JP4401124B2 - 接合体の製造方法 - Google Patents
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Description
窒化アルミニウム基板(60mm×50mm×1mm、熱伝導率180W/m・K、曲げ強さ360MPa)に、銅板(60mm×50mm×0.3mmのベタ板で、銅板端部近傍を連続に周回する溝1aが施されており、その深さが0.2mm、その幅が0.2mm、外縁部1cの幅が0.2mmのものである。)を、ろう材を介在させ、窒化アルミニウム基板と銅板の端部を揃えて配置した。ろう材は、銀粉末90質量部、銅粉末10質量部、チタン粉末3質量部及びジルコニウム粉末2質量部、テルピネオール15質量部、ポリイソブチルメタアクリレートのトルエン溶液を固形分で1.5質量部からなるろう材ペーストであり、これを窒化アルミニウム基板の表面にロールコーターで全面塗布した。その際の塗布量(乾燥後)を7〜8mg/cm2 とした。これを、5×10−6torrの真空炉中、835℃×50分間保持した後、2℃/分の降温速度で冷却して銅板と窒化アルミニウム基板との接合体を製造した。
銅板端部近傍を周回する溝(深さ0.2mm、幅が0.2mm、長さ5mm)を0.3mm間隔毎に間欠的(不連続)に設けたこと以外は、参考例1と同様にして接合体を製造した。
表1、図1に示されるハーフブリッジ銅板を用いたこと以外は、参考例1と同様にして接合体を製造した。
1a 金属板に設けられた溝
1b 溝の底部
1c 溝の外縁部
1d 金属板の回路部
1e 金属板のハーフブリッジ部
2 セラミックス基板
Claims (1)
- 金属板端部近傍を連続又は不連続に周回する溝(1a)と該溝の内側で、該溝と同一面側であって、かつ、回路が形成される回路部間の全面に凹部を形成されたハーフブリッジ部(1e)を有する金属板であって、該溝の外縁部の幅が金属板厚みの1/3〜3/4倍であり、しかもハーフブリッジ部の深さと該溝の深さが、いずれも金属板厚みの1/3〜3/4倍である金属板(1)を、該溝を上面に、しかも該溝がセラミックス基板端部よりも内側に位置させて、セラミックス基板(2)に接合した後、該溝の底部(1b)と外縁部(1c)およびハーフブリッジ部(1e)に存在する金属をエッチング除去することを特徴とする、セラミックス基板と金属板からなる接合体の製造方法。
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