JP4449514B2 - 試料の切削方法及び試料の切削装置 - Google Patents
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Description
(1)先ず、試料ステージ14に表面が平坦な固体試料Sを取り付ける。
(2)次いで、試料ステージ14のX軸−Y軸−Z軸移動機構を利用して、切削バイト22の刃先が試料Sの表面に接触する状態とする。
(3)次いで、バイト保持アーム18を試料S表面に対しY軸周りに移動させることで切削バイト22を一旦退避させ(浮かせ)た後に、試料ステージ14をY軸周りに傾斜させて、試料S表面を切削方向(Y軸方向)に対して直交する方向(X軸方向)に沿って所定の角度(傾斜角α)傾ける。
(4)しかる後には、バイト保持アーム18を再びY軸周りに移動させることで切削バイト22を試料S表面に接触させる。この際には、切削バイト22を介して試料S表面へ向けて上方から一定荷重(バイト荷重)が付与される状態にバイト保持アーム18をセットする。
(5)なお、切削深さが浅い場合は、切削バイト22の刃先を切削開始位置に戻し、上記切削を繰り返し、所定の深さに達したところで切削を完了する。
(6)また、同一の個体試料S表面で切削部位を換えたい場合は、試料ステージ14をX軸−Y軸移動機構によって場所を換え、(4)〜(5)を繰り返す。
14 試料ステージ
18 バイト保持アーム
20 プレート(バイト駆動部)
22 切削バイト
28 レール(バイト駆動部)
S 試料
K 傾斜切削面
Claims (6)
- 傾斜切削面に基づいて試料の深さ方向に分析するための試料の切削方法において、
刃先が切削方向に対して90°以下のセット角βに設定された切削バイトによって、試料表面から内部へ切り込みながら同時に切削を行い、前記切削方向と直交する方向に沿って前記試料表面から試料内部へ20°以下の傾斜角αで傾斜した傾斜切削面を形成する、
ことを特徴とする試料の切削方法。 - 前記切削バイトの刃先の逃げ角γを、1°〜75°に設定した、ことを特徴とする請求項1記載の試料の切削方法。
- 前記切削バイトの刃先角δを、15°〜89°に設定した、ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の試料の切削方法。
- 前記切削バイトの材質をダイヤモンド単結晶とした、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の試料の切削方法。
- 前記切削する際に、前記試料面を冷却しながら切削する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の試料の切削方法。
- 傾斜切削面に基づいて試料の深さ方向に分析するための試料の切削装置において、
試料を保持し、保持した試料をX軸−Y軸−Z軸の三次元方向に沿って移動可能でかつY軸周りの正逆二方向へ傾斜可能な試料ステージと、
前記試料の表面を切削可能な切削バイトと、
前記切削バイトを保持し、前記切削バイトの保持角度を前記試料面に対しY軸周りの正逆二方向及びZ軸周りの正逆二方向に沿って調整可能で、かつ保持した前記切削バイトを介して前記試料面へ向けて上方から一定荷重を付与できるバイト保持アームと、
前記バイト保持アームを保持し、前記試料面の少なくともY軸方向に沿って移動させるバイト駆動部と、
を備え、
前記切削バイトの刃先がY軸方向に沿った切削方向に対して90°以下のセット角βとなるように前記バイト保持アームがZ軸周りに調整されると共に、前記Y軸と直交する方向に沿って前記切削バイトの刃先と前記試料表面との成す角が20°以下の所定の角度αとなるように前記試料ステージ及び前記バイト保持アームの少なくとも一方がそれぞれのY軸周りに調整された状態で、
バイト保持アームによって前記切削バイトを介して前記試料表面に前記一定荷重を付与しつつ、前記バイト駆動部によって前記Y軸方向に沿った切削方向に移動させることで、
該切削方向と直交する方向に沿って前記試料表面から試料内部へ20°以下の傾斜角αで傾斜した傾斜切削面を形成するように構成されている試料の切削装置。
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