JP4430007B2 - 絶縁膜特性測定方法および絶縁膜特性測定装置 - Google Patents
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Description
半導体デバイスの集積技術の進歩によって、使用される絶縁膜の種類や膜厚が変わってきており、それに伴って、絶縁膜の評価方法も変わってきている。たとえば、絶縁膜の膜厚の測定方法として、従来は、光学的な方法(たとえば、エリプソメトリ)が用いられることがあった。しかし、光学的な測定方法は、絶縁膜表面に付着した有機物の影響を受けるため、必ずしも正確ではない。そこで、デバイスの動作に直結した電気的な膜厚測定方法が注目されている。
絶縁膜の膜厚は、その表面の電荷量、表面電位および比誘電率が分かれば求めることができ、絶縁膜の比誘電率は、その表面の電荷量、表面電位および膜厚が分かれば求めることができる。したがって、表面の電荷量および表面電位に加えて、膜厚および比誘電率の一方を知ることができれば、他方を求めることができる。
絶縁膜の表面に電極を形成して当該絶縁膜の膜厚、比誘電率または膜内電荷量の測定を行う方法がある。しかし、この方法は、破壊試験であり、工程が多くなるので、好ましい測定方法ではない。水銀を電極として使用することも考えられるが、水銀は人体に有害であるため、取り扱いが煩雑になる。しかも、水銀は液体であるため、電極面積が安定せず、正確な測定を行うことができない。さらに、いずれにしても、電極を絶縁膜の表面に形成すると、測定の際に、絶縁膜をリークする電流が発生し、測定が不正確になるおそれがある。
近年、半導体デバイスの集積技術の進歩に伴い、絶縁膜表面の有機物吸着が新たな問題となっている。すなわち、クリーンルーム内には、樹脂等から脱離した有機物が多量に存在しており、このような有機物が絶縁膜表面に吸着することによって、様々な工程において問題が生じる。そこで、基板処理装置内で有機物が発生しないように管理することが重要であり、そのためには基板表面の有機物吸着を測定する必要がある。雰囲気内または絶縁膜上の有機物量は、化学分析によって測定することができる。しかし、化学分析による測定には時間がかかるため、特に基板上の絶縁膜表面に付着した有機物の測定に化学分析を適用していては、インラインによる有機物汚染の測定をすることができない。
絶縁膜の表面電位の測定はケルビンプローブによって行うことができる。しかし、膜内電荷量や絶縁膜表面の電荷量による影響を考慮したうえで、絶縁膜表面に付着した表面吸着物に起因する表面電位変化を測定することは、これまで行われていなかった。
この発明の具体的な目的の一つは、半導体基板の表面に形成された絶縁膜の膜内電荷量を非接触で正確に測定することができる方法および装置を提供することである。
この発明の他の具体的な目的は、半導体基板の表面に形成された絶縁膜の膜厚を非接触で正確に測定することができる方法を提供することである。
本発明のさらに他の具体的な目的は、絶縁膜が形成された半導体基板のキャリヤ濃度を非接触で正確に測定することできる方法を提供することである。
この発明のさらに他の具体的な目的は、半導体基板の表面に形成された絶縁膜表面に付着した表面吸着物に起因する表面電位変化を非接触で正確に測定することができる方法および装置を提供することである。
この方法では、複数の理論表面電位特性の中から、前記偏差が最小となる設定値に対応するものの表面電位変化が抽出される。この表面電位変化は、結局、半導体基板上の絶縁膜における表面吸着物に起因する表面電位変化の真値に相当する。こうして、絶縁膜に対する非接触の測定により、表面吸着物に起因する表面電位変化を測定することができる。
図1は、この発明の一実施形態に係る絶縁膜特性測定装置の図解的な正面図である。この絶縁膜特性測定装置20は、半導体基板の一例であるウエハWの表面に形成された絶縁膜の膜厚、比誘電率等を測定するためのもので、帯電処理部1、C−V測定部2および表面電位測定部3をチャンバ9内に備えている。帯電処理部1、C−V測定部2および表面電位測定部3は、この実施形態では、図1の左右方向に沿う直線状に順に配置されている。ウエハWは、帯電処理部1における帯電処理位置、C−V測定部2におけるC−V測定位置および表面電位測定部3における表面電位測定位置の間を、ローダ4によって移動されるようになっている。
ローダ4は、ウエハWをほぼ水平に保持するための保持台5と、この保持台5を支持してほぼ水平方向に直線的に案内するレール6と、保持台5をレール6に沿って移動させる移動機構7とを備えている。保持台5は、たとえば、ウエハWの下面を真空吸着することにより、ウエハWを保持するものとすることができる。保持台5のウエハWに接する部分は、電気的導体で形成されており、接触電極として機能する。
ウエハWが帯電処理位置にあるとき、直流電源8によりニードル11と保持台5との間に直流電圧を印加することにより、ニードル11とウエハWとの間でコロナ放電を生じさせ、これによってウエハWの表面に形成された絶縁膜を帯電させることができるようになっている。直流電源8は、印加する電圧の極性を反転可能であり、ウエハWを正に帯電させることも負に帯電させることも可能である。
表面電位測定部3は、電極32を有するケルビンプローブ31を備えている。表面電位測定位置では、ウエハWは、ケルビンプローブ31に対向するようになっている。ケルビンプローブ31は、電極32を上下に振動させ、電極32に電圧をかけることができるようになっている。絶縁膜表面が帯電したウエハWが表面電位測定位置にあるときに、電極32を振動させることにより、電極32にはその振動数で変化する電荷が誘導される。電極32に適当な電圧をかけることにより、この電荷を打ち消すことができる。このときの電圧から、ウエハWの表面電位を求めることができる。ケルビンプローブ31の出力信号は、制御部40に入力されるようになっている。
図2は、表面電荷量に対する表面電位の特性の一例を示し、測定された表面電位特性(測定表面電位特性)が曲線L1で示されている。このような測定表面電位特性は、図1に示す構成において、帯電処理部1により、ウエハWに対して様々な表面電荷量を与え、C−V測定部2においてC−V特性を測定するとともに、表面電位測定部3においてウエハWの表面電位(絶縁膜の表面電位)を測定することによって、得ることができる(表面電位特性測定ステップ、表面電位特性測定手段)。すなわち、C−V特性の測定結果に基づいて算出される表面電荷量と、表面電位測定部3による測定結果とを、制御部40において対応付けることにより、上記のような測定表面電位特性を得ることができる。もっとも、帯電処理部1において正確に帯電量を制御できる場合には、表面電荷量の測定は不要であり、制御された帯電量と表面電位測定部3によって測定される表面電位とを対応付けて、測定表面電位特性を求めるようにしてもよい。
Vsurf=φs+Vins+φref−φsub+φorg ……(1)
ここで、φsは絶縁膜の表面ポテンシャル、Vinsは絶縁膜にかかる電位、φrefは表面電位基準試料の仕事関数、φsubは半導体基板(ウエハW)の仕事関数、φorgは絶縁膜表面に付着した表面吸着物に起因する表面電位変化を表す。
また、膜内電荷量が絶縁膜界面付近に存在していると仮定すると、絶縁膜にかかる電位Vinsは次式(5)で表される。
表面電位基準試料の仕事関数φrefについては、文献値や実験により求めた値を用いることができる。なお、上記式(1)で求められる表面電位は、上記表面電位基準試料を測定した際の表面電位を零とした場合の表面電位である。通常、表面電位計には零点調整機能が搭載されている。そこで、表面基準電位試料を測定した際に零点調整を行うことによって、測定される表面電位は、上記式(1)で表される値となる。
上記式(1)から、表面吸着物に起因する表面電位変化が存在する場合には、絶縁膜の表面電位は、表面吸着物に起因する表面電位変化φorgだけ変化(シフト)することが分かる。ステップS2において、表面電位変化φorg=0として理論表面電位Vsurfを求めているので、ウエハW上に形成された絶縁膜の実際の特性に相当する理論表面電位特性は、測定表面電位特性に対して、表面電位変化φorgだけ表面電位座標軸方向にずれている。そこで、推定表面電位特性(図4(a)の曲線L12)における表面電位の平均値(全プロットの平均値)を求め、さらに、測定表面電位特性(図4(a)の曲線L11)における表面電位の平均値(全プロットの平均値)を求めて、これらの差分を計算して表面電位変化φorgとする。このような演算を、すべての推定表面電位特性に関して実行する。
その後、制御部40は、ステップS1〜S5の処理を所定回数繰り返したかどうかを判断し(ステップS6)、繰り返し回数が当該所定回数に達していなければ、ステップS1からの処理を繰り返す。
そして、ステップS15では、制御部40は、フィッティング指標が最小となる理論表面電位特性に対応した膜厚、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度を求める。
この所定回数の繰り返し処理によってフィッティング指標Fitが最小となる理論表面電位特性が見いだされると、これに対応する表面電位変化が求められる(ステップS17)。そして、最後のステップS15での処理で得られる膜厚、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度ならびにステップS17の処理で得られる表面電位変化の各値が、当該ウエハWの特性を表す値として出力される(ステップS18)。
図6は、測定表面電位特性および多数の理論表面電位特性を用いて、ウエハW上に形成された絶縁膜の特性を求める際に制御部40が実行する処理のさらに他の例を説明するためのフローチャートであり、絶縁膜の膜厚が既知であり、その比誘電率、膜内電荷量および表面吸着物に起因する表面電位変化が未知である場合の処理が示されている。この図6において、前述の図3に示された各ステップに対応するステップには、図3の各ステップに付したステップ番号に「20」を加えたステップ番号を付して示す。
そして、ステップS25では、制御部40は、フィッティング指標が最小となる理論表面電位特性に対応した比誘電率および膜内電荷量を求める。
この所定回数の繰り返し処理によってフィッティング指標Fitが最小となる理論表面電位特性が見いだされると、これに対応する表面電位変化が求められる(ステップS27)。そして、最後のステップS25での処理で得られる比誘電率および膜内電荷量ならびにステップS27の処理で得られる表面電位変化の各値が、当該ウエハWの特性を表す値として出力される(ステップS28)。
この図6の処理に関しても、前述の図5の処理と同様の変形が可能であり、基板キャリヤ濃度を併せて求めることができる。この場合の制御部40の処理を図7に示す。この図7において、前述の図6に示された各ステップに対応するステップには、図6の各ステップに付したステップ番号に「10」を加えたステップ番号を付して示す。
そして、ステップS35では、制御部40は、フィッティング指標が最小となる理論表面電位特性に対応した比誘電率、膜内電荷量基板およびキャリヤ濃度を求める。
この所定回数の繰り返し処理によってフィッティング指標Fitが最小となる理論表面電位特性が見いだされると、これに対応する表面電位変化が求められる(ステップS37)。そして、最後のステップS35での処理で得られる比誘電率、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度ならびにステップS37の処理で得られる表面電位変化の各値が、当該ウエハWの特性を表す値として出力される(ステップS38)。
以上の処理例では、絶縁膜の膜厚または比誘電率のいずれかが未知である場合を例にとったが、絶縁膜の膜厚および比誘電率の両方が文献等によって既知である場合には、膜厚または比誘電率については仮設定値を定めずに、膜内電荷量についてのみ複数の仮設定値を定めて同様の処理を行ったり、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度についてのみ各複数の仮設定値を定めて同様の処理を行ったりしてもよい。これにより、制御部40が実行する処理を簡単にすることができ、簡便な処理で、膜内電荷量および表面吸着物に起因する表面電位変化(基板キャリヤ濃度について仮設定値を定めるときには、さらに基板キャリヤ濃度)を求めることができる。
図8は、図1の絶縁膜特性測定装置20により、ウエハWの表面に形成された絶縁膜の表面電荷量に対する表面電位の特性(測定表面電位特性)を測定する際に制御部40が実行する処理を説明するためのフローチャートである。
Cfb=CfbsCMAX/(CMAX+Cfbs) ……(8)
ここで、Cfbsはシリコン(ウエハW)のフラットバンド容量であり、次式(9)で表される。
ここで、εsはウエハWの誘電率であり、真空中の誘電率ε0とウエハWの比誘電率εSiとの積に等しい。ウエハWの比誘電率εSiは文献値等を用いることができる。λpはデバイ長であり、次式(10)で表される。
λp={(kTε0εSi)/(q0 2Nd)}1/2 ……(10)
ここで、kはボルツマン定数であり、q0は電気素量である。Tは半導体ウエハWの温度であるが、温度センサ10で測定されたチャンバ9内の温度で代用することができる。NdはウエハWのキャリヤ濃度であり、必要に応じて、別途測定することにより求めることができる。キャリヤ濃度Ndは、通常は、ウエハW購入時に測定されるので、その値を用いることができる。また、キャリヤ濃度Ndは、C−V曲線の傾きから求めることもできる。
続いて、制御部40により移動機構7が制御されて、ウエハWが帯電処理位置に移動される。そして、制御部40により直流電源8が制御されて、ニードル11と保持台5との間に所定の電圧が印加さる。これにより、ニードル11とウエハWとの間にコロナ放電が生じ、ウエハW表面に形成された絶縁膜が均一に帯電される(ステップU2)。
その後、制御部40により移動機構7が制御されて、ウエハWがC−V測定位置に移動され、C−V測定が実施される(ステップU3)。このとき、ギャップdairの大きさは、ステップU1におけるC−V測定時とほぼ同じにされる。これにより、帯電処理後のC−V曲線CV2(図9参照。)が得られる。帯電処理後のC−V曲線CV2は、帯電処理前のC−V曲線CV1をバイアス電圧座標軸の正方向にシフトさせたような形を有している。
第2のフラットバンド電圧Vfb2は、C−V曲線CV2において、標準化容量C/CMAXがCfb/CMAXであるときのバイアス電圧の値として求まる(図9参照)。
そして、制御部40の演算により、次式(11)に基づいて、第2のフラットバンド電圧Vfb2と第1のフラットバンド電圧Vfb1との差ΔVfb、およびギャップdairから、帯電処理によってウエハW表面に与えられた電荷量Qが求められる(ステップU4)。
次に、制御部40により移動機構7が制御されて、ウエハWが表面電位測定位置に移動され、ウエハWの表面電位Vsurfが測定される(ステップU5)。これにより、電荷量Qとそのときの表面電位Vsurfとからなる一組のデータが得られる。C−V測定(ステップU3)および表面電位Vsurfの測定(ステップU5)は、絶縁膜表面の電荷量Qが変化していないとみなせる時間内に行われる。
ウエハWが蓄積状態ではない場合(ステップU6のNO)は、再びステップU2に戻り、帯電処理(ステップU2)、C−V測定(ステップU3)、電荷量Qの計算(ステップU4)、および表面電位Vsurfの測定(ステップU5)が行われる。二度目以降の帯電処理により、ウエハWがP型半導体である場合は、絶縁膜表面が順次負側に大きく帯電されていき、ウエハWがN型半導体である場合は、絶縁膜表面が順次正側に大きく帯電されていく。
このようにして、ステップU2からステップU5が実行されるたびに、電荷量Qとそのときの表面電位Vsurfとの組からなるデータが増えていく。
ウエハWが蓄積状態の場合(ステップU6のYES)は、電荷量Qが所定の値以上であるか否かが判断される(ステップU7)。電荷量Qが極端に大きいと、インピーダンスメータ26が印加可能なバイアス電圧の範囲では、ウエハWは蓄積状態しか示さないよう(図8において、C−V曲線CV1,CV2をバイアス電圧座標軸の正方向に極端にシフトさせた状態)になり、フラットバンド電圧を求めることができなくなる。電荷Qの所定の値は、C−V測定によりウエハWのフラットバンド電圧を求めることが可能であるか否かを判断できるように設定されている。
以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明はさらに他の形態で実施することもできる。たとえば、前述の実施形態では、仮設定値の全ての組み合わせに対して理論表面電位特性を求め(ステップS2,S12,S22,S32)、その後に、その全ての理論表面電位特性に対して表面電位変化(ステップS3,S13,S23,S33)およびフィッティング指標(ステップS4,S14,S24,S34)を求めるようにしているが、一つの理論表面電位特性を求めるたびに、その理論表面電位特性に対して表面電位変化およびフィッティング指標を求める計算順序としてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 C−V測定部
3 表面電位測定部
4 ローダ
5 保持台
6 レール
7 移動機構
8 直流電源
9 チャンバ
10 温度センサ
11 ニードル
20 絶縁膜特性測定装置
21 測定電極
22 ステッピングモータ
23 圧電アクチュエータ
24 ベース
25 プリズム
25a 底面
26 インピーダンスメータ
27 レーザ発振器
28 受光センサ
29 光量測定器
31 ケルビンプローブ
32 電極
40 制御部
Claims (8)
- 半導体基板の表面に形成された絶縁膜の特性を、この絶縁膜に対して非接触で測定する絶縁膜特性測定方法であって、
前記絶縁膜の表面電荷量に対する表面電位の特性である測定表面電位特性を絶縁膜に対して非接触で測定する表面電位特性測定ステップと、
膜内電荷量を複数個仮設定する仮設定ステップと、
前記仮設定された複数の膜内電荷量に関して、前記絶縁膜の表面電荷量に対する表面電位の理論的な特性である理論表面電位特性をそれぞれ計算する理論表面電位特性計算ステップと、
各理論表面電位特性に関して、前記測定表面電位特性から求められる表面電位の平均値と、当該理論表面電位特性から求められる表面電位の平均値との差分である平均値差分を求め、この平均値差分を前記絶縁膜の表面に吸着している表面吸着物に起因する表面電位変化とするステップと、
各理論表面電位特性に関して、当該理論表面電位特性に対して前記表面電位変化による補正を施した補正表面電位特性に対する前記測定表面電位特性の偏差を計算するステップと、
前記偏差が最も小さくなる理論表面電位特性に対応する膜内電荷量の設定値を定める最小偏差設定値決定ステップと、を含む絶縁膜特性測定方法。 - 前記仮設定ステップは、前記絶縁膜の膜厚および膜内電荷量をそれぞれ複数個設定するステップであり、
前記理論表面電位特性計算ステップは、前記仮設定された複数の膜厚および複数の膜内電荷量の複数の組み合わせに関して、理論表面電位特性をそれぞれ計算するステップであり、
前記最小偏差設定値決定ステップは、前記偏差が最も小さくなる理論表面電位特性に対応する膜厚および膜内電荷量の設定値の組を定めるステップである、請求項1記載の絶縁膜特性測定方法。 - 前記仮設定ステップは、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度をそれぞれ複数個設定するステップであり、
前記理論表面電位特性計算ステップは、前記仮設定された複数の膜内電荷量および複数の基板キャリヤ濃度の複数の組み合わせに関して、理論表面電位特性をそれぞれ計算するステップであり、
前記最小偏差設定値決定ステップは、前記偏差が最も小さくなる理論表面電位特性に対応する膜内電荷量および基板キャリヤ濃度の設定値の組を定めるステップである、請求項1記載の絶縁膜特性測定方法。 - 前記仮設定ステップは、前記絶縁膜の膜厚、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度をそれぞれ複数個設定するステップであり、
前記理論表面電位特性計算ステップは、前記仮設定された複数の膜厚、複数の膜内電荷量および複数の基板キャリヤ濃度の複数の組み合わせに関して、理論表面電位特性をそれぞれ計算するステップであり、
前記最小偏差設定値決定ステップは、前記偏差が最も小さくなる理論表面電位特性に対応する膜厚、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度の設定値の組を定めるステップである、請求項1記載の絶縁膜特性測定方法。 - 前記仮設定ステップは、前記絶縁膜の比誘電率および膜内電荷量をそれぞれ複数個設定するステップであり、
前記理論表面電位特性計算ステップは、前記仮設定された複数の比誘電率および複数の膜内電荷量の複数の組み合わせに関して、理論表面電位特性をそれぞれ計算するステップであり、
前記最小偏差設定値決定ステップは、前記偏差が最も小さくなる理論表面電位特性に対応する比誘電率および膜内電荷量の設定値の組を定めるステップである、請求項1記載の絶縁膜特性測定方法。 - 前記仮設定ステップは、前記絶縁膜の比誘電率、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度をそれぞれ複数個設定するステップであり、
前記理論表面電位特性計算ステップは、前記仮設定された複数の比誘電率、複数の膜内電荷量および複数の基板キャリヤ濃度の複数の組み合わせに関して、理論表面電位特性をそれぞれ計算するステップであり、
前記最小偏差設定値決定ステップは、前記偏差が最も小さくなる理論表面電位特性に対応する比誘電率、膜内電荷量および基板キャリヤ濃度の設定値の組を定めるステップである、請求項1記載の絶縁膜特性測定方法。 - 前記最小偏差設定値決定ステップによって定められる設定値に対応する理論表面電位特性に対応して求められた表面電位変化を抽出するステップをさらに含む、請求項1〜6のいずれかに記載の絶縁膜特性測定方法。
- 半導体基板の表面に形成された絶縁膜の特性を、この絶縁膜に対して非接触で測定する絶縁膜特性測定装置であって、
前記絶縁膜の表面電荷量に対する表面電位の特性である測定表面電位特性を絶縁膜に対して非接触で測定する表面電位特性測定手段と、
膜内電荷量を複数個仮設定する仮設定手段と、
前記仮設定された複数の膜内電荷量に関して、前記絶縁膜の表面電荷量に対する表面電位の理論的な特性である理論表面電位特性をそれぞれ計算する理論表面電位特性計算手段と、
各理論表面電位特性に関して、前記測定表面電位特性から求められる表面電位の平均値と、当該理論表面電位特性から求められる表面電位の平均値との差分である平均値差分を求め、この平均値差分を前記絶縁膜の表面に吸着している表面吸着物に起因する表面電位変化とする表面電位変化演算手段と、
各理論表面電位特性に関して、当該理論表面電位特性に対して前記表面電位変化による補正を施した補正表面電位特性に対する前記測定表面電位特性の偏差を計算する偏差演算手段と、
前記偏差が最も小さくなる理論表面電位特性に対応する膜内電荷量の設定値を定める最小偏差設定値決定手段と、を含む絶縁膜特性測定装置。
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