JP4410250B2 - 光学表面の仕上げ工具 - Google Patents

Description

本発明は、光学表面の仕上げに関する。

仕上げは、先に形作られた光学表面の表面状態を修正することを目的とする作業である。これは、特に、光学表面の粗さを改変すること（減少させること又は増大させること）及び（又は）起伏を減少させることを目的とする艶出し、軟化又は艶消しを意味する。
本発明は、光学表面を仕上げる工具であって、工具は、横方向端面を備えた剛性支持体と、端面に圧接された状態でこれを覆う弾性的に圧縮可能なインタフェースと、光学表面に圧接されるようになっていると共に端面と反対側でこれと整列したインタフェースの面の少なくとも一部に圧接された状態でこれを覆う柔軟性緩衝材とから成る工具に関する。

光学表面の粗さを減少させるため、工具を光学表面に接触させ、緩衝材により、インタフェースの変形の結果としての光学表面の形状を保つのに十分な圧力が光学表面に加わった状態を保つ。
光学表面に流体を吹き付けている間、光学表面を工具に対して回転駆動し（又は、これと逆の関係にし）、工具を光学表面上でこれに沿って掃くように動かす（スイープさせる）。

一般に、回転駆動されるのは、光学表面であり、工具に対するその摩擦力は、工具を光学表面と一緒に回転駆動させるのに十分である。

表面仕上げ作業では、緩衝材か流体かのいずれかに含まれる研磨剤が必要である。
表面仕上げ中、弾性圧縮可能なインタフェースは、工具支持体の端面と光学表面との間の曲率の差を補償してこの工具が種々の曲率及び形状を備えた或る範囲の光学表面に適するようになっている。

工具の横方向寸法が光学表面の寸法と同程度であれば（これは、一般に、オフサルミックレンズを表面仕上げする場合である）、同一の工具により表面仕上げできる光学表面の範囲は、比較的狭い。
この種の工具は、「自由形式（フリーフォーム）」面と呼ばれている複雑な形状の光学表面、特に、定義上、非一様な曲率を持つ非球面を表面仕上げするには特に不適当である。

さらに、この種の工具は、工具に対する凸度又は凹度の差が目立ち過ぎる光学表面にも不適当であり、前者の場合、工具の縁部が、光学表面と接触しなくなり、後者の場合、光学表面と接触しなくなるのは工具の中央部分であり、その結果、表面仕上げが不完全である。

同一工具が表面仕上げできる光学表面の範囲を拡大するには２つの手法がある。
第１は、工具と接触状態にある光学表面の部分を制限すると共に局所化するよう工具の直径、即ち、その全体的横方向寸法を減少させることである。工具と光学表面の接触状態は、全体としての光学表面上よりはこの種の局所領域上の方が一層一様なままである。

しかしながら、工具の寸法を制限することにより、その「上昇距離（lift）」又は「着座距離（seating ）」が減少し、したがって表面仕上げ中における光学表面上でのその安定性が低下する。
この場合、工具の向きをモニタし、したがってこれを制御して工具が常に最適化され、即ち、工具の回転軸線がこの回転軸線と光学表面の交点のところでの光学表面の法線と同一直線状に位置し又は実質的に同一直線状に位置するようにすることが必要である。

ところで、この種の制御には、複雑な手段、例えば数値制御工作機械を用いることが必要であるが、その費用は、一般的に高く、表面仕上げ作業にとっては法外に高い場合があることが判明した。

第２の選択肢は、同一工具直径を保つが、インタフェースの厚さを増大させるかその弾性を減少させるかのいずれかによりインタフェースの可撓性を一層高くすることである。
しかしながら、この場合、後者は、剪断応力により、工具の効率及び精度にとって不利になるほど歪み又は側方にオフセットする傾向がある。さらに、剪断応力により、インタフェースの摩耗の促進又は破壊の促進が生じる。最後に、インタフェースの可撓性により、緩衝材がレンズのエッジと擦れる効果が高められて促進され、これにより最終的に、工具の時期尚早な且つ（或いは）突拍子もない破壊の恐れが生じる場合がある。

上述のことであるからにして、光学表面の製造業者、特にオフサルミックレンズの製造業者は、種々の寸法及び曲率を備えた多数の工具を用いてこれらの光学表面範囲の全体をカバーせざるを得なくなっていた。

かくして、本発明の目的は特に、曲率（凸度、凹度）及び形状（球面、トーリック、非球面、累進焦点（progressive ）又はこれらの任意の組合せ、もしくはより一般的に「自由形式」）の面で十分に広範な光学表面に適しているが、表面仕上げ中安定性があり、しかも安価で良好な品質の信頼性があって且つ迅速な表面仕上げを可能にする表面仕上げ工具を提案することにより上述の問題を解決することにある。

この目的のため、本発明は、光学表面を仕上げる工具であって、工具は、横方向端面を備えた剛性支持体と、端面に圧接された状態でこれを覆う弾性的に圧縮可能なインタフェースと、光学表面に圧接されるようになっていると共に端面と反対側でこれと整列したインタフェースの面の少なくとも一部に圧接された状態でこれを覆う柔軟性緩衝材とから成る工具において、緩衝材は、端面と整列する中央部分と、端面を横方向に越える周辺部分とを有し、周辺部分を支持体に接合する戻しばね手段が設けられ、戻しばね手段は、内側が支持体にしっかりと固定された平らな又は湾曲した板ばねを含み、板ばねは、緩衝材の周辺部分上に直接又は単一のインタフェースを介在して支持されることにより周辺部分と協働する連続周辺部分を有し、仕上げ中、工具を安定させる手段が、戻しばね手段及び緩衝材の周辺部分により構成され、工具は、本質的に緩衝材の中央部分で仕上げを行うようになっていることを特徴とする工具を提案する。

このようにすると、工具の安定性に関する問題に遭遇しないで、寸法が支持体の横方向寸法よりも非常に大きな光学表面を艶出しすることが可能である。
この場合、比較的広範な光学表面を表面仕上げする上で同一の工具を採用することが可能である。

特に、同一工具は、凸度又は凹度が、工具の凸度又は凹度から比較的大きな程度逸脱している表面を表面仕上げするのに適しており、又同様に、複雑な形状、特にトロ−プログレッシブ（toro-progressive）又はトロ−デグレッシブ（toro-degressive）の表面を表面仕上げするのに特に適している。
したがって、曲率、凸度及び凹度の面で様々な限定された組をなす工具で所与の範囲のレンズの全体をカバーすることが可能であり、これは、費用の観点、特に後方支援的観点から有利である。

戻し手段の板ばねの周辺部分の連続性により、表面仕上げが一層規則的になることは注目されよう。
さらに、この連続性により、中間要素を必要としないで、板ばねの周辺部分と緩衝材の周辺部分の協働が直接的に又は単一のインタフェースの介在により可能である。

製作が簡単であり且つ好都合であるという理由及び得られた結果の品質が高いという理由で好ましい板ばねの特徴によれば、板ばねは、柔軟性があり、支持体から横方向に突き出ている。

第１の実施形態では、板ばねは、中実壁により形成される。

変形例として、別の好ましい実施形態では、板ばねは、有孔壁により形成される。

この実施形態では、好ましくは、
板ばねには、全体として台形の窓が設けられ、
２つの連続して位置する窓は、平行な縁部を有する材料のストリップにより分離され、
各窓と連続周辺部分との間の境界部は、円弧の形をしている。

同じ理由で好ましい板ばねの他の特徴によれば、
板ばねは、板ばねにより包囲される中実部分を更に含むウェーハの一部であり、
中実部分は、円形であり、
中実部分は、止めねじのシャンクを相通させる穴を有する。

好ましい実施形態によれば、インタフェースは、端面と整列する中央部分及び端面を横方向に越えていて、緩衝材の周辺部分と戻し手段の板ばねの周辺部分との間に位置する周辺部分を有する。
これにより、組立ての融通性が向上する。

たとえば、インタフェースの周辺部分は、応力を受けていない場合、インタフェースの中央部分の周りに位置するリングの形を取る。

こらに、特定の一実施形態では、インタフェースは、一体構造のものであり、インタフェースの中央部分及び周辺部分は、単一の部品を形成し、それによりその製造を単純化する。

かくして、例えば、インタフェースは、応力を受けていない場合、円板の形を取る。
さらに、緩衝材は、一体構造のものであり、中央部分及び周辺部分は、単一の部品を形成する。
例えば、緩衝材は、中央部分から横方向に突き出た複数個の花弁状部を有する。

変形例として、周辺部分は、緩衝材が一体構造のものであり、応力を受けていない場合、円板の形状を取るよう中央部分の周りに位置するリングの形態を取る。
端面は、多数の光学表面を限定された数の工具で表面仕上げできるよう平らであり、凹状であり、又は凸状であってよい。

本発明の他の特徴及び利点は、非限定的な例として提供される本発明の一実施形態についての以下の説明に照らして明らかになり、説明は、添付の図面を参照して行われる。

図１は、光学表面２を表面仕上げする工具１を示しており、この光学表面は、この場合、オフサルミックレンズ３の一方のフェースであり、これはこの場合、凹面である。
工具１は、少なくとも３つのコンポーネント、即ち、剛性コンポーネント４、弾性圧縮可能なコンポーネント５及び可撓性コンポーネント６の積み重ね体で形成され、以下、これらコンポーネントをそれぞれ、支持体、インタフェース及び緩衝材と称する。

図１で理解できるように、支持体４は、長手方向を定める対称軸Ｘを有する回転対称の全体的に筒体である。
支持体４は、ピン８の端に設けられたスピンドル７とハブのように協働するよう設計されており、ピン８は、工具１を受け入れるベース９の一部である。

スピンドル７は、丸くなった端部を備える全体として円錐形の輪郭を有している。スピンドル７とピン８の残部との間には、工具１をベース９に保持するよう支持体４に取り付けられた弾性リング（図示せず）を受け入れる溝１０（図１にしか示されていない）が設けられている。

スピンドル７に対応するため、図中、上部が示されている支持体４のフェース１２に盲穴１１が形成されている。
穴１１の底部は、スピンドル７の端部のように丸くなっており、このため、この底部は、支承面となっている。穴１１の残部は、図２及び図３で分かるように、スピンドル７の側壁よりも末広がりに広がっている。

したがって、支持体４、より一般的には、ベース９上に受け入れられた工具１は、ピン８の軸線と一致し又はこれに対し最大約３０°まで傾けられた軸線Ｘ回りにベース９に対して自由に回転することができる。
支持体４は、穴１１が形成されたそのフェース１２と反対側の側部に、実質的に横方向に延びる端面１３を有し、インタフェース５がこの端面に圧接された状態でこれを覆っている。

緩衝材６は、支持体４と反対側のインタフェース５の面に圧接される。
より正確にいえば、緩衝材６は、端面１３と対向してこれと整列したところでインタフェース５を少なくとも部分的に覆う。

吹き付け流体中に含まれ又は緩衝材６それ自体に混入された研磨剤により、緩衝材６と光学表面２との擦れにより、表面材料が光学表面２から取り除かれる。その目的は、表面状態を改変することにあり、これについては以下に説明する。

緩衝材６は、端面１３と整列した周辺部分６ａ及び端面１３を横方向に越えて位置する周辺部分１４を有する。
周辺部分１４は、戻しばね手段１５により支持体４に連結されている。
周辺部分１４は、中央部分６ａと整列し、休止状態では、これと実質的に同一平面状に位置する。

図１〜図３に示す好ましい実施形態では、緩衝材６は、一体構造のものであり、周辺部分１４は、中央部分６ａに接合されていて、その結果、これらが事実、単一のコンポーネントを形成するようになっている。

図１に太い実線で示された好ましい実施形態では、緩衝材６は、花の形をしており、かくして、緩衝材６は、緩衝材６の周辺部分１４を形成するよう中央部分６ａから横方向に突き出ていて、各々端面１３を横方向に越えて延びる複数個の花弁状部１４ｂを有している。

図１に一点鎖線による輪郭線で示された変形例では、周辺部分１４は、中央部分６ａ周りのリング１４ａの形態を取っている。
この場合、緩衝材６は、これが一体構造のものである場合、応力を受けていないときには図１に示すように厚さが直径と比較して小さな円板の形を取り、したがって、周辺部分１４は、端面１３に対してフランジを形成している。

後で説明する戻し手段１５を、支持体４と緩衝材６の周辺部分１４、即ち、周囲が図１に一点鎖線で示されているフランジ又は実際には花弁状部１４ｂとの間に直接設けるのがよい。
しかしながら、図示の好ましい実施形態では、インタフェース５は、端面１３と整列した中央部分５ａだけでなく、端面１３を横方向に越えて延びる周辺部分１６を有する。

例えば、この周辺部分１６は、中央部分５ａと整列し、応力を受けていない場合には、事実、緩衝材６の周辺部分１４と戻し手段１５との間に位置する中央部分５ａ周りのリングの形を取る。

図１〜図３で理解できるように、インタフェース５は、一体構造のものであり、その中央部分５ａと周辺部分１６は、単一のコンポーネントを形成するよう互いに接合され、周辺部分１６は、端面１３に対してフランジを形成している。
したがって、一体構造のインタフェース５は、応力を受けていない場合、厚さが、例えば横方向寸法（即ち、直径）と比較して小さな円板の形を取る。

インタフェース５と緩衝材６が両方とも一体構造のものである場合、これらは、同程度の横方向寸法を有する。特に、各々が円板を形態をしているとき、製造の便宜上、これらは好ましくは、同一直径のものである。しかしながら、加工した表面に対する工具の縁部の効果を減少させるために、インタフェースの直径とは異なる直径を有する、特にこれよりも大きな直径を有する緩衝材を用いることが同じように可能である。

次に、戻し手段１５について説明する。
これら戻し手段は、支持体４から横方向に突き出ていて、支持体４の内部に剛性的に連結された板ばね１８から成り、連続した状態のその周辺部分は、この実施形態では、インタフェース５の周辺部分１６の介在により緩衝材６の周辺部分１４とこれで支持されることにより協働する。
その結果、板ばね１８と整列した周辺部分１４に長手部分に加えられる力により、板ばねが変形し、この力と逆の反力が、周辺部分１４に及ぼされる。

図１〜図３に示される実施形態では、戻し手段１５は実際には、支持体４にしっかりと固定されたウェーハの形態をしている。
このウェーハは、中央穴２０と板ばね１８との間に延びる中実部分１９を有し、この中実部分には、中実部分１９と、板ばね１８の周辺部分を形成する連続中実縁部２２との間で窓２１が形成されている。

ウェーハ２５を支持体４に固定するため、その中実部分１９には、ねじのシャンクを挿通させる穴２３が設けられ、これらに対応したねじ山付き穴２４が、支持体４のフェース１２に設けられている。
この例では、板ばね１８は、休止状態では、切頭円錐形の形をしており、その中実部分１９は、支持体４のフェース１２と同様に平らであり、ウェーハ１５は、支持体４、インタフェース５及び緩衝材６の側では凹状である。

板ばね１８には７つの窓２１が設けられ、これら窓は、規則正しく配置され、各窓は、全体として台形の輪郭を有している。
より正確にいえば、各窓２１と縁部２２との間の境界部は、円弧の形のものであり、各窓２１と中実部分１９との間の境界部も又同様である。窓２１の他方の側部は、実質的に半径方向に差し向けられ、２つの連続して位置する窓２１相互間に位置する材料の各ストリップは、互いに平行な縁部を有している。

この例では、ウェーハ１５は、直径と比較して小さな一定の厚さを備えた状態でプラスチック材料から成形される。

上述したように、幾つかの実施形態を提供したが、図１〜図３に示す実施形態に対応した工具１は、特に満足のいく表面仕上げをもたらすことが判明した。

この実施形態では、緩衝材６とインタフェース５は、両方とも一体構造のものであり、インタフェース５は、材料の円板の形態をしており、緩衝材６は、花の形をしており、戻し手段１５は、上述したようにウェーハの形をしており、その連続周縁部２２は、インタフェース５の周辺部分１６に緩衝材６と反対側の側部で当たっている。

図示の実施形態では、インタフェース５の直径、緩衝材６の直径及びウェーハ１５の直径は、支持体４の直径の少なくとも２倍である。
さらに、オフサルミックレンズを表面仕上げする場合、インタフェース５の直径及び緩衝材６の直径は、実質的にレンズ３の直径に等しく作られ、したがって支持体４の直径は、レンズ３の直径よりも非常に小さい。

図２〜図４は、工具１の使用法を示している。
この場合、工具は、オフサルミックレンズの非球面凹状フェース２を表面仕上げし又は軟化するために用いられている。

レンズ３は、レンズを固定軸線Ｙ（図４）回りに回転駆動する回転支持体（図示せず）に取り付けられている。

図３に示すように、工具１を緩衝材６がその形状を保つのに十分な力でフェース２に圧接させる。工具１は、この場合自由に回転することができ、この工具は、光学表面２と比較してオフセンタ状態にある。工具を適当な手段によって回転駆動するのがよい。
光学表面２と緩衝材６との間に働く摩擦力は、工具１をスピンドル７回りにレンズ３と同一方向に回転駆動するのに十分である。
光学表面２に緩衝材が研磨機能それ自体を有しているかどうかに応じて研磨性の又は非研磨性の流体を吹き付ける。

工具表面２の全体をスイープするため、ベース９を表面仕上げ中、半径方向の軌道に沿って動かし、ピン８の対称軸線と光学表面２の交わる点は、方向点の２つの変化、即ち、方向点Ａの内側変化と方向点Ｂの外側変化との間で行ったり来たりし、これら両方の点は、レンズ３の回転軸線Ｙから距離を置いたところに位置している。

インタフェース５の中央部分５ａの圧縮性により、緩衝材６の中央部分６ａは、光学表面２の形状を保つよう変形する。

板ばね１８の変形により、緩衝材６の周辺部分１４は、光学表面２の形状を保つよう変形する。

連続周縁部２２が、単純な支承状態で緩衝材５とインタフェース６とから成る組合せと協働し、縁部２２と組合せ５，６の相対位置は、図２と図３を比較することにより理解できるように変形中変化する場合がある。

周縁部２２の連続性により、加えられる戻し力の幾分かの円周方向規則性、したがって、行われる表面仕上げの或る程度の規則性が達成される。この点に関し、例えば、板ばね１８に代えて窓２１のような形状をした枝部を備えた星形部分を用いた場合、枝部の端とインタフェース５又は緩衝材６との間に、連続した環状の中間部分を設けることが好ましいが、中間部分を設けなくても、連続周縁部により良好な結果が得られることは注目されよう。

支持体４の剛性が所与の場合、大抵の場合、端面１３と整列して材料が取り除かれ、即ち、本質的に、緩衝材６の中央部分６ａにより材料が取り除かれる。

緩衝材６の周辺部分１４及びインタフェース５の周辺部分１６は、第１に、緩衝材及びインタフェースが中央部分５ａ，６ａに制限されている標準型工具と比較した場合の工具１の上昇距離又は着座距離の増大により、第２に、緩衝材６の周辺部分１４の光学表面２との間の永続的な接触状態を維持する戻しウェーハ１５により、本質的に安定化の役割を果たす。

この結果、光学表面２上における工具１の場所とは無関係に且つその回転速度とは無関係に、その回転軸線Ｘは、光学表面２の法線と永続的に同一直線状に位置し又は実質的に同一直線状に位置して、工具１の向きが常時最適化されるようになっている。

図示の実施形態では、支持体４の端面１３は、平面状である。
かくして、工具１は、互いに異なる曲率を有する或る特定の範囲の光学表面２を表面仕上げするのに適している。
図示していない工具１の変形例では、ウェーハ１５の板ばね１８は、別の形状をしている。

特に、ウェーハ１５の板ばね１８は、同一方向に湾曲しているが、湾曲度は一層大きく（この場合、インタフェース５及び緩衝材６は、休止状態では湾曲しており、これらの凸状側部は、支持体４及びウェーハ１５の方に向いている）、又は、休止状態では平らであり、即ち、中央部分１９と同一平面内に位置し（この場合、インタフェース５及び緩衝材６は、図３に示すように休止状態では湾曲しており、即ち、これらの凹状側部は、支持体４及びウェーハ１５の方に向いている）、或いは、逆の曲率の場合、即ち、ウェーハ１５の凸状側部が、支持体４、インタフェース５及び緩衝材６の方に向いている場合、休止状態では平らである（後者の２つはこの場合、図３の場合よりも休止状態では一層湾曲している）。

この第１の変形例は、凸状光学表面に特に向いており、これに対し、図示の実施形態及び他の２つの変形例は、凹状光学表面に特に向いている。

図示していない別の変形例では、支持体４の端面１３は、平らではなく凸状であり、この場合、工具は、一層顕著な凹度を有する光学表面に向いており、或いは、支持体４の端面１３は、凹状であり、この場合、工具は、顕著な凸度の光学表面に向いている。
当然のことながら、凹状又は凸状端面１３と上述したようなウェーハ１５の種々の形状と組み合わせることが可能である。

端面１３がそれぞれ平面状であり、凸状であり、凹状である全部で３つの工具が、種々の形状、即ち、球面、トーリック、累進焦点、非球面又はこれらの任意の組合せ、或いはより一般的に自由形式の表面処理されるべき広範な凸状及び凹状の光学表面をカバーするのに十分である。

戻し手段１５の種々の実施形態（図示せず）では、連続した縁部を備える板ばね、例えば板ばね１８が設けられるが、この板ばねは、中実であり又は種々の仕方で穴あけされる。

上述した工具１は、当業者には周知の標準的な方法に一致した仕方で用いられ、通常用いられる工作機械の特定の改造は必要でないことが示されている。

本発明の工具、この工具を受け入れるベース及び表面仕上げされるべき光学表面を備えたオフサルミックレンズの分解組立て斜視図である。 組み立てられて休止状態にあり、ピン状の定位置に位置した状態で示された図１のベース、オフサルミックレンズ及び工具の断面立面図である。 図２と類似した図であるが、休止状態ではなく、表面仕上げ中の状態を示す図である。 本発明の工具による表面仕上げ中のオフサルミックレンズを示す概略平面図であり、工具が、光学表面を２つの位置でスイープしているときの状態で示され、これら２つの位置のうちの一方を破線で示した図である。

Claims (21)

1. 光学表面（２）を仕上げる工具（１）であって、前記工具は、横方向端面（１３）を備えた剛性支持体（４）と、前記端面（１３）に圧接された状態でこれを覆う弾性的に圧縮可能なインタフェース（５）と、前記光学表面（２）に圧接されるようになっていると共に前記端面（１３）と反対側でこれと整列した前記インタフェース（５）の面の少なくとも一部に圧接された状態でこれを覆う柔軟性緩衝材（６）とから成る工具において、
   前記緩衝材は、前記端面（１３）と整列する中央部分（６ａ）と、前記端面（１３）を横方向に越える周辺部分（１４）とを有し、前記周辺部分（１４）を前記支持体（４）に接合する戻しばね手段（１５）が設けられ、前記戻しばね手段は、内側が前記支持体（４）に固定された平らな又は湾曲した板ばね（１８）を含み、前記板ばねは、前記緩衝材（６）の前記周辺部分（１４）上に直接支持されるか又は単一の前記インタフェース（５）を介在して支持されることにより前記周辺部分（１４）と協働する連続周辺部分（２２）を有し、仕上げ中、前記工具を安定させる手段が、前記戻しばね手段（１５）及び前記緩衝材（６）の前記周辺部分（１４）により構成され、前記工具は、前記緩衝材（６）の前記中央部分（６ａ）で仕上げを行うようになっている、工具。
2. 前記板ばね（１８）は、柔軟性があり、前記支持体（４）から横方向に突き出ている、請求項１記載の工具。
3. 前記板ばねは、中実壁により形成されている、請求項２記載の工具。
4. 前記板ばね（１８）は、有孔壁により形成されている、請求項２記載の工具。
5. 前記板ばね（１８）には、台形の窓（２１）が設けられている、請求項４記載の工具。
6. ２つの連続して位置する窓（２１）は、平行な縁部を有する材料の長方形領域により分離されている、請求項５記載の工具。
7. 各前記窓（２１）と前記連続周辺部分（２２）との間の境界部は、円弧の形をしている、請求項５又は６記載の工具。
8. 前記板ばね（１８）は、前記連続周辺部分（２２）により包囲される中実部分（１９）を更に含むウェーハの一部である、請求項１〜７のうちいずれか一に記載の工具。
9. 前記中実部分（１９）は、円形である、請求項８記載の工具。
10. 前記中実部分は、止めねじのシャンクを相通させる穴（２３）を有する、請求項８又は９記載の工具。
11. 前記インタフェース（５）は、前記端面（１３）と整列する中央部分（５ａ）及び前記端面（１３）を横方向に越えていて、前記緩衝材（６）の前記周辺部分と前記戻し手段（１５）の前記板ばね（１８）の前記周辺部分（２２）との間に位置する周辺部分（１６）を有する、請求項１〜１０のうちいずれか一に記載の工具。
12. 前記インタフェース（５）の前記周辺部分（１６）は、応力を受けていない場合、前記インタフェース（５）の前記中央部分（５ａ）の周りに位置するリングの形を取る、請求項１１記載の工具。
13. 前記インタフェース（５）は、一体構造のものであり、前記インタフェース（５）の前記中央部分（５ａ）及び前記周辺部分（１６）は、単一の部品（５）を形成する、請求項１１又は１２記載の工具。
14. 前記インタフェース（５）は、応力を受けていない場合、円板の形を取る、請求項１３記載の工具。
15. 前記緩衝材（６）は、一体構造のものであり、前記中央部分（６ａ）及び前記周辺部分（１４）は、単一の部品（６）を形成する、請求項１〜１４のうちいずれか一に記載の工具。
16. 前記緩衝材（６）は、前記中央部分（６ａ）から横方向に突き出た複数個の花弁状部（１４ｂ）を有する、請求項１５記載の工具。
17. 前記周辺部分（１４）は、前記中央部分（６ａ）の周りに位置するリング（１４ａ）の形態を取る、請求項１５記載の工具。
18. 前記緩衝材（６）は、一体構造のものであり、応力を受けていない場合、円板の形状を取る、請求項１７記載の工具。
19. 前記支持体（４）の前記端面（１３）は、平面状である、請求項１〜１８のうちいずれか一に記載の工具。
20. 前記支持体（４）の前記端面（１３）は、凸状である、請求項１〜１８のうちいずれか一に記載の工具。
21. 前記支持体（４）の前記端面（１３）は、凹状である、請求項１〜１８のうちいずれか一に記載の工具。

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