JP4501674B2

JP4501674B2 - Load port device mapping device

Info

Publication number: JP4501674B2
Application number: JP2004367090A
Authority: JP
Inventors: 光夫夏目; 光敏落合; 健介鈴木
Original assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Current assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Priority date: 2004-12-20
Filing date: 2004-12-20
Publication date: 2010-07-14
Anticipated expiration: 2024-12-20
Also published as: JP2006173510A

Description

本発明は、キャリアカセットに収容された多数枚の基板を、半導体製造装置の各処理装置に搬入出させるためのロードポート装置のマッピング装置に関するものである。 The present invention relates to a load port apparatus mapping apparatus for loading and unloading a large number of substrates accommodated in a carrier cassette into and from each processing apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus.

従来の技術を説明するに当り、本発明の図を援用する。図１ないし図３に示されるように、ロードポート装置Ｐは、キャリアカセットＫに収容された多数枚の基板Ｗを、半導体製造装置の各処理装置Ｆに移載させるための装置である。該ロードポート装置Ｐは、半導体製造装置の各処理装置Ｆのフレームの外側に水平に設けられたカセットテーブルＴと、該カセットテーブルＴに載置されたキャリアカセットＫの開口に対して蓋体を着脱するために、前記フレームの内側に昇降可能に配設された蓋体着脱装置Ａと、前記キャリアカセットＫに収容された各基板Ｗの存否等を検出するためのマッピング装置Ｂとを備えている。キャリアカセットＫに多段に収容されている各基板Ｗは、キャリアカセットＫから処理装置Ｆに移載され、該処理装置Ｆにおいて所定の処理が施された後、再度キャリアカセットＫ内に戻されて次工程の処理装置Ｆに搬送される。 In describing the prior art, the figures of the present invention are incorporated. As shown in FIGS. 1 to 3, the load port apparatus P is an apparatus for transferring a large number of substrates W accommodated in a carrier cassette K to each processing apparatus F of a semiconductor manufacturing apparatus. The load port device P includes a cassette table T provided horizontally on the outside of the frame of each processing device F of the semiconductor manufacturing apparatus, and a lid for the opening of the carrier cassette K mounted on the cassette table T. In order to attach and detach, a lid attaching / detaching device A disposed inside the frame so as to be movable up and down, and a mapping device B for detecting the presence or absence of each substrate W accommodated in the carrier cassette K are provided. Yes. Each substrate W accommodated in multiple stages in the carrier cassette K is transferred from the carrier cassette K to the processing apparatus F, subjected to predetermined processing in the processing apparatus F, and then returned to the carrier cassette K again. It is conveyed to the processing apparatus F of the next process.

各処理装置Ｆにおけるフレームの内側には、蓋体着脱装置Ａが昇降可能にして配設されていて、基板Ｗの処理前においては、カセットテーブルＴに載置されたキャリアカセットＫの開口を覆っている蓋体を着脱すると共に、処理済の基板ＷをキャリアカセットＫに収容した後においては、当該キャリアカセットＫの開口を蓋体で覆う。処理済の基板Ｗは、キャリアカセットＫに収容されて蓋体が装着された状態で次工程に搬送される。ここで、処理済の基板ＷをキャリアカセットＫに収容した後においては、キャリアカセットＫの開口を蓋体で覆う前に、該キャリアカセットＫ内に収容されている各基板Ｗの存否や二枚重ね、傾斜配置等の配置状態（以下、「基板Ｗの存否等」という）が検出される。この検出は、マッピング装置Ｂを構成する基板検出センサが、開口状態となったキャリアカセットＫの開口部分を昇降することによって行われる。前記キャリアカセットＫが、図９に示されるＦＯＵＰカセットの場合、手前側（前面側）にのみ開口７２が設けられているため、マッピング装置ＢをキャリアカセットＫの蓋体７１に対向して配置せざるを得ない。この結果、従来のロードポート装置Ｐにおけるマッピング装置Ｂは、蓋体着脱装置Ａの上端面に取付けられていて、蓋体着脱装置Ａと一体に昇降される（例えば、特許文献１，２参照）。 Inside the frame of each processing apparatus F, a lid attaching / detaching apparatus A is disposed so as to be movable up and down, and covers the opening of the carrier cassette K placed on the cassette table T before processing the substrate W. After the attached lid is removed and the processed substrate W is accommodated in the carrier cassette K, the opening of the carrier cassette K is covered with the lid. The processed substrate W is accommodated in the carrier cassette K and transported to the next process with the lid attached. Here, after the processed substrate W is accommodated in the carrier cassette K, before covering the opening of the carrier cassette K with the lid, the presence / absence of each substrate W accommodated in the carrier cassette K and the stacking of the two substrates, An arrangement state such as an inclined arrangement (hereinafter referred to as “the presence / absence of the substrate W etc.”) is detected. This detection is performed by the substrate detection sensor constituting the mapping apparatus B moving up and down the opening portion of the carrier cassette K that is in the open state. In the case where the carrier cassette K is the FOUP cassette shown in FIG. 9, the opening 72 is provided only on the front side (front side), so that the mapping device B is disposed to face the lid 71 of the carrier cassette K. I must. As a result, the mapping device B in the conventional load port device P is attached to the upper end surface of the lid attaching / detaching device A, and is lifted and lowered integrally with the lid attaching / detaching device A (for example, see Patent Documents 1 and 2). .

ここで、マッピング装置Ｂにおける昇降精度（高さ方向の位置決め精度）は極めて高いものが要求されるのに対し、蓋体着脱装置Ａにおける昇降精度は比較的低くても構わない。しかし、従来のロードポート装置Ｐでは、両装置Ａ，Ｂが一体となって昇降する構成であるため、低い昇降精度で済む蓋体着脱装置Ａをも高精度で昇降させているのが現状である。しかも、マッピング装置Ｂに比較して蓋体着脱装置Ａは重量物である。このため、昇降装置の駆動源を大型なものにしなければならない。 Here, while the elevation accuracy (positioning accuracy in the height direction) in the mapping device B is required to be extremely high, the elevation accuracy in the lid attaching / detaching device A may be relatively low. However, in the conventional load port device P, since both the devices A and B are lifted and lowered integrally, the lid attaching / detaching device A that requires low lifting accuracy is also lifted and lowered with high accuracy. is there. Moreover, the lid attaching / detaching device A is heavier than the mapping device B. For this reason, the drive source of the lifting apparatus must be made large.

上記した結果、蓋体着脱装置Ａの昇降装置がその要求に見合ったものになっていないため、性能とコストの適正化が図られていない。 As a result of the above, since the lifting device of the lid attaching / detaching device A does not meet the requirements, the performance and cost are not optimized.

更に、マッピング装置Ｂを、蓋体着脱装置Ａと別の昇降機構で昇降させる場合、マッピング装置Ｂの昇降支持部材が門型形状となって大型になるため、振動が発生し易くなる。
特開平１１−１４５２４４号公報特開２００２−１６４４１１号公報 Further, when the mapping device B is lifted and lowered by another lifting mechanism different from the lid attaching / detaching device A, the lifting support member of the mapping device B becomes a portal shape and becomes large, and thus vibration is likely to occur.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-145244 JP 2002-164411 A

本発明は、上記した不具合に鑑み、マッピング装置と蓋体着脱装置が、各装置の性能に見合った精度で昇降されるようにして、性能とコストの適正化を図ることを課題としている。 In view of the above-described problems, an object of the present invention is to optimize the performance and cost by moving the mapping device and the lid attaching / detaching device up and down with an accuracy corresponding to the performance of each device.

上記課題を解決するための請求項１の発明は、キャリアカセットを載置するために、基板の処理装置のフレームの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、前記カセットテーブルに載置されたキャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱するために、前記処理装置のフレームの内側に昇降可能に配設された蓋体着脱装置と、キャリアカセットの開口に臨む基板群に対して退避可能に配置された基板検出センサが、前記蓋体着脱装置の昇降機構と別体にして設けられた昇降機構により昇降して、前記キャリアカセットの各段における基板の存否を検出するためのマッピング装置とを備え、前記蓋体着脱装置は、シリンダを含む第１昇降装置によって昇降されると共に、前記マッピング装置は、制御モータを含む第２昇降装置によって昇降される構成のロードポート装置であって、前記フレームの内側であって、当該フレームの横方向の一端部に、上下方向にのみ延びる支持部材が昇降可能となって配置されて、前記マッピング装置は、当該支持部材の上端部に片持ち状態で支持され、前記支持部材は、フレームの外側において横方向に沿って当該支持部材に近接して配置された１本のガイドレールに対してガイド体を介して連結された構成であることを特徴としている。 In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 provides a cassette table horizontally provided outside a frame of a substrate processing apparatus for placing a carrier cassette, and a carrier placed on the cassette table. In order to attach / detach the lid to / from the opening of the cassette, the lid attaching / detaching device is disposed so as to be movable up and down inside the frame of the processing apparatus, and is removably disposed with respect to the substrate group facing the opening of the carrier cassette. is substrate detecting sensor, and lifting by the elevator mechanism provided in the lifting mechanism and separate the lid attachment apparatus, and a mapping device for detecting the presence or absence of substrate in each stage of the carrier cassette the lid detachable device, while being raised and lowered by a first elevating device including a cylinder, the mapping apparatus, elevation of the second lifting device comprising a control motor A configuration load port apparatus that, an inner of the frame, at one end of the transverse direction of the frame, the support members extending only in the vertical direction is arranged movable up and down, the mapping device, The support member is supported in a cantilevered state on the upper end portion of the support member, and the support member is disposed on the outer side of the frame along a lateral direction in the vicinity of the support member via a guide body. It is the structure which was connected .

処理装置における所定の処理終了前後において、蓋体着脱装置によってキャリアカセットの蓋体が着脱される際に、マッピング装置が昇降することにより、キャリアカセットの各段支持部に支持された基板の存否、二枚重ね、傾斜配置等が検出される（マッピング）。ここで、マッピング装置には極めて高い昇降精度（高さ方向の位置決め精度）を要求されるが、蓋体着脱装置が蓋体の着脱をする際の昇降精度は、それほど高くなくても構わない。従来のロードポート装置では、マッピング装置と蓋体着脱装置とが一体に設けられているため、精度を必要としない蓋体着脱装置をも高精度で昇降させている。しかし、請求項１の発明では、マッピング装置の昇降機構と蓋体着脱装置の昇降機構が別々に設けられていて、前記蓋体着脱装置は、シリンダを含む第１昇降装置によって昇降されると共に、前記マッピング装置は、制御モータを含む第２昇降装置によって昇降される。即ち、蓋体着脱装置は低精度であっても構わないため、その昇降機構を簡略化でき、高精度を必要とするマッピング装置のみが必要な精度で昇降される。これにより、各装置は、それぞれが必要とする精度で昇降される。この結果、ロードポート装置における各装置の性能とコストの適正化が図られる。 Before and after completion of predetermined processing in the processing apparatus, when the lid of the carrier cassette is attached and detached by the lid attaching / detaching device, the presence or absence of the substrate supported by each stage support portion of the carrier cassette by raising and lowering the mapping device, Double stacking, slanting arrangement, etc. are detected (mapping). Here, the mapping device is required to have extremely high elevation accuracy (positioning accuracy in the height direction), but the elevation accuracy when the lid attaching / detaching device attaches / detaches the lid may not be so high. In the conventional load port device, since the mapping device and the lid attaching / detaching device are provided integrally, the lid attaching / detaching device that does not require accuracy is also raised and lowered with high accuracy. However, in the invention of claim 1, the lifting mechanism of the mapping device and the lifting mechanism of the lid attaching / detaching device are provided separately, and the lid attaching / detaching device is lifted and lowered by the first lifting device including the cylinder, The mapping device is lifted and lowered by a second lifting device including a control motor. That is, since the lid attaching / detaching device may have low accuracy, the lifting mechanism can be simplified, and only the mapping device requiring high accuracy can be lifted and lowered with the required accuracy. Thereby, each apparatus is raised / lowered with the accuracy which each requires. As a result, the performance and cost of each device in the load port device can be optimized.

また、請求項１の発明は、前記マッピング装置は、前記フレームの内側であって、当該フレームの横方向の一端部に、上下方向にのみ延びる支持部材が昇降可能となって配置されて、前記マッピング装置は、当該支持部材の上端部に片持ち状態で支持され、前記支持部材は、フレームの外側において横方向に沿って当該支持部材に近接して配置されたガイドレールに対してガイド体を介して連結され、前記マッピング装置は、当該ガイド体及び支持部材を介して前記第２昇降装置により昇降される構成であるので、当該マッピング装置が片持ち支持されていて、従来の門型の両側支持構造と比較して、構成が簡単となって、小型・軽量にできると共に、前記フレームの内外に配置された支持部材と１本のガイドレールとが、当該フレームの横方向に沿って近接しているために、片持ち支持されたマッピング装置の振動の発生を抑止できる。 In the invention of claim 1 , the mapping device is disposed inside the frame, and a support member extending only in the vertical direction is disposed at one end portion in the horizontal direction of the frame so as to be movable up and down. The mapping device is supported in a cantilevered state on the upper end portion of the support member, and the support member supports the guide body with respect to the guide rail disposed in the vicinity of the support member along the lateral direction outside the frame. The mapping device is configured to be lifted and lowered by the second lifting device via the guide body and the support member, so that the mapping device is cantilevered, and both sides of the conventional gate type compared to the supporting structure, the configuration becomes simple, it is possible to size and weight, a support member disposed inside and outside of the frame and one of the guide rails, the lateral of the frame For are close along the direction it can suppress the occurrence of vibration of the cantilevered mapping device.

請求項２の発明は、請求項１の発明を前提として、前記マッピング装置は、先端部に各基板検出センサが取付けられた一対のアームが、それらの基端部を中心として水平面内で互いに反対方向に回動される構成であって、基板の存否等の検出時には、前記各基板検出センサのみがキャリアカセット内に進入されるように構成されていることを特徴としている。請求項２の発明では、一対のアームの先端部に取付けられた基板検出センサのみがキャリアカセット内に進入される構成であるため、マッピング装置を小型化することができる。 According to a second aspect of the present invention, on the premise of the first aspect of the present invention, the mapping device includes a pair of arms each having a substrate detection sensor attached to a distal end thereof, opposite to each other within a horizontal plane centering on the base end thereof. It is configured to rotate in the direction, and when detecting the presence / absence of a substrate, only the respective substrate detection sensors are configured to enter the carrier cassette. In the invention of claim 2 , since only the substrate detection sensor attached to the tip of the pair of arms is inserted into the carrier cassette, the mapping device can be miniaturized.

請求項３の発明は、請求項２の発明を前提として、前記一対のアームは、単一の駆動源により、同時に回動されるように構成されていることを特徴としている。請求項３の発明により、前記一対のアームの回動の駆動源が１個で済むため、マッピング装置を更に小型化・軽量化することができる。 The invention of claim 3 is based on the invention of claim 2 and is characterized in that the pair of arms are configured to be simultaneously rotated by a single drive source. According to the third aspect of the present invention, since only one drive source for the rotation of the pair of arms is required, the mapping device can be further reduced in size and weight.

本発明は、蓋体着脱装置とマッピング装置とが、別体に設けられた昇降装置により昇降する構成のロードポート装置において、蓋体着脱装置をシリンダを含む簡略な第１昇降装置で昇降させて、マッピング装置のみを、制御モータを含む高精度な第２昇降装置により昇降させることを特徴としている。これにより、蓋体着脱装置、及びマッピング装置は、それぞれが必要とする精度で昇降され、ロードポート装置における各装置の性能とコストの適正化が図られる。また、マッピング装置が片持ち支持されていて、従来の門型の両側支持構造と比較して、構成が簡単となって、小型・軽量にできると共に、前記フレームの内外に配置された支持部材とガイドレールとが近接しているために、マッピング装置が片持ち支持でありながら、振動の発生を抑止できる。 The present invention provides a load port device in which a lid attaching / detaching device and a mapping device are moved up and down by a lifting device provided separately, and the lid attaching / detaching device is lifted and lowered by a simple first lifting device including a cylinder. , only the mapping device is characterized in that Ru is elevated by high precision second lifting device including a control motor. Accordingly, the lid attaching / detaching device and the mapping device are moved up and down with the required accuracy, and the performance and cost of each device in the load port device can be optimized. In addition, the mapping device is cantilevered, and the structure is simpler and smaller and lighter than the conventional double-sided support structure of the gate type, and the support members are arranged inside and outside the frame. Since the guide rails are close to each other, the occurrence of vibration can be suppressed while the mapping device is cantilevered.

以下、本発明の最良実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。図１はロードポート装置Ｐの正面図、図２は図１のＺ₁−Ｚ₁線断面図、図３はロードポート装置Ｐの背面図、図４は図１のＺ₂−Ｚ₂線断面図である。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the best examples of the present invention. Figure 1 is a front view of the load port device P, Fig. 2 is Z ₁ -Z ₁ line sectional view of FIG. 1, FIG. 3 is a rear view of the load port device P, Fig. 4 is Z ₂ -Z ₂ cross section along line of FIG. 1 FIG.

図１ないし図３に示されるように、本実施例のロードポート装置Ｐを構成する長方形板状のロードポートフレーム１の上部には、基板Ｗ及びキャリアカセットＫの蓋体７１（図９参照）を通過させるために、前記蓋体７１よりも略相似形状で大型の基板通過口２が設けられている。該ロードポートフレーム１の正面部には、キャリアカセットＫの蓋体７１を着脱するための蓋体着脱装置Ａと、該蓋体着脱装置Ａを昇降させるための第１昇降装置Ｕ₁と、前記キャリアカセットＫに収容された多数枚の基板Ｗの存否等を検出する（マッピング）ためのマッピング装置Ｂが配設されていて、同じく背面部には、キャリアカセットＫを載置するためのカセットテーブルＴと、マッピング装置Ｂを昇降させるための第２昇降装置Ｕ₂が配設されている。 As shown in FIGS. 1 to 3, a lid 71 (see FIG. 9) of the substrate W and the carrier cassette K is placed on the upper part of the rectangular plate-shaped load port frame 1 constituting the load port device P of the present embodiment. In order to allow the substrate to pass therethrough, a large-sized substrate passage opening 2 having a substantially similar shape to the lid 71 is provided. On the front part of the load port frame 1, a lid attaching / detaching device A for attaching / detaching the lid 71 of the carrier cassette K, a first lifting device U ₁ for raising / lowering the lid attaching / detaching device A, A mapping device B for detecting (mapping) the presence / absence of a large number of substrates W accommodated in the carrier cassette K is disposed, and a cassette table for mounting the carrier cassette K is also provided on the back side. T and a second lifting device U ₂ for lifting and lowering the mapping device B are disposed.

最初に、キャリアカセットＫについて説明する。図２に示されるように、キャリアカセットＫは、カセットテーブルＴの所定位置に位置決めされた状態で載置される。図９に示されるように、本実施例のキャリアカセットＫは、「ＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod) 」と称されるものであり、円板状で、所定長さの外径を有する多数枚の基板Ｗを多段にして収容することができる。ＦＯＵＰカセットの場合、基板Ｗを挿入したり取り出したりするための開口７２が１つであるため、基板Ｗの存否等の検出を行うためには、前記開口７２の部分に基板検出センサ（後述）を配置させる必要がある。本実施例のキャリアカセットＫは、一側面部に開口７２が形成されたカセット本体７３と、前記開口７２に着脱可能に装着されて該開口７２を閉塞するための蓋体７１とから構成されている。蓋体７１には、カセット本体７３に対してロック・アンロックを行うための固定機構７０が埋設されている。 First, the carrier cassette K will be described. As shown in FIG. 2, the carrier cassette K is placed in a state of being positioned at a predetermined position on the cassette table T. As shown in FIG. 9, the carrier cassette K of the present embodiment is called “FOUP (Front Opening Unified Pod)”, and is a disk-shaped and a large number of sheets having an outer diameter of a predetermined length. The substrate W can be accommodated in multiple stages. In the case of the FOUP cassette, since there is one opening 72 for inserting and removing the substrate W, in order to detect the presence / absence of the substrate W, a substrate detection sensor (described later) is provided in the opening 72 portion. Need to be placed. The carrier cassette K of the present embodiment includes a cassette main body 73 having an opening 72 formed on one side surface thereof, and a lid 71 that is detachably mounted on the opening 72 and closes the opening 72. Yes. A fixing mechanism 70 for locking and unlocking the cassette body 73 is embedded in the lid 71.

前記固定機構７０は、対向面にラック７４ａが形成されて、水平方向（横方向）に所定間隔をおいて配置された一対のラック部材７４と、正面視における蓋体７１のほぼ中央部に配置されて、前記一対のラック部材７４の各ラック７４ａにそれぞれ噛合されるピニオン部材７５とで構成されている。前記ピニオン部材７５が正逆回動されることにより、一対のラック部材７４は互いに逆方向に直線移動（上下移動）される。これにより、各ラック部材７４の先端部に形成された爪片７４ｂが蓋体７１の上下の各端面から出没し、カセット本体７３の上下板部の内面における開口７２に臨む部分に形成された各係止孔７３ａに対して、前記各爪片７４ｂが係脱する。この結果、カセット本体７３の開口７２に装着された蓋体７１が、前記カセット本体７３に対してロック・アンロックされる。前記ピニオン部材７５の正逆回動は、該ピニオン部材７５の係止孔７５ａに嵌合された蓋体着脱装置Ａの係止爪機構２２（図２参照）によって操作される。なお、図９において、７６はカセット本体７３の両側部の内側に多段状に形成されて、基板Ｗを支持するための支持段部である。 The fixing mechanism 70 has a rack 74a formed on the opposing surface, and is disposed at a substantially central portion of the pair of rack members 74 disposed at a predetermined interval in the horizontal direction (lateral direction) and the lid body 71 in a front view. The pinion members 75 are engaged with the racks 74a of the pair of rack members 74, respectively. When the pinion member 75 is rotated forward and backward, the pair of rack members 74 are linearly moved (moved up and down) in opposite directions. As a result, the claw pieces 74b formed at the front ends of the rack members 74 protrude from the upper and lower end surfaces of the lid 71 and are formed at portions facing the openings 72 on the inner surfaces of the upper and lower plate portions of the cassette body 73. The claw pieces 74b are engaged with and disengaged from the locking holes 73a. As a result, the lid 71 attached to the opening 72 of the cassette body 73 is locked / unlocked with respect to the cassette body 73. The forward / reverse rotation of the pinion member 75 is operated by the locking claw mechanism 22 (see FIG. 2) of the lid body attaching / detaching device A fitted in the locking hole 75a of the pinion member 75. In FIG. 9, reference numeral 76 denotes a support step portion for supporting the substrate W, which is formed in a multi-step shape inside both side portions of the cassette body 73.

上記実施例では、ラック・ピニオン機構により一対のラック部材７４の爪片７４ａが、上下の各係止孔７３ａに係合・離脱される構成であるが、図１０に示されるキャリアカセットＫ’のように、蓋体７１’の左右両側に一対のロック孔７７を設けて、カセット本体７３’の各壁板部に対して係合・離脱する固定機構の場合もある。 In the above embodiment, the claw pieces 74a of the pair of rack members 74 are engaged and disengaged from the upper and lower locking holes 73a by the rack and pinion mechanism, but the carrier cassette K ′ shown in FIG. As described above, there may be a fixing mechanism in which a pair of lock holes 77 are provided on both the left and right sides of the lid 71 ′ so as to engage and disengage from each wall plate portion of the cassette body 73 ′.

カセットテーブルＴについて説明する。図２及び図３に示されるように、カセットテーブルＴは、ロードポートフレーム１の背面部に張り出して取付けられたテーブル本体３と、キャリアカセットＫを載置するためのカセット載置板４と、該カセット載置板４を基板Ｗの受渡し方向Ｘに沿ってスライドさせるためのスライド案内機構１０とから構成されている。前記スライド案内機構１０は、テーブル本体３の上面に、基板Ｗの受渡し方向Ｘに沿って敷設された一対のガイドレール５と、各ガイドレール５に装着された複数個（本実施例の場合、それぞれ２個）のガイド体６とを備えている。前記カセット載置板４は、一対のガイドレール５にガイドされた状態で、エアシリンダ等の駆動手段（図示せず）により、基板Ｗの受渡し方向Ｘに沿って往復移動される。キャリアカセットＫは、カセット載置板４に取付けられた各位置決めピン４ａによって位置決めされた状態で載置される。そして、前記駆動手段により往復移動される。カセット載置板４の前進端位置（キャリアカセットＫがロードポートフレーム１に最も接近した状態）において、カセット本体７３の開口７２は、ロードポートフレーム１の基板通過口２に臨むようになっている。 The cassette table T will be described. As shown in FIGS. 2 and 3, the cassette table T includes a table main body 3 that projects from the back surface of the load port frame 1 and a cassette mounting plate 4 for mounting the carrier cassette K. The cassette mounting plate 4 includes a slide guide mechanism 10 for sliding the substrate W along the delivery direction X of the substrate W. The slide guide mechanism 10 includes a pair of guide rails 5 laid on the upper surface of the table body 3 along the delivery direction X of the substrate W, and a plurality of the guide rails 5 (in this embodiment, 2) guide bodies 6 each. The cassette mounting plate 4 is reciprocated along the delivery direction X of the substrate W by a driving means (not shown) such as an air cylinder while being guided by a pair of guide rails 5. The carrier cassette K is placed in a state of being positioned by each positioning pin 4a attached to the cassette placing plate 4. And it is reciprocated by the drive means. At the forward end position of the cassette mounting plate 4 (the state in which the carrier cassette K is closest to the load port frame 1), the opening 72 of the cassette body 73 faces the substrate passage port 2 of the load port frame 1. .

図１及び図２に示されるように、ロードポートフレーム１の正面部には、蓋体着脱装置Ａと、該蓋体着脱装置Ａを昇降させるための第１昇降装置Ｕ₁が配設されている。蓋体着脱装置Ａは、キャリアカセットＫのカセット本体７３に対して蓋体７１を着脱するために、前記蓋体７１と対応する着脱位置（上昇端）と、前記着脱位置から退避して、取り外された蓋体７１を保持する待機位置（下降端）のいずれかの位置にのみ配置されるため、その昇降機構（第１昇降装置Ｕ₁）は簡略なもので済む。第１昇降装置Ｕ₁について説明する。ロードポートフレーム１の正面部で、幅方向の中央部よりも少し側方（本実施例の場合、図１の図面視における左側方）には、高さ方向に沿ってシリンダ用ガイドレール７が敷設されている。該シリンダ用ガイドレール７に装着された１個のガイド体８には、２本のエアシリンダ９，１１が高さ方向に沿って、相互に反対向きに取付けられている。即ち、ガイド体８に取付けられた奥側のエアシリンダ９のシリンダロッド９ａは下方に向けられていて、前記奥側のエアシリンダ９に重なり状態で取付けられた手前側のエアシリンダ１１のシリンダロッド１１ａは、上方に向けられている。そして、奥側のエアシリンダ９のシリンダロッド９ａの先端部（下端部）は、ロードポートフレーム１におけるシリンダ用ガイドレール７の直下の部分に取付けられたブラケット１２に固定されている。また、手前側のエアシリンダ１１のシリンダロッド１１ａの先端部（上端部）は、蓋体着脱装置Ａを構成する取付板部１３の連結ナット部材１３ａに螺合状態で固定されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, a lid body attaching / detaching device A and a first lifting device U ₁ for raising and lowering the lid body attaching / detaching device A are disposed on the front portion of the load port frame 1. Yes. In order to attach / detach the lid 71 to / from the cassette body 73 of the carrier cassette K, the lid attaching / detaching apparatus A is retracted from the attaching / detaching position (rising end) corresponding to the lid 71 and the attaching / detaching position. Since it is disposed only at one of the standby positions (lowering ends) for holding the lid 71, the lifting mechanism (first lifting device U ₁ ) can be simplified. The first lifting device U ₁ will be described. In the front portion of the load port frame 1, a cylinder guide rail 7 extends along the height direction slightly to the side of the central portion in the width direction (in this embodiment, the left side in the drawing view of FIG. 1). It is laid. Two air cylinders 9 and 11 are attached to one guide body 8 mounted on the cylinder guide rail 7 in opposite directions along the height direction. That is, the cylinder rod 9a of the back side air cylinder 9 attached to the guide body 8 is directed downward, and the cylinder rod of the front side air cylinder 11 attached to the back side air cylinder 9 in an overlapping state. 11a is directed upward. The distal end (lower end) of the cylinder rod 9 a of the rear air cylinder 9 is fixed to a bracket 12 attached to a portion of the load port frame 1 immediately below the cylinder guide rail 7. Moreover, the front-end | tip part (upper end part) of the cylinder rod 11a of the near side air cylinder 11 is being fixed to the connection nut member 13a of the mounting plate part 13 which comprises the cover body attachment or detachment apparatus A in the screwing state.

２本のエアシリンダ９，１１を同時に作動させると、奥側のエアシリンダ９のシリンダロッド９ａが突出される。前記シリンダロッド９ａの先端部はブラケット１２に固定されているため、奥側のエアシリンダ９は、シリンダ用ガイドレール７に案内されて上昇される。また、手前側のエアシリンダ１１のシリンダロッド１１ａも突出されるため、同時に取付板部１３が上昇される。これにより、前記取付板部１３は、２本のエアシリンダ９，１１の各シリンダストロークの合計分だけ、シリンダ用ガイドレール７に案内されて昇降される。このように、本実施例のロードポート装置Ｐの第１昇降装置Ｕ₁では、２本のエアシリンダ９，１１を重ねた状態で取付けて、各エアシリンダ９，１１のシリンダストロークの合計分だけ蓋体着脱装置Ａを昇降させる構成であるため、各エアシリンダ９，１１のシリンダストロークを短くできると共に、それらの配置スペースを小さくできる。 When the two air cylinders 9 and 11 are operated simultaneously, the cylinder rod 9a of the rear air cylinder 9 is projected. Since the tip end portion of the cylinder rod 9a is fixed to the bracket 12, the rear air cylinder 9 is guided by the cylinder guide rail 7 and raised. Further, since the cylinder rod 11a of the air cylinder 11 on the near side is also projected, the mounting plate portion 13 is simultaneously raised. As a result, the mounting plate portion 13 is raised and lowered while being guided by the cylinder guide rail 7 by the total of the cylinder strokes of the two air cylinders 9 and 11. As described above, in the first lifting device U ₁ of the load port device P of the present embodiment, the two air cylinders 9 and 11 are attached in a stacked state, and the total cylinder stroke of each air cylinder 9 and 11 is the same. Since it is the structure which raises / lowers the cover body attachment / detachment apparatus A, while being able to shorten the cylinder stroke of each air cylinder 9, 11, those arrangement space can be made small.

また、ロードポートフレーム１の正面部のほぼ中央下部には、前述したシリンダ用ガイドレール７と平行にカバー用ガイドレール１４が敷設されている。カバー用ガイドレール１４には１個のガイド体１５が装着されていて、該ガイド体１５は、カバー用ガイドレール１４に案内されて昇降可能である。ロードポートフレーム１の正面下部には、箱状の固定カバー１６が取付けられていて、前記２本のエアシリンダ９，１１の各シリンダロッド９a,１１a が引っ込められた状態で、各エアシリンダ９，１１及びカバー用ガイドレール１４の大部分が、前記固定カバー１６によって覆われる。 A cover guide rail 14 is laid in parallel with the cylinder guide rail 7 described above at a substantially lower central portion of the front portion of the load port frame 1. A single guide body 15 is attached to the cover guide rail 14, and the guide body 15 can be moved up and down by being guided by the cover guide rail 14. A box-shaped fixed cover 16 is attached to the lower front portion of the load port frame 1 so that the cylinder rods 9a and 11a of the two air cylinders 9 and 11 are retracted. 11 and most of the cover guide rail 14 are covered by the fixed cover 16.

そして、前述した取付板部１３には、前記固定カバー１６に入り込む可動カバー１７が取付けられている。図４に示されるように、可動カバー１７の断面形状は、固定カバー１６よりも少し小さな略相似形である。前記取付板部１３とカバー用ガイドレール１４に装着されたガイド体１５とは、連結板１８によって一体に連結されている。前記可動カバー１７の上端部は、取付板部１３に固定されていると共に、その下端部は、前記連結板１８の正面部に取付けられた可動カバー支持板１９を介してガイド体１５に固定されている。各エアシリンダ９，１１の作動によって取付板部１３が昇降されるとき、可動カバー１７もカバー用ガイドレール１４に案内され、前記取付板部１３と一体となって昇降される。これにより、各エアシリンダ９，１１のシリンダロッド９a,１１a の部分が露出されることが防止される。 A movable cover 17 that enters the fixed cover 16 is attached to the mounting plate portion 13 described above. As shown in FIG. 4, the cross-sectional shape of the movable cover 17 is a substantially similar shape that is slightly smaller than the fixed cover 16. The mounting plate 13 and the guide body 15 mounted on the cover guide rail 14 are integrally connected by a connecting plate 18. An upper end portion of the movable cover 17 is fixed to the mounting plate portion 13, and a lower end portion thereof is fixed to the guide body 15 via a movable cover support plate 19 attached to the front portion of the connecting plate 18. ing. When the mounting plate 13 is moved up and down by the operation of the air cylinders 9 and 11, the movable cover 17 is also guided by the cover guide rail 14 and is moved up and down integrally with the mounting plate 13. This prevents the portions of the cylinder rods 9a, 11a of the air cylinders 9, 11 from being exposed.

蓋体着脱装置Ａについて説明する。図１及び図２に示されるように、取付板部１３には蓋体着脱装置Ａが配設されている。蓋体着脱装置Ａを構成する装置本体２１の正面部（ロードポートフレーム１の背面部に対向する面）のほぼ中央部には、キャリアカセットＫの蓋体７１に取付けられたピニオン部材７５の係止孔７５ａに係止して、該ピニオン部材７５を正逆回動させることにより、カセット本体７３の開口７２を閉塞している蓋体７１のロック・アンロックを行う係止爪機構２２が設けられている。また、装置本体２１の上下端部には、カセット本体７３に対して蓋体７１を着脱する際に、該蓋体７１を一時的に保持するための複数個の吸盤機構２３が設けられている。前記係止爪機構２２及び前記吸盤機構２３を駆動するための駆動源・機械的機構等（図示せず）は、装置本体２１の背面部に取付けられた箱体２４に収容されている。 The lid attaching / detaching apparatus A will be described. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, a lid body attaching / detaching device A is disposed on the mounting plate portion 13. The pinion member 75 attached to the lid 71 of the carrier cassette K is substantially at the center of the front surface of the device main body 21 constituting the lid attaching / detaching device A (the surface facing the back surface of the load port frame 1). A latching claw mechanism 22 that locks / unlocks the lid 71 that closes the opening 72 of the cassette body 73 by locking the pinion member 75 forward and backward by being latched to the stop hole 75a is provided. It has been. In addition, a plurality of suction cup mechanisms 23 for temporarily holding the lid 71 when the lid 71 is attached to and detached from the cassette body 73 are provided at the upper and lower ends of the apparatus main body 21. . A drive source, a mechanical mechanism, and the like (not shown) for driving the locking claw mechanism 22 and the suction cup mechanism 23 are accommodated in a box 24 attached to the back surface of the apparatus main body 21.

前記装置本体２１は、基板Ｗの受渡し方向Ｘに沿って移動可能である。即ち、図１及び図５に示されるように、取付板部１３の上面には、基板Ｗの受渡し方向Ｘに沿ってガイドレール２５が敷設されていると共に、前記取付板部１３の底面部には、モータ軸２６ａを垂直上方に配置させる形態で駆動モータ２６が固定されている。そして、蓋体着脱装置Ａの箱体２４を支持するベース板２７は、ガイドレール２５に装着されたガイド体２８に取付けられている。このため、蓋体着脱装置Ａは、ガイドレール２５に案内されて基板Ｗの受渡し方向Ｘに移動可能である。また、図６に示されるように、駆動モータ２６のモータ軸２６ａには旋回アーム２９が装着されていて、該旋回アーム２９の先端部には、上方に向けて係合ピン３１が取付けられている。前記ベース板２７には、前記係合ピン３１の上端部に装着されたリング体３１ａを係合可能な係合孔３２が、受渡し方向Ｘと直交する水平方向Ｙに沿って形成されている。これにより、駆動モータ２６のモータ軸２６ａを半回転させると、蓋体着脱装置Ａの箱体２４が取付けられたベース板２７は、基板Ｗの受渡し方向Ｘに沿って、係合ピン３１の旋回半径の２倍の距離だけ直線移動することとなる。この結果、蓋体着脱装置Ａは、図５に実線及び二点鎖線でそれぞれ示されるように、カセットテーブルＴのテーブル本体３に載置されて、ロードポートフレーム１の基板通過口２に最も近接して配置されているキャリアカセットＫに対して接近・離隔して、蓋体７１を着脱することができる。 The apparatus main body 21 is movable along the delivery direction X of the substrate W. That is, as shown in FIGS. 1 and 5, the guide rail 25 is laid along the delivery direction X of the substrate W on the top surface of the mounting plate portion 13, and on the bottom surface portion of the mounting plate portion 13. The drive motor 26 is fixed in such a manner that the motor shaft 26a is arranged vertically upward. The base plate 27 that supports the box 24 of the lid attaching / detaching apparatus A is attached to a guide body 28 attached to the guide rail 25. Therefore, the lid attaching / detaching device A is guided by the guide rail 25 and can move in the delivery direction X of the substrate W. Further, as shown in FIG. 6, a turning arm 29 is attached to the motor shaft 26 a of the drive motor 26, and an engaging pin 31 is attached to the tip of the turning arm 29 upward. Yes. In the base plate 27, an engagement hole 32 is formed along a horizontal direction Y orthogonal to the delivery direction X so as to engage a ring body 31 a mounted on the upper end portion of the engagement pin 31. Thus, when the motor shaft 26a of the drive motor 26 is rotated halfway, the base plate 27 to which the box 24 of the lid attaching / detaching apparatus A is attached turns the engaging pin 31 along the delivery direction X of the substrate W. The straight line is moved by a distance twice the radius. As a result, the lid attaching / detaching apparatus A is placed on the table body 3 of the cassette table T and is closest to the substrate passage opening 2 of the load port frame 1 as indicated by a solid line and a two-dot chain line in FIG. The lid 71 can be attached and detached while approaching or separating from the carrier cassette K that is arranged.

次に、マッピング装置Ｂ、及びマッピング装置Ｂを昇降させるための第２昇降装置Ｕ₂について説明する。本実施例のマッピング装置Ｂは、蓋体着脱装置Ａと別体に配設されていて、ロードポートフレーム１の背面部に配設された第２昇降装置Ｕ₂により、前記蓋体着脱装置Ａから独立して昇降される。マッピング装置Ｂは、キャリアカセットＫ内に多段にして収容された各基板Ｗの存否等を検出するものであるため、その昇降機構（第２昇降装置Ｕ₂）は、高い昇降精度（高さ方向の位置決め精度）を必要とする。このため、本実施例の第２昇降装置Ｕ₂では、駆動源としてステッピングモータ３８を使用している。第２昇降装置Ｕ₂について説明する。図３に示されるように、ロードポートフレーム１の背面部における幅方向の中央部よりも側方（本実施例の場合、図３の図面視における右側方）には、高さ方向に沿ってボールねじ３３とガイドレール３４が平行にして取付けられている。更に、ロードポートフレーム１における前記ガイドレール３４の側方部分には、該ガイドレール３４と平行にして長孔状の開口部３５が設けられている。前記ボールねじ３３の上下端部は、ブラケット３６によって回転自在に支持されている。また、ボールねじ３３の下端部は、カップリング３７を介してステッピングモータ３８のモータ軸（図示せず）に連結されている。ステッピングモータ３８を作動させてそのモータ軸を所定方向に回転させることにより、ボールねじ３３に装着されたナット体３９が昇降される。前記ガイドレール３４に装着されたガイド体４１は、連結部材４２によって、ナット体３９と連結されている。このため、ナット体３９とガイド体４１とは一体となって昇降される。 Next, the mapping device B and the second lifting device U ₂ for lifting the mapping device B will be described. The mapping device B of the present embodiment is disposed separately from the lid body attaching / detaching device A, and the lid body attaching / detaching device A is provided by a second lifting device U ₂ disposed on the back surface of the load port frame 1. Is lifted and lowered independently. Since the mapping device B detects the presence / absence of each substrate W accommodated in multiple stages in the carrier cassette K, its lifting mechanism (second lifting device U ₂ ) has high lifting accuracy (height direction). Positioning accuracy). Therefore, the second lifting device U ₂ of the present embodiment uses a stepping motor 38 as a driving source. The second lifting device U ₂ will be described. As shown in FIG. 3, along the height direction, on the side of the back surface of the load port frame 1 from the center in the width direction (in the case of this embodiment, the right side in the drawing of FIG. 3). A ball screw 33 and a guide rail 34 are attached in parallel. Further, an elongated opening 35 is provided in a side portion of the guide rail 34 in the load port frame 1 in parallel with the guide rail 34. The upper and lower ends of the ball screw 33 are rotatably supported by a bracket 36. The lower end of the ball screw 33 is connected to a motor shaft (not shown) of the stepping motor 38 via a coupling 37. By operating the stepping motor 38 and rotating the motor shaft in a predetermined direction, the nut body 39 attached to the ball screw 33 is raised and lowered. A guide body 41 mounted on the guide rail 34 is connected to a nut body 39 by a connecting member 42. For this reason, the nut body 39 and the guide body 41 are moved up and down integrally.

図１及び図２に示されるように、前記ガイド体４１における幅方向の端部は、開口部３５を通ってロードポートフレーム１の正面部に突出している。そして、ガイド体４１におけるロードポートフレーム１の正面部に突出した部分には、マッピングフレーム４３が固着されている。マッピングフレーム４３の上端部には、横方向（水平方向Ｙ）に沿ってマッピングヘッド４４が片持ち状態で取付けられていて、該マッピングヘッド４４にマッピング装置Ｂが配設されている。前記マッピングフレーム４３は、マッピング装置Ｂがロードポートフレーム１の正面部から所定の距離だけ離隔した状態で配置され、しかも、蓋体着脱装置Ａと干渉しないように、側面視における先端部（上端部）の幅が、基端部の幅よりも小さくなっている（図２参照）。また、前記マッピングヘッド４４は、蓋体着脱装置Ａを構成する箱体２４のほぼ直上に配置されている（図１参照）。 As shown in FIGS. 1 and 2, the end of the guide body 41 in the width direction projects through the opening 35 to the front portion of the load port frame 1. A mapping frame 43 is fixed to a portion of the guide body 41 that protrudes from the front portion of the load port frame 1. A mapping head 44 is attached in a cantilevered manner along the horizontal direction (horizontal direction Y) at the upper end of the mapping frame 43, and the mapping device B is disposed on the mapping head 44. The mapping frame 43 is arranged in a state in which the mapping device B is separated from the front portion of the load port frame 1 by a predetermined distance, and the distal end portion (upper end portion) in a side view so as not to interfere with the lid attaching / detaching device A. ) Is smaller than the width of the base end (see FIG. 2). Further, the mapping head 44 is disposed almost immediately above the box 24 constituting the lid attaching / detaching apparatus A (see FIG. 1).

マッピング装置Ｂについて説明する。図１、図７及び図８に示されるように、マッピング装置Ｂは、水平方向Ｙに所定間隔をおいて垂直に支持された長さの異なる一対の垂直回動軸４５，４６と、一対の垂直回動軸４５，４６を往復回動させるためのエアシリンダ４７と、各垂直回動軸４５，４６の軸心４５a,４６a を中心として水平面内で回動する一対のアーム４８，４９と該一対のアーム４８，４９の先端部にそれぞれ取付けられた発光素子５１及び受光素子５２とから成る光センサとで構成されている。即ち、図８に示されるように、一対の垂直回動軸４５，４６は、マッピングヘッド４４の天板部４４ａの裏面に固定されたブラケット５３に内装された各軸受５４に回動自在に支持されている。各垂直回動軸４５，４６の上端部は、マッピングヘッド４４の天板部４４ａから上方に突出されていて、それぞれの突出部分にアーム４８，４９が固着されている。また、各垂直回動軸４５，４６の下端部は、ブラケット５３の下方に突出されていて、それぞれの突出部分に同一歯数の歯車５５，５６が、互いに噛合された状態で装着されている。そして、長い方の垂直回動軸４５の下端部は、更に前記歯車５５の下方に突出されていて、当該突出部分に連結アーム５７の一端部が固着されている（図７参照）。 The mapping device B will be described. As shown in FIG. 1, FIG. 7 and FIG. 8, the mapping device B includes a pair of vertical rotation shafts 45, 46 of different lengths supported vertically at a predetermined interval in the horizontal direction Y, and a pair of An air cylinder 47 for reciprocally rotating the vertical rotation shafts 45, 46, a pair of arms 48, 49 rotating in a horizontal plane around the axial centers 45a, 46a of the vertical rotation shafts 45, 46, and The optical sensor is composed of a light emitting element 51 and a light receiving element 52 attached to the distal ends of the pair of arms 48 and 49, respectively. That is, as shown in FIG. 8, the pair of vertical rotation shafts 45 and 46 are rotatably supported by the respective bearings 54 built in the bracket 53 fixed to the back surface of the top plate portion 44 a of the mapping head 44. Has been. The upper end portions of the vertical rotation shafts 45 and 46 protrude upward from the top plate portion 44a of the mapping head 44, and the arms 48 and 49 are fixed to the protruding portions. Further, the lower end portions of the vertical rotation shafts 45 and 46 protrude below the bracket 53, and gears 55 and 56 having the same number of teeth are mounted on the respective protruding portions in a meshed state. . The lower end portion of the longer vertical rotation shaft 45 protrudes further below the gear 55, and one end portion of the connecting arm 57 is fixed to the protruding portion (see FIG. 7).

前記エアシリンダ４７の基端部は、マッピングヘッド４４の正面板部４４ｂに固着されたブラケット５８に対して回動可能に連結されていると共に、そのシリンダロッド４７ａの先端部は、前述した連結アーム５７の他端部に連結されている。これにより、エアシリンダ４７を作動させてそのシリンダロッド４７ａを出入りさせると、一対のアーム４８，４９は正逆両方向に同一角度だけ回動して、両回動端において基板検出位置と退避位置とにそれぞれ配置される。図７において、基板検出位置に配置された一対のアーム４８，４９を実線で記載し、退避位置に配置された一対のアーム４８，４９を二点鎖線で示す。 The base end of the air cylinder 47 is rotatably connected to a bracket 58 fixed to the front plate 44b of the mapping head 44, and the tip of the cylinder rod 47a is connected to the connecting arm described above. The other end of 57 is connected. As a result, when the air cylinder 47 is operated and the cylinder rod 47a is moved in and out, the pair of arms 48 and 49 are rotated by the same angle in both the forward and reverse directions, and the substrate detection position and the retracted position at both rotation ends. Respectively. In FIG. 7, the pair of arms 48 and 49 arranged at the substrate detection position are indicated by solid lines, and the pair of arms 48 and 49 arranged at the retracted position are indicated by two-dot chain lines.

ここで、キャリアカセットＫの各段に収容された基板Ｗの存否、二枚重ね、傾斜配置等を検出する原理は公知である。即ち、図７に示されるように、一対のアーム４８，４９の先端の発光素子５１と受光素子５２とを、基板ＷにおけるキャリアカセットＫの開口７２に臨む部分の両側に配置して、ステッピングモータ３８（図３参照）により昇降させると、発光素子５１と受光素子５２との間に形成された光路Ｒは、マッピング装置Ｂの昇降中において基板Ｗの存在により遮断されることを利用している。即ち、前記ステッピングモータ３８に連続して入力されるパルスと、前記光路Ｒの遮断された時点のパルス番号を比較することにより、基板Ｗの存否等を容易に検出できる（マッピング）。 Here, the principle of detecting the presence / absence of the substrate W accommodated in each stage of the carrier cassette K, double stacking, inclined arrangement, etc. is well known. That is, as shown in FIG. 7, the light emitting element 51 and the light receiving element 52 at the tips of the pair of arms 48 and 49 are arranged on both sides of the portion of the substrate W facing the opening 72 of the carrier cassette K, thereby When it is moved up and down by 38 (see FIG. 3), the optical path R formed between the light emitting element 51 and the light receiving element 52 is utilized by being blocked by the presence of the substrate W while the mapping apparatus B is raised and lowered. . That is, by comparing the pulse continuously input to the stepping motor 38 with the pulse number when the optical path R is interrupted, the presence or absence of the substrate W can be easily detected (mapping).

本実施例のロードポート装置Ｐの作用について説明する。図２に示されるように、多数枚の基板Ｗが多段に収容されたキャリアカセットＫが、ロードポート装置ＰのカセットテーブルＴを構成するカセット載置板４に位置決め状態で載置される。前記カセットテーブルＴのテーブル本体３に設けられたスライド案内機構１０により、前記キャリアカセットＫが基板Ｗの受渡し方向Ｘに沿って前進され、ロードポートフレーム１の背面部に近接して停止される。図１に示されるように、第１昇降装置Ｕ₁を構成する２本のエアシリンダ９，１１が作動され、蓋体着脱装置Ａが上昇される。このとき、可動カバー１７も、前記蓋体着脱装置Ａと一体となって上昇される。なお、マッピング装置Ｂは、蓋体着脱装置Ａとの干渉を避けるため、予め、キャリアカセットＫに収容されている多数枚の基板Ｗのうち、最上段に配置されている基板Ｗと対応する位置で待機している。なお、ロードポートフレーム１には、多数個のセンサ（図示せず）が取付けられていて、これらのセンサにより、蓋体着脱装置Ａとマッピング装置Ｂの昇降時の干渉が回避されている。 The operation of the load port device P of this embodiment will be described. As shown in FIG. 2, the carrier cassette K in which a large number of substrates W are accommodated in multiple stages is placed in a positioning state on the cassette placing plate 4 that constitutes the cassette table T of the load port device P. The carrier cassette K is advanced along the delivery direction X of the substrate W by the slide guide mechanism 10 provided in the table main body 3 of the cassette table T, and is stopped near the back surface portion of the load port frame 1. As shown in FIG. 1, the two air cylinders 9 and 11 constituting the first lifting device U ₁ are operated, and the lid attaching / detaching device A is raised. At this time, the movable cover 17 is also raised integrally with the lid body attaching / detaching device A. In addition, in order to avoid interference with the lid attaching / detaching device A, the mapping device B is a position corresponding to the substrate W arranged in the uppermost stage among the multiple substrates W accommodated in the carrier cassette K in advance. Waiting at. Note that a large number of sensors (not shown) are attached to the load port frame 1, and these sensors prevent interference when the lid attaching / detaching device A and the mapping device B are moved up and down.

図５に示されるように、駆動モータ２６を作動させてそのモータ軸２６ａを半回転させる。旋回アーム２９に取付けられた係合ピン３１が回動しながら、ベース板２７に設けられた係合孔２７ａ内で移動される。これにより、ベース板２７は、ガイドレール２５に案内されて、ロードポートフレーム１の正面部に接近する。蓋体着脱装置Ａを構成する装置本体２１に取付けられた係止機構２２が、キャリアカセットＫの蓋体７１に取付けられたピニオン部材７５の係止孔７５ａに係止されると共に、前記装置本体に取付けられた各吸盤機構２３が前記蓋体７１に密着される。図９に示されるように、箱体２４に収容された駆動源・機械的機構等（図示せず）により、一対のラック部材７４の爪片７４ｂがカセット本体７３の係止孔７３ａから抜かれて、カセット本体７３に対する蓋体７１のロックが解除される。そして、前記駆動モータ２６のモータ軸２６ａが逆方向に半回転される。これにより、キャリアカセットＫから蓋体７１が取り外される。再び、２本のエアシリンダ９，１１が作動され、蓋体着脱装置Ａが下降される。本実施例のロードポート装置Ｐの場合、蓋体着脱装置Ａを昇降するための第１昇降装置Ｕ₁と、マッピング装置Ｂを昇降させるための第２昇降装置Ｕ₂とが別個に設けられている。また、蓋体着脱装置Ａの昇降精度は低くても構わないため、第１昇降装置Ｕ₁を構成する２本のエアシリンダ９，１１の作用により高速で昇降させることが可能であり、基板Ｗの受渡し作業の効率化が図られる。また、第１昇降装置Ｕ₁の構成、制御等が簡単になると共に、安価である。 As shown in FIG. 5, the drive motor 26 is operated to rotate the motor shaft 26a halfway. The engagement pin 31 attached to the turning arm 29 is moved in an engagement hole 27 a provided in the base plate 27 while rotating. Accordingly, the base plate 27 is guided by the guide rail 25 and approaches the front portion of the load port frame 1. The locking mechanism 22 attached to the device main body 21 constituting the lid attaching / detaching device A is locked to the locking hole 75a of the pinion member 75 attached to the lid 71 of the carrier cassette K, and the device main body. Each suction cup mechanism 23 attached to the lid is in close contact with the lid 71. As shown in FIG. 9, the claw pieces 74 b of the pair of rack members 74 are removed from the locking holes 73 a of the cassette body 73 by a drive source, a mechanical mechanism, etc. (not shown) housed in the box body 24. Then, the lock of the lid 71 with respect to the cassette body 73 is released. Then, the motor shaft 26a of the drive motor 26 is rotated halfway in the reverse direction. As a result, the lid 71 is removed from the carrier cassette K. Again, the two air cylinders 9 and 11 are operated, and the lid body attaching / detaching apparatus A is lowered. In the case of the load port device P of the present embodiment, a first lifting device U ₁ for lifting and lowering the lid attaching / detaching device A and a second lifting device U ₂ for lifting and lowering the mapping device B are separately provided. Yes. Further, since the raising / lowering accuracy of the lid attaching / detaching device A may be low, it can be moved up and down at high speed by the action of the two air cylinders 9 and 11 constituting the first lifting device U _1. The delivery work efficiency is improved. In addition, the configuration and control of the first lifting device U ₁ are simplified and inexpensive.

蓋体着脱装置ＡによってキャリアカセットＫの蓋体７１が取り外されると、キャリアカセットＫ内の各基板Ｗは、処理装置Ｆに配設された基板受渡し装置（図示せず）によって処理装置Ｆの側に取り出されて所定の処理が施される。一方、前記処理装置Ｆによって所定の処理を終えた基板Ｗは、基板受渡し装置によって、カセットテーブルＴ上で待機している空のカセットＫの各段に順次収容される。 When the lid 71 of the carrier cassette K is removed by the lid attaching / detaching apparatus A, each substrate W in the carrier cassette K is moved to the side of the processing apparatus F by a substrate delivery apparatus (not shown) disposed in the processing apparatus F. And is subjected to predetermined processing. On the other hand, the substrates W that have been subjected to the predetermined processing by the processing apparatus F are sequentially accommodated in each stage of the empty cassette K waiting on the cassette table T by the substrate delivery apparatus.

キャリアカセットＫに収容されたすべての基板Ｗの処理が終了し、各基板Ｗが再度キャリアカセットＫに収容されると、マッピング装置Ｂにより、キャリアカセットＫの各段に収容されている基板Ｗの存否等が検出される（マッピング）。即ち、図７に示されるように、マッピング装置Ｂを構成するエアシリンダ４７が作動されてそのシリンダロッド４７ａが突出される。一対のアーム４８，４９が、各垂直回動軸４５，４６の軸心４５a,４６a を中心に互いに反対方向に旋回され、各アーム４８，４９の先端部に取付けられた発光素子５１と受光素子５２がキャリアカセットＫの開口７２の部分に進入する。本実施例のマッピング装置Ｂでは、一対のアーム４８，４９が同時に回動され、しかも、一対のアーム４８，４９の先端部（発光素子５１と受光素子５２の部分）のみをキャリアカセットＫ内に進入させる構成なので、その駆動部の構成が簡単なものになる。第２昇降装置Ｕ₂を構成するステッピングモータ３８が作動され、上昇端位置に待機していたマッピング装置Ｂが下降する。前記発光素子５１から発光された光（光路Ｒ）が、前記各基板Ｗに遮断されることにより、キャリアカセットＫ内の各段の基板Ｗの存否等が検出される。マッピング装置Ｂは、第２昇降装置Ｕ₂を構成するステッピングモータ３８の作用により高精度で昇降されるため、マッピングに支障を生ずることはない。 When the processing of all the substrates W accommodated in the carrier cassette K is completed and each substrate W is accommodated again in the carrier cassette K, the mapping device B causes the substrate W accommodated in each stage of the carrier cassette K to be stored. Existence or the like is detected (mapping). That is, as shown in FIG. 7, the air cylinder 47 constituting the mapping device B is operated and the cylinder rod 47a is projected. A pair of arms 48 and 49 are pivoted in opposite directions around the axes 45a and 46a of the vertical rotation shafts 45 and 46, and a light emitting element 51 and a light receiving element attached to the distal ends of the arms 48 and 49, respectively. 52 enters the portion of the opening 72 of the carrier cassette K. In the mapping apparatus B of the present embodiment, the pair of arms 48 and 49 are simultaneously rotated, and only the tips of the pair of arms 48 and 49 (the light emitting element 51 and the light receiving element 52) are placed in the carrier cassette K. Since it is the structure to enter, the structure of the drive part becomes simple. The stepping motor 38 that constitutes the second lifting device U ₂ is operated, and the mapping device B that has been waiting at the rising end position is lowered. The light (optical path R) emitted from the light emitting element 51 is blocked by the respective substrates W, whereby the presence / absence of the respective substrates W in the carrier cassette K is detected. Since the mapping device B is lifted and lowered with high accuracy by the action of the stepping motor 38 constituting the second lifting device U ₂ , mapping is not hindered.

また、本実施例のロードポート装置Ｐの場合、マッピング装置Ｂが配設されたマッピングヘッド４４は、マッピングフレーム４３の上端部に片持ち支持構造（マッピングヘッド４４の一端部のみが固着されている構造）で取付けられている。もし、前記マッピングフレーム４３を門型の両側支持構造とすると、２基の第２昇降装置Ｕ₂が必要となり、マッピング装置Ｂを高精度に昇降させるために、各第２昇降装置Ｕ₂を構成するステッピングモータ３８を同期して作動させなければならない。これにより、構成及び制御が複雑になるという不具合が生じる。また、門型のマッピングフレーム４３を１基の第２昇降装置Ｕ₂で昇降させようとすると、振動が発生し易くなる。しかし、本実施例のロードポート装置Ｐでは、マッピングヘッド４４が片持ち支持構造となっているため、構成及び制御が簡単になる。また、一対のアーム４８，４９の回動の駆動源を、単一のエアシリンダ４７とすることにより、前記マッピングヘッド４４を一層軽量にすることができ、振動が発生することもない。 In the case of the load port device P of the present embodiment, the mapping head 44 provided with the mapping device B has a cantilever support structure (only one end portion of the mapping head 44 is fixed to the upper end portion of the mapping frame 43. Structure). If the mapping frame 43 has a double-sided support structure of the gate shape, two second lifting devices U ₂ are required, and each second lifting device U ₂ is configured to lift the mapping device B with high precision. The stepping motor 38 to be operated must be operated synchronously. Thereby, the malfunction that a structure and control become complicated arises. Further, if the portal-type mapping frame 43 is moved up and down by one second lifting device U ₂ , vibration is likely to occur. However, in the load port apparatus P of the present embodiment, the mapping head 44 has a cantilever support structure, so that the configuration and control are simplified. In addition, by using a single air cylinder 47 as a driving source for the rotation of the pair of arms 48 and 49, the mapping head 44 can be further reduced in weight and no vibration is generated.

マッピング装置Ｂによるマッピングが終了した後、第１昇降装置Ｕ₁を構成するエアシリンダ９，１１が作動され、蓋体７１を保持している蓋体着脱装置Ａが上昇されて、前記蓋体着脱装置Ａの作用によりキャリアカセットＫの開口７２が蓋体７１によって閉塞される。 After mapping by the mapping device B is completed, the air cylinders 9 and 11 constituting the first lifting device U ₁ are operated, the lid body attaching / detaching device A holding the lid body 71 is raised, and the lid body attaching / detaching is performed. The opening 72 of the carrier cassette K is closed by the lid 71 by the action of the device A.

上記実施例では、マッピング装置Ｂを下降させてマッピングを行う場合について記載したが、マッピング装置Ｂを上昇させてマッピングを行うようにしても構わない。 In the above-described embodiment, the case where mapping is performed by lowering the mapping apparatus B has been described. However, mapping may be performed by raising the mapping apparatus B.

上記実施例の場合、蓋体着脱装置Ａを昇降させるための第１昇降装置Ｕ₁の駆動源は、エアシリンダ９，１１であるが、油圧シリンダであっても構わない。また、マッピング装置Ｂを昇降させるための第２昇降装置Ｕ₂の駆動源は、ステッピングモータ３８であるが、他の制御モータであっても構わない。 In the case of the above embodiment, the drive source of the first lifting device U ₁ for lifting and lowering the lid attaching / detaching device A is the air cylinders 9 and 11, but it may be a hydraulic cylinder. The second drive source of the elevator device U ₂ for raising and lowering the mapping device B is a stepping motor 38, but may be other control motors.

また、上記実施例では、基板Ｗの存否等を検出するための光センサ（発光素子５１、受光素子５２）は、透過型のものであるが、基板Ｗに反射した光を検出する反射型のものであってもよい。反射型の場合には、光センサを取付けるアームは一本で済む。 In the above embodiment, the optical sensors (light emitting element 51 and light receiving element 52) for detecting the presence / absence of the substrate W are transmissive type, but the reflective sensor for detecting the light reflected on the substrate W is used. It may be a thing. In the case of the reflection type, only one arm is required to mount the optical sensor.

ロードポート装置Ｐの正面図である。2 is a front view of a load port device P. FIG. 図１のＺ₁−Ｚ₁線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line Z ₁ -Z _{1 in} FIG. 1. ロードポート装置Ｐの背面図である。3 is a rear view of the load port device P. FIG. 図１のＺ₂−Ｚ₂線断面図である。FIG. _{2 is a} sectional view taken along line Z ₂ -Z ₂ in FIG. 蓋体着脱装置Ａにおける取付板部１３の部分の平面図である。It is a top view of the part of the attachment board part 13 in the cover body attachment or detachment apparatus A. 同じく一部を破断した正面図である。It is the front view which fractured | ruptured the part similarly. マッピング装置Ｂの平面図である。4 is a plan view of a mapping device B. FIG. 図７のＺ₃−Ｚ₃線断面図である。FIG. 8 is a sectional view taken along line Z ₃ -Z _{3 in} FIG. 7. キャリアカセットＫの蓋体７１とカセット本体７３とを分離した状態の斜視図である。It is a perspective view of the state which isolate | separated the cover body 71 and the cassette main body 73 of the carrier cassette K. FIG. 別実施例のキャリアカセットＫ’の斜視図である。It is a perspective view of carrier cassette K 'of another example.

Ａ：蓋体着脱装置
Ｂ：マッピング装置
Ｆ：処理装置
Ｋ，Ｋ’：キャリアカセット
Ｐ：ロードポート装置
Ｔ：カセットテーブル
Ｕ₁：第１昇降装置（蓋体着脱装置の昇降機構）
Ｕ₂：第２昇降装置（マッピング装置の昇降機構）
Ｗ：基板
９，１１：エアシリンダ（シリンダ）
３８：ステッピングモータ（制御モータ）
４３：マッピングフレーム（支持部材）
４７：エアシリンダ（アームの駆動源）
４８，４９：アーム
５１：発光素子（基板検出センサ）
５２：受光素子（基板検出センサ）
７１，７１’：蓋体
７２：開口 A: Lid attachment / detachment device
B: Mapping device
F: Processing device K, K ': Carrier cassette
P: Load port device
T: Cassette table
U ₁ : First lifting device (lifting mechanism of the lid attaching / detaching device)
U ₂ : Second lifting device (elevating mechanism of mapping device)
W: Substrate 9, 11: Air cylinder (cylinder)
38: Stepping motor (control motor)
43: Mapping frame (supporting member)
47: Air cylinder (arm drive source)
48, 49: Arm
51: Light emitting element (substrate detection sensor)
52: Light receiving element (substrate detection sensor)
71, 71 ': Lid
72: Opening

Claims

A cassette table horizontally provided outside the frame of the substrate processing apparatus for mounting the carrier cassette;
A lid attaching / detaching device disposed to be movable up and down inside the frame of the processing device in order to attach and detach the lid to the opening of the carrier cassette placed on the cassette table;
A substrate detection sensor disposed so as to be retractable with respect to the substrate group facing the opening of the carrier cassette is lifted and lowered by a lifting mechanism provided separately from the lifting mechanism of the lid attaching / detaching device. A mapping device for detecting the presence or absence of a substrate in the stage ,
The lid attaching / detaching device is lifted and lowered by a first lifting device including a cylinder, and the mapping device is a load port device configured to be lifted and lowered by a second lifting device including a control motor,
A supporting member extending only in the vertical direction is disposed inside one of the frames, and can be moved up and down at one lateral end of the frame, and the mapping device is cantilevered at the upper end of the supporting member. Supported by
The load port has a configuration in which the support member is connected to a single guide rail disposed in the vicinity of the support member in the lateral direction outside the frame via a guide body. Device mapping device.

The mapping device has a configuration in which a pair of arms each having a substrate detection sensor attached to a distal end portion thereof are rotated in opposite directions within a horizontal plane around their base end portions,
During detection of the presence or absence of the substrate, the mapping device of the load port apparatus according to claim 1, characterized in that said only the substrate detection sensor is configured to be advanced into the carrier cassette.

The load port device mapping device according to claim 2 , wherein the pair of arms are configured to be simultaneously rotated by a single drive source.