JP4436760B2 - 薄層セル - Google Patents

Description

本発明は、請求項１に記載の流れセル(flow cell)を製造するための方法に関する。

透過率を計測するための流れセルが既知であり、赤外線分光学で確立されている。このようなセルでは、分析されるべき液体試料を試料供給チャンネル及び試料除去チャンネルを介して赤外線透明ウィンドウによって境界が定められた光学式計測チャンネルに通す。計測されたＩＲ透過スペクトルは、例えば、ＦＴ−ＩＲ分光器（フーリエ変換赤外線分光器）によって評価できる。用途に応じて、様々な設計のこのような流れセルが使用され、これは分解可能な形態及び分解不能な形態で形成できる。

このようなセルの厚さ、即ち計測チャンバの境界を定めるセルのウィンドウ間のＩＲビーム方向での距離は、一般的には、０．０１５ｍｍ乃至数ｍｍである。セル層の厚さは、使用される溶剤のＩＲ吸収挙動に応じて寸法が定められる。例えば四塩化炭素や二硫化炭素等の吸収度が低い溶剤を使用するのが好ましい。

これとは対照的に、水は、赤外線スペクトル領域を強く且つ広範に吸収するため、赤外線分光学では問題のある溶剤である。このことは、４０００ｃｍ^-1乃至４００ｃｍ^-1の中波赤外線領域で特にいえる。これは、水が、例えば１６４３ｃｍ^-1で顕著な吸収挙動を示すためである。数μｍの層厚でも、ＩＲビームは特定の波長領域で溶剤に全吸収され、そのため分析を行なうためにこれらの領域にアクセスすることは不可能である。しかしながら、多くの化学物質、生化学物質、薬剤物質、及び生理的物質に対し、水は天然の溶剤である。水溶性物質の分析の重要度が最近の科学的及び産業的研究で更に高まっており、多くの生物学的研究及び医薬及び薬剤の研究の中心を形成する。

かくして、水のＩＲ吸収挙動のため、水性試料用流れセルのセル層の厚さを小さくしなければならない。これは、評価可能な透過信号を得るためである。水性試料の透過計測を行なうための好ましい層厚は、例えば、Ｋ．ラメロー及びＷ．フーバーが応用分光学誌第５１号（１９７７年）の第１６０頁乃至第１７０頁で６μｍ乃至７μｍであると述べている。ワートン等の「水溶液の赤外線分光分析を行なうための滞流(stopped flow)装置」では、反応の力学の研究に通常使用される滞流分析は、必要層厚が約５μｍ（この文献では誤って５ｍｍと記載されている）の透過セルでは行なうことができないと述べられている。この原因は、このような薄層計測セルの流れ抵抗が非常に高く、層厚の立方とほぼ反比例するためである。その結果、１０μｍ以下の層厚で高圧が発生する。

既知の分解可能な流れセルは比較的高い圧力で漏れ易くなり、試料の交差汚染の危険がかなり高くなる。更に、これらのセルの場合には、加圧後又は分解後に均等な層厚が保証されない。分解可能な計測セルの層厚の精度には、例えば塵埃等の所与の環境条件による制限が加えられる。空気中の塵埃粒子の大きさは、主に数μｍであるため、最初の組み立て時及び塵埃無し状況での再組み立て時には高い層厚精度を達成できる。従って、再現可能な計測又は定量的決定は高い非精密性と関連する。

既知の分解可能な流れセルは、通常、銀アマルガム又は鉛アマルガムで形成されており、２ｂａｒ乃至３ｂａｒを越えない非常に低い圧力に対して設計されている。

以上の問題のため、水性試料の赤外線特性決定を行なうための別の計測システムが、例えば、赤外線ビームが、物理法則により、試料に数μｍだけ、しかし数回入り込むＡＴＲ（減衰全反射）技術の形態で提案されてきた。しかしながら、この技術の欠点は、吸収が波長に応じて変化し、光学的材料と試料液体との間で、例えば試料（例えば蛋白質）の吸着や変性の形態の界面効果が生じる場合があるということである。

１９９９年の８月２９日から９月２日にかけてオランダのエンスヘデーで開催された生物学的分子の分光分析についての第８回欧州会議における新指針である、Ｊ．グレーブ、Ｇ．Ｊ．プッペルズ、及びＣ．オットーが編集した「生物学的分子の分光分析」の第６８９頁乃至第６９０頁において、二つのＩＲ透過性ウィンドウ間にスペーサを形成し、次いでこれをエポキシ接着剤でウィンドウに付着するためにフォトリソグラフィー形成技術の組み合わせにより製造された流れセルが記載されている。フォトリソグラフィー形成技術は、マイクロシステム技術で、感光性材料（コーティング）の横方向形成に使用される。こうした技術は、材料を正確に均等に再現性をもって非横方向に適用されたスペーサ層の形態で付着するにはあまり適していない。このことは、μｍ単位の範囲の層厚について特にいえる。ここでは、これにより、層厚の許容差が大きい。この方法で製造された流れセルは、再現性に乏しい流れ−計測チャンバを有する。これらのチャンバにはデッドゾーンがあり、光学的ウィンドウの平面平行性が不十分であり、層厚の精度が不十分である。現在、実際上専らフーリエ変換の原理に基づく赤外線分光器が使用されている。こうした分光器には、速度及び計測精度に関して従来の分光器を越える明確な利点がある。これと対応して、正確な製造及びこれと関連した達成可能な計測精度に関し、光学的試料チャンバに高い要求が課される。特に、様々な計測セルの高度に吸収性の試料（例えば水溶液）の計測結果の比較可能性及び伝達性について、計測セルの層厚の高い精度及び再現性、及び光学ウィンドウの平面平行性が大きな影響を及ぼす（レームローの「フーリエ変換赤外線分光学（蛋白質の二次構造決定を行なうための信号処理による）」大学出版１９９５年を参照されたい）。計測伝達性により、例えばスペクトルデータベースの使用及び自動システムの使用に関して遙かに大きな重要性を備えた同じ種類の計測システムが得られる。

以上の問題点に鑑み、本発明の目的は、高度に吸収性の試料、例えば水性試料を、透過式赤外線分光学によって正確に且つ再現性をもって決定するための、高精度で耐圧性の流れセルを製造するための方法を提案することにある。

この目的は、請求項１に記載の特徴を備えた方法によって達成される。好ましい実施形態は、従属項の要旨である。

本発明によれば、通過させるべき試料のスペクトル分析を行なうための流れセルの製造方法は、
（ａ）第１ウィンドウ、及び分析されるべき試料を出し入れするための少なくとも二つの試料流れチャンネルを持つ第２ウィンドウを準備する工程、
（ｂ）構造化された薄層をウィンドウの一方に適用する工程、
（ｃ）少なくとも幾つかの領域、少なくとも流れチャンバの領域が光学的に透明であるウィンドウの平行な向き合ったウィンドウ表面及び薄層が、試料流れチャンネルだけを通してアクセスできる流れチャンバの境界を定めるように、薄層を他方のウィンドウと接触させてこれに液密に固定する工程、及び
（ｄ）薄層によって流れチャンバから離間されており且つ構造化された薄層と隣接したウィンドウ間の充填チャンバの少なくとも幾つかの領域を接着剤で充填する工程を含む。

本発明の流れセルは、好ましくはマイクロメカニカル形成技術又は平リソグラフィー形成技術によって製造された分解不能の薄層セルである。流れセルは、二つの好ましくはプレート状のウィンドウを含む。これらのウィンドウは、好ましくは平らなウィンドウ表面を有し、これらのウィンドウ表面の各々は、赤外線スペクトル領域で透明な少なくとも一つの区分を有する。分析されるべき液体試料は、第２ウィンドウ（流れヘッドウィンドウとして既知のウィンドウ）の少なくとも一つの試料流れチャンネルを通して、ウィンドウの向き合った平行なウィンドウ表面の間のスロット状流れチャンバに通される。第２試料流れチャンネルにより、分析されるべき試料を流れチャンバから取り出すことができる。流れチャンバは、二つのウィンドウの平行なウィンドウ表面間に閉じ込められた試料を分光学的に透過で分析できるように、少なくとも幾つかの領域で光学的にアクセスできる。本願では、例えばフーリエ分光器を使用してもよい。

流れセルを製造するための本発明による方法は、流れチャンバ即ち試料チャンバを正確に且つ再現性をもって幾何学的に画成する上で特に優れている。この目的のため、構造化された薄層を一方のウィンドウに適用し、平行なウィンドウ表面間のスロットに沿って流れチャンバを画成する。薄層は、好ましくは、マイクロメカニカル形成技術又は平リソグラフィー形成技術によってウィンドウ表面の一方に適用される。次いで、向き合った平らなウィンドウ表面が互いに平行に延び、一方のウィンドウ表面が構造化された薄層と接触するように他方のウィンドウを第１ウィンドウに近付ける。薄層とウィンドウ表面との間の結合は、薄層を両ウィンドウのウィンドウ表面に液密に固定することによって行なわれる。かくして、構造化された薄層がウィンドウ表面にぴったりと結合され、ウィンドウ間のスロットの平面内に流れチャンバを画成する液密障壁層を形成する。流れチャンバ即ち試料チャンバには、試料流れチャンネルだけを通してアクセスできる。

構造化された薄層は、流れチャンバをスロット状充填チャンバから分離する。スロット状充填チャンバは、同様に、平行なウィンドウ表面によって画成される。二つのウィンドウを互いに対して位置が整合した状態で永久的に且つ正確に固定するため、充填チャンバの少なくとも幾つかの領域を接着剤で充填する。接着剤が充填チャンバの向き合ったウィンドウ表面と接触し、好ましくは構造化された薄層がスロット領域を画成する。接着剤が硬化した後、耐圧性で再現性の流れセルが提供される。これは、水性試料の赤外線スペクトル分光分析に非常に適している。薄層を両ウィンドウ表面に液密に固定することにより、続いて行なわれる充填工程で接着剤が流れチャンバに又は隙間に入り込む隙間がウィンドウ表面と薄層との間に形成されることがない。

密封された流れチャンバの機能は、特に、接着剤が毛管力又は加えられた圧力により流れチャンバに入り込むことがないように、工程（ｄ）で接着剤の流れを定めるのに役立つ。構造化された薄層と第２ウィンドウとの間に漏れ止め結合がなされていない場合には、構造化された薄層と流れヘッドとの間の（ナノ）隙間に接着剤が毛管力で入り込むことを規制できない。これにより接着剤界面層が不完全に画成される。接着剤の硬化後に薄層を取り除こうとすると、この場合、流れ形状が満足のいかないものとなる。これとは対照的に、本発明による方法は、デッドゾーンがない流れチャンバの滑らかな界面表面を形成できる。

接着剤表面の予め選択された画成した構造（接着剤の間接的な構造化）により、有利には、マイクロ形成の可能性に関し、接着剤に何の要求もなされない。これにより、例えば強力な溶剤、高圧、及び熱抵抗を使用する特定の用途で、溶剤抵抗、弾性、又は接着性等の要求に従って最適化された多数の接着剤を使用できる。この用途についての代表的な接着剤は、単成分系又は多成分系、例えばポリアミド、ポリエステル、ウレタン、エポキシ、ポリアクリレート（ＰＭＭＡ）、シアノアクリレート、シリコーン、及びポリイミドである。接着剤の硬化システムは、光（例えば紫外線及び／又は可視光）、熱、大気中の水分、又は金属接触及び／又は活性剤により嫌気的に反応を進めることができる。活性剤（ウィンドウの片側又は両側に塗布される）は、陰イオン系又は陽イオン系遊離基重合機構によって硬化を開始できる。例えば、紫外線及び嫌気硬化等の組み合わせも可能である。これにより、例えば光が入り込まない領域に達することができ、硬化を二次的システムによって行なうことができる。加圧時の応力を良好に補償するため、例えば長鎖アルコールを加えることによって接着剤を軟化させてもよい。接着剤は、電気化学的計測を行なうための電極として役立つため、導電性であってもよい。

ウィンドウを製造するため、好ましくはＩＲ透過性材料、例えばフッ化カルシウム、フッ化バリウム、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、珪素、ゲルマニウム、ホウ化カリウム、塩化ナトリウム、及び／又はハロゲン化銀が使用される。例えば水不溶性や生体親和性といった対応する適用上の必要条件に対し、ポリマーコーティングを使用して様々な材料を最適化できる。可能なポリマーは、例えば、パリレン、ＰＴＦＥ、及びＰＥである。

薄層のマイクロ形成により、特定の対象物に対して注文製作された任意の流れ形状を実現でき、非常に小型でデッドゾーンがない光学的流れ計測チャンバを提供できる。例えば、容積が１０ｎｌ以下の流れチャンバを実現できる。これにより、必要とされる試料が少なくなり、前の試料や後の試料との交差汚染の危険が小さくなる。更に、二つの計測間のフラッシング時間及び容積を大幅に減少できる。自動化された高処理量の使用、例えば薬剤のスクリーニングや押し出すのが困難な高価な試料、例えば蛋白質の分析に関し、本発明による方法によって製造された流れセルは、従来の流れセルを上回る大きな利点を備えている。

この方法によって、高圧抵抗を備えており且つ圧力緩和時間が極めて短い０ｂａｒ（外部が真空である）乃至４００ｂａｒの範囲の圧力変化により生じる応力に対する抵抗が高い計測セルを分解不能のユニットとして製造できる。圧力緩和時間は、計測セルが必要とする、圧力による応力が加えられた状態と応力が加えられていない状態からの移行時にその元の層厚を回復する時間に関する。本明細書中では、正確な計測セルに対する要求は、基準時とこれに続く試料計測時との間で層厚が１ｎｍ以下で一定であるということであり（レームローの「フーリエ変換赤外線分光学（蛋白質の二次構造決定を行なうための信号処理による）」大学出版１９９５年を参照されたい）、その結果、ＩＲ分光器で計測されるエラーをゼロにできる。例えば、動的な計測を行なうため、又は自動化された高処理量の使用を行なうため、目的は、この状態をできるだけ迅速に得ることである（迅速圧力緩和）。本発明による方法によって製造された流れ計測セルは、ミリ秒の小さい方の範囲内にある。これとは対照的に、従来の分解可能な計測セルは圧力緩和が非常に緩慢であり、数秒乃至数分であり、元の層厚（加圧前の層厚）からのずれがＩＲ分光学によって計測されてしまう。

更に、本発明による方法によって製造された計測セルは、比較的高い温度の場合、例えば計測温度が急変する場合でも、漏れが生じないことが保証される。従来の分解可能な計測セルは、最大で約６０℃までしか十分な耐漏性を備えていない。接着剤の選択により、本発明の計測セルは−６０℃乃至＋２３０℃で、好ましくは＋４℃乃至＋９０℃で使用できる。

本明細書中に説明した計測セルのマイクロシステム技術による製造は、好ましくは、製造において実際上塵埃のない環境を確保するクリールーム条件で行なわれ、これにより特に高い層厚精度を得ることができる。

本発明による方法の好ましい実施形態では、薄層を他方のウィンドウに液密に固定する工程は、薄層の温度及び／又は薄層に加わる圧力を他方のウィンドウに対して上昇することによって薄層を軟化させてその粘度を一時的に低下する工程を含む。薄層を最初に完全に溶融することによって薄層をウィンドウ表面にぴったりと液密に結合するのが好ましい。薄層を軟化させることによってその粘度を下げ、冷却後にぴったりとした液密の結合部を形成するため、近接したウィンドウのウィンドウ表面を軟化させた薄層によって完全に覆う。適当な薄層材料の選択において、薄層によって他方のウィンドウに加えられる圧力を上昇することによって粘度を低下させることができる。薄層を二つのウィンドウ表面にぴったりと液密に結合することにより、流れチャンバ及びこのチャンバの充填チャンバからの液密隔壁を正確に且つ再現性をもって画成できる。

薄層は、好ましくは、流れチャンバの形体に関し、様々な構造又は微小構造を可能にすると同時に第１ウィンドウ（スペーサウィンドウ）と第２ウィンドウ（流れヘッドウィンドウ）との間を液密にシールできる材料でできていなければならない。好ましくは、適当な溶剤によって材料を再度除去できなければならない。材料の考えられる例は、フォトレジスト、ラッカー、及びポリマーである。薄層の適用及び形成について、フォトリソグラフィーやスクリーン印刷等のプロセスを使用するのが好ましい。

本発明の別の実施形態では、薄層は、２０℃の温度で少なくとも１００００ｍＰａｓの粘度を持つ粘性材料でできており、薄層を他方のウィンドウに液密に固定する工程は、粘性薄層を他方のウィンドウに押し付ける工程を含む。

本発明による方法の、この実施形態では、構造化された薄層は、密接されるウィンドウ表面と接触すると又はこの表面に押し付けられたときに薄層とウィンドウとの間に液密で隙間のない結合部が形成される比較的高粘度の材料でできている。かくして、続いて行なわれる充填工程で接着剤が何らかの隙間を通って充填チャンバから流れチャンバに通過することがない。別の態様では、薄層とウィンドウとの間を隙間なしで結合した後に低粘度材料を使用し、例えば加熱（例えば粘度は、溶剤が材料から蒸発することによって高くなる）や照光等の処理を更に加えることによって高粘度で寸法的に安定した状態にできる。本明細書中では、光の作用で低粘度状態から高粘度状態になる光硬化性接着剤を使用するのが特に好ましい。この接着剤は、例えば、スクリーン印刷プロセスによって付けることができる。

本発明の特に好ましい実施形態では、構造化された所定の層厚のスペーサ層を少なくとも一つのウィンドウのウィンドウ表面の一方に適用し、工程（ｃ）で、ウィンドウ表面間の距離がスペーサ層の厚さで決まるように、スペーサ層を他方のウィンドウのウィンドウ表面と接触する。この本発明の実施形態では、流れチャンバを幾何学的に画成する上で非常に重要な構造化された薄層の他に別のスペーサ層が一方のウィンドウ表面に適用される。スペーサ層の主な機能は、ウィンドウの二つの表面間を再現性をもって予め定められたように平面を平行にして離間することである。

スペーサ層を適用するため、スパッタリング、蒸着、イオンプレーティング、ＰＶＤ、ＣＶＤ、ＰＥＣＶＤ、湿式化学金属付着及び／又はレーザーを用いた材料付着等の方法を使用するのが好ましく、こうした方法により、材料の付着に関する精度及び再現性を高くする。更に、或る程度適当な方法は、スクリーン印刷技術及びフォトリソグラフィープロセスである。特に有利な方法は、所定のスペーサ層厚を再現性をもって得ることができるように、適用された材料の厚さを正確に制御できる方法である。スペーサ層は、好ましくは、熱や圧力の作用で変形しない。このようにして、光学式流れチャンバのスロット厚を再現性をもって正確に調節できる。

上述の好ましい製造技術により、層厚を好ましくは０．５μｍ乃至１００μｍ、更に好ましくは１μｍ乃至５０μｍ、最も好ましくは３μｍ乃至１５μｍの範囲に亘って再現性をもって正確に定めることができる。その結果、光学ウィンドウの互いに対する高度の平行性（流れセル内の各点での層厚が同じである）により、例えば光の散乱、反射、又はビームの通過中のビームの不均等性といった破壊的な光学的効果が最少であるため、試料を非常に正確に定量的に分析できる。かくして、本発明による方法によって製造された流れセルにより、様々な流れセルで得られた計測値の正確な較正、高い再現性及び比較可能性が可能になる。特に、同じ計測システムの計測値の伝達性が、分光分析の用途で、例えばスペクトルデータベースで更に大きな役割を果たす。

本発明の流れセルの更に大きな利点は、スロット状流れチャンバ内での均等な液体流れを保証することである。その結果、ウィンドウは、好ましくは、互いに対して高度の平行性を有する。ウィンドウが楔状に配置されていると、スロット状流れチャンバのスロット厚が最も小さな領域に流れのないゾーン（デッドゾーン）が形成されてしまう。スペーサ層により、平らなウィンドウ表面を、複雑なウィンドウ位置決め装置を必要とせずに、平面が互いに対して平行に整合した状態に再現性をもって置くことができる。

スペーサ層をウィンドウの縁部領域に適用するのが好ましい。スペーサ層のこのような構成により、間隔が隔てられたウィンドウ表面を、平面が高度に平行な状態に特に効率的に置くことができる。これと同時に、スペーサ層は、比較的大きな充填チャンバが形成されるように、好ましくはウィンドウ表面の中央領域に形成された流れチャンバから比較的離して位置決めされる。これにより、充填チャンバを充填することにより、ウィンドウを大きな表面積に亘って付着させることができる。

薄層は、好ましくは、完全な円形形状である。この場合、薄層の円形形状は、デッドゾーンの欠点を最少にするため、試料流れチャンネルに関し、これらの試料流れチャンネルが好ましくは薄層の非常に近くにあるように位置決めされる。マイクロシステム技術による形成プロセスを用いることにより、例えば電極を一体化するといった特定の必要条件と適合した複雑な流れ形状を形成できる。

好ましくは、少なくとも一方のウィンドウが、接着剤を充填チャンネルに供給するための少なくとも一つの接着剤チャンネルを備えている。二つの接着剤チャンネルを備え、第２接着剤チャンネルが接着剤出口オリフィスとして役立つ実施形態が特に好ましい。同様に、二つの接着剤チャンネルを備え、両チャンネルが接着剤入口として役立ち、スペーサ層が適当な箇所で中断しており、これらの箇所が接着剤出口として役立つ実施形態が特に好ましい。接着剤は、圧力或いは毛管作用のいずれかによって充填チャンネルに注入される。

工程（ｄ）の後、薄層を除去するのが好ましい。溶剤溶解性の薄層の場合には、これは、例えば流れチャンバを溶剤でフラッシングすることによって行なうことができる。工程（ｄ）の後、ウィンドウ表面を、好ましくは、０．５μｍ乃至１００μｍ、更に好ましくは１μｍ乃至５０μｍ、最も好ましくは３μｍ乃至１５μｍの範囲で離間する。

本発明を、好ましい実施形態の添付図面を参照して以下に例として説明する。

図１の（ａ）乃至（ｇ）の各々は、流れセルを製造するための本発明による方法の好ましい変形例の重要なプロセス工程の概略平面図及びＩ−Ｉ線に沿った断面図である。図１の（ａ）に示すように、この好ましい方法では、二つの接着剤チャンネル１２が設けられた赤外線透過ウィンドウ１０を使用する。好ましくはマイクロメカニカル形成技術又は平リソグラフィー形成技術によって、ウィンドウ１０の平らなウィンドウ表面１４に円形スペーサ層１６を画成する。この円形スペーサ層１６は、好ましくは、実質的に非圧縮性であり且つ実質的に非常に熱変形不能の材料（例えば金属）で形成されている（図１の（ｂ）参照）。スペーサ層１６の層厚は、平行な二つのウィンドウ間の所望の後のスロット離間と一致するように制御される。

その後、図１の（ｃ）に示すように、構造化された薄層１８をウィンドウ１０のウィンドウ表面１４に適用する。薄層１８は円形形状を有し、流れチャンバを幾何学的に画成するのに役立つ。薄層１８の層厚はスペーサ層１６以下ではなく、そのため、第２ウィンドウ２２をウィンドウ１０に近づけるときにこの第２ウィンドウのウィンドウ表面２０と接触する。ウィンドウ２２（流れヘッドウィンドウとも言う）には二つの試料流れチャンネル２４が形成され、これらのチャンネルを通して液体試料を流れチャンバ２６に出し入れできる。流れチャンバ２６は、横方向（即ちスロットの平面内）が円形の薄層１８によって境界付けられており、試料流れチャンネル２４だけを通して環境に連結されている。円形の薄層１８は、流れチャンバ２６を薄層１８と隣接した充填チャンバ２８から分離する。（図１の（ｄ）参照）。

ウィンドウ表面２０を薄層１８及びスペーサ層１６と接触させた後、薄層の軟化又は付着又は再成形によって、ウィンドウ表面２０に対し、薄層１８とウィンドウ表面２０との間に隙間が残らないようにぴったりとした液密接着剤結合がなされる。同様に、薄層１８とウィンドウ１０のウィンドウ表面１４との間にも隙間が残ってはならない。図１の（ｅ）に示すこの状態では、充填チャンバ２８は流れチャンバ２６から密封して隙間なしに分離されている。

この状態で、図１の（ｆ）に示すように、接着剤チャンネル１２の一方を通して接着剤を充填チャンバ２８にこのチャンバが接着剤で完全に充填されるまで注入する。この充填中、接着剤は円形の薄層１８と完全に隣接する。これに続いて行われる随意の工程では、図１の（ｇ）に示すように薄層１８を除去でき、その結果、流れチャンバはスロットの平面で接着剤層によって境界付けられる。図１では、接着剤は灰色の影によって強調してある。

図２には、特に好ましい実施形態の図１の（ａ）乃至（ｃ）に示す工程の順序が再び詳細に示してある。先ず最初にスペーサ層１６をウィンドウ１０に例えばスクリーン印刷技術、蒸着、又はスパッタリング技術、及びリソグラフィー形成技術によって所定の層厚で適用する（図２の（ａ）参照）。次いで、ウィンドウ表面１４をスピンコーターによって所定の層厚のフォトレジスト層でコーティングする。ここで、レジストの層厚はスペーサ層１６よりも僅かに大きい。図２の（ｄ）は、リソグラフィー及び除去工程を完了した後の形成済の薄層１８を示す。

完成した計測セル装置（流れヘッド）は、好ましくは、図３に示す形態で形成できる。試料流れチャンネル１２用の少なくとも二つのドリル穴及び光ビーム経路用の少なくとも一つの切り欠き３２を持つ金属プレート３０を、好ましくは、ウィンドウ２２に結合する。この結合は、金属プレート３０のドリル穴が、好ましくは、精密な継手で又はウィンドウ２２又は金属プレート３０又はシーラント材料３４のチャンネルを介して互いに結合されるように行われる。ウィンドウ２２と金属プレート３０との間のシールは、接着剤結合によって、又はシーラント３４によって行なわれていてもよい。入口及び出口への結合は、精密に嵌着した毛管３６を、金属プレート３０の、シーラント材料３４の、及びウィンドウ２２のドリル穴に通し、金属プレート３０に設けられた、耐圧性で実質的にデッドゾーンがないＨＰＬＣ連結部によって接着剤結合によって終端するように行なわれる。毛管３６は、好ましくは、ウィンドウ下側２０に対して平らに終端し、即ち薄層の直前で終端する。

本発明による製造方法の好ましい変形例の流れセルの製造工程を示す概略図（左側）及び概略断面図（右側）である。 本発明による製造方法の一つの変形例の様々な流れセル製造工程の概略断面図である。 本発明の流れセルを含む計測セル装置の概略斜視図である。

符号の説明

１０ 赤外線透過ウィンドウ
１２ 接着剤チャンネル
１４ ウィンドウ表面
１６ 円形スペーサ層
１８ 薄層
２０ ウィンドウ表面
２２ 第２ウィンドウ
２４ 試料流れチャンネル
２６ 流れチャンバ
２８ 充填チャンバ
３０ 金属プレート
３２ 切り欠き
３４ シーラント材料

Claims (7)

1. 通過させるべき試料のスペクトル分析のための流れセルの製造方法において、
   （ａ）第１ウィンドウ（１０）、及び分析されるべき試料を出し入れするための少なくとも二つの試料流れチャンネル（２４）を持つ第２ウィンドウ（２２）を準備する工程、
   （ｂ）構造化された薄層（１８）を前記ウィンドウ（１０、２２）の一方に適用する工程、
   （ｃ）少なくとも幾つかの領域、少なくとも流れチャンバ（２６）の領域が光学的に透明である前記ウィンドウ（１０、２２）の平行な向き合ったウィンドウ表面（１４、２０）及び前記薄層（１８）が、試料流れチャンネル（２４）だけを通してアクセスできる流れチャンバの境界を定めるように、前記薄層（１８）を他方のウィンドウ（１０、２２）と接触させてこれに液密に固定する工程、及び
   （ｄ）前記薄層（１８）によって前記流れチャンバ（２６）から離間されており且つ構造化された薄層（１８）と隣接した前記ウィンドウ（１０、２２）間の充填チャンバ（２８）の少なくとも幾つかの領域を接着剤で充填する工程と、を備え、
   前記薄層（１８）を前記他方のウィンドウ（２２、１０）に液密に固定する前記工程は、前記薄層（１８）の温度を上昇させることによって及び／又は前記薄層（１８）に加えられる圧力を前記他方のウィンドウ（２２、１０）に対して増大させることによって、前記薄層（１８）を軟化させてその粘度を一時的に低下させる工程を含み、前記薄層（１８）を工程（ｄ）の後に除去する工程を含む、方法。
2. 請求項１に記載の方法において、前記薄層（１８）は、２０℃の温度で少なくとも１００００ｍＰａｓの粘度を持つ粘性材料でできており、前記薄層（１８）を前記他方のウィンドウ（２２、１０）に液密に固定する前記工程は、前記粘性薄層（１８）を前記他方のウィンドウ（２２、１０）に押し付ける工程を含む、方法。
3. 請求項１又は２に記載の方法において、構造化された所定の層厚のスペーサ層（１６）を少なくとも一つのウィンドウ（１０、２２）の前記ウィンドウ表面（１４、２０）の一方に適用し、工程（ｃ）で、前記ウィンドウ表面（１４、２０）間の距離が前記スペーサ層（１６）の厚さで決まるように、前記スペーサ層（１６）が前記他方のウィンドウ（２２、１０）の前記ウィンドウ表面（２０、１４）と接触する、方法。
4. 請求項３に記載の方法において、前記スペーサ層（１６）を前記ウィンドウ（１０、２２）の縁部領域に適用する、方法。
5. 請求項１乃至４のうちのいずれか一項に記載の方法において、前記薄層（１８）は完全に円形の形状を有する、方法。
6. 請求項１乃至５のうちのいずれか一項に記載の方法において、前記ウィンドウ（１０、２２）の少なくとも一方が、前記接着剤を前記充填チャンバ（２８）に供給するための少なくとも一つの接着剤チャンネル（１２）を有する、方法。
7. 請求項１乃至６のうちのいずれか一項に記載の方法において、工程（ｄ）の後の前記ウィンドウ表面（１４、２０）間の距離は０．５μｍ乃至１００μｍである、方法。

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