JP4394918B2 - 高精度超音波材料特性解析装置及びその温度制御方法 - Google Patents
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Description
恒温チャンバーと、
上記恒温チャンバー内の温度環境を一定に制御する空調機と、
上記恒温チャンバー内で被測定試料に超音波を入射させ、その反射波を検出する超音波デバイスと、
上記恒温チャンバー内に配置され、上記超音波デバイスを上記被測定試料に対し垂直方向に相対的に移動させるステッピングモータと、
上記ステッピングモータに励磁電流を与えると共に停止/駆動信号に従って停止/駆動するzモータドライバと、
上記停止/駆動信号に応じて上記zモータドライバが発生する励磁電流の大きさを制御する励磁電流制御部と、
上記zモータドライバと上記励磁電流制御部に上記停止/駆動信号を与えるステージコントローラ、
とを含み、上記励磁電流制御部は上記停止/駆動信号に応答し、上記zモータドライバに対し上記ステッピングモータの停止期間には駆動期間より大きい励磁電流を発生させるよう制御することを特徴とする高精度超音波材料特性解析装置。
恒温チャンバーと、
上記恒温チャンバー内の温度環境を一定に制御する空調機と、
上記恒温チャンバー内で被測定試料に超音波を入射させ、その反射波を検出する超音波デバイスと、
上記恒温チャンバー内に配置され、上記超音波デバイスを上記被測定試料に対し垂直方向に相対に移動させるステッピングモータと、
上記ステッピングモータに励磁電流を与えると共に、停止/駆動信号に従って停止/駆動するモータドライバと、
上記ステッピングモータに接触又は近接して設けられた発熱体と、
上記停止/駆動信号に従って上記発熱体に電流を供給して発熱させる電流制御部と、
上記zモータドライバと上記電流制御部に上記停止/駆動信号を与えるステージコントローラ、
とを含み、上記電流制御部は駆動期間における上記ステッピングモータと上記発熱体の発生する熱量の和が停止期間の和と等しくなるよう上記発熱体に電流を与えることを特徴とする高精度超音波材料特性解析装置。
zモータの駆動時と停止時の発熱量は、通常は変化するため、その発熱量の変動を抑えて恒温チャンバー内部の温度環境を安定化させるために、モータ停止時の励磁電流を駆動時よりも増大させることによって、モータ停止時に不足する熱量を補償し、モータの停止時と駆動時の発熱量を等しくする。
図4に示したようなzステージの往復運動を連続的に繰り返したときの、zモータ7の外被中央部の温度の時間変化を熱電対により測定する。モータ駆動中に充分にzモータ温度が安定したら、次に、zモータ7を停止しその時のzモータ温度の時間変化を測定する。このとき、zモータ7の励磁電流を定格電流(最大電流)、zモータ7が脱調しないで駆動可能な最小電流、およびその中間の電流値のそれぞれの電流値で行なう。
〔第1実施例〕
モータの発熱源には、大きく分けて次の2つが挙げられる。一つは銅損Wc、もう一つは鉄損でヒステリシス損Whとうず電流損Weに分けられ(単位は[W])、それぞれ以下の式で表される。
Wh = a ・ f ・ B2 (3)
We = b ・ f 2 ・ B2 (4)
ここで、Iは入力電流[A]、Rは巻線抵抗[Ω]、a, bは定数、fはパルス周波数[Hz]、Bは磁束密度[T]である。銅損は、巻線抵抗からの発熱で、モータ停止時、駆動時、どちらの場合も発生する。ヒステリシス損とうず電流損は、モータ駆動時のみ発生する。図6Aに見られたような駆動時のzモータ温度の上昇は、この鉄損に相当する発熱の影響と言える。
〔第2実施例〕
例えば、停止したzモータ7にIMS、発熱体20にIHSの電流を流した状態で吹出し口温度をTDで安定化した後、励磁電流IMDにてzモータ7を一定駆動率で駆動し、モータ駆動開始から発熱体電流をIHSからIHDまで変化させることによって、吹出し口温度がTDで一定値となる。実際にV(z)曲線測定を行なう場合は、ステージコントローラ19からzモータ7が駆動中か停止中かを判別する信号を電流制御部23に入力し、電流制御を行う。また、発熱体22の電流を制御する別の方法としては、高性能フィルタ12の吹出し口に設置した温度測定部から読み取られる温度が一定値TDとなるよう、発熱体22の電流値をPID制御することもできる。なお、IMD=IMSとすると簡便であるが、一般にはIMD≠IMSである。また、ここでは吹出口温度を一定にする場合を示したが、試料付近の空気温度を一定にするように制御しても同様である。
〔第3実施例〕
いずれにしても、従来技術にはなかったCurrent Up機能を用いることでzモータ7の停止・駆動に関係なくチャンバー内の温度環境は安定するため、複数の試料を測定する場合においても効率良く精密に測定でき、長期的な測定再現性の向上が達成できる。
ステップS1:zモータが脱調することなくzステージを駆動できる最小電流Iminとzモータに流すことができる最大電流Imaxの各電流値において、zモータ駆動・停止時のzモータ温度の時間変化を測定し、温度変化の時定数tを求め、zモータの特性を把握する。
ステップS2:最小駆動電流Iminと、最大駆動電流Imaxで、zモータ停止状態の安定時のzモータ温度を測定し、zモータ停止時のzモータ温度と励磁電流値の関係を得る。
ステップS3:励磁電流IminとImaxにおいてそれぞれzモータを一定駆動率で駆動した状態で充分に安定した時点のzモータ温度を測定し、zモータ駆動時の励磁電流値とzモータ温度の関係を得る。
ステップS4:ステップS2、S3のようにして得られた電流値とzモータ温度の関係において、Imin〜Imaxの間でzモータ停止時と駆動時で温度が一致する電流値(停止時:IS, 駆動時:ID)をそれぞれ求める。
ステップS5−1:zモータの停止時にIS、zモータの駆動時にIDの電流値となるよう制御しLSAW速度測定を行なう(第1実施例)。
ステップS5−2:zモータ停止・駆動の切換え時に、ステップS1で求めた時定数τを参考にして緩やかにzモータの電流収束値(停止時:IS、駆動時: ID) まで電流を変化させることによってzモータ温度を一定に保ち、LSAW速度測定を行なう(第3実施例)。
Claims (5)
- 高精度超音波材料特性解析装置であり、
恒温チャンバーと、
上記恒温チャンバー内の温度環境を一定に制御する空調機と、
上記恒温チャンバー内で被測定試料に超音波を入射させ、その反射波を検出する超音波デバイスと、
上記恒温チャンバー内に配置され、上記超音波デバイスを上記被測定試料に対し垂直方向に相対的に移動させるステッピングモータと、
上記ステッピングモータに励磁電流を与えると共に停止/駆動信号に従って停止/駆動するzモータドライバと、
上記停止/駆動信号に応じて上記zモータドライバが発生する励磁電流の大きさを制御する励磁電流制御部と、
上記zモータドライバと上記励磁電流制御部に上記停止/駆動信号を与えるステージコントローラ、
とを含み、上記励磁電流制御部は上記停止/駆動信号に応答し、上記zモータドライバに対し上記ステッピングモータの停止期間には駆動期間より大きい励磁電流を発生させるよう制御することを特徴とする高精度超音波材料特性解析装置。 - 高精度超音波材料特性解析装置であり、
恒温チャンバーと、
上記恒温チャンバー内の温度環境を一定に制御する空調機と、
上記恒温チャンバー内で被測定試料に超音波を入射させ、その反射波を検出する超音波デバイスと、
上記恒温チャンバー内に配置され、上記超音波デバイスを上記被測定試料に対し垂直方向に相対的に移動させるステッピングモータと、
上記ステッピングモータに励磁電流を与えると共に、停止/駆動信号に従って停止/駆動するzモータドライバと、
上記ステッピングモータに接触又は近接して設けられた発熱体と、
上記停止/駆動信号に従って上記発熱体に電流を供給して発熱させる電流制御部と、
上記zモータドライバと上記電流制御部に上記停止/駆動信号を与えるステージコントローラ、
とを含み、上記電流制御部は駆動期間における上記ステッピングモータと上記発熱体の発生する熱量の和が停止期間の和と等しくなるよう上記発熱体に電流を与えることを特徴とする高精度超音波材料特性解析装置。 - 空調機により内部温度環境が一定に制御された恒温チャンバー内で超音波デバイスにより被測定試料に超音波を入射させ、その反射波を検出し、上記超音波デバイスをステッピングモータにより上記被測定試料に対し垂直方向に相対的に移動して上記超音波デバイスにより検出した信号に基いて上記被測定試料の超音波特性を測定する高精度超音波材料特性解析装置の温度制御方法であり、上記ステッピングモータの駆動時に発生する熱量を停止時に発生する熱量が同じになるよう上記ステッピングモータへの駆動時の励磁電流より停止時の励磁電流を大きくして上記ステッピングモータを制御することを特徴とする温度制御方法。
- 空調機により内部温度環境が一定に制御された恒温チャンバー内で超音波デバイスにより被測定試料に超音波を入射させ、その反射波を検出し、ステッピングモータにより上記超音波デバイスを上記被測定試料に対し垂直方向に相対的に移動して上記超音波デバイスにより検出した信号に基いて上記被測定試料の超音波特性を測定する高精度超音波材料特性解析装置の温度制御方法であり、上記ステッピングモータの駆動時に発生する熱量を停止時に発生する熱量が同じになるよう上記ステッピングモータに接触又は近接して設けられた発熱体に対し電流を流して発熱させることを特徴とする温度制御方法。
- 請求項3または4記載の温度制御方法において、上記ステッピングモータの停止、駆動の切換え時に上記励磁電流に予め決めた遅延と時定数の過渡特性を与えることを特徴とする温度制御方法。
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