JP4454523B2 - 電磁波発生素子 - Google Patents
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Description
図1に、本発明の実施形態1における光導波路の構成を示す。閃亜鉛鉱構造(またはウルツ鉱構造)のIII−V族あるいはII−VI族化合物半導体のウェハー9、10を、結晶的に等価な軸方向が互いに反平行になるように半導体直接接合技術で接合する。反平行とは、軸の向きが逆で、軸が平行である状態を指す。この接合されたウェハーを基板上に張り付ける。
図2に、本発明の実施形態2における光導波路の構成を示す。光導波路の形状は、ウェハー9と10との間を周期的に行き来する形状とする。閃亜鉛鉱構造(またはウルツ鉱構造)のIII−V族あるいはII−VI族化合物半導体のウェハー9、10を、結晶的に等価な軸方向が互いに反平行になるように半導体直接接合技術で接合する。この接合されたウェハーを基板上に張り付ける。
図3に、本発明の実施形態3における電磁波発生装置の構成を示す。本発明の一実施形態として、電磁波発生装置に電磁波発生素子を適用することができる。電磁波発生装置は、レーザ発生装置1、波長可変器2、電磁波発生素子3、ビームスプリッタ4、ミラー5から構成される。レーザ発生装置1としては、QスイッチYAGレーザなどを用いることができる。波長可変器2としては、光パラメトリック発振器などを利用することができる。
図4に、本発明の実施形態4における電磁波発生装置の構成を示す。実施形態2は、ビームスプリッタで分離した2本の光路上に、それぞれ波長可変器2を備えた構成をとる。この構成によれば、レーザ発生装置1から出射される光の波長が所望の値からずれる場合にも、2台の波長可変器2を用いることによって波長をそれぞれ調整することができる。
図5に、本発明の実施形態5における電磁波発生装置の構成を示す。2つのレーザ発生装置1とカプラ7の入力端と、およびカプラ7の出力端と電磁波発生素子3とがそれぞれ光ファイバ8によって結合されている。この構成によれば、レーザ発生装置1を2台備えるため、波長可変器2は省略することができる。但し、この構成における波長可変性は、レーザ発生装置1の可変域で決まるため、前2者と比べ、その波長可変性は小さくなる。
2 波長可変器
3 電磁波発生素子
4 ビームスプリッタ
5 ミラー
6 光路
7 カプラ
8 光ファイバ
9 半導体ウェハー
10 方位反転した半導体ウェハー
12 ダイシング装置
13 基板
14 基板
15 周期方位反転構造
a 方位反転周期
f 屈曲部分
Claims (12)
- 基板上に、閃亜鉛鉱構造のIII−V族およびII−VI族のどちらか一方の化合物半導体からなる光導波路を備え、前記光導波路は、[111]軸方向および結晶的に等価な軸方向のどちらか一方が互いに反平行になるように、複数の化合物半導体ウェハーを{110}面を積層面として接合し、一方のウェハーに起点を持つ光導波路が他方のウェハーを通過し、また元のウェハーを通過することを周期的に繰り返す形状であり、前記ウェハーの接合面との対向する面には反射部が形成されていることを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項1または2に記載の電磁波発生素子であって、前記光導波路は、光導波路のウェハー端面の垂線に対する角度を全反射角よりも大きくなるように設定することを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項1または2に記載の電磁波発生素子であって、前記光導波路は、屈曲部分に誘電体多層膜ミラーおよび金属ミラーのどちらか一方を備えたことを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項1に記載の電磁波発生素子であって、前記III−V族化合物半導体は、GaAs、GaPおよびInPのいずれか一物質であることを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項1に記載の電磁波発生素子であって、前記III−V族化合物半導体は、Inx1Alx2Ga1−x1−x2Ny1Asy2P1−y1−y2(0<=x1,x2,y1,y2<=1,0<=1−x1−x2<=1,0<=1−y1−y2<=1)あることを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項1に記載の電磁波発生素子であって、前記II−VI族化合物半導体は、ZnSeおよびCdTeのどちらか一方であることを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項1に記載の電磁波発生素子であって、前記II−VI族化合物半導体は、Znx1Cdx2Hg1−x1−x2Sy1Sey2Te1−y1−y2(0<=x1,x2,y1,y2<=1,0<=1−x1−x2<=1,0<=1−y1−y2<=1)であることを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項2に記載の電磁波発生素子であって、前記III−V族化合物半導体は、GaNであることを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項2に記載の電磁波発生素子であって、前記III−V族化合物半導体は、Inx1Alx2Ga1−x1−x2Ny1Asy2P1−y1−y2(0<=x1,x2,y1,y2<=1,0<=1−x1−x2<=1,0<=1−y1−y2<=1)であることを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項2に記載の電磁波発生素子であって、前記II−VI族化合物半導体は、ZnSであることを特徴とする電磁波発生素子。
- 請求項2に記載の電磁波発生素子であって、前記II−VI族化合物半導体は、Znx1Cdx2Hg1−x1−x2Sy1Sey2Te1−y1−y2(0<=x1,x2,y1,y2<=1,0<=1−x1−x2<=1,0<=1−y1−y2<=1)であることを特徴とする電磁波発生素子。
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