムめっき用バレル装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100119 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4458056 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140219 Year of fee payment: 4 |