JP4428147B2

JP4428147B2 - Substrate detection device in load port device

Info

Publication number: JP4428147B2
Application number: JP2004166865A
Authority: JP
Inventors: 誠大森; 育志谷山
Original assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Current assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Priority date: 2004-06-04
Filing date: 2004-06-04
Publication date: 2010-03-10
Anticipated expiration: 2024-06-04
Also published as: JP2005347603A

Description

本発明は、半導体製造装置の各処理装置に対して基板の搬出入を行うロードポート装置に装着される基板検出装置に関し、更に詳しくは、異なるキャリアカセット（以下、「カセット」と略称することもある）にそれぞれ収容された大きさの異なる二種類の基板の各段における存否などを検出可能な二種類の基板検出ユニットを備えた基板検出装置に関するものである。 The present invention relates to a substrate detection apparatus mounted on a load port apparatus that carries a substrate in and out of each processing apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus. More specifically, the present invention relates to a different carrier cassette (hereinafter abbreviated as “cassette”). The present invention relates to a substrate detection apparatus including two types of substrate detection units that can detect the presence or absence of two types of substrates of different sizes accommodated in each stage.

ロードポート装置は、キャリアカセット（以下、「カセット」と略称することもある）を載置するために半導体処理装置（以下、「処理装置」という）のフレームの外側に水平に設けられたテーブルと、該テーブルの載置された前記カセットの開口に対して蓋体を着脱させるために、前記フレームの内側に昇降可能に装着された蓋体着脱装置とを備え、前記テーブルに載置されたカセットに複数段となって収容された各基板を処理装置内に取り込んで所定の処理を行い、当該処理後において基板を再度前記カセット内に戻して、次工程の処理装置にカセットを介して多数枚の基板を搬送している。 The load port device includes a table horizontally provided on the outside of a frame of a semiconductor processing apparatus (hereinafter referred to as “processing apparatus”) for mounting a carrier cassette (hereinafter also abbreviated as “cassette”). A cassette mounted on the table, wherein the cassette is mounted on the table so that the lid can be attached to and detached from the opening of the cassette on which the table is mounted. Each substrate accommodated in a plurality of stages is taken into the processing apparatus and subjected to a predetermined processing, and after the processing, the substrate is returned to the cassette again, and a large number of sheets are passed through the cassette to the processing apparatus for the next process. The substrate is being transported.

また、外側に前記テーブルを取付けた処理装置のフレームの内側には、蓋体着脱装置が昇降可能に装着されていて、基板の処理前において、テーブルに載置されたカセットの開口を覆っている蓋体を取り外すと共に、処理済の基板をカセットに収容した後において、当該カセットの開口を蓋体で覆った状態で、当該工程の処理を終えた多数の基板を収容したカセットを次工程に搬送している。ここで、処理済の基板をカセットに収容した後には、カセットの開口を蓋体で覆う前に、例えば特許文献１に示されるように、蓋体着脱装置を構成する蓋体着脱ユニットの上端部に、カセット内の各段の基板の存否、二枚重ね、傾斜配置などを検出するための基板検出ユニットを装着して、基板におけるカセットの開口に臨んでいる部分の両側に発光素子及び受光素子から成る「マッピングセンサ」と称される一対のセンサを配置して、該一対のセンサを下降させることにより、基板の存否などの検出を行っている。 Also, a lid attaching / detaching device is mounted on the inside of the frame of the processing apparatus having the table attached to the outside, and covers the opening of the cassette placed on the table before processing the substrate. After removing the lid and storing the processed substrates in the cassette, the cassette containing a large number of substrates that have been processed in the process is transferred to the next process with the opening of the cassette covered with the lid. is doing. Here, after the processed substrate is accommodated in the cassette, before the opening of the cassette is covered with the lid, as shown in Patent Document 1, for example, the upper end portion of the lid attachment / detachment unit constituting the lid attachment / detachment device In addition, a substrate detection unit for detecting the presence / absence of a substrate at each stage in the cassette, double stacking, tilting arrangement, etc. is mounted, and the substrate comprises light emitting elements and light receiving elements on both sides of the portion facing the cassette opening. A pair of sensors called “mapping sensors” are arranged, and the pair of sensors are lowered to detect the presence or absence of the substrate.

一方、基板の処理に関しては、外径２００ｍｍと同３００ｍｍの大きさの異なる基板を同一の処理装置で処理する場合がある。外径２００ｍｍの基板を収容するカセットは、基板の挿入及び取出し方向に沿って両端が開口した構造の「オープンカセット」と称されるものであり、外径３００ｍｍの基板を収容するカセットは、基板の挿入及び取出しの開口が一つのみ設けられた構造のＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）カセットと称されるものである。ここで、「オープンカセット」に収容された基板は、その前後にそれぞれ設けられた開口部に前記一対のセンサを配置して、上下方向に移動させることにより、基板の存否などの確認ができるが、「ＦＯＵＰカセット」の場合には、開口が一つのみであるため、「オープンカセット」のようにして一対のセンサの配置ができないので、カセットの開口に臨んでいる部分の基板の両側に一対のセンサを配置して、該一対のセンサを下降させることにより、基板の存否などの検出を行っている。 On the other hand, with respect to substrate processing, there are cases where substrates having different outer diameters of 200 mm and 300 mm are processed by the same processing apparatus. A cassette that accommodates a substrate having an outer diameter of 200 mm is referred to as an “open cassette” having a structure in which both ends are opened along the insertion and removal directions of the substrate. This is called a FOUP (Front Opening Unified Pod) cassette having a structure in which only one opening for insertion and removal is provided. Here, the substrate accommodated in the “open cassette” can be confirmed whether or not the substrate is present by arranging the pair of sensors in the openings provided at the front and back of the substrate and moving the sensors in the vertical direction. In the case of the “FOUP cassette”, since there is only one opening, a pair of sensors cannot be arranged as in the “open cassette”, so there is a pair on both sides of the substrate facing the opening of the cassette. The presence or absence of the substrate is detected by arranging the sensors and lowering the pair of sensors.

従来において、外径２００ｍｍと同３００ｍｍの大きさの異なる基板を同一の処理装置で処理する場合には、予め外径２００ｍｍと同３００ｍｍとにそれぞれ対応する基板検出ユニットを製作準備しておいて、処理対象の基板の大きさが変更された場合には、その都度、別の基板検出ユニットに交換することにより対応していた。しかし、基板検出ユニットの交換には、多数の部品の交換を余儀なくされて、その交換自体が面倒であるのに加えて、交換作業を行っている間は、基板の処理を中断せざるを得ないので、基板処理の効率も低下するという二重の問題があった。
特開２００３−３４７３９１号公報 Conventionally, when processing different substrates having the same outer diameter of 200 mm and the same 300 mm in the same processing apparatus, substrate preparation units corresponding to the outer diameter of 200 mm and the same of 300 mm are prepared in advance. When the size of the substrate to be processed is changed, it is dealt with by changing to a different substrate detection unit each time. However, when replacing the board detection unit, it is necessary to replace a large number of parts, and in addition to the troublesome replacement itself, processing of the board must be interrupted while the replacement work is being performed. As a result, there has been a double problem that the efficiency of substrate processing is reduced.
JP 2003-347391 A

本発明は、異なるカセットにそれぞれ収容された大きさの異なる二種類の基板を同一装置で処理する際に、処理後にカセットの各段に戻された基板の存否などを確認するのに、基板の大きさに対応する基板検出ユニットの着脱を行うことなく検出可能にすることである。 In the present invention, when processing two types of substrates of different sizes respectively stored in different cassettes with the same apparatus, it is possible to confirm whether or not there are substrates returned to each stage of the cassette after processing. It is to enable detection without attaching or detaching the substrate detection unit corresponding to the size.

上記の課題を解決するための請求項１の発明は、キャリアカセットを載置するために、基板の処理装置のフレームの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、該カセットテーブルに載置された前記キャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱させるために、前記フレームの内側に昇降可能に装着された蓋体着脱装置とを備えたロードポート装置において、基板検出ユニットは、前記キャリアカセットの開口に臨む基板群に対して退避可能に配置されたセンサが昇降することにより、各段における基板の存否などを検出する構成であって、前記蓋体着脱装置を構成する蓋体着脱ユニットの上端部に、二種類のキャリアカセットに複数段に収容された大きさの異なる第１及び第２の各基板の存否などを検出可能な第１及び第２の各基板検出ユニットが装着され、前記第１及び第２の各基板検出ユニットは、垂直回動軸を中心に水平面内で回動する一対のアームの先端に発光素子と受光素子とがそれぞれ取付けられた構成であって、第１及び第２の各基板検出ユニットを構成する計二対のアームの垂直回動軸は、各対の対応する垂直回動軸が同心二重軸構造となっていることを特徴としている。 In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 is provided with a cassette table horizontally provided outside the frame of the substrate processing apparatus and placed on the cassette table in order to place the carrier cassette. In the load port apparatus including a lid body attaching / detaching device mounted on the inside of the frame so as to be movable up and down in order to attach and detach the lid to the opening of the carrier cassette, the substrate detection unit is configured to open the opening of the carrier cassette. The upper and lower ends of the lid attaching / detaching unit constituting the lid attaching / detaching device are configured to detect the presence / absence of the substrate at each stage by moving up and down a sensor disposed so as to be retractable with respect to the substrate group facing the substrate. the two types of carrier cassette accommodated in a plurality of stages the sizes of different first and second first and second respective substrate detection Yu such capable of detecting the presence or absence of each substrate Tsu: it is mounted, said first and second respective substrate detection unit of the tip of the pair of arms to be pivoted in a horizontal plane around a vertical rotation axis and the light-emitting element and a light receiving element is attached respectively configured The vertical rotation shafts of a total of two pairs of arms constituting each of the first and second substrate detection units are such that the corresponding vertical rotation shafts of each pair have a concentric double shaft structure. It is a feature.

請求項１の発明によれば、ロードポート装置のカセットテーブルに載置したキャリアカセットの各段に収容された第１基板の存否などを検出する場合には、第１基板検出ユニットのセンサを退避位置から突出させて、第１基板におけるカセットの開口に臨む部分の側方に配置させ、第２基板検出ユニットのセンサは、退避位置に退避させたままにしておく。この状態において、蓋体着脱装置の蓋体着脱ユニットを降下させると、前記センサによりキャリアカセットの各段毎に、基板の存否、二枚重ね、傾斜配置などが検出される。一方、処理装置で処理する基板が第２基板に変更された場合には、上記とは逆に、第１基板検出ユニットのセンサを退避位置に退避させておいて、第２基板を検出可能な第２基板検出ユニットのセンサを退避位置から所定位置まで突出させて、上記と同様にして、別のカセットの各段に収容されている第２基板の存否などを行う。 According to the first aspect of the present invention, when detecting the presence / absence of the first substrate housed in each stage of the carrier cassette placed on the cassette table of the load port device, the sensor of the first substrate detection unit is retracted. The sensor of the second substrate detection unit is kept retracted to the retracted position by projecting from the position and being disposed on the side of the portion of the first substrate facing the opening of the cassette. In this state, when the lid attaching / detaching unit of the lid attaching / detaching apparatus is lowered, the presence / absence of the substrate, the double stack, the inclined arrangement, etc. are detected by the sensor for each stage of the carrier cassette. On the other hand, when the substrate to be processed by the processing apparatus is changed to the second substrate, the second substrate can be detected by retracting the sensor of the first substrate detection unit to the retracted position, contrary to the above. The sensor of the second substrate detection unit is projected from the retracted position to a predetermined position, and the presence or absence of the second substrate accommodated in each stage of another cassette is performed in the same manner as described above.

このため、同一の処理装置において、処理対象である基板の大きさが変更された場合においても、従来のように、基板検出ユニットの交換を行うことなく、大きさの異なる別々のカセットに収容された第１及び第２の各基板の検出を行えるために、基板検出ユニットの交換のために処理装置を一時中断させることなく、大きさの異なる第１及び第２の各基板の処理を連続して行える。 For this reason, even when the size of the substrate to be processed is changed in the same processing apparatus, it is accommodated in separate cassettes having different sizes without replacing the substrate detection unit as in the past. In order to be able to detect each of the first and second substrates, the processing of the first and second substrates having different sizes is continuously performed without temporarily interrupting the processing apparatus for replacing the substrate detection unit. Can be done.

また、第１及び第２の各基板検出ユニットを構成する計４本のアームの垂直回動軸の軸心の数は、計４個であるにもかかわらず２個で済ませられて、平面視における各部品の配置設計が容易となって、全体として可動部品の干渉を避けてコンパクトな設計にできる。 In addition , although the total number of the vertical rotation axes of the four arms constituting the first and second substrate detection units is four , the number of axes is two, so that the plan view The layout design of each component in the above becomes easy, and the overall design can be made compact by avoiding the interference of moving parts.

本発明は、蓋体着脱装置を構成する蓋体着脱ユニットの上端部に、二種類のキャリアカセットに複数段に収容された大きさの異なる第１及び第２の各基板の存否などを検出可能な第１及び第２の各基板検出ユニットを装着してあるので、使用しない基板検出ユニットのセンサを退避位置に退避させたままで、検出対象の基板に対応する基板検出ユニットのセンサのみを退避位置から検出位置まで突出させて、カセットに収容された基板における前記カセットの開口に臨む部分の側方に配置した状態で、蓋体着脱ユニットを下降又は上昇させることにより、カセットの各段の基板の存否などを検出できる。よって、処理基板の大きさが変更された場合には、別の基板検出ユニットのセンサを退避位置から検出位置まで突出させることにより、別のカセットの各段に収容された大きさの異なる別の基板の検出を即座にできる。また、第１及び第２の各基板検出ユニットを構成する垂直回動軸の軸心の数は、計４個であるにもかかわらず２個で済ませられて、平面視における各部品の配置設計が容易となって、全体として可動部品の干渉を避けてコンパクトな設計にできる。 The present invention can detect the presence / absence of the first and second substrates of different sizes accommodated in a plurality of stages in two types of carrier cassettes at the upper end of the lid attaching / detaching unit constituting the lid attaching / detaching device. Since the first and second substrate detection units are mounted, only the sensor of the substrate detection unit corresponding to the detection target substrate is retracted while the sensor of the unused substrate detection unit is retracted to the retracted position. Projecting from the detection position to the side of the portion of the substrate accommodated in the cassette facing the opening of the cassette, the lid attaching / detaching unit is lowered or raised, Presence / absence can be detected. Therefore, when the size of the processing substrate is changed, by projecting a sensor of another substrate detection unit from the retracted position to the detection position, the different size accommodated in each stage of another cassette is different. The substrate can be detected immediately. In addition, the number of the vertical rotation shafts constituting each of the first and second board detection units is four in spite of a total of four, and the layout design of each component in plan view is sufficient. As a result, the overall design can be made compact by avoiding the interference of moving parts.

以下、本発明を実施するための最良の形態、及び他の形態を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。最初に、図１ないし図７を参照にして、ロードポート装置Ｐの概略について説明し、その後に、ロードポート装置Ｐを構成する蓋体着脱装置Ｌの蓋体着脱ユニットＵ₁₂の上端部に組み込まれた基板検出装置Ａについて説明する。図１は、ロードポート装置Ｐの概略斜視図であり、図２は、同じく正面図であり、図３は、図２のＵ−Ｕ線断面図であり、図４は、図２のＶ₁−Ｖ₁線線断面図であり、図５は、図２又は図３のＶ₂−Ｖ₂線断面図であり、図６は、基板検出装置Ａを構成する駆動ユニットＵ₁₁の昇降部材８に対して蓋体着脱ユニットＵ₁₂を基板Ｗ₁（Ｗ₂）の受渡し方向（前後方向）Ｘに沿って移動させる前後動機構Ｂの平面図であり、図７は、同じく断面図である。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the best mode for carrying out the present invention and other forms. First, the outline of the load port device P will be described with reference to FIGS. 1 to 7, and then incorporated into the upper end portion of the lid body attaching / detaching unit U ₁₂ of the lid body attaching / detaching device L constituting the load port device P. The substrate detection apparatus A will be described. Figure 1 is a schematic perspective view of a load port device P, Fig. 2 is a likewise front view, FIG. 3 is a U-U line sectional view of FIG. 2, FIG. 4, V ₁ in FIG. 2 a _single-wire line sectional view -V, Fig. 5 is a V ₂ -V ₂ line sectional view of FIG. 2 or FIG. 3, FIG. 6, the elevating member 8 of the drive unit U ₁₁ constituting the substrate detection apparatus a FIG. 7 is a plan view of a back-and-forth movement mechanism B for moving the lid attaching / detaching unit U ₁₂ along the delivery direction (front-rear direction) X of the substrate W ₁ (W ₂ ). FIG.

ロードポート装置Ｐは、半導体製造装置の各処理装置と外部との間においてカセットＫ₁（Ｋ₂）に収容された基板Ｗ₁（Ｗ₂）の受け渡しを行うための装置であり、更に詳しくは、カセットＫ₁（Ｋ₂）に収容された基板Ｗ₁（Ｗ₂）を取り出して、各処理装置において所定の処理を行った後に、当該処理装置による所定の処理を終えた基板Ｗ₁（Ｗ₂）を前記カセットＫ₁（Ｋ₂）に戻して収容させるための装置である。図３において、カセットＫ₁は、外径３００ｍｍの基板Ｗ₁を収容するためのＦＯＵＰカセットであって、前面の一ヶ所にのみ開口７２が形成されており（図１４参照）、カセットＫ₂は、外径２００ｍｍの基板Ｗ₂を収容するためのカセットである。ロードポート装置Ｐは、処理装置のフレームＦに形成された開口Ｆａを覆うようにして垂直に配置されたロードポートフレーム１と、前記カセットＫ₁（Ｋ₂）を載置するために、該ロードポートフレーム１の裏側（処理装置側）に水平となって一体に装着されたカセットテーブルＴと、前記ロードポートフレーム１における表側（処理装置と反対側）に装着された蓋体着脱装置Ｌとを備えている。ロードポートフレーム１におけるカセットテーブルＴよりも上方の部分には、処理装置側と外部との間で基板Ｗ₁（Ｗ₂）を通過させてその受け渡しを可能にするための方形の基板通過口２が形成されている。基板通過口２が方形をしているのは、該基板通過口２は、処理装置の内外の間で基板Ｗ₁（Ｗ₂）を受け渡しのために通過させる機能を有する他に、蓋体着脱装置ＬによりＦＯＵＰカセットであるカセットＫ₁のカセット本体７１の開口７２に蓋体７３を着脱させる際に、前記蓋体７３を通過させる機能も有している。よって、基板通過口２は、カセットＫ₁の蓋体７３の形状に対して僅かに大きな相似形の方形をなしている。 The load port apparatus P is an apparatus for delivering the substrate W ₁ (W ₂ ) accommodated in the cassette K ₁ (K ₂ ) between each processing apparatus of the semiconductor manufacturing apparatus and the outside. The substrate W ₁ (W ₂ ) accommodated in the cassette K ₁ (K ₂ ) is taken out, subjected to predetermined processing in each processing apparatus, and then subjected to predetermined processing by the processing apparatus W ₁ (W ₂ ) is a device for returning and storing the cassette K ₁ (K ₂ ). 3, the cassette K ₁ is a FOUP cassette for housing the substrate W ₁ of the outer diameter of 300 mm, the opening 72 only in one place of the front are formed (see FIG. 14), the cassette K ₂ is A cassette for housing a substrate W ₂ having an outer diameter of 200 mm. The load port device P is used to mount the load port frame 1 vertically disposed so as to cover the opening Fa formed in the frame F of the processing device and the cassette K ₁ (K ₂ ). A cassette table T mounted horizontally and integrally on the back side (processing device side) of the port frame 1 and a lid attaching / detaching device L mounted on the front side (opposite side to the processing device) of the load port frame 1 I have. In a portion of the load port frame 1 above the cassette table T, a rectangular substrate passage port 2 for allowing the substrate W ₁ (W ₂ ) to pass between the processing apparatus side and the outside so as to allow the delivery thereof. Is formed. The substrate passage port 2 has a square shape. The substrate passage port 2 has a function of allowing the substrate W ₁ (W ₂ ) to pass between the inside and outside of the processing apparatus for the purpose of delivery, as well as a lid attachment / detachment. the device L when attaching and detaching the lid 73 in the opening 72 of the cassette body 71 of the cassette K ₁ is a FOUP cassette also has a function of passing the lid 73. Therefore, the substrate passage opening 2 has a slightly rectangular large similar shape with respect to the shape of the lid 73 of the cassette K _1.

また、カセットテーブルＴは、ロードポートフレーム１に固定されたテーブル本体３と、該テーブル本体３の幅方向の中央のスライド案内部４に基板Ｗ₁（Ｗ₂）の受渡し方向Ｘに沿ってスライド可能に配置されたカセット載置板５とを備えている。前記カセット載置板５に大きさの異なる二種類の各カセットＫ₁，Ｋ₂が位置決めされて載置される。カセット載置板５の上面には、該カセット載置板５に対して二種類の各カセットＫ₁，Ｋ₂をそれぞれ設定位置に位置決めして固定させるための二種類の位置決め部材６，７がそれぞれ設けられており、カセット載置板５は、エアシリンダなどの駆動手段（図示せず）により受渡し方向Ｘに沿って往復動されて、その前進端位置において、各カセットＫ₁，Ｋ₂の開口はロードポートフレーム１の基板通過口２に臨むようになっている。 The cassette table T is slid along the delivery direction X of the substrate W ₁ (W ₂ ) to the table main body 3 fixed to the load port frame 1 and the slide guide 4 at the center in the width direction of the table main body 3. The cassette mounting plate 5 is arranged in a possible manner. Two types of cassettes K ₁ and K ₂ having different sizes are positioned and placed on the cassette placing plate 5. Two types of positioning members 6 and 7 for positioning and fixing the two types of cassettes K ₁ and K ₂ at the set positions on the cassette mounting plate 5 are provided on the upper surface of the cassette mounting plate 5. The cassette mounting plate 5 is reciprocated along the delivery direction X by a driving means (not shown) such as an air cylinder, and the cassettes K ₁ and K ₂ are moved at their forward end positions. The opening faces the substrate passage opening 2 of the load port frame 1.

また、蓋体着脱装置Ｌは、ロードポートフレーム１の裏側に、その板面に沿って上下方向Ｚに沿って移動可能（昇降可能）となって装着され、駆動ユニットＵ₁₁と、該駆動ユニットＵ₁₁の上方に前後動機構Ｂを介して受渡し方向Ｘに沿って移動可能に取付けられた蓋体着脱ユニットＵ₁₂とで構成される。駆動ユニットＵ₁₁は、基板通過口２と対峙する上昇端位置と、全体が基板通過口２の下端縁よりも下方に位置する下降端位置との間（以下、この間を「第１ストロークＤ₁」という）、及びカセットテーブルＴのテーブル本体３に載置された大きさの異なる二種類の各カセットＫ₁，Ｋ₂にそれぞれ収容された各基板Ｗ₁，Ｗ₂の存否などを検出可能にするために、カセットＫ₁の最上段に収容された基板Ｗ₁よりも僅かに上方の位置と、カセットＫ₂の最下段に収容された基板Ｗ₂よりも僅かに下方の位置との間（以下、この間を「第２ストロークＤ₂」という）において、蓋体着脱ユニットＵ₁₂を直線移動させるための駆動源である。このように、蓋体着脱装置Ｌは、カセットＫ₁の開口７２に対して蓋体７３を着脱させる本来の機能に加えて、蓋体着脱ユニットＵ₁₂の上端部に装着した後述の基板検出装置Ａによって、カセットＫ₁，Ｋ₂内の基板Ｗ₁，Ｗ₂の存否などを検出する別の機能を有しているために、後述のように各機能に対応した二種類の上下動のストロークを選択できるようになっている。 Further, the lid attachment apparatus L is the back side of the load port frame 1, along its plate surface movable along the vertical direction Z is attached (liftable) and turned by a drive unit U _11, the drive unit composed of a lid detachable unit U ₁₂ mounted movably along the delivery direction X through the longitudinal movement mechanism B above the U _11. The drive unit U ₁₁ is located between the rising end position facing the substrate passage opening 2 and the lower end position positioned entirely below the lower end edge of the substrate passage opening 2 (hereinafter, this interval is referred to as “first stroke D _1. And the presence / absence of the substrates W ₁ and W ₂ respectively housed in the two types of cassettes K ₁ and K ₂ of different sizes mounted on the table body 3 of the cassette table T. Therefore, a position slightly above the substrate W ₁ accommodated in the uppermost stage of the cassette K ₁ and a position slightly lower than the substrate W ₂ accommodated in the lowermost stage of the cassette K ₂ ( hereinafter, in) referred to as "second-stroke D _2" between this, which is a drive source for linearly moving the lid detachable unit U _12. Thus, the lid attachment apparatus L, in addition to the original function of attaching and detaching the lid 73 to the opening 72 of the cassette K _1, the substrate detection apparatus described later mounted to the upper end portion of the lid detachable unit U ₁₂ the a, to have another function of detecting the like presence of the substrate W _1, W ₂ within cassette K _1, K _2, two strokes of vertical movement corresponding to each function as described below Can be selected.

即ち、図３及び図４に示されるように、ロードポートフレーム１の裏側には、ボールネジ１１が上下方向に配置されて、その上下端部はそれぞれロードポートフレーム１に固定されたブラケット１２，１３で回転可能に支持されていて、ボールネジ１１の下端部は、下方のブラケット１３よりも下方に突出していて、ステッピングモータ（パルスモータ）Ｍの駆動軸（図示せず）と連結され、前記ボールネジ１１はステッピングモータＭにより回転駆動される。一方、ロードポートフレーム１の表側には、前記ボールネジ１１に対峙する位置（幅方向に沿って同一位置）に一本のガイドレール１４が上下方向に沿って配置され、箱状をした固定カバー１５内の昇降部材８の下端部に固定された嵌合部材１６と前記ガイドレール１４とが嵌合していると共に、前記昇降部材８における嵌合部材１６よりも上方の位置に固定された連結具１７と、前記ボールネジ１１に螺合されたボールナット部材１８とが連結されている。ロードポートフレーム１には、連結具１７を上下方向に移動可能にするための連結具貫通孔１９が上下方向に沿って形成されている。また、前記昇降部材８の上方に蓋体着脱ユニットＵ₁₂が一体に取付けられているので、ステッピングモータＭによりボールネジ１１が正逆回転すると、蓋体着脱ユニットＵ₁₂は、前記第１ストロークＤ₁又は第２ストロークＤ₂の間において上下直線運動を行う。 That is, as shown in FIGS. 3 and 4, ball screws 11 are arranged in the vertical direction on the back side of the load port frame 1, and the upper and lower ends thereof are brackets 12, 13 fixed to the load port frame 1, respectively. The lower end of the ball screw 11 projects downward from the lower bracket 13 and is connected to a drive shaft (not shown) of a stepping motor (pulse motor) M. The ball screw 11 Is rotated by a stepping motor M. On the other hand, on the front side of the load port frame 1, a single guide rail 14 is disposed along the vertical direction at a position facing the ball screw 11 (the same position along the width direction), and a box-shaped fixed cover 15. The fitting member 16 fixed to the lower end portion of the lifting member 8 and the guide rail 14 are fitted, and the connecting member fixed to a position above the fitting member 16 in the lifting member 8. 17 and a ball nut member 18 screwed into the ball screw 11 are connected. The load port frame 1 is formed with a connector through-hole 19 for allowing the connector 17 to move in the vertical direction along the vertical direction. Moreover, since the lid detachable unit U ₁₂ above the elevation member 8 is attached integrally, the ball screw 11 is forward and reverse rotation by the stepping motor M, the lid detachable unit U ₁₂ is the first stroke D ₁ or perform vertical linear movement between the second stroke D _2.

また、図１４に示されるように、外径３００ｍｍの基板Ｗ₁を収容するカセットＫ₁のカセット本体７１の開口７２を閉塞する蓋体７３には、固定機構７４が埋設状態となって配設され、該固定機構７４は、対向面にラックが形成されて、水平方向に沿って所定間隔をおいて配置された一対のラック部材７５と、蓋体７３の中央部に配置されて、前記一対のラック部材７５の各ラックとそれぞれ噛合するピニオン部材７６とで構成され、ピニオン部材７６が正逆回転されることにより、一対のラック部材７５は互いに逆方向に直線移動して、各ラック部材７５の端部に形成された爪片７５ａが蓋体７３の上下の各端面から出没する構成となっていて、カセット本体７１の上下板部の内面における開口７２に臨む部分に形成された係止孔７１ａに対して前記爪片７５ａが係脱して、カセット本体７１の開口７２を閉塞する蓋体７３が前記カセット本体７１に対してロック・アンロックされる。前記ピニオン部材７６の回動は、蓋体着脱位置Ｌにおける蓋体着脱ユニットＵ₁₂の前面（基板通過口２と対峙する面）に装着された後述の蓋体着脱機構２１により操作される。なお、図１４において、７７は、カセット本体７１の両側板部の内側に複数段状に形成されて、基板Ｗ₂を支持するための支持段部を示す。 As shown in FIG. 14, a fixing mechanism 74 is embedded in a lid 73 that closes an opening 72 of a cassette body 71 of a cassette K ₁ that accommodates a substrate W ₁ having an outer diameter of 300 mm. The fixing mechanism 74 includes a pair of rack members 75 having a rack formed on the opposing surface and arranged at a predetermined interval along the horizontal direction, and a central portion of the lid body 73. Each of the rack members 75 includes a pinion member 76 that meshes with each rack. When the pinion member 76 is rotated forward and backward, the pair of rack members 75 linearly move in opposite directions to each other, and each rack member 75 is rotated. The claw pieces 75a formed at the end portions of the upper and lower end portions of the lid body 73 protrude from and protrude from the upper and lower end surfaces of the lid body 73. 71a On the other hand, the claw piece 75 a is engaged and disengaged, and the lid body 73 that closes the opening 72 of the cassette body 71 is locked and unlocked with respect to the cassette body 71. The rotation of the pinion member 76 is operated by the lid attaching and detaching mechanism 21 which will be described later is mounted on the front of the lid detachable unit U ₁₂ (surface facing the substrate passage opening 2) of the lid attaching and detaching position L. In FIG. 14, reference numeral 77 denotes a support step portion that is formed in a plurality of steps inside the both side plate portions of the cassette body 71 and supports the substrate W ₂ .

また、蓋体着脱ユニットＵ₁₂の手前側面に装着された蓋体着脱機構２１の中央部には、前記蓋体７３の中央部に配置されたピニオン部材７６の係止孔７６ａに係止して、該ピニオン部材７６を回動させることにより、カセット本体７１の開口７２を閉塞している蓋体７３のカセット本体７１に対するロック・アンロックを行う係止爪機構２２が設けられている。また、蓋体着脱機構２１の上下端部には、カセット本体７１に対して蓋体７３を着脱する際に、蓋体７３を一時的に保持するための複数の吸盤機構２３が設けられている。前記係止爪機構２２及び吸盤機構２３を駆動するための駆動源・機械的機構（図示せず）などは、蓋体着脱機構２１の後方の箱体２４内に収容されている。 The central portion of the lid detachment mechanism 21 mounted on the front side of the lid detachable unit U _12, engaged with the engaging hole 76a of the pinion member 76 disposed in a central portion of the lid 73 The latching claw mechanism 22 is provided for locking and unlocking the cassette body 71 of the lid 73 that closes the opening 72 of the cassette body 71 by rotating the pinion member 76. The upper and lower ends of the lid attaching / detaching mechanism 21 are provided with a plurality of suction cup mechanisms 23 for temporarily holding the lid 73 when the lid 73 is attached to and detached from the cassette body 71. . A driving source / mechanical mechanism (not shown) for driving the locking claw mechanism 22 and the suction cup mechanism 23 is accommodated in a box 24 behind the lid attaching / detaching mechanism 21.

また、駆動ユニットＵ₁₁の昇降部材８の上方に取付けられた蓋体着脱ユニットＵ₁₂は、前後動機構Ｂによって昇降部材８の上端の取付板部８ａに対して基板Ｗ₁（Ｗ₂）の受渡し方向（前後方向）Ｘに沿って移動可能に装着されている。即ち、図６及び図７に示されるように、前記取付板部８ａの上面には、ガイドレール２５が前記受渡し方向Ｘに沿って配設されていると共に、昇降部材８の上端の取付板部８ａの下面には、駆動軸２７ａが垂直上方に配置されるように駆動モータ２７が固定されている。一方、蓋体着脱ユニットＵ₁₂の箱体２４を一体に取付けている取付板２８は、嵌合部材２９を介して前記ガイドレール２５に嵌合されて受渡し方向Ｘに移動可能になっている。また、駆動モータ２７の駆動軸２７ａに一体に連結された旋回アーム３０の先端には、上方に向けて係合ピン３１が取付けられていると共に、前記取付板２８には、前記係合ピン３１を係合可能な係合孔３２が受渡し方向Ｘと直交する水平方向であるＹ方向に沿って形成されている。このため、駆動モータ２７の駆動軸２７ａを半回転させると、蓋体着脱ユニットＵ₁₂の箱体２４を一体に装着した取付板２８は、受渡し方向Ｘに沿って、係合ピン３１の旋回半径の２倍の距離だけ直線移動することとなる。この機構によって、蓋体着脱ユニットＵ₁₂は、図６で実線及び二点鎖線でそれぞれ示されるように、カセットテーブルＴのテーブル本体３に載置されて、基板通過口２に最も近接して配置されているカセットＫ₁に対して接近・離隔して、その開口７２に対して蓋体７３の着脱を可能にしている。 Further, the lid detachable unit U ₁₂ mounted above the lifting member 8 of the drive unit U ₁₁ is the substrate W ₁ relative to the mounting plate portion 8a of the upper end of the elevating member 8 by longitudinal movement mechanism B of (W ₂₎ It is mounted so as to be movable along the delivery direction (front-rear direction) X. That is, as shown in FIGS. 6 and 7, the guide rail 25 is disposed along the delivery direction X on the upper surface of the mounting plate portion 8 a and the mounting plate portion at the upper end of the elevating member 8. A drive motor 27 is fixed to the lower surface of 8a so that the drive shaft 27a is arranged vertically upward. On the other hand, the mounting plate 28 which is integrally attached to the box body 24 of the lid detachable unit U ₁₂ is movable in the delivery direction X are fitted to the guide rail 25 via the fitting member 29. Further, an engaging pin 31 is attached to the tip of the swivel arm 30 integrally connected to the drive shaft 27a of the drive motor 27, and the engaging pin 31 is attached to the attachment plate 28. Is formed along the Y direction, which is a horizontal direction orthogonal to the delivery direction X. Therefore, when the drive shaft 27a of the drive motor 27 is half turn, mounting plate 28 which is integrally attached to the box body 24 of the lid detachable unit U ₁₂ along the delivery direction X, the turning radius of the engaging pin 31 Will move linearly by a distance twice as long. By this mechanism, the lid attaching / detaching unit U ₁₂ is placed on the table body 3 of the cassette table T and arranged closest to the substrate passage opening 2 as shown by a solid line and a two-dot chain line in FIG. close-away from the cassette K ₁ being, allowing the detachable lid 73 for the opening 72.

また、図２に示されるように、ロードポートフレーム１の裏面には、蓋体着脱ユニットＵ₁₂の第１及び第２の各ストロークＤ₁，Ｄ₂及びその上下動端を定めるための一対一組の第１及び第２の各ストローク端センサＳ₁₁，Ｓ₁₂がボールネジ１１を挟んで配置されている。即ち、第１ストローク端センサＳ₁₁は、蓋体着脱ユニットＵ₁₂により蓋体７３を着脱する際に必要な第１ストロークＤ₁及び前記蓋体着脱ユニットＵ₁₂の上下動端を定めるものであり、第２ストローク端センサＳ₁₂は、蓋体着脱ユニットＵ₁₂に上端部に装着された後述の基板検出装置Ａにより各カセットＫ₁，Ｋ₂に収容された基板Ｗ₁，Ｗ₂の存否などを確認するのに必要な第２ストロークＤ₂及び前記基板検出装置Ａの上下動端を定めるためのものである。いずれも、蓋体着脱ユニットＵ₁₂と同期して同一量だけ昇降するボールナット部材１８の両側面にそれぞれ取付けられた被検出片Ｔ₁，Ｔ₂（図４参照）を前記各ストローク端センサＳ₁₁，Ｓ₁₂により検出する構造になっている。 As shown in FIG. 2, the back surface of the load port frame 1 has a one-to-one relationship for defining the first and second strokes D ₁ and D ₂ of the lid attaching / detaching unit U ₁₂ and the vertical movement ends thereof. A pair of first and second stroke end sensors S ₁₁ and S ₁₂ are arranged with the ball screw 11 in between. That is, the first stroke end sensor S ₁₁ is for defining a first stroke D ₁ and vertically movable end of the lid detachable unit U ₁₂ necessary for attaching and detaching the lid 73 by the lid detachable unit U ₁₂ The second stroke end sensor S ₁₂ is provided with the presence / absence of substrates W ₁ and W ₂ accommodated in the cassettes K ₁ and K ₂ by a substrate detection device A described later mounted on the upper end of the lid body attaching / detaching unit U _12. This is for determining the second stroke D ₂ and the vertical movement end of the substrate detection apparatus A necessary for confirming the above. In either case, the detected end pieces T ₁ and T ₂ (see FIG. 4) respectively attached to both side surfaces of the ball nut member 18 that moves up and down by the same amount in synchronism with the lid attaching / detaching unit U ₁₂ are each stroke end sensor S. has a structure detected by _11, S _12.

次に、図８ないし図１１を参照にして、蓋体着脱ユニットＵ₁₂の上端部に一体に組み込まれた基板検出装置Ａについて説明する。図８は、蓋体着脱ユニットＵ₁₂の箱体２４の前板部２４ａに装着された基板検出装置Ａの一部を破断した正面図であり、図９は、同じく部分拡大断面図であり、図１０は、同じく斜視図であり、図１１は、大きさの異なる二種類の基板Ｗ₁（Ｗ₂）が検出可能であることを示す平面図である。基板検出装置Ａは、外径３００ｍｍの基板Ｗ₁を検出するための第１基板検出ユニットＵ₁と、外径２００ｍｍの基板Ｗ₂を検出するための第２基板検出ユニットＵ₂とで構成される。第１及び第２の各基板検出ユニットＵ₁，Ｕ₂は、同一構成であって、第１基板検出ユニットＵ₁（第２基板検出ユニットＵ₂）は、前記Ｙ方向に沿って所定間隔をおいて垂直に支持された一対の垂直回動軸３３ａ，３３ｂ（３４ａ，３４ｂ）と、該一対の垂直回動軸３３ａ，３３ｂ（３４ａ，３４ｂ）を往復回動させるためのエアシリンダ３５（３６）と、前記一対の垂直回動軸３３ａ，３３ｂ（３４ａ，３４ｂ）を中心にして水平面内で回動する一対のアーム３７（３８）と、該一対のアーム３７（３８）の先端部にそれぞれ取付けられた発光素子３９（４１）及び受光素子４２（４３）とから成る光センサＳ₁（Ｓ₂）とで構成される。 Next, with reference to FIGS. 8 to 11, a description will be given of a substrate detection device A incorporated integrally in the upper portion of the lid detachable unit U _12. Figure 8 is a front view of a partially cutaway of the front plate portion 24a in the mounted substrate detecting apparatus A of the box body 24 of the lid detachable unit U _12, FIG. 9 is an also enlarged partial cross-sectional view, FIG. 10 is a perspective view, and FIG. 11 is a plan view showing that two types of substrates W ₁ (W ₂ ) having different sizes can be detected. The substrate detection apparatus A includes a first substrate detection unit U ₁ for detecting a substrate W ₁ having an outer diameter of 300 mm and a second substrate detection unit U ₂ for detecting a substrate W ₂ having an outer diameter of 200 mm. The The first and second substrate detection units U ₁ and U ₂ have the same configuration, and the first substrate detection unit U ₁ (second substrate detection unit U ₂ ) has a predetermined interval along the Y direction. And a pair of vertical rotation shafts 33a and 33b (34a and 34b) supported vertically and an air cylinder 35 (36 for reciprocating the pair of vertical rotation shafts 33a and 33b (34a and 34b). ), A pair of arms 37 (38) that rotate in a horizontal plane around the pair of vertical rotation shafts 33a, 33b (34a, 34b), and a tip of the pair of arms 37 (38), respectively. It comprises an optical sensor S ₁ (S ₂ ) comprising a light emitting element 39 (41) and a light receiving element 42 (43) attached.

また、第１及び第２の各基板検出ユニットＵ₁，Ｕ₂において、一対の垂直回動軸３３ａ，３３ｂ（３４ａ，３４ｂ）の長さは異なっており、第１基板検出ユニットＵ₁の一対の垂直回動軸３３ａ，３３ｂは中実軸で構成されると共に、第２基板検出ユニットＵ₂の一対の垂直回動軸３４ａ，３４ｂは、中空軸で構成されて、中空軸から成る一対の垂直回動軸３４ａ，３４ｂ内に、中実軸から成る一対の垂直回動軸３３ａ，３３ｂがそれぞれ挿通されて、各垂直回動軸３４ａ，３４ｂの上下端部において軸受４４を介して支持されて、同心二重軸構造となっている。中空軸から成る一対の垂直回動軸３４ａ，３４ｂ内に、中実軸から成る一対の垂直回動軸３３ａ，３３ｂがそれぞれ挿通された状態において、中実軸から成る一対の垂直回動軸３３ａ，３３ｂの上下端部は、それぞれ中空軸から成る一対の垂直回動軸３４ａ，３４ｂの上下端面から上方及び下方に所定長だけ突出している。垂直回動軸３４ａは、箱体２４の天板部２４ｂの裏面に固定されたブラケット４５及びその前板部２４ａの内側面に固定されたブラケット４６に支持されており、垂直回動軸３４ｂは、同様のブラケット４５，４７に支持されている。また、中実軸から成る各垂直回動軸３３ａ，３３ｂの下端部は、中空軸から成る各垂直回動軸３４ａ，３４ｂの下端部から所定長だけ突出していて、各突出部は、それぞれブラケット４８，４９で支持されている。 In the first and second substrate detection units U ₁ and U ₂ , the lengths of the pair of vertical rotation shafts 33a and 33b (34a and 34b) are different, and the pair of first substrate detection units U _{1 is} a pair. vertical rotating shaft 33a, 33b together with among comprised of solid shaft, the second substrate detection unit U ₂ of the pair of vertical pivot shaft 34a, 34b is formed of a hollow shaft, a pair consisting of a hollow shaft A pair of vertical rotation shafts 33a and 33b, which are solid shafts, are inserted into the vertical rotation shafts 34a and 34b, respectively, and supported by bearings 44 at the upper and lower ends of the vertical rotation shafts 34a and 34b. Thus, it has a concentric double shaft structure. In a state where the pair of vertical rotation shafts 33a and 33b made of a solid shaft are inserted into the pair of vertical rotation shafts 34a and 34b made of a hollow shaft, the pair of vertical rotation shafts 33a made of a solid shaft. , 33b protrude upward and downward by a predetermined length from the upper and lower end surfaces of a pair of vertical rotation shafts 34a, 34b each consisting of a hollow shaft. The vertical rotation shaft 34a is supported by a bracket 45 fixed to the back surface of the top plate portion 24b of the box body 24 and a bracket 46 fixed to the inner surface of the front plate portion 24a. The vertical rotation shaft 34b is Are supported by similar brackets 45 and 47. Further, the lower end portions of the vertical rotation shafts 33a and 33b made of solid shafts protrude from the lower end portions of the vertical rotation shafts 34a and 34b made of hollow shafts by a predetermined length, and the protrusions are respectively brackets. 48, 49.

また、第１基板検出ユニットＵ₁の各垂直回動軸３３ａ，３３ｂの上端側の突出部に、それぞれアーム３７の基端部が一体に取付けられていると共に、各垂直回動軸３３ａ，３３ｂの前記突出部の外側には、それぞれ互いに噛合する等歯数の歯車５０が一体に取付けられている。また、エアシリンダ３５の基端部は、箱体２４の前板部２４ａに固定されたブラケット５１に連結されていると共に、その先端部は、アーム５２を介して垂直回動軸３３ａの下端側の突出部に連結されている。よって、エアシリンダ３５のロッド３５ａの出入りによって、一対のアーム３７は、正逆両方向に同一角度だけ回動して、両回動端において退避位置と基板検出位置とにそれぞれ配置される。 The first respective vertical pivot axis 33a of the substrate detection unit U _1, the protruding portion of the upper side of 33b, together with the base end portion of the arm 37 respectively are integrally attached to each vertical rotating shaft 33a, 33b On the outside of the protrusion, gears 50 having the same number of teeth that mesh with each other are integrally attached. Further, the base end portion of the air cylinder 35 is connected to a bracket 51 fixed to the front plate portion 24 a of the box body 24, and the tip end portion thereof is on the lower end side of the vertical rotation shaft 33 a via the arm 52. It is connected to the protruding part. Therefore, when the rod 35a of the air cylinder 35 is moved in and out, the pair of arms 37 are rotated by the same angle in both the forward and reverse directions, and are disposed at the retracted position and the substrate detection position at both rotation ends.

全く同様にして、第２基板検出ユニットＵ₂の各垂直回動軸３４ａ，３４ｂにおけるブラケット４５の直下の部分には、互いに噛合する等歯数の歯車５３が一体に取付けられ、各垂直回動軸３４ａ，３４ｂの上端部には、それぞれアーム３８の基端部が一体に連結されている。アーム３８は、アーム３７よりも短い。また、垂直回動軸３４ａの下端部には、前記エアシリンダ３５の直上に配置された別のエアシリンダ３６の先端部がアーム５４を介して連結されている。エアシリンダ３６の基端部は、箱体２４の前板部２４ａの内側に固定されたブラケット５５に連結されている。よって、エアシリンダ３６のロッド３６ａの出入りによって、一対のアーム３８は、正逆両方向に同一角度だけ回動して、両回動端において退避位置と基板検出位置とにそれぞれ配置される。このため、一対のアーム３７の直下に別の一対のアーム３８が配置されて、各アーム３７，３８は、いずれも蓋体着脱ユニットＵ₁₂の箱体２４の上面から上方に突出して露出状態となっている。 In the same manner, the second individual vertical pivot axis 34a of the substrate detection unit U _2, in a portion immediately below the bracket 45 in 34b, the gear 53 equal number of teeth integrally mounted to mesh with each other, each of the vertical pivot The base ends of the arms 38 are integrally connected to the upper ends of the shafts 34a and 34b, respectively. The arm 38 is shorter than the arm 37. The tip of another air cylinder 36 disposed immediately above the air cylinder 35 is connected to the lower end of the vertical rotation shaft 34 a via an arm 54. A base end portion of the air cylinder 36 is connected to a bracket 55 fixed inside the front plate portion 24 a of the box body 24. Therefore, when the rod 36a of the air cylinder 36 moves in and out, the pair of arms 38 are rotated by the same angle in both the forward and reverse directions, and are disposed at the retracted position and the substrate detection position at both rotating ends. Therefore, is disposed another pair of arms 38 is directly under the pair of arms 37, each arm 37 and 38, the exposed state both from the upper surface of the box body 24 of the lid detachable unit U ₁₂ protrudes upward It has become.

また、各カセットＫ₁，Ｋ₂の各段に収容された外径３００ｍｍと同２００ｍｍの各基板Ｗ₁，Ｗ₂の存否などを検出するのに、各基板Ｗ₁，Ｗ₂の検出を一つの基板検出ユニットにより兼用させずに、大きさの異なる各基板Ｗ₁，Ｗ₂に対応した第１及び第２の各基板検出ユニットＵ₁，Ｕ₂をそれぞれ設けたのは、以下の理由による。即ち、図１１に示されているように、外径２００ｍｍの基板Ｗ₂を収容するカセットＫ₂と、外径３００ｍｍの基板Ｗ₁の検出を行う第１基板検出ユニットＵ₁を構成する一対のアーム３７の先端とが干渉してしまい、これを回避するために各基板Ｗ₁，Ｗ₂毎に独立した基板検出ユニットが必要となるのである。 Further, in order to detect the presence / absence of the respective substrates W ₁ and W ₂ having the outer diameter of 300 mm and the same as the 200 mm accommodated in the respective stages of the cassettes K ₁ and K ₂ , the detection of each substrate W ₁ and W ₂ is performed. The reason why the first and second substrate detection units U ₁ and U ₂ corresponding to the substrates W ₁ and W ₂ having different sizes are provided without being shared by the two substrate detection units is as follows. . That is, as shown in FIG. 11, a pair of cassettes K ₂ that accommodates a substrate W ₂ with an outer diameter of 200 mm and a first substrate detection unit U ₁ that detects a substrate W ₁ with an outer diameter of 300 mm. In order to avoid the interference with the tip of the arm 37, an independent substrate detection unit is required for each of the substrates W ₁ and W ₂ .

また、カセットＫ₁（Ｋ₂）の各段に複数段となって収容された基板Ｗ₁（Ｗ₂）の存否、二枚重ね、傾斜配置などを、第１基板検出ユニットＵ₁（Ｕ₂）により検出する原理は公知である。図１２及び図１３は、それぞれ基板Ｗ₁，Ｗ₂の検出を行っている状態の平面図である。即ち、図１１ないし図１３に示されるように、第１基板検出ユニットＵ₁（Ｕ₂）の一対のアーム３７（３８）の先端の発光素子３９（４１）と受光素子４２（４３）とを、基板Ｗ₁（Ｗ₂）におけるカセットＫ₁（Ｋ₂）の開口に臨む部分の両側に配置して、ステッピングモータ（パルスモータ）Ｍにより第１基板検出ユニットＵ₁（Ｕ₂）を昇降させると、発光素子３９（４１）と受光素子４２（４３）との間に形成された光路Ｒ₁（Ｒ₂）は、第１基板検出ユニットＵ₁（Ｕ₂）の下降又は上昇中において基板Ｗ₁（Ｗ₂）の存在により遮断されることを利用している。即ち、ステッピングモータ（パルスモータ）Ｍに連続して入力されるパルスと、前記光路Ｒ₁（Ｒ₂）の遮断された時点のパルス番号とを比較することにより、基板Ｗ₁（Ｗ₂）の存否などを容易に検出できる。 Further, the first substrate detection unit U ₁ (U ₂ ) determines the presence / absence of the substrate W ₁ (W ₂ ) accommodated in a plurality of stages in each stage of the cassette K ₁ (K ₂ ), the _double stack , and the inclined arrangement. The principle of detection is well known. 12 and 13 are plan views showing a state in which the substrates W ₁ and W ₂ are being detected, respectively. That is, as shown in FIGS. 11 to 13, the light emitting element 39 (41) and the light receiving element 42 (43) at the tips of the pair of arms 37 (38) of the first substrate detection unit U ₁ (U ₂ ) are connected. The first substrate detection unit U ₁ (U ₂ ) is moved up and down by a stepping motor (pulse motor) M arranged on both sides of the portion of the substrate W ₁ (W ₂ ) facing the opening of the cassette K ₁ (K ₂ ). And the optical path R ₁ (R ₂ ) formed between the light emitting element 39 (41) and the light receiving element 42 (43) is the substrate W while the first substrate detection unit U ₁ (U ₂ ) is lowered or raised. ₁ Utilizing the fact that it is blocked by the presence of (W ₂ ). That is, by comparing the pulse continuously input to the stepping motor (pulse motor) M with the pulse number when the optical path R ₁ (R ₂ ) is cut off, the substrate W ₁ (W ₂ ) Presence / absence can be easily detected.

そして、カセットＫ₁に収容された３００ｍｍの基板Ｗ₁を処理装置で処理するには、カセットテーブルＴのテーブル本体３にカセットＫ₁を載置して、該テーブル本体３を前進端まで前進させる。この状態では、第２ストローク端センサＳ₁₂は無効となっていて、第１ストローク端センサＳ₁₁のみが有効となるように設定されていて、蓋体着脱ユニットＵ₁₂は、カセットＫ₁に対して最も離れた位置である後退端に位置している。ステッピングモータＭを正回転させると、蓋体着脱ユニットＵ₁₂は、その上昇端位置が上方の第１ストローク端センサＳ₁₁によって検出されて、図３で２点鎖線で示される当該上昇端位置で停止する。この状態で、前後動機構Ｂによって蓋体着脱ユニットＵ₁₂をカセットＫ₂に向けて前進させ、その前進端位置において、係止爪機構２２によって蓋体７３の固定機構７４を解除すると共に、吸盤機構２３によって蓋体７３を吸着した後に、前記前後動機構Ｂによって蓋体着脱ユニットＵ₁₂を原位置まで後退させる。その後に、ステッピングモータＭを逆回転させると、蓋体着脱ユニットＵ₁₂は、その下降端位置が下方の第１ストローク端センサＳ₁₁によって検出されて、図３で実線で示される当該下降端位置で停止する。 Then, in processing a substrate W ₁ of 300mm, which is accommodated in the cassette K ₁ in the processing apparatus, the table body 3 of the cassette table T by placing the cassette K _1, to advance the table body 3 to the front end . In this state, the second stroke end sensor S ₁₂ is not disabled, only the first stroke end sensor S ₁₁ is set so as to be effective, the lid detachable unit U _12, compared cassette K ₁ It is located at the backward end which is the farthest position. When rotated forward stepping motor M, the lid detachable unit U ₁₂ has its upper end position is detected by the first stroke end sensor S ₁₁ of the upper, in the upper end position shown by the two-dot chain line in FIG. 3 Stop. In this state, the lid detachable unit U ₁₂ is advanced towards the cassette K ₂ by back-and-forth movement mechanism B, at its forward end position, while releasing the fixing mechanism 74 of the cover 73 by the locking claw mechanism 22, the suction cups after adsorbing the lid 73 by a mechanism 23 retracts the lid detachable unit U ₁₂ to the original position by the back-and-forth movement mechanism B. Thereafter, when the reverse rotation of the stepping motor M, the lid detachable unit U ₁₂ is its lowered end position is detected by the first stroke end sensor S ₁₁ below, the lowering end position indicated by the solid line in FIG. 3 Stop at.

上記のようにして、蓋体７３が取り外されて開口７２の前面が開放されたカセットＫ₁内の基板Ｗ₁は、基板受渡し装置（図示せず）によって処理装置の側に取り出されて、当該処理装置によって所定の処理が施される。一方、当該処理装置によって所定の処理を終えた基板Ｗ₂は、前記基板受渡し装置によって、カセットテーブルＴ上で待機している空のカセットＫ₁の各段に順次収容される。 As described above, the substrate W ₁ in the cassette K ₁ in which the lid 73 is removed and the front surface of the opening 72 is opened is taken out to the processing apparatus side by the substrate transfer device (not shown). Predetermined processing is performed by the processing device. On the other hand, the substrate W _{2 that} has been subjected to the predetermined processing by the processing apparatus is sequentially accommodated in each stage of the empty cassette K ₁ waiting on the cassette table T by the substrate delivery apparatus.

次に、カセットＫ₁の各段に収容されている基板Ｗ₁の存否などが基板検出装置Ａによって検出される。この基板検出を行う際には、第１ストローク端センサＳ₁₁は無効となっていて、第２ストローク端センサＳ₁₂のみが有効となるように設定されている。この状態で、ステッピングモータＭが正回転されると、基板着脱ユニットＵ₁₂の上端部に組み込まれた基板検出装置Ａは、その上昇端位置が上方の第２ストローク端センサＳ₁₂によって検出されて、当該上昇端位置で停止される。そして、図１０及び図１２に示されるように、基板検出装置Ａを構成する第１基板検出ユニットＵ₁のエアシリンダ３５により一対のアーム３７を退避位置から突出位置まで回動させることにより、外径３００ｍｍの基板Ｗ₁を検出するための発光素子３９及び受光素子４２とから成る第１光センサＳ₁を基板検出位置に配置すると共に、外径２００ｍｍの基板Ｗ₂を検出するための発光素子４１及び受光素子４３とから成る第２光センサＳ₂は退避位置に配置したままにしておく。この状態で、ステッピングモータＭを逆回転させて、基板検出装置Ａを下降させると、上記した「基板検出原理」によって、カセットＫ₁内の各段の基板Ｗ₁の存否などが検出される。 Next, the presence or absence of the substrate W ₁ accommodated in each stage of the cassette K ₁ is detected by the substrate detection apparatus A. When this substrate detection is performed, the first stroke end sensor S ₁₁ is disabled, and only the second stroke end sensor S ₁₂ is set to be enabled. In this state, when the stepping motor M is rotated forward, the substrate detection apparatus A incorporated in the upper end portion of the substrate attachment / detachment unit U ₁₂ has its rising end position detected by the upper second stroke end sensor S ₁₂ . And stopped at the rising end position. Then, as shown in FIGS. 10 and 12, by rotating the pair of arms 37 to the projecting position from the retracted position by the first air cylinder 35 of the substrate detection unit U ₁ constituting the substrate detection device A, the outer A first light sensor S _{1 including} a light emitting element 39 and a light receiving element 42 for detecting a substrate W ₁ having a diameter of 300 mm is disposed at the substrate detection position, and a light emitting element for detecting a substrate W ₂ having an outer diameter of 200 mm. The second optical sensor S ₂ composed of 41 and the light receiving element 43 is left in the retracted position. In this state, when the stepping motor M is rotated in the reverse direction and the substrate detection apparatus A is lowered, the presence / absence of the substrate W _{1 at} each stage in the cassette K ₁ is detected by the above-described “substrate detection principle”.

一方、処理装置で処理される基板の種類が変更されて、外径２００ｍｍの基板Ｗ₂となった場合には、上記とは逆に、図１３に示されるように、基板検出装置Ａを構成する第２基板検出ユニットＵ₂のエアシリンダ３６により一対のアーム３８を退避位置から突出位置まで回動させることにより、外径２００ｍｍの基板Ｗ₂を検出するための発光素子４１及び受光素子４３とから成る第２光センサＳ₂を基板検出位置に配置すると共に、外径３００ｍｍの基板Ｗ₁を検出するための発光素子３９及び受光素子４２とから成る第１光センサＳ₁は退避位置に配置したままにしておいて、ステッピングモータＭを逆回転させて基板検出装置Ａを下降させればよい。 On the other hand, when the type of the substrate processed by the processing apparatus is changed to become a substrate W ₂ having an outer diameter of 200 mm, the substrate detection apparatus A is configured as shown in FIG. by rotating the pair of arms 38 to the projecting position from the retracted position by the second air cylinder 36 of the substrate detection unit U ₂ to a light-emitting element 41 and the light receiving element 43 for detecting the substrate W ₂ having an outer diameter of 200mm The second photosensor S ₂ made of is arranged at the substrate detection position, and the first photosensor S ₁ made up of the light emitting element 39 and the light receiving element 42 for detecting the substrate W ₁ having an outer diameter of 300 mm is arranged at the retracted position. Then, the substrate detection apparatus A may be lowered by rotating the stepping motor M in the reverse direction.

このように、処理装置で処理される基板の種類が変更された場合には、基板検出装置Ａを構成する第１及び第２の基板検出ユニットＵ₁，Ｕ₂のうち基板検出位置に配置するユニットの変更を行うのみでよいので、基板の処理を中断することなく、短時間で変更作業を行える。 As described above, when the type of the substrate to be processed by the processing apparatus is changed, it is arranged at the substrate detection position among the first and second substrate detection units U ₁ and U ₂ constituting the substrate detection apparatus A. Since only the unit needs to be changed, the change operation can be performed in a short time without interrupting the processing of the substrate.

また、上記実施例では、基板Ｗ₁，Ｗ₂の存否などを検出するための光センサＳ₁，Ｓ₂は、透過型のものであるが、基板Ｗ₁，Ｗ₂に反射した光を検出する反射型のものであってもよく、反射型の場合には、光センサを取付けるアームは一本で済む。 In the above embodiment, the optical sensor S _1, S ₂ for detecting the like presence of the substrate W _1, W ₂ is of the transmissive type, detecting the light reflected on the substrate W _1, W ₂ In the case of the reflection type, only one arm for mounting the optical sensor is sufficient.

ロードポート装置Ｐの概略斜視図である。2 is a schematic perspective view of a load port device P. FIG. 同じく正面図である。It is also a front view. 図２のＵ−Ｕ線断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line U-U in FIG. 2. 図２のＶ₁−Ｖ₁線断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line V ₁ -V ₁ in FIG. 図２又は図３のＶ₂−Ｖ₂線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line V ₂ -V _{2 of} FIG. 2 or FIG. 3. 基板検出装置Ａを構成する駆動ユニットＵ₁₁の昇降部材８に対して蓋体着脱ユニットＵ₁₂を基板Ｗ₁（Ｗ₂）の受渡し方向（前後方向）Ｘに沿って移動させる前後動機構Ｂの平面図である。Lid detachable unit U ₁₂ substrate W ₁ relative to the lifting member 8 of the drive unit U ₁₁ constituting the substrate detection device A (W ₂₎ transfer direction of the back-and-forth movement mechanism B which is moved along the (longitudinal direction) X It is a top view. 同じく断面図である。It is sectional drawing similarly. 蓋体着脱ユニットＵ₁₂の箱体２４の前板部２４ａに装着された基板検出装置Ａの一部を破断した正面図である。It is a front view of a portion a cutaway of the front plate portion 24a in the mounted substrate detecting apparatus A of the box body 24 of the lid detachable unit U _12. 同じく部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view similarly. 同じく斜視図である。It is a perspective view similarly. 大きさの異なる二種類の基板Ｗ₁（Ｗ₂）が検出可能であることを示す平面図である。Is a plan view showing the sizes of two kinds of substrates W ₁ (W ₂₎ is detectable. 外径３００ｍｍの基板Ｗ₁の検出を行っている状態の平面図である。It is a plan view of a state in which detection is performed for the substrate W ₁ of the outer diameter of 300 mm. 外径２００ｍｍの基板Ｗ₂の検出を行っている状態の平面図である。It is a plan view of a state in which detection is performed for the substrate W ₂ of outer diameter 200 mm. カセットＫ₁を構成するカセット本体７１と蓋体７３とを分離した状態の斜視図である。A cassette body 71 and a lid 73 constituting the cassette K ₁ is a perspective view of a separated state.

Ａ：基板検出装置
Ｆ：処理装置のフレーム
Ｌ：蓋体着脱装置
Ｋ₁：外径３００ｍｍの基板用のキャリアカセット
Ｋ₂：外径２００ｍｍの基板用のキャリアカセット
Ｐ：ロードポート装置
Ｓ₁：外径３００ｍｍの基板検出用の光センサ
Ｓ₂：外径２００ｍｍの基板検出用の光センサ
Ｔ：カセットテーブル
Ｕ₁：第１基板検出ユニット
Ｕ₂：第２基板検出ユニット
Ｗ₁：外径３００ｍｍの基板
Ｗ₂：外径２００ｍｍの基板
７２：カセットの開口
７３：蓋体 A: Substrate detection device
F: Frame of processing device
L: Lid body attaching / detaching device
K ₁ : carrier cassette for a substrate having an outer diameter of 300 mm
K ₂ : carrier cassette for a substrate having an outer diameter of 200 mm
P: Load port device
S ₁ : Optical sensor for detecting a substrate having an outer diameter of 300 mm
S ₂ : Optical sensor for detecting a substrate having an outer diameter of 200 mm
T: Cassette table
U ₁ : First substrate detection unit
U ₂ : Second substrate detection unit
W ₁ : substrate having an outer diameter of 300 mm
W ₂ : substrate having an outer diameter of 200 mm
72: Opening of cassette
73: Lid

Claims

In order to mount the carrier cassette, a cassette table horizontally provided outside the frame of the substrate processing apparatus, and a lid to be attached to and detached from the opening of the carrier cassette mounted on the cassette table In the load port device comprising a lid attaching / detaching device mounted inside the frame so as to be movable up and down,
The substrate detection unit is configured to detect presence / absence of a substrate in each stage by moving up and down a sensor disposed so as to be retractable with respect to the substrate group facing the opening of the carrier cassette, and the lid body attaching / detaching device First and second each capable of detecting the presence / absence of the first and second substrates of different sizes accommodated in two stages in two types of carrier cassettes at the upper end of the lid attaching / detaching unit constituting substrate detection unit is mounted,
Each of the first and second substrate detection units has a configuration in which a light emitting element and a light receiving element are respectively attached to tips of a pair of arms that rotate in a horizontal plane around a vertical rotation axis. And the vertical rotation shafts of a total of two pairs of arms constituting each of the second substrate detection units, the corresponding vertical rotation shafts of each pair have a concentric double shaft structure. Substrate detection device.