JP4446912B2 - 測定装置、移動体および信号処理回路 - Google Patents

測定装置、移動体および信号処理回路 Download PDF

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Description

本発明は、レーザ光を目標領域に照射して物体との間の物理量を測定する測定装置、それを搭載した移動体および前記測定装置に内蔵される信号処理回路に関する。
近年、走行時の安全性を高めるために、走行方向前方にある物体と間の距離や相対速度、相対加速度等を測定し、その測定結果に基づいて走行状態を監視あるいは制御する装置が家庭用乗用車等に搭載されている。ここで、物体との距離や相対速度、相対加速度等の物理量は、走行方向前方にレーザ光を照射し、その反射光を光検出器にて受光することにより測定される。
すなわち、かかる測定装置においては、レーザ光を照射したタイミングからその反射光を受光するまでの時間差に光速を乗じることにより、そのタイミングにおける物体までの距離Lが求められる。また、あるタイミングtn−1、tnにおいて検出された距離Ln-1、Lnから、Vn=(Ln−Ln-1)/(tn−tn-1)を演算してタイミングtnにおける物体との間の相対速度Vnが求められる。さらに、あるタイミングtm-1、tmにおいて検出された相対速度Vm-1、Vmから、Am=(Vm−Vm-1)/(tm−tm-1)を演算してタイミングtmにおける物体との間の相対加速度Amが求められる。
かかる測定は、通常、単一のパルスレーザ光を目標領域に照射して行われる。この場合、一つのパルスレーザ光を照射してから次のパルスレーザ光を照射するまでの間は、距離や相対速度、相対加速度等の測定を行うことができない。ところが、車両走行時には前方にある物体の状態が時々刻々と変化するため、なるべく頻繁に物体との間の物理量を測定し走行制御に細かく反映させるのが好ましい。これに対し、上記のように一つのパルス照射から次のパルス照射までに時間間隔があると、物体との間の物理量を細かく取得することができず、このため、特に高速走行時において、走行制御を効果的に行い難いとの問題が生じる。
なお、以下の特許文献1には、レーザ光を用いて物体を追跡する際のアルゴリズムが示されている。
特開2002−189519号公報
そこで、本発明は、物体との間の物理量を細かく取得することができる測定装置、それを搭載した移動体および当該測定装置に内蔵される信号処理回路を提供することをその課題とする。
上記課題に鑑み本発明は、以下の特徴を有する。
請求項1の発明は、レーザ光を照射して物体との間の物理量を測定する測定装置において、1パルスの出力波形が立ち下り切る前に次のパルスによって出力波形が立ち上がるようにして生成された複数のパルスレーザ光の群を目標領域に向けて所定間隔にて複数回照射するレーザ照射手段と、前記複数のパルスレーザ光の群が前記物体によって反射された反射光を受光する受光手段と、前記レーザ照射手段によって照射される複数のパルスレーザ光の群の出力波形信号と前記受光手段から出力される前記反射光の受光波形信号に対し微分処理を行い、得られた微分値が所定の閾値を越えるタイミングを照射タイミングと受光タイミングとして検出するタイミング検出手段と、前記タイミング検出手段によって検出された各パルスレーザ光の照射タイミングと受光タイミングをもとに前記物体との間の物理量を算出する算出手段とを備え、前記タイミング検出手段は、他の出力波形と重なることのないパルスレーザ光を照射したときの照射タイミングと受光タイミングの時間差ΔTrefを取得し、前記複数のパルスレーザ光の群のうち先頭からi番目のパルスレーザ光の照射タイミングとそれに対応するとされる受光タイミングの時間差ΔTiと前記時間差ΔTrefを比較して、該i番目のパルスレーザ光が前記受光手段によって受光されたかを検出することを特徴とする。
本発明によれば、i番目のパルスレーザ光の受光エラーを円滑に検出することができる。よって、i+1番目あるいはそれ以降のパルスレーザ光の受光タイミングをi番目の受光タイミングとして誤検出するのを抑制することができる。
請求項2の発明は、請求項1の測定装置において、前記タイミング検出手段は、前記i番目のパルスレーザ光が前記受光手段によって受光されていないとき、前記i番目のパルスレーザ光の照射タイミングから前記時間差ΔTrefが経過したタイミングを該i番目のパルスレーザ光の受光タイミングとすることを特徴とする。
本発明によれば、i番目のパルスレーザ光の受光エラーがあっても、このパルスレーザ光に対する受光タイミングを円滑に補償することができる。
請求項3の発明は、レーザ光を照射して物体との間の物理量を測定する測定装置において、1パルスの出力波形が立ち下り切る前に次のパルスによって出力波形が立ち上がるようにして生成された複数のパルスレーザ光の群を目標領域に向けて所定間隔にて複数回照射するレーザ照射手段と、前記複数のパルスレーザ光の群が前記物体によって反射された反射光を受光する受光手段と、前記レーザ照射手段によって照射される複数のパルスレーザ光の群の出力波形信号と前記受光手段から出力される前記反射光の受光波形信号に対し微分処理を行い、得られた微分値が所定の閾値を越えるタイミングを照射タイミングと受光タイミングとして検出するタイミング検出手段と、前記タイミング検出手段によって検出された各パルスレーザ光の照射タイミングと受光タイミングをもとに前記物体との間の物理量を算出する算出手段とを備え、前記タイミング検出手段は、前記複数のパルスレーザ光の群のうち先頭からi番目のパルスレーザ光の照射タイミングとそれに対応するとされる受光タイミングの時間差ΔTiと、i−1番目のパルスレーザ光の照射タイミングとその受光タイミングの時間差ΔTi−1の時間差と、これら2つのパルスレーザ光の照射パルス間隔δΔとを比較して、該i番目のパルスレーザ光が前記受光手段によって受光されたかを検出することを特徴とする。
本発明によれば、i番目のパルスレーザ光の受光エラーを円滑に検出することができる。よって、i+1番目あるいはそれ以降のパルスレーザ光の受光タイミングをi番目の受光タイミングとして誤検出するのを抑制することができる。
請求項4の発明は、請求項3の測定装置において、前記タイミング検出手段は、前記i番目のパルスレーザ光が前記受光手段によって受光されていないとき、前記i−1番目のパルスレーザ光の受光タイミングから前記照射パルス間隔δΔが経過したタイミングを該i番目のパルスレーザ光の受光タイミングとすることを特徴とする。
本発明によれば、i番目のパルスレーザ光の受光エラーがあっても、このパルスレーザ光に対する受光タイミングを円滑に補償することができる。
上記の如く本発明によれば、物体との間の物理量を細かく且つ高精度に取得できる測定装置、それを搭載した移動体および当該測定装置に内蔵される信号処理回路を提供することができる。
本発明の特徴は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも実施形態の例示であって、これにより本発明ないし各構成要件の用語の意義が制限されるものではない。
以下、本発明の実施の形態につき図面を参照して説明する。なお、本実施の形態は、自動車に搭載される測定装置に本発明を適用したものである。本実施の形態では、自動車前方からビームが照射されることにより、走行方向前方にある物体までの距離と、物体との間の相対速度および相対加速度が測定される。
図1に実施の形態に係る測定装置の構成を示す。
本実施の形態に係る測定装置は、DSP(Digital Signal Processor)10と、内部クロック発生回路20と、ADC(Analog-Digital Converter)30と、演算回路40と、ビーム照射装置50から構成されている。なお、図中の走行制御回路60は、自動車側に配されており、演算回路40から入力される距離、相対速度、相対加速度に関する情報をもとに走行方向前方にある物体の状態を監視し、これをもとに自動車の走行状態を制御する。
DSP10は、ビーム照射装置50内のレーザ出射部501とレーザ受光部502に制御信号を出力するとともに、ADC30を介して入力されるレーザ出射部501およびレーザ受光部502からの照射光パルス信号および受光パルス信号を処理して、後述する連続パルスレーザ光の照射タイミングと受光タイミングを検出する。さらに、この検出結果をもとに各パルスレーザ光の照射タイミングと受光タイミングの時間差を検出し、この検出結果と、前記タイミングの検出結果を演算回路40に出力する。なお、DSP10における信号処理の具体的内容については追って詳述する。
内部クロック発生回路20は、高周波クロックを生成してDSP10、ADC30および演算回路40に出力する。ADC30は、レーザ出射部501およびレーザ受光部502から入力される照射光パルス信号および受光パルス信号をデジタル信号に変換してDSP10に出力する。
演算回路40は、DSP10から入力されるパルスレーザ光の照射タイミングおよび受光タイミング並びにこれらタイミングの時間差をもとに、物体との距離、相対速度および相対加速度を算出し、算出結果を走行制御回路60に出力する。なお、演算回路40における演算処理の具体的内容については追って詳述する。
ビーム照射装置50は、レーザ出射部501とレーザ受光部501を備え、DSP10からの制御信号に応じてレーザ出射部から単発のパルスレーザ光および後述する連続パルスレーザ光を出力する。ここで、レーザ受光部501は、出力したパルスレーザ光の波形信号を照射光パルス信号としてADC30に出力する。レーザ受光部502は、レーザ出射部501から照射され対象物体によって反射されたレーザ光を受光し、受光強度に応じた波形信号を受光パルス信号としてADC30に出力する。
図2は、レーザ出射部501から単発のレーザ光が出射されたときの照射光パルス信号と受光パルス信号の信号波形(AD変換後)と、DSP10における時間差ΔTrefの検出処理を示すタイミングチャートである。
図示の如く、単発のレーザ光が出射されたときは、照射光パルス信号の立ち上がりタイミングから受光パルス信号の立ち上がりタイミングまでの間、内部クロックのクロック数がカウントされ、カウントされたクロック数Ncountが両タイミングの時間差ΔTrefとして取得される。なお、取得された時間差ΔTrefは、後述の如く、連続パルスレーザ光照射時の各パルスレーザの受光タイミングを検証するために用いられる。さらに、この検証の結果、受光タイミングが不適とされた際にこの受光タイミングを補償するためにも用いられる。
図3は、レーザ出射部501から連続パルスレーザ光が出射されたときの照射光パルス信号と受光パルス信号の信号波形(AD変換後)と、DSP10における処理内容を示すタイミングチャートである。
図示の如く、連続パルスレーザ光は、1パルスの出力波形が立ち下り切る前に次のパルスによって出力波形が立ち上がるようにして生成されている。かかる連続パルスレーザ光が出力されたときの照射光パルス信号と受光パルス信号は同図(a)(b)に示すものとなる。同図には、一つの連続パルスレーザ光の群に3つのパルスレーザ光が含まれている場合が示されている。なお、隣り合うパルス間の時間差δΔは2番目以降のパルスの立ち上がりエッジ(同図(f)参照)を検出できる程度に設定される。
図示の如く、連続パルスレーザ光が出射されたときは、まず、照射光パルス信号と受光パルス信号に対し適用期間をずらしながら最小二乗法による平均化処理(ノイズ低減)が施される。そして、これにより取得された信号にさらに微分化処理が施され、これにより、同図(e)に示す微分信号が得られる。なお、このときのノイズ低減は、最小二乗法に限らず、ランニングサム法、スプライン法、ウェーブレット法、フルーエンシ法等の他の平均化処理や、その他のノイズリダクション処理によって行っても良い。
しかる後、微分信号が閾値と比較され、この閾値を立ち上がり方向に越えるタイミングが立ち上がりエッジとして検出される。なお、閾値は、正規の立ち上がりエッジよりも前に微分信号にノイズによる揺らぎが生じても、これを立ち上がりエッジとして誤検出しないような大きさに設定されている。これにより、正規の立ち上がりエッジを円滑に検出することができる。
検出された立ち上がりエッジは各パルスレーザ光の照射タイミングおよび受光タイミングとされる。そして、i番目の照射タイミングtiからこれに対応するi番目の受光タイミングti’までの間、内部クロックのクロック数がカウントされ、カウントされたクロック数が両タイミングの時間差ΔTiとして取得される。
なお、同図には、連続パルスレーザ光の群が照射と受光においてそれぞれ1つずつ示されているが、測定時には、連続パルスレーザ光の群が所定間隔にて複数回出射され、対応する群の連続パルスレーザ光が物体との距離に応じた時間だけ遅延して受光される。
図4に、連続パルスレーザ光の群を3回照射するまでの間のタイミングチャートを示す。なお、図中に付記されているti(j)とti’(j)は、それぞれ、j番目の群におけるi番目のパルスレーザ光の照射タイミングと受光タイミングを示している。また、図中のΔTi(j)は、j番目の群におけるi番目のパルスレーザ光の照射タイミングと受光タイミングの時間差を示している。
図5および図6は、物体との距離、相対速度および相対加速度を測定する際のフローチャートである。なお、本フローチャートにおいて用いられる付記符号i、jは、上記図4で説明したものと同じく、それぞれ、一群の連続パルスレーザ光中における各パルスレーザ光の順位と、一連の連続パルスレーザ光の群におけるその連続パルスレーザ光の群の順位を示している。
図5を参照して、測定処理が開始されると、まず、上記図2に示す単発パルスがレーザ出射部501から出力され、時間差ΔTrefが検出される(S101)。次いで、連続パルスレーザ光の各パルス間隔δΔi(j)が初期設定され(S102)、設定されたパルス間隔の連続パルスレーザ光の群が順次出力される(S103)。そして、照射光パルス信号と受光パルス信号に対して、上記図3にて示した最小二乗法による平均化処理と閾値付きの微分処理が施され(S104)、立ち上がりエッジが検出される(S105)。
次に、かかる立ち上がりエッジ検出において2番目のパルスレーザ光に対する立ち上がりエッジを検出できたかが判別され(S106)、検出できなければ、パルス間隔δΔi(j)が小さすぎるとして、これを所定の割合だけ大きく設定する処理が行われる(S107)。そして、再設定後のパルス間隔δΔi(j)にて連続パルスレーザ光の群が順次出力され(S103)、以下、上記と同様の処理が行われる。
S106において2番目のパルスレーザ光に対する立ち上がりエッジを検出できたと判別された場合には、検出した立ち上がりエッジを照射タイミングti(j)および受光タイミングti’(j)として設定し、物体との距離、相対速度および相対加速度を算出する処理を実行する(S108)。
図6を参照して、かかる算出処理においては、まず、連続パルスレーザ光の群jがj=1に設定され(S201)、先頭の群の連続パルスレーザ光に対する時間差ΔTi(1)の算出処理が行われる。
すなわち、先頭のパルスレーザ光に対して照射タイミングと受光タイミングの時間差ΔT1(1)がt1’(1)−t1(1)から算出され(S202)、算出されたΔT1(1)が、図5のS101にて設定されたΔTrefと比較される(S203)。ここで、ΔT1(1)−ΔTrefの絶対値が1番目のパルスレーザ光と2番目のパルスレーザ光の間のパルス間隔δΔ1(1)以下でなければ(S203:NO)、S202にて算出されたΔT1(1)は1番目のパルスレーザ光の照射とその受光によるものではないとされ、代わりにΔTrefがΔT1(1)に設定される(S204)。このとき同時に、図5の処理フローにて検出された受光タイミングt1’(1)、t2’(1)、…の順位が一つずつ繰り下げられるとともに、1番目の受光タイミングt1’(t)にt1(1)+ΔTrefが設定される。
なお、S203がYESならば、S202にて算出された時間差ΔT1(1)は適正であるとしてそのまま採用される。
しかして、1番目のパルスレーザ光に対する処理が終了すると、次に、パルスレーザ光の順位iがi=2に設定され(S205)、2番目のパルスレーザ光に対する処理が実行される。すなわち、2番目のパルスレーザ光に対して照射タイミングと受光タイミングの時間差ΔT2(1)がt2’(1)−t2(1)から算出される(S206)。そして、算出されたΔT2(1)と先に求めた1番目のパルスレーザ光に対する時間差ΔT1(1)が比較され、両者の差が、1番目のパルスレーザ光と2番目のパルスレーザ光の間のパルス間隔δΔ1(1)に整合するか(パルス間隔δΔ1(1)±αの範囲内にあるか:αは許容値)が判別される(S207)。
ここで、整合しないと判別されると、S206にて算出されたΔT2(1)は2番目のパルスレーザ光の照射とその受光によるものではないとされ、代わりにΔT1(1)+δΔ1(1)がΔT2(1)に設定される(S208)。このとき同時に、図5の処理フローにて検出された受光タイミングt2’(1)、t3’(1)、…の順位が一つずつ繰り下げられるとともに、2番目の受光タイミングt2’(t)にt1’(1)+δΔ1(1)が設定される。なお、2番目の受光タイミングt2’としてt2(1)+ΔTrefを設定するようにしてもよい。
なお、S207がYESならば、S206にて算出された時間差ΔT2(1)は適正であるとしてそのまま採用される。
しかして、2番目のパルスレーザ光に対する処理が終了すると、パルスレーザ光の順位iがi=3に設定された後(S210)、S206に戻り、上記と同様にして3番目のパルスレーザ光に対する処理が実行される。かかる処理は、先頭の群の最後のパルスレーザ光(i=n)まで繰り返される(S209)。そして、最後のパルスレーザ光まで終了すると(S209:YES)、連続パルスレーザ光の群jがj=2に設定された後(S212)、S202に戻り、上記と同様にして2番目の群の連続パルスレーザ光に対する時間差ΔTi(2)の算出処理が行われる。かかる処理は最後の群の連続パルスレーザ光(j=m)まで繰り返される(S211)。そして、最後の群の連続パルスレーザ光まで終了すると(S211:YES)、各群について取得した時間差ΔTi(j)と照射パルスタイミングti(j)を用いて、物体との距離、相対速度および相対加速度の算出が行われる(S213)。
すなわち、各群の照射タイミングにおける物体との距離ΔLaveが以下の式によって算出される。なお、cは光速である。
Figure 0004446912
Figure 0004446912
かかる算出処理によれば、各パルスレーザ光について取得した照射タイミングと受光タイミングの時間差ΔTi(j)を平均化して物体との距離Laveが取得されるため、物体との距離を高精度に検出することができる。
また、本測定時における物体との相対速度Vが以下の式によって算出される。なお、cは光速である。
Figure 0004446912
Figure 0004446912
かかる算出処理によれば、照射タイミングと受光タイミングの時間差ΔTi(j)の平均値を用いて物体との間の相対速度Vが取得されるため、相対速度の検出精度を高めることができる。
なお、1番目と2番目の連続パルスレーザ群に対する時間差ΔTi(1)、ΔTi(2)を用いる場合、相対速度Vは以下の式によって算出される。
Figure 0004446912
この他の連続パルスレーザ群の組み合わせから、上記数18、数19をもとに相対速度Vを求めることも勿論可能である。
また、本測定時における物体との相対加速度Aが以下の式によって算出される。なお、cは光速である。
Figure 0004446912
かかる算出処理によれば、一つの連続パルスレーザ群を用いてそのときの相対速度を求め、求めた相対速度を異なる連続パルスレーザ群の間で比較して物体との間の相対加速度を求めるものであるため、相対加速度の検出頻度を高めることができ、物体との間の相対加速度を細かく取得することができる。
なお、この算出処理は、一つの連続パルスレーザ群を用いて物体との間の相対速度を検出するため、一つの連続パルスレーザ群の照射期間において物体との距離が大きく変化する場合に有効な相対速度を取得することができる。すなわち、かかる算出処理は、特に、物体との相対速度が急激に変化する場合に、有効な情報を後段の走行制御回路60に提供できるものである。
なお、1番目と2番目の連続パルスレーザ群の1番目とn番目のパルスレーザ光に対する時間差ΔT1(1)、ΔTn(2)、ΔT1(2)、ΔTn(2)を用いる場合、相対加速度Aは以下の式によって算出される。
Figure 0004446912
この他の連続パルスレーザ群とパルスレーザ光の組み合わせから、上記数21をもとに相対加速度Aを求めることも勿論可能である。また、数18、数19から相対速度を異なるタイミングにて取得し、その差をタイミング差にて除算することにより相対加速度を求めるようにすることもできる。この場合、数18、数19から求めた相対速度は上記の如く高精度であるため、これをもとに求めた相対加速度も同様に高精度なものとなる。
以上、本発明に係る実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。
たとえば、上記実施の形態では、図6のS207、S208に示す如くして不適正な時間差ΔTi(j)(i≧2)を適正なものに置き換えるようにしたが、これに代えて、図7のS220、S221に示す如く、時間差ΔTi(j)と時間差ΔTrefを比較し、その差がパルス間隔δΔi(j)の範囲内であるかで時間差ΔTi(j)が適正化を判別し、不適正な場合に、ΔTi(j)=ΔTrefとしてΔTi(j)を再設定するようにしても良い。なお、この場合も、上記実施の形態と同様、時間差ΔTi(j)が不適正なときは、図5の処理フローにて取得された受光タイミングti’(j)を一順位ずつ繰り下げる処理が行われる。
また、上記実施の形態では、図6のS203にてNOとされた場合に、S204にてΔT1(j)=ΔTrefとする処理を行ったが、図8のS230に示す如く、S203にてNOとされた場合には、当該j番目の群の測定結果を無効化し、距離、相対速度、相対加速度の算出には用いないようにしても良い。同様に、S207にてNOとされた場合にも、当該j番目の群の測定結果を無効化し、距離、相対速度、相対加速度の算出には用いないようにしても良い。
この他、上記実施の形態は、自動車用の測定装置に本発明を適用したものであったが、船舶や飛行機等、他の移動体用の測定装置、あるいは、物体との相対的な距離、速度、加速度を測定するその他の装置に本発明を適用することも可能である。
本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
実施の形態に係る測定装置の構成を示す図 実施の形態に係る単発パルスレーザ光照射時のタイミングチャート 実施の形態に係る連続パルスレーザ光照射時のタイミングチャート 実施の形態に係る照射光パルス群と受光パルス群の関係を示す図 実施の形態に係る物理量測定時のフローチャート 実施の形態に係る物理量測定時のフローチャート 実施の形態に係る物理量測定時のフローチャートの変更例 実施の形態に係る物理量測定時のフローチャートの変更例
符号の説明
10 DSP(Digital Signal Processor)
20 内部クロック発生回路
30 ADC(Analog-Digital Converter)
40 演算回路
50 ビーム照射装置
501 レーザ出射部
502 レーザ受光部
60 走行制御回路

Claims (4)

  1. レーザ光を照射して物体との間の物理量を測定する測定装置において、
    1パルスの出力波形が立ち下り切る前に次のパルスによって出力波形が立ち上がるようにして生成された複数のパルスレーザ光の群を目標領域に向けて所定間隔にて複数回照射するレーザ照射手段と、前記複数のパルスレーザ光の群が前記物体によって反射された反射光を受光する受光手段と、前記レーザ照射手段によって照射される複数のパルスレーザ光の群の出力波形信号と前記受光手段から出力される前記反射光の受光波形信号に対し微分処理を行い、得られた微分値が所定の閾値を越えるタイミングを照射タイミングと受光タイミングとして検出するタイミング検出手段と、前記タイミング検出手段によって検出された各パルスレーザ光の照射タイミングと受光タイミングをもとに前記物体との間の物理量を算出する算出手段とを備え、
    前記タイミング検出手段は、他の出力波形と重なることのないパルスレーザ光を照射したときの照射タイミングと受光タイミングの時間差ΔTrefを取得し、前記複数のパルスレーザ光の群のうち先頭からi番目のパルスレーザ光の照射タイミングとそれに対応するとされる受光タイミングの時間差ΔTiと前記時間差ΔTrefを比較して、該i番目のパルスレーザ光が前記受光手段によって受光されたかを検出する、
    ことを特徴とする測定装置。
  2. 請求項1において、
    前記タイミング検出手段は、前記i番目のパルスレーザ光が前記受光手段によって受光されていないとき、前記i番目のパルスレーザ光の照射タイミングから前記時間差ΔTrefが経過したタイミングを該i番目のパルスレーザ光の受光タイミングとする、
    ことを特徴とする測定装置。
  3. レーザ光を照射して物体との間の物理量を測定する測定装置において、
    1パルスの出力波形が立ち下り切る前に次のパルスによって出力波形が立ち上がるようにして生成された複数のパルスレーザ光の群を目標領域に向けて所定間隔にて複数回照射するレーザ照射手段と、前記複数のパルスレーザ光の群が前記物体によって反射された反射光を受光する受光手段と、前記レーザ照射手段によって照射される複数のパルスレーザ光の群の出力波形信号と前記受光手段から出力される前記反射光の受光波形信号に対し微分処理を行い、得られた微分値が所定の閾値を越えるタイミングを照射タイミングと受光タイミングとして検出するタイミング検出手段と、前記タイミング検出手段によって検出された各パルスレーザ光の照射タイミングと受光タイミングをもとに前記物体との間の物理量を算出する算出手段とを備え、
    前記タイミング検出手段は、前記複数のパルスレーザ光の群のうち先頭からi番目のパルスレーザ光の照射タイミングとそれに対応するとされる受光タイミングの時間差ΔTiと、i−1番目のパルスレーザ光の照射タイミングとその受光タイミングの時間差ΔTi−1の時間差と、これら2つのパルスレーザ光の照射パルス間隔δΔとを比較して、該i番目のパルスレーザ光が前記受光手段によって受光されたかを検出する、
    ことを特徴とする測定装置。
  4. 請求項3において、
    前記タイミング検出手段は、前記i番目のパルスレーザ光が前記受光手段によって受光されていないとき、前記i−1番目のパルスレーザ光の受光タイミングから前記照射パルス間隔δΔが経過したタイミングを該i番目のパルスレーザ光の受光タイミングとする、ことを特徴とする測定装置。
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