JP4457010B2 - ヨーレートセンサ - Google Patents
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Description
既にドイツ連邦共和国特許出願公開第19945859号明細書からヨーレートセンサが公知であり、ここではヨーレートセンサの動作周波数が比較的小さくなっている。
表面マイクロマシニング式に製作された回転振動体を備えた、先行技術によるヨーレートセンサでは、回転振動体もしくははずみ質量体は、機械的に、X字形に設けられたばねを介して中央部分で基板と点状に結合されている。この場合X字形に設けられたばねおよび回転振動体の質量に起因して、動作周波数が設定される。先行技術によるヨーレートセンサに対して動作周波数を増加するために、X字形に設けられたばねのばねアームを拡幅するか、またはX字形に設けられたばねアームを短縮する必要がある。もちろんこれらの両方の構成手段の組み合わせも考えられる。しかしながらこのような構成手段では、一方では振幅が減少し、また他方ではばね材料の伸度が増加する恐れがある、という問題が生じる。振幅の減少は、センサ感度の低下をもたらし、これは不都合である。X字形に設けられたばね材料の伸度の増加によって、ばね材料は破壊する恐れがある。さらに不変の振幅でばね長さが短縮される場合、変位に関するばね剛性の非線形性が増加する。非線形性は、安定したセンサ運転のためにできるだけ小さく維持するのが望ましい。なぜならばそうでないと非線形的な破壊リスクが生じる(2つの安定した作動点)からである。本発明の独立請求項の特徴部に記載した構成を有するヨーレートセンサは、先行技術に対して、先行技術による、振動周波数を増加する構成手段によって生じる欠点が生じない、という利点を有している。先行技術に対して、本発明によるヨーレートセンサの撓みばね装置は、所定の変位で、緊締箇所において著しく小さな最大伸度を有している。さらに最大伸度は、緊締箇所における半径の大きさによって選択することができる。比較的大きな半径とは、緊締箇所の小さな伸度を意味している。
次に本発明の実施例を図示し、詳しく説明する。
Claims (9)
- マイクロマシニング式のヨーレートセンサであって、
基板(100)が設けられており、該基板(100)が、基板(100)上に設けられた固定装置(200)を備えており、はずみ質量体(10)が設けられており、該はずみ質量体(10)が、はずみ質量体(10)と結合された撓みばね装置(301,302,303,304,305,306,307,308)を介して、固定装置(200)と結合されており、はずみ質量体(10)が、基板表面に対して垂直方向に位置する回転軸(Z)を中心に、弾性的に静止位置から変位可能でかつ、かつ回動振動するようになっている形式のものにおいて、
撓みばね装置(301,302,303,304,305,306,307,308)が、はずみ質量体(10)から回転振動の中心部(400)に向かって真っ直ぐに延びる部分を有し、固定装置(200)との固定領域で屈曲部(331)を有し、かつはずみ質量体(10)との結合部で折り曲げられた部分を有していることを特徴とする、ヨーレートセンサ。 - 撓みばね装置(301,302,303,304,305,306,307,308)の固定領域が、回転振動の中心部(400)の外側に設けられている、請求項1記載のヨーレートセンサ。
- 2つの撓みばね装置(301,302,303,304,305,306,307,308)が、最大の延伸方向に沿って、鏡像的に相並んで設けられていて、かつ協働して撓みばね(360,361,362,363)を形成している、請求項1または2記載のヨーレートセンサ。
- 2つの撓みばね(360,361,362,363)が、V字形に配置されており、撓みばねのばね脚部が、はずみ質量体(10)に向かって開放角(370)を成して拡開されている、請求項1から3までのいずれか1項記載のヨーレートセンサ。
- 全体で4つの撓みばね(360,361,362,363)が、実質的にX字形を成すように配置されている、請求項1から4までのいずれか1項記載のヨーレートセンサ。
- 基板表面に対して垂直に位置する回転軸(Z)を中心とする固有振動数が、基板表面に対して平行に位置する回転軸(X,Y)を中心とする固有振動数よりも小さくなるように、開放角(370)が選択されている、請求項1から5までのいずれか1項記載のヨーレートセンサ。
- 当該ヨーレートセンサが、シリコン−表面マイクロマシン技術または別のマイクロマシン技術によって製作されている、請求項1から6までのいずれか1項記載のヨーレートセンサ。
- 固定装置(200)が、基板(100)と不動に結合されているか、または固定装置(200)が、基板(100)に対して可動に配置されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のヨーレートセンサ。
- X字形を成す撓みばね(360,361,362,363)に対して追加的に、単数または複数の支持ばね(390,310)が設けられている、請求項1から8までのいずれか1項記載のヨーレートセンサ。
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