JP4421820B2 - マグネリ相の平面欠陥構造を有する化学的に変性されたチタン亜酸化物を基礎とする被覆粉末 - Google Patents

マグネリ相の平面欠陥構造を有する化学的に変性されたチタン亜酸化物を基礎とする被覆粉末 Download PDF

Info

Publication number
JP4421820B2
JP4421820B2 JP2002577938A JP2002577938A JP4421820B2 JP 4421820 B2 JP4421820 B2 JP 4421820B2 JP 2002577938 A JP2002577938 A JP 2002577938A JP 2002577938 A JP2002577938 A JP 2002577938A JP 4421820 B2 JP4421820 B2 JP 4421820B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
coating
sub
coated
phase
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002577938A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004524445A (ja
Inventor
ベルガー ルッツ−ミヒャエル
ティーレ スヴェン
ネーベルング マンフレート
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Publication of JP2004524445A publication Critical patent/JP2004524445A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4421820B2 publication Critical patent/JP4421820B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/10Oxides, borides, carbides, nitrides or silicides; Mixtures thereof
    • C23C4/11Oxides

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Pigments, Carbon Blacks, Or Wood Stains (AREA)

Description

本発明は、種々の被覆技術(例えば、溶射の異なる変法、例えばプラズマ溶射、高速火炎溶射(HVOF)および爆発溶射、ならびに他の方法、例えばレーザーを用いての被覆)に使用するための一般式Tin-2Cr22n-1またはTin-222n-1で示されるマグネリ相を有するチタンの化学的に変性された亜酸化物を基礎とする被覆粉末に関する。本発明による被覆粉末は、記載された被覆方法により種々の構造部材上に塗布されることができる。層は、高い耐摩耗性、酸化防止性および耐蝕性とともに高い導電性および固体潤滑剤特性を示す。この理由から、本発明による粉末で被覆された構造部材に対して、電気化学的装置、車両産業、機械製作および別の産業部門における燃料電池のための機能層としての使用可能性が生じる。
チタン亜酸化物を基礎とする被覆粉末は、ドイツ連邦共和国特許第10000979号明細書中の背景技術の詳細な説明(不必要な繰返しを避けるために、この立場については単に前記記載として記載する)とともに記載されている。この粉末は、式Ti2n−1中のnがn±2の狭い範囲またはそれ以下の狭い範囲を有し、被覆粉末粒子が10〜90μmの範囲内の粒径を有することによって特徴付けられている。しかし、被覆実験において、この粉末から溶射された層は、実際にTiOと比較して酸素欠損を有しており、被覆工程の間の支障のある部分的な酸化は、回避できないことが見い出された。しかし、更に、式Ti2n−1のチタン亜酸化物にとって典型的な平面欠陥(マグネリ相)は、溶射された層に移行することができなかった(Thermal Spray Conference, 28-30 May 2001, Singapore, 編者: C.C.Berndt, K.A.Khor, E.F.Lugscheider; Materials Park/Ohio: ASM International, 2001, p. 291-300中のBerger L.-M., Thiele S., Nebelung M., Storz O., Gasthuber H., Spray Powders and Coatings on the Basis of Titanium Suboxides; )。
本発明の課題は、マグネリ相の平面欠陥構造が被覆技術とは無関係に層中に移行しうるような、酸化安定性を示す、マグネリ相の構造を有するチタンの亜酸化物を基礎とする被覆粉末を記載することである。
従って、本発明の課題は、卓越した電気的な固体潤滑剤特性および耐摩耗性を示す、層から製造することができる、記載された種類の被覆粉末を記載することである。
本発明によれば、この課題は、請求項1から8までのいずれか1項に記載された被覆粉末を用いて解決される。
本発明による全ての被覆粉末は、その製造とは無関係にこの被覆粉末が少なくとも1つの金属合金元素によって変性されており、一般式Tin−2Me2n−1で記載されてよいことが共通している。好ましくは、被覆粉末は、1つ以上の他の合金元素を含有し、一般式Tin−2Me2n−1の個々の相は、安定化されているかまたは不活性である。
また、平面状の欠陥構造(一般式Ti2n−1を有するマグネリ相)を有するチタン亜酸化物は、同族体系列として式×TiO*Tiによって記載されてもよい。このチタン亜酸化物は、ドイツ連邦共和国特許第10000979号明細書に記載の方法とともにTiOとTiとの異なるモル比の出発混合物からの固体反応によって簡単に合成させることもできる。Tiは、この反応において多数の別の3価の金属酸化物によって代替されてよい。しかし、科学技術の現在の立場によれば、反応生成物がマグネリ相の構造を有するような若干の3価の金属酸化物のみが存在する。この場合には、特にCrおよびVが重要である。
一般式Tin−2Cr2n−1、但し、nは4以上である、によって記載される、マグネリ相の構造を有する変性されたチタン亜酸化物は、TiOとCrとの異なるモル比の出発混合物の固体反応によって、簡単に製造させることができる。TiOとTiとの反応によって生成される、マグネリ相の構造を有する純粋なチタン亜酸化物は、不活性雰囲気中、例えばアルゴン中で反応が実施される場合にのみ形成される。これとは異なり、構造式Tin−2Cr2n−1、但し、nは4以上である、のマグネリ相は、空気に接して形成される。これは、この相が酸化安定性であり、ひいてはマグネリ相の構造を有する純粋なチタン亜酸化物の重大な欠点を有していないことを意味する。TiOn−2とCr2n−1、但し、nは3である(TiCr)、の相は、他の合金元素、例えばアルミニウムによって安定化される場合のみ形成される。他の合金元素は、Tin−2Cr2n−1の全ての相で安定化作用を有することができる。
また、一般式Tin−22n−1、但し、nは3以上である、によって記載される、マグネリ相の構造を有する変性されたチタン亜酸化物は、バナジウムの使用によって、例えば米国特許第5049537号明細書に記載の方法により簡単に製造させることができる。しかし、Vおよびバナジウムの別の原子価のバナジウム酸化物の毒性には、マグネリ相の合成、被覆粉末の製造および溶射による被覆粉末の加工の際によりいっそうの事前注意が必要とされる。
更に、式Tin−2Me2n−1中のnが±2の範囲を含むことは、有利である。材料に対する高められた要件の場合には、狭い技術的なパラメーター範囲を維持しながら製造の際にn±1の狭い範囲を実現させることができる。nが5未満である場合、被覆粉末中には、nについて離散した値に相当する1つの相のみが存在することが可能である。これは、nについて1つの相のみが公知である場合に、被覆粉末が単相で存在することを意味する。離散したnについて多数の相のみが公知である場合には、これらの相は、並んで存在することができる。nが5以上である場合の被覆粉末は、nが増加するに伴う酸素含量の常に小さな差によって、達成しようと努力される相nとともに、なお第2の相n+1またはn−1が存在する程度に製造されることができる。
被覆粉末が10〜90μmの範囲内の粒径を有することは、有利である。また、特殊な要件の場合、被覆粉末は、10〜45μmの粒径範囲を有していてもよい。
本発明による被覆粉末は、多孔度および形態に関連して異なる性質を有することができ、製造は、原理的に種々の方法で行なうことができる。好ましい変法は、異なるモル比の微細分散性の二酸化チタン粉末と3価の金属酸化物粉末、殊にCrおよびVとの均質な出発混合物の固体反応により、合成が行なわれることにある。均質な出発混合物は、他の合金元素を、例えば酸化物の形で含有することができる。しかし、ドーピングの数多くの他の方法がなお存在する。同様に、金属粉末、または酸化物に分解される、合金元素の化合物が使用されてもよい。固体反応後に、固体またはガス状の還元剤との付加的な還元が行なわれてもよい。この異なる合成方法で微細分散性の粉末は、好ましくは、5μm未満の粒径を有する、式Tin−2Me2n−1、有利にTin−2Cr2n−1およびTin−22n−1に相応して製造することができる。合成後、Tin−2Me2n−1の亜酸化物は、場合によっては粉砕工程によって後処理されることができ、粒径は、減少させることができる。
Tin−2Me2n−1の組成の合成粉末からの被覆粉末の製造は、有利に凝集、焼結および分別によってドイツ連邦共和国特許第10000979号明細書に記載の方法により行なうことができるが、この場合には、相の組成を変化させることはない。噴霧乾燥は、凝集にとって好ましい方法である。1つの変法において、出発酸化物TiOおよびCrは、必要とされる比で一緒に噴霧乾燥されてよく、反応焼結によって焼結された被覆粉末中の相応するマグネリ相を得ることができる。もう1つの製造方法は、予め合成された粉末を被覆粉末の焼結の間に最終的な相組成に調節することにある。これは、例えば合成温度と比較して焼結温度を変化させることによって行なわれる。焼結の場合、個々の一次粒子の粒径は、変化しないかまたは僅かにのみ変化する。被覆粉末粒子中の一緒に焼結された個々の粒子の粒径は、有利に5μm未満である。通常、焼結された被覆粉末粒子の15%以下が達成しようと努力される粒径範囲を下廻る場合には、この値は、必要な場合に分別を繰り返すことによって著しく減少させることができる。好ましくは、この被覆粉末は、1つのみの相の存在または相組成におけるTin−2Me2n−1中のnの狭い範囲の存在とともに特に球状の形態および3%を上廻る、有利に10%を上廻る多孔度を示す。
被覆粉末の多孔度は、水銀多孔度測定法によって測定される。多孔度を計算する場合、侵入された体積は、1μmを上廻る細孔直径に相応する圧力の際には、配慮されていない。それというのも、この水銀は、個々の被覆粉末粒子の間の空隙中に圧入されるからである。また、この被覆粉末は、多孔度および個々の微細粒子によって1m/gを上廻る比表面積を示す。
更に、本発明による被覆粉末の製造法は、Tin−2Me2n−1が被覆粉末の製造の際に直接に別の方法、例えば溶融および粉砕または焼結および粉砕で実現されることにある。この被覆粉末は、ガス状還元剤で簡単にさらに還元されることができる。この場合、出発粉末の形態、粒径および粒径分布は、本質的にそのまま維持される。即ち、この被覆粉末は、別の、例えば角のある形態を有していてもよく、10%未満、有利に5%未満の多孔度を有する。
本発明による全ての被覆粉末は、種々の表面技術により層に加工されることができる。この被覆粉末は、溶射の処理群、例えばプラズマ溶射、高速火炎溶射(HVOF)および爆発溶射、ならびにレーザーを用いての被覆方法およびハイブリッド方法にとって特に好適である。層中では、被覆粉末とは異なり、化学的組成および相組成における変化を全く検出することができないかまたは僅かな変化のみを検出することができる。殊に、Tin−2Cr2n−1を使用する場合には、酸化工程、ひいては化学組成および相組成の変化を全く生じない。マグネリ相の構造は、被覆粉末から層中に移行することができる。
層は、同時に高い機械的耐摩耗性および耐蝕性を有する、導電性セラミック層として使用される。それとともに、層は、固体潤滑剤層および純粋な耐摩耗性層として使用されてもよい。層を適当な被覆パラメーターの選択によって多孔質になるように製造する場合には、この層は、電極層としての使用にも適している。
本発明による被覆粉末は、次の実施例において詳細に記載される。
実施例
微細分散性のチタン亜酸化物2モルおよび微細分散性の酸化クロム粉末Cr1モルを、ボールミル中での混合粉砕によって緊密に互いに混合し、加圧によって圧縮し、炉中で空気の下で1380℃(保持時間4時間)で完全に変換させる。この場合には、単相のTiCrまたは換言すれば2TiO*Crが生成される。この粉末を遊星形ボールミル中で3.9μmの平均粒径を有する微細分散性の状態に変える。引続き、この粉末を水中に分散させ、ボールミル中で16時間粉砕する。この場合には、懸濁液に同時にポリビニルアルコールおよびポリエチレングリコールからなる適合された結合剤1.5質量%と混合し、引続き噴霧乾燥によって球状の形の顆粒を製造する。被覆粉末への顆粒の脱結合および焼結を、一段の熱処理で平らな黒鉛坩堝中でアルゴンの下で600℃まで5K/分および1300℃の焼結温度まで10K/分の加熱速度で30分間の等温保持時間で行なう。焼結された粉末を注意深く粉砕した。45μmを上廻る画分の分離を篩別によって行ない、10μm未満の画分の分離を空気選別によって行なった。分別後の10μm未満の粉末の微細含量は、4%であった。
X線位相差分析によって、被覆粉末の相組成は、微細分散性の出発粉末と比較して変化していないことが検出された。被覆粉末粒径の粒径分布をレーザー回折測定装置を用いて乾式分散により測定した。測定により15μmの粒度分析特性値d10、28μmの粒度分析特性値d50および43μmの粒度分析特性値d90を生じた。被覆粉末の内部開放型多孔度は、水銀多孔度測定法により11%であることが測定された。多孔度を計算する場合、侵入された体積は、1μmを上廻る細孔直径に相応する圧力の際には、配慮されていない。それというのも、この水銀は、個々の被覆粉末粒子の間の空隙中に圧入されるからである。また、この粉末の比表面積は、1.55m/gであった。
引続き、被覆粉末を大気圧でのプラズマ溶射(APS)によってアルゴン/水素−プラズマを使用しながら42kWの効率でAr45 l/分およびH10 l/分のガス流(それぞれ標準条件下)で溶射の直前にサンド噴射により粗面化された鋼製支持体上に施こした。溶射間隔は、110mmであり、粉末供給速度は、35g/分であった。この場合には、約300μmの層厚が達成された。X線位相差分析によって、溶射された層中にTiCrが検出された。

Claims (8)

  1. マグネリ相を有する化学的に変性されたチタン亜酸化物を基礎とする被覆粉末において、この被覆粉末が一般式Tin-2Cr22n-1またはTin-222n-1、但し、nは、少なくとも3の値を有する整数であり、によって記載されており、10〜90μmの範囲内の粒径を有することを特徴とする、マグネリ相を有する化学的に変性されたチタン亜酸化物を基礎とする被覆粉末。
  2. nがn±2の範囲を含む、請求項1記載の被覆粉末。
  3. nが5未満である場合、nについて離散した値に相当する1つの相のみが検出可能である、請求項1または2に記載の被覆粉末。
  4. nが5以上である場合、2つの相が検出可能である、請求項1から3までのいずれか1項に記載の被覆粉末。
  5. 被覆粉末が10〜45μmの範囲内の粒径を有する、請求項1から4までのいずれか1項に記載の被覆粉末。
  6. 被覆粉末が球状の形態を有し、3%を上廻る開放型の多孔度を有し、5μm未満の粒径範囲の一緒に焼結された個々の粒子からなる、請求項1から5までのいずれか1項に記載の被覆粉末。
  7. 一緒に焼結された個々の粒子からなる被覆粉末の開放型多孔度が10%を上廻る、請求項6記載の被覆粉末。
  8. 被覆粉末が角のある形態を有し、10%未満の開放型多孔度を有している、請求項1から7までのいずれか1項に記載の被覆粉末。
JP2002577938A 2001-03-05 2002-03-04 マグネリ相の平面欠陥構造を有する化学的に変性されたチタン亜酸化物を基礎とする被覆粉末 Expired - Fee Related JP4421820B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10110448A DE10110448A1 (de) 2001-03-05 2001-03-05 Beschichtungspulver auf der Basis von chemisch modifizierten Titansuboxiden
PCT/EP2002/002323 WO2002079535A2 (de) 2001-03-05 2002-03-04 Beschichtungspulver auf der basis von chemisch modifizierten titansuboxiden

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004524445A JP2004524445A (ja) 2004-08-12
JP4421820B2 true JP4421820B2 (ja) 2010-02-24

Family

ID=7676310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002577938A Expired - Fee Related JP4421820B2 (ja) 2001-03-05 2002-03-04 マグネリ相の平面欠陥構造を有する化学的に変性されたチタン亜酸化物を基礎とする被覆粉末

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7445763B2 (ja)
EP (1) EP1379708B1 (ja)
JP (1) JP4421820B2 (ja)
AT (1) ATE364733T1 (ja)
DE (3) DE10110448A1 (ja)
WO (1) WO2002079535A2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004046320A1 (de) * 2004-09-17 2006-05-11 Bundesanstalt für Materialforschung und -Prüfung (BAM) Reibmaterialien/Tribowerkstoffe für radiale und axiale Folienlager
US20080253958A1 (en) * 2006-11-15 2008-10-16 Mccracken Colin G Production of high-purity titanium monoxide and capacitor production therefrom
US20080112879A1 (en) * 2006-11-15 2008-05-15 Mccracken Colin G Production of high-purity titanium monoxide and capacitor production therefrom
US20100011992A1 (en) * 2007-01-11 2010-01-21 Patrice Bujard Pigment mixtures
DE102012107499A1 (de) * 2012-08-16 2014-05-22 Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft Verfahren zur Beschichtung
US9672953B2 (en) * 2014-03-27 2017-06-06 EboNEXT Technologies (BVI) Devices and methods for advanced phase-locked materials
US9994785B2 (en) 2014-04-02 2018-06-12 Rolls-Royce Corporation Thermally stable self-lubricating coatings
CN112479702A (zh) * 2020-11-27 2021-03-12 安徽盈锐优材科技有限公司 一种等离子喷涂用氧化铬氧化钛复合粉末的制备方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3816348A (en) * 1972-04-24 1974-06-11 Du Pont Compositions for stable low resistivity resistors
US4141743A (en) 1977-10-31 1979-02-27 Dresser Industries, Inc. Thermal spray powdered composite
US4977130A (en) * 1989-09-05 1990-12-11 Texaco Inc. Compositions involving V2 O3 -Al2 O3 -TiO2
US5049537A (en) * 1989-12-26 1991-09-17 Texaco Inc. Stable solid phases involving V2 O3 - TiO2 and mixtures of said phases
US5173215A (en) 1991-02-21 1992-12-22 Atraverda Limited Conductive titanium suboxide particulates
DE19511628C2 (de) * 1995-03-30 2001-05-17 Walter Hunger Verfahren zum Beschichten einer Lauffläche einer Kolbenstange einer hydraulischen Kolben-Zylinder-Einheit
DE19651094C2 (de) * 1996-12-09 2002-01-31 Man Technologie Gmbh Tribosystem
FR2793812B1 (fr) * 1999-05-18 2001-08-17 Renault Piece mecanique de friction recouverte d'oxydes triboactifs stabilises par des oligoelements
FR2795095B1 (fr) 1999-06-16 2002-04-12 Renault Piece mecanique de friction recouverte d'oxydes triboactifs presentant un defaut de cations metalliques
DE10000979C1 (de) 1999-10-01 2001-05-10 Daimler Chrysler Ag Beschichtungspulver auf der Basis von Titansuboxiden
US6524750B1 (en) * 2000-06-17 2003-02-25 Eveready Battery Company, Inc. Doped titanium oxide additives

Also Published As

Publication number Publication date
DE50210318D1 (de) 2007-07-26
WO2002079535A3 (de) 2003-03-13
ATE364733T1 (de) 2007-07-15
EP1379708A2 (de) 2004-01-14
EP1379708B1 (de) 2007-06-13
DE10291362D2 (de) 2004-07-22
US20040136898A1 (en) 2004-07-15
WO2002079535A2 (de) 2002-10-10
JP2004524445A (ja) 2004-08-12
US7445763B2 (en) 2008-11-04
DE10110448A1 (de) 2002-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5122182A (en) Composite thermal spray powder of metal and non-metal
KR100751742B1 (ko) 용사 분말재, 그것을 사용한 용사 방법, 및 용사 피막
CA2726434C (en) Thermally sprayed ai2o3 coatings having a high corundum content without any property-reducing additives and method for the production thereof
RU2666199C2 (ru) Способ получения напыляемых порошков, содержащих нитрид хрома
CN110049943A (zh) 超导金属复合材料的形式及其合成
JP4421820B2 (ja) マグネリ相の平面欠陥構造を有する化学的に変性されたチタン亜酸化物を基礎とする被覆粉末
EP3225333B1 (en) Preparation method for silver-metal oxide electrical contact material
CA2674928A1 (en) Metal formulations
CN114045455B (zh) 利用钇类颗粒粉末的钇类热喷涂皮膜及其制备方法
CN111410201A (zh) 一种适合等离子喷涂的纳米结构硅酸镱喂料的制备方法
JP2001510435A (ja) 炭窒化物粉末、その製造法および使用
JP6659073B1 (ja) 成膜用又は焼結用粉末
CN100372969C (zh) 铝/钇/锆三元复合氧化物纳米结构团聚体粉末及其生产方法
RU2530070C1 (ru) СПОСОБ СИНТЕЗА ПОЛЫХ НАНОЧАСТИЦ γ-Al2O3
KR102384479B1 (ko) 코팅용 세라믹 조성물 및 이를 이용한 코팅 방법
JP7393166B2 (ja) 溶射用粉末、溶射用スラリー及び遮熱性コーティングの製造方法
MXPA03010508A (es) Polvo de metal para el revestimiento termico de substratos.
US5767029A (en) Metal-ceramic composite material
WO2021060005A1 (ja) 溶射用粉末材および溶射皮膜の製造方法
JPH06102823B2 (ja) 酸化クロム溶射材料及びその製造方法
Hong et al. Fabrication of a dense La0. 2Sr0. 8CoO3− δ/CoO composite membrane by utilizing the electroless cobalt plating technique
Tracey The Properties and Some Applications of Carbonyl-Nickel Powders
JP4517331B2 (ja) 強度および耐スパッタ割れ性に優れた酸化チタンターゲットの製造方法
US20130052123A1 (en) Thermally sprayed al203 layers having a high content of corundum without any property-reducing additivies, and method for the production thereof
US20130008784A1 (en) Cocrpt-based alloy sputtering targets with cobalt oxide and non-magnetic oxide and manufacturing methods thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070829

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20071128

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20071205

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20071227

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20080109

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080129

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080326

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080723

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20080804

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20080822

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091013

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091203

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121211

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131211

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees