JP4448831B2 - 粒子分析装置 - Google Patents
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Description
1a チャンバ
1b 細孔
1c 電極
1d 電極
1e 直流定電流電源
1f 高周波定電流電源
1g 増幅器
1h 増幅器
1i A/D変換器
1j A/D変換器
2 処理部
2a 分布図作成部
2b 領域記憶部
2c 制御部
3 出力部
4 入力部
Claims (3)
- 粒子の特徴を表わすパラメータを検出するための検出部と、検出されたパラメータを処理する処理部と、処理部による処理結果を出力する出力部と、処理部へ処理条件を指令する入力部を備え、処理部は、検出部によって検出されたパラメータに基づいて粒子の分類を行い、分類された粒子が表示された2次元スキャッタグラムを作成する分布図作成部と、予め所定の参照用パターン図を格納した領域記憶部と、分類された粒子が表示された2次元スキャッタグラムに前記参照パターン図を加えて出力部に出力させるための制御部を備え、制御部は入力部からの指令により、参照用パターン図なしで前記2次元スキャッタグラムを出力させる参照用パターン図不付加モードと、参照用パターン図付きで前記2次元スキャッタグラムを出力させる参照用パターン図付加モードと、を選択可能である粒子分析装置。
- 前記領域記憶部が複数種類の参照用パターン図を格納するとき、前記制御部は入力部から指令された参照用パターン図を選択して出力部に出力させる機能を備えた請求項1記載の粒子分析装置。
- 前記制御部は入力部から指令されたサイズに前記2次元スキャッタグラムおよび参照用パターン図を拡大又は縮小して出力部に出力させる機能を備えた請求項1または請求項2記載の粒子分析装置。
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