JP4393253B2 - Liquid crystal display device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス基板上にLSIを実装するチップ・オン・グラス(COG)構造の液晶表示装置に関し、特に、LSI制御用の信号配線間のマイグレーションに起因する誤動作を防止することのできる液晶表示装置とその製造方法に関する。   The present invention relates to a liquid crystal display device having a chip-on-glass (COG) structure in which an LSI is mounted on a glass substrate, and in particular, a liquid crystal display capable of preventing malfunction caused by migration between signal wires for LSI control. The present invention relates to an apparatus and a manufacturing method thereof.

従来から、液晶表示パネルを駆動するチップあるいはLSIを、ガラス基板上に実装するチップ・オン・グラス(COG)型液晶表示パネルが知られている(たとえば特許文献1参照)。COG型の液晶表示パネルでは、ガラス基板上に直接LSIを搭載するので、構造を簡略化できるとともに、コストダウンを図ることができる。   Conventionally, a chip-on-glass (COG) type liquid crystal display panel in which a chip or LSI for driving a liquid crystal display panel is mounted on a glass substrate is known (see, for example, Patent Document 1). In the COG type liquid crystal display panel, since the LSI is directly mounted on the glass substrate, the structure can be simplified and the cost can be reduced.

COG型液晶表示パネルでは、一般に、液晶表示領域の端部に沿って、制御配線(ゲート)駆動側と、信号配線(ドレイン)駆動側に複数のLSIを配置する。そして、これらのLSIを制御するための信号配線を、ガラス基板上に設けている。LSIに入力信号を供給する信号配線は、LSIとLSIの間、あるいはLSIとプリント配線板の間に、複数本が隣接して設けられる。   In the COG type liquid crystal display panel, generally, a plurality of LSIs are arranged on the control wiring (gate) driving side and the signal wiring (drain) driving side along the edge of the liquid crystal display region. And the signal wiring for controlling these LSI is provided on the glass substrate. A plurality of signal wirings for supplying input signals to the LSI are provided adjacently between the LSIs or between the LSIs and the printed wiring board.

信号配線の材料としては、低抵抗、低コストのアルミニウム(Al)が一般に用いられ、ヒロックやホイスカーの発生を防止したアルミニウム配線構造も提案されている(たとえば特許文献2)。   As a material for the signal wiring, aluminum (Al) with low resistance and low cost is generally used, and an aluminum wiring structure that prevents generation of hillocks and whiskers has been proposed (for example, Patent Document 2).

図1に、COG型液晶表示パネル上に設けられた従来の信号配線パターンを示す。図示しない液晶表示領域の端部に沿って、LSI101a、LSI101bが配置され、これらを接続する信号配線105a、105b、105cが所定の間隔で形成されている。   FIG. 1 shows a conventional signal wiring pattern provided on a COG type liquid crystal display panel. LSI 101a and LSI 101b are arranged along an end portion of a liquid crystal display region (not shown), and signal wirings 105a, 105b and 105c for connecting them are formed at a predetermined interval.

このとき、隣接する2本の信号配線間に電位差があると、マイグレーションにより、2本の配線間が接触するという不都合がおきる。図1では、信号配線105aと105bの間に、マイグレーション106が生じている。   At this time, if there is a potential difference between two adjacent signal wirings, there is a disadvantage that the two wirings come into contact with each other due to migration. In FIG. 1, a migration 106 is generated between the signal wirings 105a and 105b.

マイグレーション現象とは、所定の条件下で金属配線に電流を流し続けたときに、金属配線を構成する金属が絶縁物上を移動(マイグレーション)し、配線間の絶縁抵抗が著しく低下して故障に到る現象である。故障の典型例として短絡がある。
特開平7−5487号公報 特開平5−31528号公報
The migration phenomenon means that when a current continues to flow through a metal wiring under specified conditions, the metal that forms the metal wiring moves on the insulator (migration), and the insulation resistance between the wirings significantly decreases, resulting in a failure. It is a phenomenon that arrives. A typical example of a failure is a short circuit.
Japanese Patent Laid-Open No. 7-5487 JP-A-5-31528

マイグレーションが起きると、信号配線105aと105bが短絡し、それぞれの信号配線の電位が変化してしまう。図1の例では、マイグレーション106における電位は、信号配線105aと信号配線105bの中間の電位となる。このため、正規の信号がLSIに入力されなくなり、誤動作の原因となる。   When migration occurs, the signal wirings 105a and 105b are short-circuited, and the potential of each signal wiring changes. In the example of FIG. 1, the potential in the migration 106 is an intermediate potential between the signal wiring 105a and the signal wiring 105b. For this reason, a legitimate signal is not input to the LSI, causing a malfunction.

配線間のマイグレーションを防止するため、従来は、隣接する2本の配線間の間隔を広くとることで、配線間の電界を小さくしていた。しかし、この方法では、配線部の面積が広くなり、液晶パネルを構成するガラス基板の外形サイズが大きくなる。結果として、液晶表示モジュール全体のサイズが増大する。   In order to prevent migration between wirings, conventionally, the electric field between wirings has been reduced by widening the distance between two adjacent wirings. However, in this method, the area of the wiring portion is increased and the outer size of the glass substrate constituting the liquid crystal panel is increased. As a result, the size of the entire liquid crystal display module increases.

液晶表示パネルは、ノート型パソコンや携帯電話にも搭載されるため、できるだけ小型化することが望まれている。その一方で、2本の信号配線間でのマイグレーションを回避して、誤動作を防止する必要がある。   Since the liquid crystal display panel is mounted on a notebook personal computer or a mobile phone, it is desired to make it as small as possible. On the other hand, it is necessary to avoid a malfunction between the two signal wirings by avoiding migration.

そこで本発明は、液晶表示装置を大型化することなく、金属配線間のマイグレーションが発生しても、機能上の不具合の発生を防止することのできる液晶表示装置を提供する。   Therefore, the present invention provides a liquid crystal display device that can prevent functional failures even if migration between metal wirings occurs without increasing the size of the liquid crystal display device.

また、そのような液晶表示装置の製造方法を提供する。   In addition, a method for manufacturing such a liquid crystal display device is provided.

上記のような液晶表示装置を実現するために、ガラス基板上のLSIに入力される隣接する信号配線間に、LSIの入力に接続しない導体パターンを配置する。隣接する信号配線間に導体パターンを挿入することによって、マイグレーションは直近の導体パターンに向かって発生する。隣接する一方の信号配線と導体パターンが短絡しても、他方の信号配線の信号電位の影響を受けない。また、マイグレーションが他方の信号配線の信号電位に影響を与えることがない。したがって、各信号配線で正規の制御信号がLSIに入力される。   In order to realize the liquid crystal display device as described above, a conductor pattern that is not connected to the input of the LSI is disposed between adjacent signal wirings input to the LSI on the glass substrate. By inserting a conductor pattern between adjacent signal wirings, migration occurs toward the nearest conductor pattern. Even if one adjacent signal line and the conductor pattern are short-circuited, the signal potential of the other signal line is not affected. Further, migration does not affect the signal potential of the other signal wiring. Therefore, a regular control signal is input to the LSI in each signal wiring.

本発明のひとつの側面では、液晶表示装置は、
(a)ガラス基板と、
(b)前記ガラス基板上の所定の領域に形成される液晶表示部と、
(c)前記ガラス基板上に搭載されて前記液晶表示部を駆動するLSIと、
(d)前記LSIの入力に接続される2以上の信号配線と、
(e)隣接する前記信号配線の間に、前記信号配線に沿って配置され、前記LSIの入力に接続しない導体パターンと
を備える。
In one aspect of the present invention, a liquid crystal display device
(A) a glass substrate;
(B) a liquid crystal display unit formed in a predetermined region on the glass substrate;
(C) an LSI mounted on the glass substrate and driving the liquid crystal display unit;
(D) two or more signal wirings connected to the input of the LSI;
(E) A conductor pattern that is disposed along the signal wiring between the adjacent signal wirings and is not connected to the input of the LSI.

導体パターンとしては、たとえば、両端がどこにも接続しない孤立パターン、隣接する信号配線間に延びる2以上の互いに並行な導体パターン、隣接する信号配線間で信号配線に沿って配置される複数の島状のパターンなど、LSIへの入力と分断される限り、任意の形状を採用することができる。   As the conductor pattern, for example, an isolated pattern in which both ends are connected to nowhere, two or more parallel conductor patterns extending between adjacent signal wirings, and a plurality of island shapes arranged along the signal wiring between adjacent signal wirings As long as the pattern is divided from the input to the LSI, any shape can be adopted.

本発明の別の側面では、液晶表示装置の製造方法を提供する。液晶表示装置の製造方法は、
(a)ガラス基板上に、マトリクス状の薄膜トランジスタアレイを形成するとともに、前記ガラス基板上に、所定の位置まで延びる信号配線と、当該信号配線の隣接する2本の間に、前記信号配線に沿って前記所定の位置に到達しない導体パターンとを形成する工程と、
(b)前記薄膜トランジスタアレイ上に液晶表示部を形成する工程と、
(c)前記所定の位置にLSIを搭載する工程と
を含む。
In another aspect of the present invention, a method for manufacturing a liquid crystal display device is provided. The manufacturing method of the liquid crystal display device is as follows:
(A) A matrix-shaped thin film transistor array is formed on a glass substrate, and a signal wiring extending to a predetermined position on the glass substrate and between the two adjacent signal wirings along the signal wiring. forming a conductor pattern which does not reach the predetermined position Te,
(B) forming a liquid crystal display on the thin film transistor array;
(C) mounting an LSI at the predetermined position.

長時間の使用につれてLSI制御用の金属配線間にマイグレーションが発生したとしても、LSIの動作を適正に維持し、液晶表示パネルの機能上の不都合を回避することができる。   Even if migration occurs between the metal wires for LSI control as the device is used for a long time, the operation of the LSI can be properly maintained, and the inconvenience in function of the liquid crystal display panel can be avoided.

図2は、本発明が適用されるCOG型液晶表示パネルの概略平面図である。COG型液晶表示パネル10は、ガラス基板上に薄型トランジスタ(TFT)アレイ(不図示)を配置したTFT基板12と、液晶表示パネル10の液晶表示(TFT−LCD)部15において液晶層(不図示)を挟んでTFT基板12と対向するカラーフィルタ(CF)基板13と、液晶表示部15の端部に沿って配置される複数のLSI11とを含む。   FIG. 2 is a schematic plan view of a COG type liquid crystal display panel to which the present invention is applied. The COG type liquid crystal display panel 10 includes a TFT substrate 12 in which a thin transistor (TFT) array (not shown) is disposed on a glass substrate, and a liquid crystal layer (not shown) in a liquid crystal display (TFT-LCD) portion 15 of the liquid crystal display panel 10. ) With a color filter (CF) substrate 13 facing the TFT substrate 12 and a plurality of LSIs 11 arranged along the end of the liquid crystal display unit 15.

LSI11は、信号配線16により相互接続、あるいはプリント配線板へつながる接続端子に接続される。図2では、便宜上信号配線16を単一のラインで図示してあるが、互いに隣接する複数本の金属配線で構成されている場合もある。また、図示はしていないが、各LSI11から、液晶表示部15の液晶表示素子を構成するTFTを駆動するために、TFTのドレインに接続するデータ線、あるいはTFTのゲートに接続するゲート線が延びているものとする。   The LSI 11 is connected to a connection terminal connected to a printed wiring board by interconnection with a signal wiring 16. In FIG. 2, the signal wiring 16 is illustrated as a single line for convenience, but may be composed of a plurality of metal wirings adjacent to each other. Although not shown, each LSI 11 has a data line connected to the drain of the TFT or a gate line connected to the gate of the TFT in order to drive the TFT constituting the liquid crystal display element of the liquid crystal display unit 15. It shall be extended.

図3は、本発明の一実施形態に係る信号配線パターンの一例を示す図である。液晶表示素子の駆動回路であるLSI11a、11bの間に、これらのLSIの入力に接続される信号配線21、22、23が配置されている。また、外部回路(不図示)からLSI11bの入力に接続される信号配線31、32、33が設けられている。   FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a signal wiring pattern according to an embodiment of the present invention. Between the LSIs 11a and 11b, which are drive circuits for the liquid crystal display elements, signal wirings 21, 22, and 23 connected to the inputs of these LSIs are arranged. In addition, signal wirings 31, 32, and 33 connected to the input of the LSI 11b from an external circuit (not shown) are provided.

信号配線21と22の間に、導体パターン26が配置され、信号配線22と23の間に、導体パターン27が配置される。導体パターン26と27は、両端がどこにも接続されない独立したパターンである。導体パターン26、27には電圧が供給されないため、フローティング状態となっている。   A conductor pattern 26 is disposed between the signal lines 21 and 22, and a conductor pattern 27 is disposed between the signal lines 22 and 23. The conductor patterns 26 and 27 are independent patterns whose both ends are not connected anywhere. Since no voltage is supplied to the conductor patterns 26 and 27, the conductor patterns 26 and 27 are in a floating state.

一方、信号配線31と32の間に、導体パターン36が配置され、信号配線32と33の間に、導体パターン37が配置されている。導体パターン36と37の一端側は、どこにも接続されずに途切れている。他端側は、たとえばプリント配線板等に接続されていてもよいし、フローティングになっていてもよい。   On the other hand, a conductor pattern 36 is disposed between the signal wirings 31 and 32, and a conductor pattern 37 is disposed between the signal wirings 32 and 33. One end sides of the conductor patterns 36 and 37 are disconnected without being connected anywhere. The other end side may be connected to a printed wiring board or the like, for example, or may be floating.

信号配線21〜23および信号配線31〜33は、液晶表示パネルにおける従来どおりの配線幅および配線間隔で形成されていればよく、本発明を適用するために特に設計変更する必要はない。   The signal wirings 21 to 23 and the signal wirings 31 to 33 need only be formed with the conventional wiring width and wiring interval in the liquid crystal display panel, and it is not necessary to change the design in particular in order to apply the present invention.

一例として、線幅はたとえば100μmであり、互いに100μmの間隔で配置される。導体パターン26、27、36、37は、たとえばパターン幅20μmで、隣接する2本の信号配線間に配置される。   As an example, the line width is, for example, 100 μm, and they are arranged at an interval of 100 μm. The conductor patterns 26, 27, 36, and 37 have a pattern width of 20 μm, for example, and are arranged between two adjacent signal wirings.

隣接する信号配線間にこのような導体パターンを挿入することによって、従来の配線設計を変更することなく、また、液晶表示パネルを大型化することなく、マイグレーションに起因するLSIの誤動作を防止することができる。これを、図4を参照して説明する。   By inserting such a conductor pattern between adjacent signal wirings, it is possible to prevent LSI malfunctions due to migration without changing the conventional wiring design and without increasing the size of the liquid crystal display panel. Can do. This will be described with reference to FIG.

図4は、図3の信号配線パターンにおけるマイグレーションを説明するための図である。液晶表示パネル10の使用を続けるにうちに、信号配線を構成する金属原子の移動により、信号配線21と導体パターン26とが接触して、マイグレーション28が発生する。信号配線21に印加された電圧は、導体パターン26に接続するが、導体パターン26はLSI11a、11bからは分断されて、フローティング状態にある。したがって、導体パターン26からLSI11aあるいは11bにエラー信号が入力されることはない。   FIG. 4 is a diagram for explaining migration in the signal wiring pattern of FIG. As the liquid crystal display panel 10 continues to be used, the signal wiring 21 and the conductor pattern 26 come into contact with each other due to the movement of the metal atoms constituting the signal wiring, and migration 28 occurs. The voltage applied to the signal wiring 21 is connected to the conductor pattern 26, but the conductor pattern 26 is disconnected from the LSIs 11a and 11b and is in a floating state. Therefore, no error signal is input from the conductor pattern 26 to the LSI 11a or 11b.

また、電気的には、信号配線21にも、信号配線22にも他の電圧が加わらないので、正規の信号のみがLSI11a、11bの対応端子に入力される。結果として、マイグレーションが発生したとしても、LSI11a、11bの動作に影響を与えることなく、液晶表示パネル10の信頼性を維持することができる。   Further, since no other voltage is applied to the signal wiring 21 and the signal wiring 22 electrically, only regular signals are input to the corresponding terminals of the LSIs 11a and 11b. As a result, even if migration occurs, the reliability of the liquid crystal display panel 10 can be maintained without affecting the operation of the LSIs 11a and 11b.

図5(a)〜5(c)は、図3のA−A’断面図である。それぞれ、信号配線21、22と、これらの間に挿入される導体パターン26の積層方向の配置例を示す。   5A to 5C are cross-sectional views taken along the line A-A ′ of FIG. 3. The arrangement examples of the signal wirings 21 and 22 and the conductor pattern 26 inserted between them in the stacking direction are shown.

図5(a)において、信号配線21、22と導体パターン26のいずれも、ガラス基板41上に形成される。信号配線21、22と導体パターン26は、液晶表示(TFT−LCD)部15で液晶表示素子を構成するTFTのゲート電極(不図示)や、これに接続される制御信号線の形成と同じ工程で同時に形成される。信号配線21,22と導体パターンとして、アルミニウム(Al)またはAl−Nd合金を、チタン(Ti)またはモリブデン(Mo)と積層にした構造、たとえばAl/Ti積層やAlNd/Mo積層を採用することができる。   In FIG. 5A, all of the signal wirings 21 and 22 and the conductor pattern 26 are formed on the glass substrate 41. The signal wirings 21 and 22 and the conductor pattern 26 are the same steps as the formation of the gate electrode (not shown) of the TFT constituting the liquid crystal display element in the liquid crystal display (TFT-LCD) portion 15 and the control signal line connected thereto. At the same time. A structure in which aluminum (Al) or an Al—Nd alloy is laminated with titanium (Ti) or molybdenum (Mo), for example, an Al / Ti laminated layer or an AlNd / Mo laminated layer is adopted as the signal wirings 21 and 22 and the conductor pattern. Can do.

信号配線21、22および導体パターン26上は、絶縁膜42、42で覆われる。   The signal wirings 21 and 22 and the conductor pattern 26 are covered with insulating films 42 and 42.

一方、図5(b)に示す例では、導体パターン26は、信号配線21、22と異なる層に形成される。信号配線21、22は直接ガラス基板41上に位置する。導体パターン26は、信号配線21、22の間において、絶縁膜42を介して信号配線21、22の上層に位置する。この場合、信号配線21と導体パターン26の間の距離が、信号配線21、22の配線間距離よりも短くなるように導体パターンのパターン幅を設定する。同様に、信号配線22と導体パターン26の間の距離も、信号配線21、22の配線間距離よりも短くなるように設定する。   On the other hand, in the example shown in FIG. 5B, the conductor pattern 26 is formed in a layer different from the signal wirings 21 and 22. The signal wirings 21 and 22 are directly located on the glass substrate 41. The conductor pattern 26 is located above the signal wirings 21 and 22 via the insulating film 42 between the signal wirings 21 and 22. In this case, the pattern width of the conductor pattern is set so that the distance between the signal wiring 21 and the conductor pattern 26 is shorter than the distance between the signal wirings 21 and 22. Similarly, the distance between the signal wiring 22 and the conductor pattern 26 is set to be shorter than the distance between the signal wirings 21 and 22.

図5(b)の構成の場合、信号配線21、22は、液晶表示部15のTFTのゲート電極(不図示)や制御信号線と同じ工程で形成される。信号配線21、22を覆う絶縁膜42は、液晶表示部15でゲート電極上に形成されるゲート絶縁膜と同じ工程で形成される。導体パターン26は、液晶表示部15のTFTのソース電極およびドレイン電極(不図示)や、TFTに走査信号を供給する信号線と同じ工程で形成される。   5B, the signal lines 21 and 22 are formed in the same process as the gate electrode (not shown) of the TFT of the liquid crystal display unit 15 and the control signal line. The insulating film 42 covering the signal wirings 21 and 22 is formed in the same process as the gate insulating film formed on the gate electrode in the liquid crystal display unit 15. The conductor pattern 26 is formed in the same process as a TFT source electrode and drain electrode (not shown) of the liquid crystal display unit 15 and a signal line for supplying a scanning signal to the TFT.

このような構成により、信号配線21を構成する金属原子がマイグレーション効果により、絶縁膜42中を移動して直近の導体パターン26と接触しても、導体パターン26はフローティング状態にあるので、LSIにエラー信号が入力されることはない。また、信号配線21は、他の信号配線22の電位の影響を受けないので、信号配線21から対応するLSIの入力端子には正規の信号が供給される。したがって、誤動作を防止することができる。   With such a configuration, even if the metal atoms constituting the signal wiring 21 move through the insulating film 42 due to the migration effect and come into contact with the nearest conductor pattern 26, the conductor pattern 26 is in a floating state. An error signal is never input. Further, since the signal wiring 21 is not affected by the potential of the other signal wirings 22, a normal signal is supplied from the signal wiring 21 to the input terminal of the corresponding LSI. Therefore, malfunction can be prevented.

図5(c)に示す例では、導体パターン26が直接ガラス基板41上に形成され、信号配線21、22が、導体パターン26を挟んで、絶縁膜42を介した上層に形成される。この配置例でも、信号配線21と導体パターン26の距離、あるいは信号配線22と導体パターン26の距離が、2本の信号配線21、22間の距離よりも短くなるように、導体パターンのパターン幅を設定する。   In the example shown in FIG. 5C, the conductor pattern 26 is formed directly on the glass substrate 41, and the signal wirings 21 and 22 are formed in an upper layer via the insulating film 42 with the conductor pattern 26 interposed therebetween. Also in this arrangement example, the pattern width of the conductor pattern is such that the distance between the signal wiring 21 and the conductor pattern 26 or the distance between the signal wiring 22 and the conductor pattern 26 is shorter than the distance between the two signal wirings 21 and 22. Set.

導体パターン26は、液晶表示部15のTFTのゲート電極や制御信号線と同じ工程で形成される。導体パターン26を覆う絶縁膜42は、液晶表示部15でゲート電極上に形成されるゲート絶縁膜と同じ工程で形成される。上層の信号配線21、22は、液晶表示部15のTFTのソース電極およびドレイン電極や、TFTに走査信号を供給する信号線と同じ工程で形成される。   The conductor pattern 26 is formed in the same process as the TFT gate electrode and the control signal line of the liquid crystal display unit 15. The insulating film 42 covering the conductor pattern 26 is formed in the same process as the gate insulating film formed on the gate electrode in the liquid crystal display unit 15. The upper signal wirings 21 and 22 are formed in the same process as the source and drain electrodes of the TFT of the liquid crystal display unit 15 and the signal line for supplying a scanning signal to the TFT.

このような構成により、図5(a)、図5(b)に示した構成と同様の効果を達成することができる。   With such a configuration, the same effect as the configuration shown in FIGS. 5A and 5B can be achieved.

図6は、図3に示す導体パターンの変形例を示す。図6の変形例では、隣接する2本の信号配線間に、LSIの入力に接続しない導体パターンを、複数本配置する。たとえば、信号配線21と22の間に、それぞれ孤立した導体パターン56a、56bを配置し、信号配線22と23の間に、それぞれ独立した導体パターン57a、57bを配置する。同様に、信号配線31、32の間、および信号配線32、33の間で、LSI11bに接続しない導体パターン対66a、66bと、導体パターン対67a、67bが、互いに並行に延びている。   FIG. 6 shows a modification of the conductor pattern shown in FIG. In the modification of FIG. 6, a plurality of conductor patterns that are not connected to the LSI input are arranged between two adjacent signal wires. For example, isolated conductor patterns 56 a and 56 b are arranged between the signal wirings 21 and 22, and independent conductor patterns 57 a and 57 b are arranged between the signal wirings 22 and 23. Similarly, between the signal wirings 31 and 32 and between the signal wirings 32 and 33, conductor pattern pairs 66a and 66b that are not connected to the LSI 11b and conductor pattern pairs 67a and 67b extend in parallel with each other.

もっとも、すべての隣接する信号配線間に配置される導体パターンを複数本とする必要はなく、図4のように1本の導体パターンを挿入する例と組み合わせてもよい。   However, it is not necessary to use a plurality of conductor patterns arranged between all adjacent signal wirings, and it may be combined with an example in which one conductor pattern is inserted as shown in FIG.

隣接する信号配線間に挿入される複数の導体パターン56a、56b、57a、57b、66a、66b、67a、67bは、同じ層に形成されてもよいし、異なる層に形成されてもよい。いずれの場合も、従来の信号配線の線幅や間隔等の配置構成を変更することなく、液晶表示部15の薄膜トランジスタ(TFT)と同じ工程で形成される。   The plurality of conductor patterns 56a, 56b, 57a, 57b, 66a, 66b, 67a, 67b inserted between adjacent signal wirings may be formed in the same layer or in different layers. In any case, it is formed in the same process as the thin film transistor (TFT) of the liquid crystal display unit 15 without changing the arrangement configuration such as the line width and interval of the conventional signal wiring.

図6の導体パターンの構成例では、仮に、信号配線21と22の双方から、間にある導体パターンに向けてマイグレーション58a、58bが発生したとしても、これらのマイグレーションは、互いにフローティング状態で並行に延びる導体パターン56a、56bで止まる。したがって、LSI11に入力される信号配線21、22の接触をより効果的に防止することができる。結果として、信号配線を伝播する信号の電位変化を防止し、液晶表示パネルの動作の信頼性を向上できる。   In the configuration example of the conductor pattern of FIG. 6, even if migration 58a, 58b occurs from both the signal wirings 21 and 22 toward the conductor pattern between them, these migrations are performed in parallel in a floating state. It stops at the extending conductor patterns 56a and 56b. Therefore, contact of the signal wirings 21 and 22 input to the LSI 11 can be more effectively prevented. As a result, it is possible to prevent a change in the potential of the signal propagating through the signal wiring and improve the operation reliability of the liquid crystal display panel.

同様のことが、信号配線22と23の間、信号配線31と32の間、信号配線32と33の間においても当てはまる。   The same applies to the signal lines 22 and 23, the signal lines 31 and 32, and the signal lines 32 and 33.

図7は、図3に示す導体パターンのさらに別の変形例を示す。図7の変形例では、隣接する2本の信号配線間に、複数の島状の導体パターンが、信号配線の方向に沿って配置される。信号配線21と22の間には、島状の導体パターン76が配置され、信号配線22と22の間には、島状の導体パターン77が延びる。また、信号配線31と32の間には、島状の導体パターン86が配置され、信号配線32と33の間には、島状の信号配線87が配置される。   FIG. 7 shows still another modification of the conductor pattern shown in FIG. In the modification of FIG. 7, a plurality of island-shaped conductor patterns are arranged along the direction of the signal wiring between two adjacent signal wirings. An island-shaped conductor pattern 76 is disposed between the signal wirings 21 and 22, and an island-shaped conductor pattern 77 extends between the signal wirings 22 and 22. Further, an island-shaped conductor pattern 86 is disposed between the signal wirings 31 and 32, and an island-shaped signal wiring 87 is disposed between the signal wirings 32 and 33.

もっとも、すべての信号配線間の導体パターンを島状パターンで構成する必要はなく、図3に示す1本の導体パターン、あるいは図6に示す複数本の導体パターンと組み合わせてもよい。   However, it is not necessary to configure the conductor pattern between all the signal wirings as an island pattern, and it may be combined with one conductor pattern shown in FIG. 3 or a plurality of conductor patterns shown in FIG.

図7の構成によれば、LSI11aあるいは11bに入力される任意の信号配線からマイグレーションが発生しても、直近の島状の導体パターンとの局所的な接触で留まり、隣接する信号配線への影響を防止できる。また隣接する信号配線21、22の双方から、それぞれ直近の島状の導体パターン76に向かってマイグレーション78a、78bが発生したとしても、各導体パターン76はフローティング状態で孤立するので、隣接する信号配線の信号電位に影響しない。   According to the configuration of FIG. 7, even if migration occurs from an arbitrary signal wiring input to the LSI 11a or 11b, it remains in local contact with the nearest island-shaped conductor pattern and affects the adjacent signal wiring. Can be prevented. Even if migration 78a, 78b occurs from both adjacent signal wirings 21, 22 toward the nearest island-shaped conductor pattern 76, each conductor pattern 76 is isolated in a floating state. Does not affect the signal potential.

以上述べたように、隣接する信号配線間に、LSIの入力に接続しない導体パターンを挿入することによって、マイグレーションが発生したとしても誤動作等の機能不良を防止することができる。   As described above, by inserting a conductor pattern that is not connected to an LSI input between adjacent signal wirings, malfunctions such as malfunctions can be prevented even if migration occurs.

最後に、以上の説明に関して、以下の付記を開示する。
(付記1) ガラス基板と、
前記ガラス基板上の所定の領域に形成される液晶表示部と、
前記ガラス基板上に搭載されて、前記液晶表示部を駆動するLSIと、
前記LSIの入力に接続される2以上の信号配線と、
隣接する前記信号配線の間に配置され、前記LSIの入力に接続しない導体パターンと
を備える液晶表示装置。
(付記2) 前記導体パターンは、両端がどこにも接続しない孤立したパターンであることを特徴とする付記1に記載の液晶表示装置。
(付記3) 前記導体パターンは、前記隣接する信号配線間に延びる2以上の互いに並行な導体パターンで構成されることを特徴とする付記1または2に記載の液晶表示装置。
(付記4) 前記導体パターンは、前記隣接する信号配線間で、前記信号配線に沿って配置される複数の島状のパターンで構成されることを特徴とする付記1または2に記載の液晶表示装置。
(付記5) 前記導体パターンは、前記信号配線と同じ層に位置することを特徴とする付記1〜4のいずれかに記載の液晶表示装置。
(付記6) 前記導体パターンは、前記信号配線と異なる層に位置することを特徴とする付記1〜4のいずれかに記載の液晶表示装置。
(付記7) 前記導体パターンと隣接する信号配線との間の距離は、前記隣接する信号配線間の距離よりも小さく設定されることを特徴とする付記6に記載の液晶表示装置。
(付記8) ガラス基板上に、マトリクス状の薄膜トランジスタアレイを形成するとともに、前記ガラス基板上に、所定の位置まで延びる信号配線と、当該信号配線の隣接する2本の間に位置して前記所定の位置に到達しない導体パターンとを形成する工程と、
前記薄膜トランジスタアレイ上に液晶表示部を形成する工程と、
前記所定の位置にLSIを搭載する工程と
を含む液晶表示装置の製造方法。
(付記9) 前記信号配線と、導体パターンの少なくとも一方を、前記薄膜トランジスタのゲート電極の形成と同じ工程で形成することを特徴とする付記8に記載の液晶表示装置の製造方法。
(付記10) 前記導体パターンを、その両端がどこにも接続しない孤立パターンとして形成することを特徴とする付記8または9に記載の液晶表示装置の製造方法。
Finally, the following notes are disclosed regarding the above description.
(Appendix 1) Glass substrate,
A liquid crystal display unit formed in a predetermined region on the glass substrate;
An LSI mounted on the glass substrate and driving the liquid crystal display unit;
Two or more signal wirings connected to the input of the LSI;
A liquid crystal display device comprising: a conductor pattern which is disposed between adjacent signal wirings and which is not connected to an input of the LSI.
(Supplementary note 2) The liquid crystal display device according to supplementary note 1, wherein the conductor pattern is an isolated pattern in which both ends are connected to nowhere.
(Supplementary note 3) The liquid crystal display device according to supplementary note 1 or 2, wherein the conductor pattern is composed of two or more parallel conductor patterns extending between the adjacent signal wirings.
(Supplementary Note 4) The liquid crystal display according to Supplementary Note 1 or 2, wherein the conductor pattern includes a plurality of island-like patterns arranged along the signal wiring between the adjacent signal wirings. apparatus.
(Additional remark 5) The said conductor pattern is located in the same layer as the said signal wiring, The liquid crystal display device in any one of Additional remark 1-4 characterized by the above-mentioned.
(Additional remark 6) The said conductor pattern is located in the layer different from the said signal wiring, The liquid crystal display device in any one of Additional remark 1-4 characterized by the above-mentioned.
(Supplementary note 7) The liquid crystal display device according to supplementary note 6, wherein a distance between the conductor pattern and an adjacent signal line is set smaller than a distance between the adjacent signal lines.
(Supplementary Note 8) A thin film transistor array in a matrix shape is formed on a glass substrate, and the signal wiring extending to a predetermined position on the glass substrate and the two adjacent signal wirings are positioned on the predetermined substrate. Forming a conductor pattern that does not reach the position of
Forming a liquid crystal display on the thin film transistor array;
A method of manufacturing a liquid crystal display device including a step of mounting an LSI at the predetermined position.
(Supplementary note 9) The method for manufacturing a liquid crystal display device according to supplementary note 8, wherein at least one of the signal wiring and the conductor pattern is formed in the same step as the formation of the gate electrode of the thin film transistor.
(Additional remark 10) The manufacturing method of the liquid crystal display device of Additional remark 8 or 9 characterized by forming the said conductor pattern as an isolated pattern in which the both ends are not connected anywhere.

COG型液晶表示パネルの従来の信号配線パターンを示す図である。It is a figure which shows the conventional signal wiring pattern of a COG type | mold liquid crystal display panel. 本発明が適用されるCOG型液晶表示パネルの概略平面図である。1 is a schematic plan view of a COG type liquid crystal display panel to which the present invention is applied. 本発明の一実施形態に係るCOG型液晶表示パネル上の信号配線パターンを示す図である。It is a figure which shows the signal wiring pattern on the COG type liquid crystal display panel which concerns on one Embodiment of this invention. 図3の信号配線パターンで発生し得るエレクトロマイグレーションを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the electromigration which may generate | occur | produce with the signal wiring pattern of FIG. 図3のA−A’断面図であり、信号配線と、配線間の導体パターンとの配置例を示す図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG. 3, illustrating an arrangement example of signal wirings and conductor patterns between the wirings. 本発明の一実施形態に係るCOG型液晶表示パネル上の信号配線パターンの変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the signal wiring pattern on the COG type | mold liquid crystal display panel which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るCOG型液晶表示パネル上の信号配線パターンの別の変形例を示す図である。It is a figure which shows another modification of the signal wiring pattern on the COG type liquid crystal display panel which concerns on one Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 液晶表示パネル(液晶表示装置)
11、11a、11b LSI
12 TFT基板
13 CF基板
15 TFT−LCD(液晶表示部)
16 信号配線
21,22,23,31,32,33 LSIの入力に接続する信号配線
26,27、36,37,56a、56b、57a、57b、66a、66b、67a、67b、76、77、86、87 配線間の導体パターン
28、58a、58b、78a、78b マイグレーション
41 ガラス基板
10 Liquid crystal display panel (liquid crystal display device)
11, 11a, 11b LSI
12 TFT substrate 13 CF substrate 15 TFT-LCD (liquid crystal display)
16 Signal wiring 21, 22, 23, 31, 32, 33 Signal wiring 26, 27, 36, 37, 56a, 56b, 57a, 57b, 66a, 66b, 67a, 67b, 76, 77 connected to the input of the LSI 86, 87 Conductor patterns 28, 58a, 58b, 78a, 78b between the wires Migration 41 Glass substrate

Claims (5)

ガラス基板と、
前記ガラス基板上の所定の領域に形成される液晶表示部と、
前記ガラス基板上に搭載されて、前記液晶表示部を駆動するLSIと、
前記LSIの入力に接続される2以上の信号配線と、
隣接する前記信号配線の間に、前記信号配線に沿って配置され、前記LSIの入力に接続しない導体パターンと
を備える液晶表示装置。
A glass substrate;
A liquid crystal display unit formed in a predetermined region on the glass substrate;
An LSI mounted on the glass substrate and driving the liquid crystal display unit;
Two or more signal wirings connected to the input of the LSI;
A liquid crystal display device comprising: a conductor pattern which is disposed along the signal wiring between the adjacent signal wirings and which is not connected to the input of the LSI.
前記導体パターンは、両端がどこにも接続しない孤立したパターンであることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the conductive pattern is an isolated pattern in which both ends are not connected anywhere. 前記導体パターンは、前記隣接する信号配線間に延びる2以上の互いに並行な導体パターンで構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the conductor pattern is composed of two or more parallel conductor patterns extending between the adjacent signal wirings. 前記導体パターンは、前記隣接する信号配線間で、前記信号配線に沿って配置される複数の島状のパターンで構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示装置。   3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the conductor pattern includes a plurality of island-like patterns arranged along the signal wiring between the adjacent signal wirings. ガラス基板上に、マトリクス状の薄膜トランジスタアレイを形成するとともに、前記ガラス基板上に、所定の位置まで延びる信号配線と、当該信号配線の隣接する2本の間に、前記信号配線に沿って前記所定の位置に到達しない導体パターンとを形成する工程と、
前記薄膜トランジスタアレイ上に液晶表示部を形成する工程と、
前記所定の位置にLSIを搭載する工程と
を含む液晶表示装置の製造方法。
A matrix-shaped thin film transistor array is formed on the glass substrate, and the signal wiring extending to a predetermined position on the glass substrate and the two adjacent signal wirings along the signal wiring. Forming a conductor pattern that does not reach the position of
Forming a liquid crystal display on the thin film transistor array;
A method of manufacturing a liquid crystal display device including a step of mounting an LSI at the predetermined position.
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