JP4421550B2 - Probes and probe cards - Google Patents
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Description
本発明は、測定対象物である半導体ウエハに形成された半導体素子の電気的諸特性を測定するために使用されるプローブカードを構成するプローブ及びプローブカードに関する。 The present invention relates to a probe and a probe card constituting a probe card used for measuring various electrical characteristics of a semiconductor element formed on a semiconductor wafer as a measurement object.
中腹部に座屈部830を設けた図6に示すようなタイプのプローブ800は、オーバードライブ時の変形によって、半導体素子600の電極610とプローブ800の接触部810との間に所定の接触圧を確保することができるというメリットがある。なお、オーバードライブとは、半導体素子600の電気的諸特性の測定の際に、半導体素子600が形成された半導体ウエハと、プローブカードとを相対的に接近させ、プローブカードのプローブ800の先端の接触部810が、半導体素子600の電極610に接触してからさらに両者を接近させて、電極610とプローブ800との間に所定の接触圧を確保する動作をいう。
A
近年の微細化技術の発達により、図7に示すように、半導体素子600に形成される電極610の間隔は、90μm以下と非常に狭くなっている。このため、プローブカードにおけるプローブ800同士の間隔も非常に狭いものが要求されている。
With the recent development of miniaturization technology, as shown in FIG. 7, the interval between the
例えば、現在のプローブ800の直径は、約65μmから50μmとなっている。このため、図7に示すように、例えば、プローブの直径を60μm、電極の間隔を90μmとすると、プローブ同士の間隔は30μmと非常に狭くなっている。
For example, the
前記座屈部830を設けた図6に示すようなタイプのプローブ800では、オーバードライブ時の座屈部830の変形によって、座屈部830同士の接触の可能性が高くなっている。万が一、座屈部830同士が接触すると、ショートとなり、半導体素子600の電気的諸特性の測定が行なえなくなる。
In the
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたもので、オーバードライブを考慮しつつ、半導体素子の電極の間隔が狭くなった半導体素子にも対応可能なプローブ及びプローブカードとを提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a probe and a probe card that can cope with a semiconductor element in which the distance between electrodes of the semiconductor element is reduced while considering overdrive. It is said.
本発明に係るプローブは、測定対象物の電極に接触する接触部と、プローブカードを構成する基板の配線パターンに接続される接続部と、前記接触部と接続部との間に設けられた座屈部とを具備しており、細線にメッキが施されてなるプローブであって、第1のメッキ層の上に第2メッキ層が施された前記前記接触部及び接続部には、前記第1メッキ層が施された前記屈曲部よりもメッキが厚く施されていて、前記座屈部が、前記接触部及び接続部より細く形成され、前記第1のメッキ層と前記第2メッキ層とが同じメッキ材料からなることを特徴とするプローブ。 A probe according to the present invention includes a contact portion that contacts an electrode of a measurement object, a connection portion that is connected to a wiring pattern of a substrate that constitutes the probe card, and a seat provided between the contact portion and the connection portion. A probe in which a thin wire is plated, and the contact portion and the connection portion having a second plating layer formed on the first plating layer include the first portion and the connection portion . The plating is thicker than the bent portion provided with one plating layer , the buckling portion is formed narrower than the contact portion and the connection portion, and the first plating layer and the second plating layer Are made of the same plating material .
本発明に係る別のプローブは、測定対象物の電極に接触可能な接触部と、プローブカードを構成する基板の配線パターンに接続される接続部と、前記接触部と接続部との間に設けられており且つ接触部及び接続部より細い座屈部とを具備するプローブであって、白金族の合金からなる細線と、この細線に施された第1のメッキ層と、この第1のメッキ層の上であって、前記接触部及び接続部に相当する部分に施された第2のメッキ層とを有しており、前記第1及び第2のメッキ層は、ニッケル又はニッケル合金からなる。 Another probe according to the present invention is provided between a contact portion that can contact an electrode of a measurement object, a connection portion that is connected to a wiring pattern of a substrate constituting the probe card, and the contact portion and the connection portion. a probe comprising a more narrow buckling and contact portions and the connection portions are al a fine line consisting of a platinum group alloy, a first plating layer applied to the thin lines, the first A second plating layer provided on a portion corresponding to the contact portion and the connection portion, and the first and second plating layers are made of nickel or a nickel alloy. Become .
前記第1のメッキ層は、第2のメッキ層より薄く形成されている。 The first plating layer is formed thinner than the second plating layer.
前記第1のメッキ層の厚さは2〜10μm、第2のメッキ層の厚さは10〜20μmである。 The thickness of the first plating layer is 2 to 10 μm, and the thickness of the second plating layer is 10 to 20 μm.
前記細線は、直径が15〜30μmである。 The fine wire has a diameter of 15 to 30 μm.
本発明に係るプローブカードは、配線パターンを有する基板と、この基板の裏面に設けられた絶縁性を有するフレーム部と、上記プローブとを備えており、前記フレーム部は、開口が各々設けられた上側及び下側フレームを有しており、前記プローブの接触部は、下側フレームの開口に挿通され、該開口から下端部が下方に突出しており、前記プローブの接続部は、上側フレームの開口に挿通され、該開口から上端部が上方に突出して前記基板の配線パターンに接続されている。The probe card according to the present invention includes a substrate having a wiring pattern, an insulating frame portion provided on the back surface of the substrate, and the probe, and the frame portion is provided with an opening. The probe has an upper and lower frame, and the contact portion of the probe is inserted into an opening of the lower frame, and a lower end portion protrudes downward from the opening. The connection portion of the probe is an opening of the upper frame. The upper end protrudes upward from the opening and is connected to the wiring pattern of the substrate.
本発明に係るプローブは、座屈部が接触部や接続部より細く形成されているので、座屈部の太さが他の部分と同等の従来のものより、オーバードライブ時の座屈部の変形に起因する座屈部同士の接触のおそれが低くなっている。 In the probe according to the present invention, the buckling portion is formed to be narrower than the contact portion and the connection portion. The risk of contact between buckling parts due to deformation is low.
また、細線として使用する白金族の合金は、電気抵抗が高いが、表面にニッケル又はニッケル合金のメッキを 施すと、全体の電気抵抗は低くなることが知られている。従って、このように、表面にニッケル又はニッケル合金のメッキを施すメリットがある。
しかし、ニッケル又はニッケル合金のメッキが厚いと、座屈部においてオーバードライブ時の変形時に剥がれるおそれがあるが、薄いとそのような心配もない。
In addition, platinum group alloys used as thin wires have high electrical resistance, but it is known that when the surface is plated with nickel or a nickel alloy, the overall electrical resistance is lowered. Therefore, there is an advantage that the surface is plated with nickel or a nickel alloy.
However, if the plating of nickel or a nickel alloy is thick, the buckling portion may be peeled off during overdrive deformation, but if it is thin, there is no such concern.
図1は本発明の実施の形態に係るプローブの概略的正面図、図2は本発明の実施の形態に係るプローブの概略的断面図、図3は本発明の実施の形態に係るプローブの製造方法の各工程の概略的説明図、図4は本発明の実施の形態に係るプローブを用いたプローブカードの概略的説明断面図、図5は本発明の実施の形態に係るプローブを用いたプローブカードの要部の概略的拡大断面図である。 1 is a schematic front view of a probe according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic sectional view of the probe according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a manufacture of the probe according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a probe card using a probe according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a probe using the probe according to an embodiment of the present invention. It is a schematic expanded sectional view of the principal part of a card | curd.
本発明の実施の形態に係るプローブ100は、図1に示すように、測定対象物としての半導体素子600の電極610に接触する接触部110と、プローブカード500を構成する基板510の配線パターン(図示省略)に接続される接続部120と、前記接触部110と接続部120との間に設けられた座屈部130とを備えており、前記座屈部130は、接触部110や接続部120より細く形成されている。
As shown in FIG. 1, the
このプローブ100の先端側の接触部110は、半導体素子600の電極610に接触する部分であるので、先鋭化されている。また、このプローブ100の後端側の接続部120は、特に先鋭化されていない。接触部110の先鋭化されていない部分や、接続部120の太さ寸法は40〜60μmに設定されている。
Since the
前記座屈部130は、略く字形状に屈曲している。この座屈部130は、太さ寸法が30〜50μmと、前記接触部110や接続部120より細く設定されていることと、略く字形状に屈曲していることから、オーバードライブ時の力が加わると、変形するようになっている。
The
このように構成されたプローブ100の製造方法は、白金、ロジウム合金、イリジウム、パラジウム等の白金族の合金からなる細線200の全体にニッケル又はニッケル合金をメッキする第1のメッキ工程と、座屈部130に相当する部分にメッキされない素材からなるカバー230を形成するカバー形成工程と、前記カバー230でカバーされた部分以外の部分にニッケル又はニッケル合金をメッキする第2のメッキ工程と、前記カバー230を剥離する剥離工程とを有している。
The method of manufacturing the
前記細線200としては、直径が15〜30μmであり、素材が白金、ロジウム合金、イリジウム、パラジウム等の白金族の合金であるものを使用する(図3(A)参照)。白金ロジウム合金の場合には、白金が60〜80重量%、ロジウムが40〜20重量%とし、白金イリジウム合金の場合には、白金が60〜80重量%、イリジウムが40〜20重量%とする。
As the
この細線200に対して、第1のメッキ工程を施す(図3(B)参照)。この第1のメッキ工程で施される第1のメッキ層210は、ニッケル又はニッケル合金であって、その厚さ寸法は2〜10μmとする。
A first plating step is performed on the thin wire 200 (see FIG. 3B). The
細線200に第1のメッキ層210が施された後に、プローブ100となった場合に座屈部130に相当する部分130Aにメッキされない素材からなるカバー230を形成するカバー形成工程を施す(図3(C)参照)。このカバー230の素材としては、例えば、フォトレジストが適している。すなわち、座屈部130に相当する部分130Aに感光性樹脂であるフォトレジストを塗布した後、感光、現像させて硬化させることでカバー230を形成するのである。
After the first plated
このようにカバー230を形成した状態で、第2のメッキ層220を形成するための第2のメッキ工程を行なう。この第2のメッキ工程では、第2のメッキ層220の厚さが10〜20μmとなるように行なう。これで、第1のメッキ層210は、第2のメッキ層220より薄く形成されることになる。
With the
このように、第1のメッキ層210が、第2のメッキ層220より薄く形成されるということは、オーバードライブ時に座屈部130が変形しても、座屈部130にのみ形成される第1のメッキ層210が剥がれにくいことに結びつく。
As described above, the
第2のメッキ工程が終了したならば、前記カバー230を剥離する剥離工程を行い、座屈部130に相当する部分130Aを露出させる(図3(D)参照)。具体的には、このカバー剥離工程では、前記フォトレジストを溶剤で剥離する。
When the second plating step is completed, a peeling step for peeling the
ここまでの工程は、複数のプローブ100を形成可能な長いままの細線であっても、このプローブ100の長さに予め切断された短い細線であってもよいが、少なくともこの工程以降は、細線200はプローブ100の長さに予め切断されている。すなわち、前記剥離工程の後工程には、接触部110の先端に相当する部分110Aを先鋭化する先鋭化工程が存在するため、細線が長いままの状態では、先鋭化工程を行なうことができないためである。
The process up to this point may be a long thin line that can form a plurality of
接触部110の先端に相当する部分110Aを先鋭化する先鋭化工程は、例えば、研磨加工やエッチング加工、あるいはレーザー加工等の適宜な加工手法で行なう。この先鋭化工程によって、先端から0.3〜1.0mmの部分が接触部110として先鋭化される(図3(E)参照)。
The sharpening step for sharpening the
先鋭化工程が行なわれた後には、座屈部130に相当する部分130Aを屈曲させる屈曲工程を行なう。この座屈部130に相当する部分130Aは、第1のメッキ層210が露出している部分であり、他の部分より細くなっているので、屈曲工程を行ないやすいというメリットがある。
After the sharpening step is performed, a bending step of bending the
白金、ロジウム合金、イリジウム、パラジウム等の白金族の合金は、電気抵抗が高いが、表面にニッケル又はニッケル合金のメッキを施すと、全体の電気抵抗は低くなることが知られている。従って、このように、表面にニッケル又はニッケル合金のメッキを施すメリットがある。
しかし、ニッケル又はニッケル合金のメッキが厚いと、座屈部130においてオーバードライブ時の変形時に剥がれるおそれがあるが、薄いとそのような心配もない。
It is known that platinum group alloys such as platinum, rhodium alloy, iridium, and palladium have high electrical resistance, but if the surface is plated with nickel or a nickel alloy, the overall electrical resistance is low. Therefore, there is an advantage that the surface is plated with nickel or a nickel alloy.
However, if the plating of nickel or a nickel alloy is thick, the buckling
このような各工程を経て製造されたプローブ100は、例えば、図4に示すようなプローブカード500に使用される。なお、図4においては、作図の都合上、プローブ100の座屈部130は、接触部110や接続部120と同等の太さに描かれているが、実際には図5に示すように、座屈部130は接触部110や接続部120より細く形成されていることはいうまでもない。
このプローブカード500は、図4に示すように、基板510と、この基板510の裏面側に設けられるフレーム部520と、前記プローブ100とをその基本的構成要素としている。
The
As shown in FIG. 4, the
前記基板510には、表面、裏面及び内部に図示しない配線パターンが形成されており、裏面側で接続されたプローブ100と、表面側から接続される図示しないプローバーの接続端子とを電気的に接続させるようになっている。
A wiring pattern (not shown) is formed on the front surface, the back surface, and the inside of the substrate 510, and the
前記フレーム部520は、絶縁性を有する素材から構成されており、前記基板510と平行になった上側フレーム521と、この上側フレーム521と平行になった下側フレーム522と、両フレーム521、522を基板510に取り付けるための連結フレーム523とを有している。
The
前記上側フレーム521及び下側フレーム522には、測定対象物である半導体素子600の電極610の配置パターンに応じた開口521A、522Aがそれぞれ開設されている。そして、プローブ100は、座屈部130を上側フレーム521と下側フレーム522との間に位置させた状態で、接触部110を下側フレーム522の開口522Aに、接続部120を上側フレーム521の開口521Aにそれぞれ挿通されている。当然、接続部120の先端は基板510の裏面に露出した配線パターンに電気的に接続されている。
In the
さらに、このフレーム部520の上側フレーム521の上面には、絶縁性を有する合成樹脂からなる樹脂530が配置されている。この樹脂530は、各プローブ100が相互に接触しないように支持するものであるとともに、オーバードライブが加えられた際に、基板510に加わる力を低減させるものである。
Further, on the upper surface of the
各プローブ100は、図5に示すように、座屈部130の方向を一致させた状態でプローブカード500に取り付けられる。オーバードライブ時には、プローブ100に対して垂直方向の力が加わるので、プローブ100の座屈部130は、横方向に向かって変形する。
As shown in FIG. 5, each
しかし、プローブ100の座屈部130は、従来のものと違って、接触部110や接続部120より細く形成されているので、変形したとしても座屈部130同士の接触に起因するショートが発生するおそれは格段に低くなっている。
However, unlike the conventional one, the buckling
100 プローブ
110 接触部
120 接続部
130 座屈部
100
Claims (6)
細線にメッキが施されてなるプローブであって、第1のメッキ層の上に第2メッキ層が施された前記前記接触部及び接続部には、前記第1メッキ層が施された前記屈曲部よりもメッキが厚く施されていて、
前記座屈部が、前記接触部及び接続部より細く形成され、
前記第1のメッキ層と前記第2メッキ層とが同じメッキ材料からなることを特徴とするプローブ。 A contact portion that comes into contact with the electrode of the object to be measured; a connection portion that is connected to the wiring pattern of the substrate that constitutes the probe card; and a buckling portion that is provided between the contact portion and the connection portion. And
A probe in which a thin wire is plated, wherein the bent portion in which the first plating layer is applied to the contact portion and the connection portion in which the second plating layer is applied on the first plating layer The plating is thicker than the part,
The buckling portion is formed narrower than the contact portion and the connecting portion;
The probe characterized in that the first plating layer and the second plating layer are made of the same plating material .
プローブカードを構成する基板の配線パターンに接続される接続部と、
前記接触部と接続部との間に設けられており且つ接触部及び接続部より細い座屈部とを具備するプローブにおいて、
白金族の合金からなる細線と、
この細線に施された第1のメッキ層と、
この第1のメッキ層の上であって、前記接触部及び接続部に相当する部分に施された第2のメッキ層とを有しており、
前記第1及び第2のメッキ層は、ニッケル又はニッケル合金からなることを特徴とするプローブ。 A contact portion that contacts the electrode of the measurement object;
A connection part connected to the wiring pattern of the board constituting the probe card;
In the probe provided between the contact part and the connection part and comprising a buckling part thinner than the contact part and the connection part,
Fine wires made of platinum group alloys;
A first plating layer applied to the fine wire;
A second plating layer on the first plating layer and applied to a portion corresponding to the contact portion and the connection portion;
The probe according to claim 1, wherein the first and second plating layers are made of nickel or a nickel alloy.
この基板の裏面に設けられた絶縁性を有するフレーム部と、 An insulating frame provided on the back surface of the substrate;
請求項1又は2記載のプローブとを備えており、 A probe according to claim 1 or 2,
前記フレーム部は、開口が各々設けられた上側及び下側フレームを有しており、 The frame part has an upper frame and a lower frame each provided with an opening,
前記プローブの接触部は、下側フレームの開口に挿通され、該開口から下端部が下方に突出しており、 The contact portion of the probe is inserted through the opening of the lower frame, and the lower end protrudes downward from the opening,
前記プローブの接続部は、上側フレームの開口に挿通され、該開口から上端部が上方に突出して前記基板の配線パターンに接続されているプローブカード。 A probe card in which the connecting portion of the probe is inserted into the opening of the upper frame, and the upper end portion protrudes upward from the opening and is connected to the wiring pattern of the substrate.
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