JP4432321B2 - エキシマ照射装置の初期調整方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、光化学反応用の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘電体材料を介在させて放電することによってエキシマ分子を形成し、このエキシマ分子から放射される光を利用するいわゆるエキシマランプ発光装置の装置を製造させた後の初期調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
この発明に関連した技術としては、例えば、特開平2−7353号があり、そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、誘電体バリヤ放電(別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブック」平成1年6月再版7刷発行第263ページ参照)によってエキシマ分子を形成せしめ、このエキシマ分子から放射される光を取り出す放射器、すなわちエキシマランプについて記載されている。このエキシマランプは、放電容器の形状が円筒状であり、放電容器の少なくとも一部は誘電体障壁放電を行う誘電体を兼ねており、この誘電体の少なくとも一部はエキシマ分子から放射される真空紫外光(波長200nm以下の光)に対して透光性であることが開示される。さらに、放電容器の外面には一方の電極として網状電極が設けられたエキシマランプが記載されている。このようなエキシマランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプにはない種々の特長、例えば、単一の波長の真空紫外光を強く放射するなどを有している。
また、上記エキシマランプを不活性ガス雰囲気のケーシングの中に配置してケーシングの一面に設けられた光透過窓を介して真空紫外光を取り出すエキシマランプを使った発光装置が、例えば、特開2002−168999号などに開示されている。
【0003】
【特許文献1】
特開平2−7353号
【特許文献2】
特開2002−168999号
【0004】
ところで、エキシマランプを使った発光装置(以後、「エキシマ照射装置」ともいう)は光透過部材に対して波長200nm以下の真空紫外光を照射させると、光透過部材であるガラスが劣化変質して真空紫外光の透過率を低下させることが知られている。
この問題を解決するために、特開2001−289999号では、光透過部材に一定量の紫外線が照射されるまでを慣らし運転とすることが開示されている。
【0005】
【特許文献3】
特開2001−289999号
【0006】
上記内容は、光透過部材の紫外線透過率が減少し尽くして、これ以上減少することがなくなったという時点までを慣らし運転とするものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
この発明が解決しようとする課題は、石英ガラスを光透過部材とするエキシマ照射装置において、紫外線透過率が高い状態で照射処理することで処理効率を高めることである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明のエキシマ照射装置の初期調整方法は、波長172nmの真空紫外光を放射するエキシマランプを備え、OH基濃度が150〜400ppmの石英ガラスからなる光透過部材を有する方法であって、前記光透過部材に前記真空紫外光を透過させて、当該光透過部材の波長172nmの透過率が減少した後、再び上昇するまでの期間を少なくとも慣らし運転として、当該慣らし運転では照射処理を行なわないことを特徴とする。
さらに、請求項2に係る発明は、前記真空紫外光の照射は、ピーク波長172nmの光であることを特徴とする。
さらに、請求項3に係る発明は、前記慣らし運転終了後における前記光透過部材における波長172nmの透過率は、初期透過率の80%以上であることを特徴とする。
【0009】
【作用】
本発明は上記のように光透過部材の紫外線透過率が減少し尽くしてこれ以上低下しないという状態において照射処理を始めるのではなく、紫外線透過率が減少した後に再び上昇した後において照射処理をするものである。
すなわち、エキシマ照射装置が特定の条件にある場合は、前記特許文献3のように紫外線透過率は減少するだけではなく、再び上昇するという現象が生ずることを新規に見出し、この現象と利用することで高い紫外線透過率で照射処理することができることを見出したものである。
【0010】
なお、紫外線透過率が減少した後に再び上昇する理由は、必ずしも明らかではないが以下のように推測される。
すなわち、光透過部材である石英ガラス(SiO2)に真空紫外光が照射されると、光透過部材を構成する(≡Si−O−Si≡)の結合が切断されて、E‘センターと呼ばれる≡Si・、非架橋酸素空孔欠陥≡Si−O・が生成される。また、石英ガラス中のSiOH基末端構造も真空紫外光により切断され、≡Si−O・、Hが生成される。そして、E‘センターと呼ばれる≡Si・に対して、SiOHの解離により生成された≡Si−O・、Hが補充されやすくなり、これが原因となり≡Si−O−Si≡の再結合が生じやすいからと推測される。
そして、この再結合の条件は、光透過部材に照射される真空紫外光がピーク波長172nmであること、石英ガラスのOH基濃度が150〜400ppmであることが後述する実験より明らかとなった。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は本発明のエキシマランプ照射装置を表す。照射装置10の内部にエキシマランプ1が配置する。照射装置10は、光取出窓11と本体ケース12と金属ブロック13より構成される。光取出窓11は光透過部材でありエキシマランプ1から放射される真空紫外光を透過するもので、例えば合成石英ガラスから構成される。本体ケース12は、例えば、ステンレスからなるもので一方の側壁にはガス導入口12aが、他方の側壁にはガス排出口12bが形成される。このガス導入口12aからは窒素ガス等の不活性ガスが導入され、ガス排出口12bから残存していた酸素ガスとともに不活性ガスが排出される。
【0012】
金属ブロックは、溝部(窪み部)が形成され、各溝部はエキシマランプ1の半分(半円)もしくは半分以下の部分がほぼすっぽり嵌まるようになっている。また、金属ブロック13には、各々のエキシマランプ1から貫通孔を介して光センサ15が組み込まれる。この光センサ15はエキシマランプ1からの放射光を検知するもので、貫通孔は例えば直径10mm、長さ20mm程度のものである。
【0013】
金属ブロック13の中には冷却手段として水冷パイプ16が埋設されており、この中を冷却水が循環することで金属ブロック13を効果的に冷却することができる。ここで、金属ブロック13を構成する材料としては、高い伝熱特性と加工の容易性、さらには真空紫外光の高い反射特性からアルミニウムが採用される。
【0014】
光取出窓11の外側には、数mm程度に近接した位置に処理物、例えば半導体ウエハーや液晶基板が配置される。そして、エキシマランプ1から放射される真空紫外光(波長172nmの光)が光取出窓11を透過して、処理物を照射することで表面改質等の処理が行われるわけであるが、光取出窓11と処理物との間に介在する酸素に対して真空紫外光が照射することで酸素からオゾンや活性酸素を発生させ、これらの協同作用によって改質処理をより効果的なものとすることができる。
【0015】
図2はエキシマランプ1を示す。エキシマランプ1は、全体形状が円筒状であり、材質は誘電体障壁放電の誘電体として機能するとともに、真空紫外光を透過する合成石英ガラスから構成される。ランプ1は内側管3と外側管2が同軸に配置して二重円筒管を構成するとともに、両端を閉じたことから内側管3と外側管2の間に放電空間4が形成される。放電空間4には誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成するとともに、このエキシマ分子から真空紫外光を放射する放電用ガス、例えばキセノンガスが封入される。数値例をあげると、ランプ1は全長800mm、外径27mm、内側管3の外径は16mm、内側管3と外側管2の肉厚は1mmであり、400Wで点灯させる。外側管2の外面には網状電極5が設けられ、内側管3の内部に他方の電極である内側電極6が設けられる。網状電極5はシームレスに構成され、全体として伸縮性を有することから外側管2への密着性を良くすることができる。内側電極6はパイプ状、あるいは断面において一部に切り欠きを有する概略C字状のものであり内側管3に密着するように設けられる。放電空間4には必要に応じてゲッタが配置される。網状電極5、内側電極6の間には、図示略の交流電源が接続され、これにより放電空間4にエキシマ分子が形成されて真空紫外光を発光する。放電用ガスとしてキセノンガスを使った場合は波長172nmの光を放射する。
【0016】
図3は光取出窓11の波長172nmの光透過率と照射時間の関係を表すものである。縦軸は、光透過率であって、初期の172nmにおける透過率を100とした場合の相対値を表し、横軸は光取出窓(石英ガラス)に172nmの光を照射した累積時間を表す。ライン▲1▼はOH基濃度が182ppmの石英ガラス、ライン▲2▼はOH基濃度が213ppmの石英ガラス、ライン▲3▼はOH基濃度が300ppmの石英ガラスを各々表す。図からいずれの石英ガラスでおいても照射開始から約300時間において光透過率は75〜80%程度まで減少する。しかしながら、いずれの石英ガラスにおいても約300時間経過時の透過率を最小値としてその後上昇していることが分かる。そして、ライン▲1▼、ライン▲2▼にあっては約1500時間の照射によって透過率が約90%にまで回復しており、ライン▲3▼にあっても約2500時間の照射によって透過率が約85%まで回復していることが分かる。
この結果、石英ガラスに対して波長172nmの真空紫外光を照射させると、紫外線透過率は数百時間で最小値まで下がり続けるものの、その後は上昇に転じることが示される。
この現象の理由は、前記のとおりであり、適当なOH基を含有することで石英ガラスの欠陥に補うことができるからである。ここで、適当なOH基濃度とは約150〜400ppmである。
【0017】
本発明は上記現象を利用するものであり、紫外線透過率が照射初期時に近い値にまで回復する期間を慣らし運転(調整期間)と位置づけて、その後から照射処理を行なう使用方法である。このように定義された調整期間を設けることで、第一にエキシマ光の照射処理において当初めから高い照射効率で処理が行なうことができ、第二に照射強度の変動を避けて安定した照射処理を実施することができる。
また、本発明に係る調整方法は、上記のように調整期間に対して照射処理を行なわないというものではなく、光透過率に変化があることを認識した上で、初期から照射処理をすることもできる。例えば、光透過率の変化を予め記憶しておき当該変化に対応させてランプへの投入電力を調整させたり、あるいは、酸素など反応ガスや窒素などの不活性ガスの投入量を調整することも可能である。また、処理物が搬送されるような場合は搬送速度を調整することも可能である。さらには、初期に光透過率が低下することを前提として、低い紫外線ドーズ量で照射することも可能である。
【0018】
本発明における調整期間は、一例をあげると、光透過部材に波長172nmの光を10000J/cm2以上照射する期間を言える。
また、本発明における調整期間を光透過率の回復率で規定するなら、調整期間終了後における光透過部材における波長172nmの透過率は、初期透過率の80%以上と規定できる。
このような光透過率の回復率による定義は、光透過部材に含有されるOH基が必ずしも均一に分布していない場合があるため、このような場合に上記回復率をもって照射処理開始を基準にすることは、現実の処理工程において明確な作業基準として設定することができる。
【0019】
ここで、本発明におけるエキシマランプは、ピーク波長172nmの光を放射するものであり、その前後の150〜200nmの光を放射するものである。これは、この波長よりも短い波長の光を石英ガラスである光透過部材に照射すると、SiO2の結合を切断する割合が異常に増加するため、OH基の切断によるOの補充だけでは回復できなくなるからである。
【0020】
以上説明したように、本発明のエキシマランプ調整方法は、実質的に波長172nmの光のみを放射するエキシマランプを内蔵した照射装置であって、その光透過窓部材のOH基濃度が150〜400ppmという条件において、光透過部材の紫外線透過率が低下した後、再び増加するという現象を見出したものであり。この現象を活用することにより、第一にエキシマ光の照射処理が初めから高い照射効率で行なうことができ、第二に照射強度の変動を避けて安定した照射処理を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るエキシマ照射装置の全体図を示す。
【図2】 本発明に係るエキシマランプを示す。
【図3】 本発明の効果を示す実験を示す。
【符号の説明】
1 エキシマランプ
2 外側管
3 内側管
4 放電空間
5 外側電極
6 内側電極
10 照射装置
11 光透過窓
Claims (3)
- 波長172nmの真空紫外光を放射するエキシマランプを備え、OH基濃度が150〜400ppmの石英ガラスからなる光透過部材を有するエキシマ照射装置の初期調整方法であって、
前記光透過部材に前記真空紫外光を透過させて、当該光透過部材における波長172nmの透過率が減少した後、再び上昇するまでの期間を少なくとも慣らし運転として、
当該慣らし運転では照射処理を行なわないことを特徴とするエキシマ照射装置の初期調整方法。 - 前記真空紫外光の照射は、ピーク波長172nmの光であることを特徴とする請求項1のエキシマ照射装置の初期調整方法。
- 前記慣らし運転終了後における前記光透過部材における波長172nmの透過率は、初期透過率の80%以上であることを特徴とする請求項1のエキシマ照射装置の初期調整方法。
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