JP4405632B2 - 導電性焼結体及びその製造方法並びに導電性皮膜及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性焼結体及びその製造方法に関する。また、本発明は、この導電性焼結体からなり、特定の厚さを有する導電性皮膜及びその製造方法に関する。本発明の導電性焼結体及び導電性皮膜は、温度センサ素子等の用途において有用である。
【0002】
【従来の技術】
高温において使用することができる導電材料として、Al2O3及びCr2O3を主成分とするコランダム型化合物(特開平7−335409号公報)、MgAl2O4系の組成を有するスピネル型化合物(特開昭49−63995号公報)、LaMnO3系或いはLaCrO3系等の組成を有するペロブスカイト型化合物(特開平7−24913号公報、特開平7−237967号公報)等が知られている。
【0003】
導電材料が温度センサ素子として使用される場合、この材料の有する導電特性は、素子の設計及び制御回路又は構造の仕様等に対応し、且つ用途、使用環境等に適合するものであることが必要とされる。しかし、これまでに知られている導電材料のうち、コランダム型化合物では、抵抗及び温度特性を制御するために他元素を添加する必要があり、添加量が多い場合は熱安定性が低下することがある。また、スピネル型化合物は、B定数が大きいため、使用し得る温度域が狭い。更に、Laを含むペロブスカイト型化合物は、未反応のLaイオンが大気中の水分と反応してLa(OH)3となり、亀裂或いは崩壊を生ずるため使用環境が制限される。このように、従来の導電材料はそれぞれ問題点を有し、また、組成によっては緻密化が困難な場合もある。
【0004】
また、融点の低い導電材料、及び焼成時の未反応生成物を含む導電材料等では、1000℃程度の使用環境下においても材料中の各元素の拡散が進行し、初期の導電特性からの変動を生ずるなど、電気特性の安定性に問題がある。このように、従来、用途或いは使用環境に応じて比低抗値及びB定数を広い温度域に渡って任意に制御することができ、電気特性の安定性が高く、且つ緻密度の高い導電材料を得ることは容易ではなかった。
【0005】
更に、温度センサからの情報をフィ−ドバックして熱源、動力等の制御を行う場合には、温度センサの応答性も問題となる。センサの応答性は、特に、素子の熱容量に依存するため、応答性を向上させるためには素子の小型化、皮膜化等が考えられる。これらのうち、素子の小型化は、原料粉未の粒度、電極の挿入精度等の問題から実用化に限界がある。一方、印刷及び気相合成法等を利用することにより、サブマイクロメートル〜数十マイクロメートルの厚さを有する皮膜を作製することは容易であり、センサの応答性を十分に向上させることができる。
【0006】
皮膜の作製には種々の原料が使われているが、固相の原料である場合は、溶射のように大きな熱源を必要とする、或いは基材との密着性が低い等、問題がある。また、気相の原料である場合は、原料の毒性が問題となる他、気相中で各元素を混合するため、所定の組成を有する皮膜とすることが困難である。更に、液相の原料は、金属塩を溶媒に溶解させることにより容易に得られ、硝酸塩、シュウ酸塩、水酸化物等、毒性の少ない原料を選択することができる。また、電気炉等の反応炉を用いることで基材表面に所定の組成を有する皮膜を比較的容易に作製することもできる。しかし、硝酸塩等は潮解性が大きく、各元素の金属塩等を溶媒に溶解させて所定の組成を有する原料溶液を調製することは容易ではない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の従来の問題を解決するものであり、原料組成を調整することにより、用途或いは使用環境に応じて比低抗値及びB定数を広い温度域に渡って任意に制御することができ、吸湿性の高い化合物を含まず、電気特性の安定性に優れ、且つ緻密度の高い導電性焼結体及びその製造方法を提供することを目的とする。また、この導電性焼結体からなる特定の厚さの皮膜及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
第1発明の導電性焼結体は、Yと、Mg、Ca、Sr及びBaから選ばれる1種(以下、単に「2族元素」ともいう)と、Cr、Al、Fe及びZrの4種(以下、単に「4〜15族元素」ともいう)を含有し、該Yの酸化物換算した含有量に対する他の元素の酸化物換算した含有量をモル比で表した場合に、該Mg、Ca、Sr及びBaから選ばれる1種は0.002〜0.23であり、該Crは0.369〜0.998であり、該Alは0.003〜0.4であり、該Zrは0.002〜0.5であり、該Feは0.001〜0.333であり、且つ、該Crの酸化物換算した含有量に対して、該Al及び該Feの酸化物換算した含有量はモル比で各々0.67以下及び0.5以下であることを特徴とする。
【0009】
本発明の導電性焼結体は、ペロブスカイト相を含有することにより導電性を発揮している。このペロブスカイト相は30体積%以上であれば、導電特性の安定性及び耐久性に優れる。上記「Y」、上記「Mg、Ca、Sr及びBaから選ばれる1種」及び上記「Cr、Al、Zr及びFe」の各元素は、本発明の導電性焼結体中においてどのように含有されてもよいが、通常、ペロブスカイト相中においては、Y及び2族元素はAサイトを構成し、4〜15族元素はBサイトを構成する。このペロブスカイト相を呈することにより導電性を有しているものと考えられる。尚、ペロブスカイト相中であっても、Aサイトに4〜15族元素の一部が固溶し、Bサイトに2族元素の一部が固溶していてもよい。
【0010】
上記「Yの酸化物換算」はY2O3として行う。また、上記「他の元素の酸化物換算」は、MgO、CaO、SrO、BaO、Al2O3、Cr2O3、Fe2O3及びZrO2として行う。本発明の導電性焼結体に含有される2族元素は、Yの酸化物換算した含有量に対する2族元素の酸化物換算した含有量をモル比で表した場合に、0.002〜0.23であればよく、0.008〜0.222であることが好ましく、0.014〜0.217であることがより好ましい。
【0011】
このモル比が、0.002未満であると不純物が導電特性に与える影響が大きくなるため好ましくない。一方、0.23を超える場合は、導電性焼結体中のAサイトに固溶しない2族元素が大気中の水分と反応して水酸化物を形成し、導電性焼結体に亀裂を生じさせたり、崩壊させたりすることがあるため好ましくない。尚、特にMg及びCaは、温度係数を調整することを目的として添加することができる。
【0012】
本発明の導電性焼結体に含有されるCrは、上記と同様なモル比で表した場合に、0.369〜0.998であればよく、0.41〜0.992であることが好ましく、0.461〜0.983であることがより好ましい。このモル比が、0.369未満又は0.998を超える場合は、温度変化による抵抗値の変動が過大となったり、高温に長時間晒した場合に強度が低下したりするため好ましくない。
【0013】
本発明の導電性焼結体に含有されるAlは、上記と同様なモル比で表した場合に、0.003〜0.4であればよく、0.004〜0.321であることが好ましく、0.005〜0.309であることがより好ましい。このモル比が、0.003未満であると不純物が導電特性に与える影響が大きくなるため好ましくない。一方、0.4を超える場合は、温度変化による抵抗値の変動が過大となったり、高温に長時間晒した場合に強度が低下したりするため好ましくない。但し、このAlの含有量は、Crの酸化物換算した含有量に対してモル比で0.67以下(好ましくは0.5以下、より好ましくは0.43以下、通常0.003以上)である。このモル比が0.67を超えると温度変化による抵抗値の変動が過大となったり、高温に長時間晒した場合に強度が低下したりするため好ましくない。
【0014】
本発明の導電性焼結体に含有されるZrは、上記と同様なモル比で表した場合に、0.002〜0.5であればよく、0.01〜0.444であることが好ましく、0.02〜0.4であることがより好ましい。このモル比が、0.002未満であると不純物が導電特性に与える影響が大きくなるため好ましくない。一方、0.5を超える場合は、温度変化による抵抗値の変動が過大となったり、高温に長時間晒した場合に強度が低下したりするため好ましくない。
【0015】
本発明の導電性焼結体に含有されるFeは、上記と同様なモル比で表した場合に、0.001〜0.333であればよく、0.005〜0.283であることが好ましく、0.01〜0.24であることがより好ましい。このモル比が、0.001未満であると不純物が導電特性に与える影響が大きくなるため好ましくない。一方、0.333を超える場合は、温度変化による抵抗値の変動が過大となったり、高温に長時間晒した場合に強度が低下したりするため好ましくない。但し、このFeの含有量は、Crの酸化物換算した含有量に対してモル比で0.5以下(好ましくは0.43以下、より好ましくは0.4以下、通常0.001以上)である。このモル比が0.5を超えると温度変化による抵抗値の変動が過大となったり、高温に長時間晒した場合に強度が低下したりするため好ましくない。
【0016】
第1発明の導電性焼結体は、第2発明のように、更に、Si及び/又はTi(以下、単に「緻密化元素」という)を含有することができる。緻密化元素の酸化物換算(SiO2、TiO2)した場合の含有量は、Yの酸化物換算した含有量に対するモル比で0.02〜0.2であることが好ましい。この範囲の緻密化元素を含有しておれば、緻密度の高い焼結体とすることができ、且つ導電特性の低下がなく、安定した電気特性が維持される。Siは、Tiに比べて導電特性を低下させず、緻密度を向上させる効果がより大きいため特に好ましい。
【0017】
この緻密化元素のモル比は0.03〜0.18であることがより好ましく、0.04〜0.16であることが更に好ましい。このモル比が0.02未満であると、緻密化元素を加えた効果が得られ難い。一方、このモル比が0.2を超えると、この導電性焼結体を300℃前後の温度に曝した場合の抵抗値が過度に大きくなるため、例えば、300℃前後から900℃前後の範囲での温度サイクルにおける測定の場合は、抵抗値の変動が過度に大きく好ましくない。
【0018】
第3発明の導電性焼結体の製造方法は、第2発明の導電性焼結体の製造方法であって、第1発明に記載の導電性焼結体の組成となるように各元素を含有させた仮焼粉末と、SiO2及びTiO2の少なくとも一方を主成分とする原料粉末とを混合する工程を備え、該仮焼粉末と、SiO2及び/又はTiO2との合計量を100質量%とした場合に、該仮焼粉末が96.5〜99.7質量%であることを特徴とする。
【0019】
上記「仮焼粉末」は、Y、2族元素と4〜15族元素の酸化物、及び/又は焼成されて酸化物となる化合物(炭酸塩等)とを、第1発明に記載の導電性焼結体の組成となるように混合した後、仮焼し、次いで、必要であれば粉砕することにより得ることができる。この仮焼粉末の平均粒径は5μm以下、特に0.5〜4μm、更には0.7〜3μmであることが好ましい。
【0020】
仮焼粉末の平均粒径が、特に上記範囲にあれば、焼結性が向上し、緻密度の高い焼結体とすることができる。更に、各酸化物及びその他の化合物等を均一に混合及び分散させ易く、各元素が含有されることによる効果を十分に得ることができる。この仮焼粉末の平均粒径が5μmを越える場合は、焼結体の緻密度が低下する傾向にある。一方、平均粒径が0.1μm未満の仮焼粉末とすることは一般には困難である。しかし、そのような微細粉末であれば金属元素を含有させることによる効果がより大きくなり、焼結性を更に向上させることができる。
【0021】
また、緻密化元素を主成分とする上記「原料粉末」としては、Si及び/又はTiを含有する酸化物、焼成されて酸化物となる化合物(炭酸塩等)からなる粉末を挙げることができる。この粉末の平均粒径は特に限定されないが、1μm以下、特に0.1〜0.7μm、更には0.1〜0.5μmであることが好ましい。この粉末の平均粒径が0.1〜1μmであれば、緻密な焼結体とすることができる。更に、低温域における低抗値の上昇も抑えられ、高温に長時間晒された場合であっても、抵抗値の変動が少なく、優れた導電特性が維持される。
【0022】
また、仮焼粉末の配合量は96.5〜99.7質量%、即ち、緻密化元素を含有する酸化物及び/又はその他の化合物に含有される緻密化元素の配合量は、SiO2及び/又はTiO2に換算して0.3〜3.5質量%であればよい。この仮焼粉末の配合量は、97.0〜99.5質量%であることが好ましく、97.3〜99.4質量%であることがより好ましい。この配合量が、96.5質量%未満であると、緻密化元素の配合量が過度に多くなり、300℃付近における低抗値が上昇し、且つこの抵抗値が大きく変動し易い。一方、99.7質量%を超えると、緻密化元素の配合量は過度に少なくなり、緻密化が不十分となり易い。
【0023】
尚、本第3発明における、仮焼及び焼成の条件は特に限定されないが、仮焼温度は1200〜1400℃、仮焼時間は2〜10時間とすることができる。更に、焼成温度は1450〜1650℃、焼成時間は0.5〜5時間とすることができる。尚、これら仮焼及び焼成は大気雰囲気において行うことができる。
【0024】
第4発明の導電性皮膜は、第1又は第2発明に記載の導電性焼結体からなり、厚さが0.01〜100μmであることを特徴とする。
上記「導電性皮膜」は、例えば、白金、ロジウム、パラジウム及びイリジウム等の少なくとも一種を含有する一対の電極を、その表裏の少なくとも一部に備えることで温度センサ素子とすることができる。通常、この導電性皮膜は機械的強度を向上させるためにアルミナ等のセラミックスからなる基材の表面に接して形成される。
【0025】
特に、基板上に導電性被膜を形成する場合、高温(例えば、1300℃以上、特に1500℃以上、通常1700℃以下)において基板と導電性被膜の各々に含有される成分が相互に拡散する相互拡散を生じ易い。相互拡散を生じると導電特性が低下し、その性能を十分に保持できなくなることがある。
【0026】
導電性皮膜の厚さは、用途及び必要とされる導電特性等によって調整すればよいが、0.01〜100μm(好ましくは0.05〜80μm、より好ましくは0.1〜50μm)とすることにより相互拡散の影響を十分に抑制でき、且つ膜の上下面での熱膨張差も小さく好ましい。この導電性皮膜を用いることで優れた温度センサ素子を得ることができる。
【0027】
導電性皮膜の厚さが0.01μm未満では、高温において相互拡散の影響を十分に抑制することが難しく、導電特性が損なわれる恐れがある。一方、この厚さが100μmであれば十分な導電性が得られるが、100μmを超えると膜の上下面での熱膨張差が大きくなり基板等から剥離することがある。特に、0.1〜80μm(更には0.2〜50μm)であれば、相互拡散を防止できる拡散防止層を設けなくともその影響は小さい。
【0028】
また、導電性皮膜の厚さが0.1μm未満(更には0.05μm未満、特に0.03μm未満)である場合は、基材と皮膜の間に相互拡散を防止できる拡散防止層を設けることが好ましい。これにより高い耐久性を備え、且つ特に薄膜であるため応答性に優れ、皮膜表裏面での熱膨張差が小さい優れた温度センサ素子を得ることができる。この拡散防止層を構成する成分は特に限定されず、イリジウム及びその酸化物(IrO2)を主成分とする拡散防止層や、V、Cr、Rh及びPtの少なくとも1種からなるルチル型導電性酸化物を含むPt、Pd、Ir、Rh、Re、Ru等を主成分とする拡散防止層を挙げることができる。この拡散防止層の厚さは0.01〜50μm(より好ましくは0.1〜30μm)とすることが好ましい。
【0029】
尚、上記イリジウム及びその酸化物を主成分とする薄膜は拡散防止層としての機能を有する他に、導電性を有するため電極としても使用することができる。従って、温度センサ素子において基板と導電性皮膜に挟まれる白金電極に換えて、この薄膜を基板と導電性被膜との少なくとも一部(好ましくは全面)に形成することにより、相互拡散を防止し、且つセンサ出力を得ることができる。
【0030】
第5発明の導電性焼結体材料の製造方法は、第4発明に記載の導電性皮膜の製造方法であって、第1又は第2発明に記載の導電性焼結体の組成となるように各元素を含有する水系溶液又は有機系溶液を調製し、該水系溶液又は該有機系溶液を使用して製膜することを特徴とする。
【0031】
上記「水系溶液又は有機系溶液」の調製は、水系溶媒又は有機系溶媒に各々の元素を含む化合物を溶解させて調製することができる。この化合物としては、各元素の硝酸塩、シュウ酸塩、アルコキシド、レジネート、硫酸塩、塩化物及び水酸化物等が挙げられる。これらの化合物のうちでは、硝酸塩、シュウ酸塩及びアルコキシドが、毒性が少なく特に好ましい。また、専ら有機溶媒を用いる場合は、有機溶媒に容易に溶解し得るテルペン系等のレジネートが好ましい。
【0032】
上記「水系溶液」を構成する水系溶媒としては、水のみの他、メタノール、エタノール等、水に易溶の有機溶媒を含むものも用いることができる。更に、上記「有機系溶液」を構成する有機系溶媒としては、アルコール類、ケトン類、エステル類及びエーテル類等を用いることができるが、揮発性の高い有機溶媒は、溶液調製後、その濃度が変化するため好ましくない。このような溶液濃度の経時変化を抑えることを目的として、揮発性の低いエチレングリコール類、ブチルカルビトール等のエーテル類及びブチルカルビトールアセテート等のエステル類などを使用することもできる。尚、各元素を含む化合物を水系溶媒又は有機系溶媒に溶解させ易くするため、それぞれの溶液のpHを酸性或いはアルカリ性に調整することもできる。
【0033】
また、上記「調製」は、各溶液において水系溶媒又は有機系溶媒に溶解された各化合物から生成するY、2族元素、4〜15族元素及び緻密化元素等の各イオンの各々の濃度を測定することにより行う。イオン濃度の測定方法は特に限定されず、EDTA等のキレートを使用したキレート滴定による方法、及びICP発光分析による方法等、各種の測定方法が挙げられる。イオン濃度を測定した後、それぞれの溶液を所要の金属イオンが所定の量比で含有されるように混合して行うことができる。
【0034】
更に、上記「製膜」は、調製した水系溶液又は有機系溶液を使用し、CVD法、熱プラズマCVD法、噴霧熱分解法、スピンコート法、スクリーン印刷法、スプレー法等の塗布法、カーテンコート法、ロールコート法及びドクターブレード法などによって行うことができる。この製膜の後、上記「焼成」を行うことにより、導電性皮膜を得ることができる。この焼成は前記第4発明におけると同様に行うことができる。
【0035】
本第1、第2及び第4発明の導電性焼結体及び導電性皮膜を温度センサ素子として使用する場合、主に温度変化に対する比抵抗値変化の大きさであるB定数を指標とすることができる。このB定数の大きさは特に限定されないが、小さい物は比抵抗値の変化率が小さいため、広い温度域の測定に好適である。一方、大きい物は、比抵抗値の変化率が大きいため、狭い温度域における精度の高い測定に好適である。本第1発明の導電性焼結体によれば、300℃から600℃及び600℃から900℃に各々変化させた場合に、1000〜13000までの広い範囲のB定数を得ることができる。即ち、各種の所望の温度センサ素子を得ることができる。
【0036】
また、本第4発明の導電性皮膜によれば1500〜11000までの広い範囲のB定数を得ることができる。即ち、種々の温度センサ素子を得ることができる。尚、B定数は、例えば、300℃から600℃に変化させた場合のB定数と、600℃から900℃に変化させた場合のB定数との差が小さいことが好ましい。即ち、制御又は観測し易い温度センサ素子を得ることができる。
【0037】
また、導電性焼結体及び導電性皮膜を高温に長時間曝し、曝露前後の比抵抗値の変化率からその耐久性を評価することができる。例えば、大気雰囲気中、1000℃の温度に50時間曝した場合の耐久性は、比抵抗値の変化率(ΔR率)の温度換算値で評価される。本第1及び第2発明の導電性焼結体によると、300〜900℃の温度域においてこの温度換算値は±20℃以内(更には±17℃以内、特に±15℃以内)とすることができる。また、本第4発明の導電性皮膜によると、同様な温度換算値は±30℃以内(更には±27℃以内、特に±20℃以内)とすることができる。即ち、高温に曝された後にも、曝される前とほぼ同じ乃至近い比抵抗値を保持することができ、高い耐久性を有する。
【0038】
本発明の導電性焼結体及びその製造方法によれば、B定数を、B900-300では1500〜11000の範囲において、B900-600では1000〜13000の範囲において任意に制御することができる。また、抵抗変化率の温度換算値は、900℃、600℃及び300℃のいずれにおいても、±15℃以内、特に±12℃以内、更には±10℃以内であり、非常に耐久性に優れた焼結体とすることができる。更に、本発明では、B定数を上記の広い範囲において制御することができ、上記のような優れた耐久性を備え、且つ相対密度が90%以上、特に93%以上、更には95%と高い緻密度を有する導電性焼結体とすることができる。
【0039】
【作用】
一般にYCrO3系焼結体においては、Cr3+の一部をCr4+に変化させることによりホールを生成させ、導電性を発現している。しかし、YCrO3のみからなる焼結体は、焼成時の酸素量変動及びCrの揮散量変動により、得られる導電特性が安定し難く、また、B定数は4000〜5000程度の範囲の狭いものとなる。そのため、更にY3+の一部をSr2+などの価数変化し難い2価のアルカリ土類金属イオンで置換することでホール数を増やす技術が知られている。しかし、Srはホール数を過度に増加させ易く、導電性が向上し比抵抗値は小さくなるため、B定数は1000程度にまで低下してしまう。このように、Crの価数を自在に制御することで導電性焼結体として所望の特性が得られることは予測されるが、実際に制御することは極めて難しい。更に加えて、この焼結体は難焼結性である。
【0040】
本発明では、Crの価数を制御するために上記の所定のアルカリ土類金属以外に、Al、Zr及びFeの合計4元素を併せて含有させることで、前記のような導電特性の制御を達成出来ることが分かった。このうち、Al及びFeの添加により焼結性が向上している。特に、温度1450℃まで焼結温度を低下させることができる。また、Alの価数は、Cr3+と同じ3価であり、且つ安定であるため、Crと置換させることにより抵抗値を向上させる効果も併せ持つと考えられる。
【0041】
更に、Feの添加により、高温耐久前後での比抵抗値変化が抑制され、導電特性の耐久性を向上させている。また、Zrは安定な4価として存在するため、Crの価数変動を抑制し、Alと同様な理由により抵抗値を向上させている。特に、このZrはSrと併用することにより、各々の効果を制御しながら発現させ易くすることができる。更に、Zr、Al及びSrを併用することでも、同様に各々の効果を制御しながら発現させ易くすることができる。また、これら第1及び第2発明の導電性焼結体には、Laが含まれていないため、吸湿による変質の問題もない。上記のことは、第4発明の導電性皮膜においても同様である。
【0042】
【発明の実施の形態】
以下、実施例によって本発明を更に詳しく説明する。
(1)導電性焼結体の組成の検討
▲1▼導電性焼結体の製造
純度99.9%以上のY2O3、SrCO3、Cr2O3、Al2O3、ZrO2及びFe2O3の各粉末を各々所定量秤量した。これらの粉末を湿式で混合し、乾燥させた後、大気雰囲気中、1300℃で5時間仮焼し、平均粒径1〜2μmの仮焼粉末を得た。その後、この仮焼粉末に平均粒径0.2μmのSiO2粉末を加えることにより、Y、2族元素、4〜15族元素及び緻密化元素が表1〜3の組成となるようにして樹脂ポットとSi3N4玉石を用い、エタノールを分散媒として湿式で混合した。
【0043】
次いで、得られたスラリーを80℃で3時間乾燥し、250メッシュのふるいを通して造粒した後、30MPaの一軸成形と、150MPaのCIPにより直径9mm、高さ10mmの円柱状の成形体とした。この成形体を、大気雰囲気中、1550℃で2時間保持して焼成し、実験例1〜49の導電性焼結体を得た。また、得られた焼結体の密度をアルキメデス法により測定し、この密度に基づいて、組成から算出される理論密度を100%とした場合の相対密度を算出した。この結果を表1及び2に併記する。尚、表1及び2において*は第1発明の範囲外であることを表し、**は第2発明の範囲外であることを表す。
【0044】
【表1】
【0045】
【表2】
【0046】
▲2▼抵抗値の変動の評価
実験例1〜49の導電性焼結体からなる成形体を研磨し、直径6mm、高さ5mmの円柱状とした。その後、円柱体の両端面にスクリーン印刷により白金電極を形成し、試験片を作製した。これらの試験片を、大気中900℃、600℃及び300℃に各々20分間保持した後に、この温度順に直流四端子法により低抗値を測定した。更に、この抵抗値から比抵抗値を算出した。また、下記(1)式により900℃と600℃の間におけるB定数(B900-600)及び600℃と300℃の間におけるB定数(B600-300)を各々算出した。
[但し、T1、T2は測定温度(絶対温度;K)である。ρT1、ρT2は測定温度T1、T2における大気中の比低抗値(KΩ・cm)である。]
上記により得られた比抵抗値及びB定数を表3及び4に示した。
【0047】
【表3】
【0048】
【表4】
【0049】
▲3▼耐久性の評価
▲2▼で得られた試験片を、大気雰囲気中、1000℃で50時間保持し、保持前と同様な方法により900℃、600℃及び300℃における比抵抗値を算出し、この比抵抗値を高温保持前後で比較することにより、導電性焼結体の耐久性を評価した。この指標としてΔR率を下記式(2)により、また、その温度換算値を下記式(3)により算出した。この結果を表5及び6に示す。
ΔR率(%)=(ρT’−ρT)/ρT×100 (2)
[但し、上記式(2)及び式(3)において、T、T1、T2は測定温度(絶対温度;K)である。ρTは耐久試験前の温度Tにおける大気中の比抵抗値(KΩ・cm)であり、ρT’は耐久試験後の温度Tにおける大気中の比抵抗値(KΩ・cm)である。BT2-T1は前記式(1)により求められるB定数である。]
【0050】
【表5】
【0051】
【表6】
【0052】
この結果によると、第1発明の導電性焼結体においてはSr、Cr、Al、Zr及びFeを変量させることにより、焼結体の比抵抗値を、300℃で0.004105〜16456kΩ・cmの範囲、900℃で0.0008115〜1.607kΩ・cmの範囲に幅広く制御し得ることが分かる。また、B定数は、B900-300では1816〜11340の範囲、B900-600では1409〜13007の範囲で変化させ得ることが分かる。更に、900℃における温度換算値は±24.6℃以内に、600℃における温度換算値は±18.4℃以内に、300℃における温度換算値は±15.5℃以内に保持することができる。
【0053】
一方、第2発明の導電性焼結体においてはSr、Al及びFeを変量させることにより、焼結体の比抵抗値を、300℃で0.004105〜16456kΩ・cmの範囲、900℃で0.0008115〜1.607kΩ・cmの範囲に幅広く制御し得ることが分かる。また、B定数は、B900-300では1816〜11012の範囲、B900-600では1409〜13007の範囲で変化させ得ることが分かる。更に、900℃における温度換算値は±12.8℃以内に、600℃における温度換算値は±13.9℃以内に、300℃における温度換算値は±9.2℃以内に保持することができる。
【0054】
また、表1における実験例34のようにSiを含有させない場合であっても、表4に示されるようにそのB定数は9858及び10264であり、更に、表6に示されるようにその耐久性も温度換算値で±11.7℃以下でいずれも優れる。しかし、表1に示す相対密度は低く、機械的強度を必要とする場合は適さない。これに対して、実験例35〜38ではSiの含有量を増加させており、これに従い相対密度は大きくなり、緻密化していることが分かる。実験例35〜37はB定数及び温度換算値共に優れた値を示している。しかし、実験例38は相対密度も高く、B定数も優れるが、温度換算値が大きく高温耐久性は十分でないことが分かる。従って、本第2発明の範囲内のSiを含有させることで、導電特性に加えて、機械的強度にも優れた導電性焼結体を得ることができることが分かる。
【0055】
また、本第1発明の導電性焼結体では、表1及び表2に示されるように、Srの含有量が多い実験例19、20、29〜33では、比抵抗値が極めて大きく減少しており、B定数を大幅に小さくすることができる。逆に、実験例46及び49のようにZrを多く含有させた場合は、B定数を大きくすることができることが分かる。しかし、実験例32のように相対的にSrの添加効果の方が大きくなることもある。このため、Sr及びZrを相関させる以外に、更に、Al及びFeを添加し、各々の含有量を相関させることによりB定数を制御できることが分かる。また、実験例1、42及び43のようにFeの含有量が少ない場合は、温度換算値が大きくなる傾向にある。従って、本第1及び第2発明の範囲内でFeを含有させることにより高い耐久性を付与することができることが分かる。
【0056】
尚、温度換算値は、±15℃以内の条件下で使用することが好ましい。即ち、実験例1の導電性焼結体の場合、900℃における温度換算値は−17.7℃のため、900℃以下(好ましくは600℃以下)の温度で使用することが好ましい。
【0057】
(3)導電性皮膜の検討
導電性皮膜の形成並びに緻密度、抵抗値の変動及び耐久性の評価
純度99.9%のY(NO3)3・nH2O、Cr(NO3)3・9H2O、Sr(NO3)2、AI(NO3)3・9H2O、ZrO(NO3)2・2H2O及びFe(NO3)3・9H2Oをそれぞれ純水に溶解させ、ICP分析によって各溶液の濃度を測定した。その後、各元素の原子数比が表7の原料溶液組成となるように混合し、混合溶液を調製した。尚、表7における原料溶液組成は原子数比で示されている。
【0058】
上記の混合溶液を超音波噴霧器によって霧状にし、Arをキャリヤーガス(流速;1.4リットル/分)として、Ar−誘導結合型プラズマ(Ar−ICP)中に送り込んで蒸発、気化させた。その後、ICP下部に設置された10×10×1mmのAl2O3単結晶板(110面)上に実験例50〜62の導電性皮膜を形成した。Ar−ICPは6MHz、6kwの発振器により発生させ、Arのシースガス(流速;30リットル/分)を用いた。Al2O3単結晶板は酸素−水素炎により加熱し、光高温計により温度を測定して温度制御を行った。
【0059】
表8に、化学分析により測定した導電性皮膜に含有される各元素の酸化物換算組成をモル比により示す。また、形成された皮膜にスクリーン印刷によって白金電極を作製し、大気中において直流四端子法により皮膜の比抵抗値及び抵抗変化率を測定し、B定数及び温度換算値を算出した。測定温度、保持時間等は(1)の場合と同様である。結果を表9及び表10に示す。尚、表7〜表10における*は、本第1発明の範囲外であることを表す。
【0060】
【表7】
【0061】
【表8】
【0062】
【表9】
【0063】
【表10】
【0064】
表7及び表8の結果によれば、原料溶液組成と皮膜組成とはほぼ一致していることが分かる。また、表7〜10によると、皮膜の比抵抗値を、300℃で0.01204〜3105kΩ・cmの範囲、900℃で0.001921〜0.8659kΩ・cmの範囲で制御し得ることが分かる。また、B定数は、B900-300では2056〜9467の範囲、B900-600では1612〜10586の範囲で変化させ得ることが分かる。更に、温度換算値は、900℃において±18.7℃以内、600℃において±14.8℃以内、300℃において±14.8℃以内に保持することができる。
【0065】
即ち、本発明の範囲内の組成を有する導電性皮膜であれば、B定数を広く制御でき、更に、温度換算値は±20℃以内と、高い耐久性を合わせ有する優れた導電性皮膜が得られることが分かる。尚、導電性皮膜の場合、導電性焼結体と比較すると僅かに温度換算値等で劣るが、これは皮膜形状に起因するものと考えられるが、特に、応答性に関しては導電性焼結体を遙かに凌ぐ性能を有する。また、図1の実験例52の導電性皮膜のX線回折のチャートによれば、この皮膜は(121)配向していることが分かる。
【0066】
尚、本発明においては、上記の具体的な実施例に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、Y、Cr、Sr、Al、Zr、Fe及びSi以外にも、焼結性並びにB定数及び耐久性等を損なわない範囲で、他の成分等、或いは不可避不純物などを含有していてもよい。
【0067】
【発明の効果】
第1発明によれば、用途或いは使用環境に応じて、比抵抗値及びB定数等を、幅広く、任意に制御することができ、耐久性に優れる導電性焼結体を得ることができる。また、第2発明によれば、焼結体に所要量のSiO2を含有させることにより、耐久性に優れ、且つ緻密度の高い導電性焼結体を得ることができる。更に、第3発明によれば、第2発明の優れた特性を有する導電性焼結体を容易に製造することができる。
【0068】
また、第4発明によれば、第1及び第2発明の導電性焼結体からなり、特定の厚さを有し、特に応答性に優れた温度センサ素子等において有用な導電性皮膜を得ることができる。更に、第5及び第6発明によれば、第4発明の優れた導電特性を有し、且つ温度センサ素子等において有用な導電性皮膜を容易に、且つ安定して製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実験例52のX線回折のチャートである。
Claims (6)
- Yと、Mg、Ca、Sr及びBaから選ばれる1種と、Cr、Al、Zr及びFeの4種を含有し、該Yの酸化物換算した含有量に対する他の元素の酸化物換算した含有量をモル比で表した場合に、該Mg、Ca、Sr及びBaから選ばれる1種は0.002〜0.23であり、該Crは0.369〜0.998であり、該Alは0.003〜0.4であり、該Zrは0.002〜0.5であり、該Feは0.001〜0.333であり、且つ、該Crの酸化物換算した含有量に対して、該Al及び該Feの酸化物換算した含有量はモル比で各々0.67以下及び0.5以下であることを特徴とする導電性焼結体。
- 更に、Si及びTiの少なくとも一方を含有し、上記Yの酸化物換算した含有量に対するSi及び/又はTiの酸化物換算した含有量は、モル比で0.02〜0.2である請求項1記載の導電性焼結体。
- 請求項2記載の導電性焼結体の製造方法であって、請求項1記載の導電性焼結体の組成となるように各元素を含有させた仮焼粉末と、SiO2及びTiO2の少なくとも一方を主成分とする原料粉末とを混合する工程を備え、該仮焼粉末と、SiO2及び/又はTiO2との合計量を100質量%とした場合に、該仮焼粉末が96.5〜99.7質量%であることを特徴とする導電性焼結体の製造方法。
- 請求項1又は2記載の導電性焼結体からなり、厚さが0.01〜100μmであることを特徴とする導電性皮膜。
- 請求項4記載の導電性皮膜の製造方法であって、請求項1又は2記載の導電性焼結体の組成となるように各元素を含有する水系溶液又は有機系溶液を調製し、該水系溶液又は該有機系溶液を使用して製膜することを特徴とする導電性皮膜の製造方法。
- 上記製膜の後、焼成する工程を備える請求項5記載の導電性皮膜の製造方法。
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