JP4433819B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
本発明の半導体装置は、
表面に集積回路が設けられた半導体チップと、
前記半導体チップの集積回路面上に設けられ、前記半導体チップの集積回路面を冷却液により冷却させると共に、前記冷却液を循環させる循環流路を有する循環流路プレートと、前記循環流路プレート上に設けられ、前記冷却液を前記循環流路に流入・排出させる流入路及び排出路を有する流入排出用プレートと、で構成された循環型冷却機構と、
前記半導体チップと前記循環流路プレートとの間に介在すると共に、前記半導体チップの集積回路面の全面に設けられる樹脂層と、
を備え、前記樹脂層は前記冷却液と接触することを特徴としている。
12 半導体チップ
14 樹脂層
16 循環型冷却機構
18 ポンプ
18a 流路管
20 循環流路プレート
20a 循環流路
22 流入排出用プレート
22a 流入路
22b 排出路
22c 連通流路
Claims (4)
- 表面に集積回路が設けられた半導体チップと、
前記半導体チップの集積回路面上に設けられ、前記半導体チップの集積回路面を冷却液により冷却させると共に、前記冷却液を循環させる循環流路を有する循環流路プレートと、前記循環流路プレート上に設けられ、前記冷却液を前記循環流路に流入・排出させる流入路及び排出路を有する流入排出用プレートと、で構成された循環型冷却機構と、
前記半導体チップと前記循環流路プレートとの間に介在すると共に、前記半導体チップの集積回路面の全面に設けられる樹脂層と、
を備え、前記樹脂層は前記冷却液と接触することを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体チップを複数有し、前記循環流露プレートの循環流路が前記複数の半導体チップ毎に設けられると共に、互いの前記循環流路が前記流入排出用プレートに設けられた連通流路を介して連通していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップの熱膨張係数と前記循環型冷却機構における前記循環流路プレートの熱膨張係数とが、同一あることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップ及び前記循環流路プレートがシリコン単結晶材料で構成され、前記樹脂層がポリイミド樹脂で構成され、
前記半導体チップと前記循環流路プレートとは、樹脂層を介して静電接合されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
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