JP4455035B2 - 位置特定方法 - Google Patents
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Description
一方、回路パターンの微細化に伴い、電子回路パターンの形成されているレチクルとウエハをより高精度にアライメントすることも同時に要求されている。アライメントの要求精度は回路パターンの1/3以下と言われており、例えば1ギガビットDRAMの回路パターンのルールを0.18μmとすると、オーバーレイ精度は60nm以下の値が必要とされる。ここでオーバーレイとは露光領域全体のアライメントを意味するものとする。
図1〜図3を用いて本発明の実施の形態1に係る位置特定方法について説明する。この位置特定方法は、上述の露光装置1に適用可能である。露光装置1においてウエハ12の露光を行う際に、本実施の形態1に係る位置特定方法を用いてアライメントマークの位置特定を行うと、ウエハ12やレチクル10の高精度な位置決めが実現できる。
アライメント信号波形101は、図1(b)に示すようにマークエレメント31の凹形状に対応して検出信号強度が上下する波形形状を呈している。さらに、様々なノイズ成分が重畳され、アライメント信号波形101は複数のスロープ部を有する波形形状となっている。ここでスロープ部とは、信号波形が右上がりに(すなわち正の傾きで)傾斜している部分や右下がりに(すなわち負の傾きで)傾斜している部分のそれぞれを指し、隣接する極値間を単位とする。より具体的には、アライメント信号波形101が呈する複数の極大値又は極小値のうち、極小値から図中右方向に隣接する極大値までを正の傾きを有するスロープ部とし、極大値から図中右方向に隣接する極小値までを負の傾きを有するスロープ部とする。
アライメント信号波形101を複数のスロープ部に分割して図1(b)に示すようにそれぞれスロープ部106〜スロープ部113とし、一次微分信号波形102の各ピーク波形部分を図1(c)に示すようにそれぞれピーク波形114〜ピーク波形121とする。
以上の演算処理を、他のスロープ部107〜113についても同様に行う。これらの演算処理は、マーク位置特定部43によって行われるが、演算処理装置としてのCPU44で行ってもよい。
に示すようなアライメント信号があるとする。図13(a)は波形の一部にノイズが含まれたアライメント信号波形であり、図13(b)は、図13(a)のアライメント信号波形の微分値である。このアライメント信号に対して、位置検出を行なうための最適スロープ位置を決定する方法に、従来知られているような微分値の極値の絶対値の大きさを評価基準として選ぶ方法がある(例えば特開平09−148233号公報に開示がある)。この方法だと、図13(a)のようにノイズが含まれた信号の場合、そのノイズ部分に対する微分値の極値の絶対値(図13(b)参照)が、本来利用されるはずのスロープ位置の微分値の極値の絶対値に対して大きい値になる場合があり、ノイズ部分を最適スロープ位置と判断してしまう。本実施形態では、このような急峻なピークを持つノイズが含まれるアライメント信号でも、ノイズピークを誤検出することなく、アライメントマークの中心位置を決定することが可能である。
次に、本発明の実施の形態2に係る位置特定方法について説明する。
12:ウエハ
15:アライメント検出光学系
16:アライメント信号処理部
17:中央処理装置
18:光源
23,24:光電変換素子
30:アライメントマーク
31〜34:マークエレメント
43:マーク位置特定部
44:CPU
101,130:アライメント信号波形(検出信号の信号波形)
102,131:一次微分信号波形
106〜113:スロープ部
114〜121,132〜139:ピーク波形
C:概略中心位置
M1:中心位置
s1,s2:基準積分値
Claims (1)
- 基板に形成されたマークの位置を特定する位置特定方法であって、
前記マークに光を照射し、その反射光を光学的に検出する検出ステップと、
該検出された検出信号の信号波形を、隣接する極値間を単位とする複数のスロープ部に分割する分割ステップと、
該複数のスロープ部の長さと傾斜とを演算する演算ステップと、
該演算された長さと傾斜とに基づいて前記複数のスロープ部のうちから、該演算された長さ及び傾斜量が略一致し、かつ、傾斜の向きが逆の少なくとも1対のスロープ部を選択する選択ステップとを有し、
選択された前記スロープ部を前記マークのエッジであると判断することを特徴とする位置特定方法。
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