JP4388221B2 - マイクロ電気機械式光学装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 168
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 109
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 27
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 13
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 208000005647 Mumps Diseases 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 208000010805 mumps infectious disease Diseases 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 2
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/0003—MEMS mechanisms for assembling automatically hinged components, self-assembly devices
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0866—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by thermal means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/045—Optical switches
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/0181—See-saws
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/05—Type of movement
- B81B2203/058—Rotation out of a plane parallel to the substrate
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信装置に関し、特に、マイクロ電気機械式光学装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
光通信装置は、一般に、多様な光学器(例えば、光源、光検出器、スイッチ、減衰器、鏡、増幅器、およびフィルター)からなっている。光学器は、光通信システムにおいて光信号を伝達する。いくつかの光学器は、電気機械式光学素子を形成している電気機械式構造体(例えば、熱作動器)へ接続されている。本開示に使用されている用語“気機械式構造体”は、電気信号の制御を受けて機械的に動作する構造体に相当する。
【0003】
電気機械的構造体の中には、光学素子を所定の第一位置から所定の第二位置へ移動するものがある。Cowan, William D., et al., "Vertical Thermal Actuators for Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems", SPIE, Vol. 3226, pp. 137-146(1997) には、この様な所定の第一位置から所定の第二位置へ光学素子を移動する有用な電気機械式構造体が記載されている。
【0004】
Cowan et al., の場合は、電気機械式構造体は熱作動器である。この熱作動器は、光学鏡へ接続されている。熱作動器と光学鏡は、基板の表面に配置されている。熱作動器は二つの可動ビームを有する。各ビームの一端は光学鏡へ接続されている。各ビームの他端は基板面へ接続されている。
【0005】
熱作動器の各ビームは、互いに一つに重ね合わされた二つの材料の層を有する。重ね合わされた材料層は、それぞれ、異なる熱膨張係数を有し、各ビームのうち最上部の材料層は、他の材料層より大きい熱膨張係数を有する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
熱作動器は、ビームへ送られた電気信号に応答して、機械的に光学鏡を移動する。ビームに電気信号が送られると、重ねられた材料層は加熱される。その後、電気信号が取り去られると、重ねられた層が冷却する。各ビームの最上層は大きい熱膨張係数を有するので、最上層は、冷却したとき基底の材料層より速く収縮する。最上材料層が収縮すると、最上層は、各ビームの一端とその層へ接続された光学鏡とを基板面から上方の所定の高さへ持ち上げる。ビームをさらに加熱および冷却しても、基板面に対する光学素子の高さは変わらない。熱作動器それ自体の有用性は、一回のセットアップまたは位置決め動作に限定される。この様な一回の動作に限定する問題を解決すべき課題とする。
【0007】
従って、光学素子の運動を制御するに適した電気機械式構造体が、引き続いて探求される。
【0008】
【課題を解決するための手段】
小さな占有面積を有するマイクロ電気機械式(MEM)光学装置が開示されている。MEM光学素子は、基板上に配置され、外縁を有する光学要素を支持する支持構造体を有する。光学要素は、光学要素に与えられた傾斜量に基づいて選択された角度に光を偏向する。支持構造体は、第一端において支持構造体へ接続され、かつ、第二端において基板へ固定された、第一対と第二対のビームにより支持されている。この対のビームは、各ビームの第一と第二の端が光学素子に接近して配列されるように、光学素子に対し配置されている。これにより、MEM光学素子を支持するのに必要な基板面の面積が縮小されている。それなりに、光学素子の数量が増加された場合の配列は、与えられた基板の大きさに形成することが出来る。
【0009】
好適な実施態様において、各対のビームの第二端は、互いに接近して配置され、ビームへの起動導線の効率的電気接続を形成しており、これにより、ビームへの導線を配置するのに必要な基板面積を減少している。
【0010】
他の実施態様において、静止摩擦力を減少する要素が、光学要素上と、光学要素を支持する内部フレーム上とにある。
【0011】
この静止摩擦減少要素は、基板と内部フレームまたは光学要素のいずれか、または両方との間の接触領域を小さくするため、光学要素の外縁と内部フレームの外縁に放射状に配置された複数の突起として構成されている。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明は、光通信システムにおける使用に適したマイクロ電気機械式光学装置に関する。図1に関し、マイクロ電気機械式光学装置は、基板面13に配置されたマイクロ電気機械式構造体15と光学素子17とからなっている。マイクロ電気機械式構造体15は光学素子17へ接続されている。例えば、マイクロ電気機械式構造体15は、スプリング14により光学素子17へ接続されている。
【0013】
マイクロ電気機械式構造体15は、複数のビーム19,26を有する。ビーム19の第一端22は、基板面13へヒンジで取り付けられたプレート20へ接続されている。ヒンジ取り付けのプレートは、V字形の切り込みを有する。ヒンジ取り付けプレート20は、係合プレート25へ接続されている。係合プレート25は、光学素子17へも接続されている。ビーム26の第一端は、係合プレート25へ接続されている。ビーム26の第二端は、基板面13へ接続されている。組立されていない場合、ビーム19,26、ヒンジ取り付けプレート20、および係合プレート25は、基板面13の上に平坦に置かれている。
【0014】
係合プレート25は、相対する両端に配置された一組のV字形の切り込みを有する。係合プレート25の一組の各V字形切り込みは、ヒンジ取り付けプレート20のV字形切り込みの領域内に配置されている。
【0015】
図2に関し、ビーム19の第一端22は、起動力の付加に応答して、ほぼ円弧状に基板面の上方に上方向へ持ち上がる。ビーム19の第一端22が基板面の上方へ持ち上がると、ヒンジ取り付けプレート20を基板面から回転させる。
【0016】
ヒンジ取り付けプレート20が基板面から回転されると、ビーム26は、係合プレート25と光学素子を基板面の上方へ持ち上げる。係合プレートが基板面の上方へ持ち上げられると、係合プレート25の一組のV字形切り込みが、ヒンジ取り付けプレート20のV字形切り込みへ滑り込む。係合プレート25が持ち上げられると、ヒンジ取り付けプレートが基板面から約90度に立つように、係合プレートは、ビーム19により始まったヒンジ取り付けプレート20の回転を完了する。ヒンジ取り付けプレート20のV字形切り込みの高さは、光学素子が持ち上げられる高さを制約し、光学素子を一定の明確な位置に保持する。
【0017】
種々の起動力が電気機械式構造体へ加わり、ビームの第一端22を持ち上げる。図3に関し、電気機械式構造体へ加わる起動力がビームの熱収縮に基づいている場合、各ビーム19,26は、互いに重ねられた二つ以上の材料層31,32からなっている。重ねられた材料層31,32は、それぞれ、異なる熱膨張係数を有する。
【0018】
一つの実施態様において、各ビーム19,26の最上材料層31は、他の材料層32より大きい熱膨張係数を有する。
【0019】
ビーム19,26へ電流を加えると、重ねられた材料層31,32を加熱する。電流が電流源(図示せず)からビーム19,26へ加えられる。図4に関し、重ねられた材料層31,32が加熱されると、それらは曲がり、各ビーム19,26の第一端とビームに接続された光学素子(示されていない)を基板面13から持ち上げる。各ビームの端が基板面から持ち上がる高さは、ビームの長さと、ビームを形成するために使用された材料層の組成とに依存する。しかし、各ビーム26の端が基板面から持ち上がる高さは、係合プレート25を持ち上げ、かつ、ヒンジ取り付けプレートを基板に対し約90度回転するに好適にに十分である。
【0020】
あるいは、電気機械式構造体へ加えられる起動力が、固有の応力によるビーム収縮に基づいている場合、図5に示されているように、各ビーム19,26は、基板面上に互いに重ねられた二つ以上の材料層41,42からなっている。最上材料層41は固有の応力を有する。最上材料層は応力勾配を有する。底部材料層42は犠牲層である。
【0021】
犠牲材料層42が除去されると(例えば、エッチングにより)、二つ以上の最上層41は、各ビーム19,26の第一端と、それへ接続されたヒンジ取り付けプレート(示されていない)とを、基板面13から上方へ持ち上げる。各ビームの端が基板面から持ち上がる高さは、ビームの長さとビームを形成するために使用された材料層の組成とに依存する。しかし、各ビーム26が基板面から持ち上がる高さは、係合プレート25を持ち上げ、かつ、ヒンジ取り付けプレートを基板面に対し約90度回転するに好適に十分である。
【0022】
他の適切な起動力には、引っ掻き駆動力と電磁力がある。示された引っ掻き力による電気機械式構造体は、Akiyama, T. et al., "A Quantitative Analysis of Scratch Drive Actuator Using Buckling Motion", Proc. 8th IEEE International MEMS Workshop, pp. 310-315(1995)、および電磁力に基づく電気機械式構造体は、Busch-Vishniac, I. J., "The Case for Magnetically Driven Microactuators", Sensors and Actuators A, A33, pp. 207-220(1992)において考察されている。
【0023】
電気機械式構造体15が光学素子17を基板面の上方へ持ち上げた後、持ち上げられた光学素子17は、この光学素子17と基板面13との間に発生した静電界に応答して動く。静電界は、光学素子17と基板面13との間にバイアス電圧を印加することにより発生する。
【0024】
図1と2に関し、静電界が光学素子17と基板13(または電極27)の間に発生すると、この静電界は、光学素子17を軸1ー1の回りに回転する。光学素子17が軸1ー1の回りを回転する角度は、光学素子17と基板13(または電極27)との間に発生した静電界の大きさに依存する。静電界は、加えられたバイアス電圧の大きさに依存する。
【0025】
あるいは、光学素子は、ほぼ基板へ向かって偏向するか、または、回転と偏向の両方により動くように製作することが出来る。この様な運動は、電極27の幾何学的配列、および光学素子と係合プレートとの接続に依存する。
【0026】
光学素子と基板のどちらも、バイアス電圧がそれらに印加されて、静電界を発生するように、好適に導電性である。光学素子または基板のどちらかが静電界を発生するには不十分な導電性であるならば、導電性層(電極)27,28が、図1に示された領域に選択的に形成される。
【0027】
本発明によるマイクロ電気機械式光学素子は、適切に作成された(例えば、適切なドーピング)基板を用意することにより製作される。適切な基板の材料には、シリコン、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、ゲルマニウム、またはインジウム酸化スズ(ITO)が被覆されたガラスがある。
【0028】
複数の材料層が、基板面に平坦な構成で形成される。適切な材料層の例には、多結晶シリコン、チッ化シリコン、および二酸化シリコンがある。
【0029】
複数の材料層の各層が基板に形成された後、各層は、マイクロ電気機械式構造体と光学素子を形成するように図形化される。例えば、鏡17とビーム19,26からなる、図1に示された電気ー光ー機械式装置は、MCNC MEMSテクノロジー アプリケーション センターにより作成されたマルチユーザーMEMS法(MUMPS)、MCNC、リサーチ トライアングル パーク、ノース カロライナ州により製作される(参照 スマート MUMP デザイン ハンドブック、オペレーション リサーチ グループ作成)。
【0030】
MUMPS法において、マイクロ電気機械式構造体と光学素子は、多結晶シリコンの層に形成され、酸化物の層(例えば、リン化シリコンガラス)が犠牲層を形成し、チッ化シリコンがマイクロ電気機械式構造体と光学素子を基板から電気的に絶縁する。マイクロ電気機械式構造体と光学素子は、ホトリソグラフィの段階において多結晶シリコン層に形成される。
【0031】
ホトリソグラフィは、一つ以上の多結晶シリコンおよびリン化シリコンガラスにホトレジスト(すなわち、エネルギー感知材)の塗布、適切なマスクでホトレジストの露光、および一つ以上の基底多結晶シリコンとリン化シリコンガラスへその後パターン転写を行う所望エッチングマスクを生成するため、露光されたホトレジストの現像からなる処理法である。ホトレジストに形成されたパターンは、エッチング、例えば、反応イオンエッチング(RIE)装置により一つ以上の基底多結晶シリコンおよびリン化シリコンガラスの層へ転写される。
【0032】
次の実施例は、本発明による発明の特定の実施態様を例証するために提示されている。
【0033】
実施例 1
図1に示された構造体を有するマイクロ電気機械式光学装置が、MEMSテクノロジー アプリケーション センター、MCNC、リサーチ トライアングルパーク、ノースカロライナ州、から得られた。マイクロ電気機械式光学装置はシリコン基板面に配置された。シリコン基板は、約1〜2オーム/cmの抵抗を有していた。厚さ600nm(ナノメータ)のチッ化シリコン層上に形成された交互の多結晶シリコン層(POLY0,POLY1,およびPOLY2)とリン化シリコンガラス層(OX1とOX2)の平坦な多層構成が、シリコン基板上に形成された。
【0034】
多結晶シリコン層POLY0,POLY1,およびPOLY2は、それぞれ、厚さが約0.5μm(マイクロメータ)、2.0μmおよび1.5μmであった。リン化シリコンガラス層OX1とOX2は、それぞれ、厚さが約2μmと0.75μmであった。Cr/Auの0.5μmの層が、POLY2の層に形成された。
【0035】
チッ化シリコン層、多結晶シリコン層(POLY0,POLY1,およびPOLY2)、リン化シリコンガラス層(OX1とOX2)、およびCr/Au層が低圧蒸着法によりシリコン基板面に形成された。
【0036】
図1に関し、電気機械式構造体が15が、ホトリソグラフィ法により平坦な多層構成に形成された。電気機械式構造体は、基板にヒンジ取り付けられたプレート20へ一つの縁においてそれぞれ接続された二つのビーム19,26よりなっていた。ビーム19は、それぞれ、幅が約50μmで、長さが約300μmであった。ビーム26は、幅が約100μmで、長さが約500μmであった。これらのビームは、POLY1,およびPOLY2層に形成された。ビーム19,26は、また、固有の応力を生成し、それらを曲げ、かつ、構造体を動かすために、それらのビームに配置されたCr/Au層を有していた。
【0037】
ヒンジ取り付けプレート20は、幅が約300μmで、高さが約70μmであった。V字形切り込みは、切り込み高さが約50μmであった。ヒンジ取り付けプレート20は、POLY1,およびPOLY2層に形成された。
【0038】
係合プレート25は、長さが約400μmで、幅が約150μmであった。各V字形切り込みは、切り込み高さが約70μmであった。係合プレート25は、POLY1,およびPOLY2層に形成された。
【0039】
光学素子は、大きさが約300μm×300μmの鏡であった。光学素子はPOLY1、POLY2、およびCr/Auの層に形成された。
【0040】
光学素子の縁は、スプリング14により係合プレートへ接続された。スプリングはPOLY1層にのみ形成された。
【0041】
電極27は長さが約300μm、幅が約200μmであり、POLY0層により形成された。
【0042】
上述の各製作段階は、MEMSテクノロジー アプリケーション センター、MCNC、リサーチ トライアングル パーク、ノースカロライナ州、において行われた。
【0043】
電気機械式構造体がPOLY0,POLY1,POLY2、OX1、OX2、およびCr/Au層に形成された後、電気機械式構造体と光学素子は、リン化シリコンガラス層を49%のHFの槽内で室温において約1〜2分間エッチングすることにより、シリコン基板面から取り出された。
【0044】
次ぎにリン化シリコンガラス層が取り出されると、ビームはヒンジ取り付けプレートを回転して、係合プレートと光学素子を基板面から持ち上げる。光学素子は基板面の上方、約50μmの高さに持ち上げられた。
【0045】
約100Vの電圧が、光学素子と基板面上のパッド27との間に印加された。電圧が光学素子とパッド27との間に印加された後、光学素子が基板面に対し約5度の角度をなすように、光学素子は軸1ー1(図1)の回りを軸回転した。
【0046】
マイクロ電気機械式光学素子12は、一般に、共通の基板に大量にまとめて製造され、例えば、多くの波長を多様なオプチカルファイバおよび素子へ指向させる波長指定装置に使用される。このような使用のために、例えば、図9に示されているように、多数の素子12が基板13上に配列80で配置されている。前に考察したように、各素子12は、マイクロ電気機械式構造体15と光学素子17からなり、ビーム19,26を起動する電極50を経て適切な電気信号を送ることにより、作動して、移動し、光学素子17を基板13から持ち上げる。次ぎに、スプリング30と電極50,52は、基板13を含む平面に対し光学素子17を傾斜するように使用される。このこの状態において、光学素子17の配列80は、例えば、光学素子へ送られた多数信号のうちの選択された一つの信号から多数チャネルを受信し、個々の光学素子17の角度変位および調節により、各光学的信号を明確に識別されたオプチカルファイバへ偏向する。
【0047】
図7に関し、構造体15に支持されたマイクロ電気機械式光学装置12が示されている。構造体15は、二組のビーム19,26を有し、各ビームはその各端において対応する組の他のビームに対し異なるプレート20へ接続されている。例えば、プレート20aは、その端においてプレート20aへ接続されたビーム19aと26aにより、光学素子17を基板13の面から持ち上げる係合位置へ移動する。同様に、プレート20bは、それへ接続されたビーム19aと26bにより移動する。残りのビーム端23は、基板13へ固定され、光学素子17を持ち上げる梃子の力を有する。詳細に前述したように、ビームは電気信号を送ることにより、複数の起動リード線54により起動される。向上した移動性と角度変位または傾斜のために、構造体15は、外縁91を有する内側フレーム16を有する。フレーム16は、方向軸Xに平行な軸に沿ってフレーム16を傾斜するように、スプリング30によりプレート20a,20bへ軸回転可能に取り付けられている。もう一組ののスプリング32は、方向軸Yに平行な軸の回りに光学素子17を傾斜するように、光学素子17を内側フレーム16へ軸回転可能に接続している。
【0048】
図9に示されているように、マイクロ電気機械式光学装置12の配列が共通基板上に形成されると、図7に示された装置12のビームの配列は、基板面の一定面積が対のビーム19,26を収容するために必要であるので、隣接した装置12の間の距離を限定する。さらに、各対のビームの基板に固定された端23が、対象構造体15に対し相互に離れて端末に配置されているので(例えば、ビーム19aと19bの端23)、同様に、起動リード線54は末端に離れている。ビームを起動するため、電気信号が送られるように、リード線54は集められ、基板の縁へ配置されなければならない。この様な配置は、必然的に、基板の13の縁またはその近くの、信号がこの様なリード線へ送られる位置へ起動リード線54の配列を収容するために、基板13に形成された空間または配線路160,162を必要とする。図9のマイクロ電気機械式光学装置の配列に示された配線路160,162は、それぞれ幅wとw′を有する四角形の領域として形成されており、配列は四つの分離された領域に分割されている。
【0049】
ビーム対19,26のレイアウトまたは配列により必要とされる、起動リード線54の配列を収容するための配線路160,162は必要であるが、これは、マイクロ電気機械式光学装置12をさらに支持するために使用できる基板面積を減少する。従って、本発明による他の実施態様によれば、形状合わせのビーム構造体を有する修正されたマイクロ電気機械式光学装置112が図8に示されている。上述した装置12と同様な装置112が、基板113に形成されており、光学素子117を支持し、これを基板から持ち上げるマイクロ電気機械式構造体150を有する。図示の変形として、光学素子117は、図7の円形または図1の正方形と反対に楕円形のように示されている。それでも、光学素子117の形状は、すべて、本発明による発明の意図された請求範囲と概念から外れることなく、使用できることを理解されなければならない。
【0050】
図7の構造体15と図8の構造体115との主要な差異は、ビーム119と126の形状と配列にある。図8の実施態様において、各ビームの両方の端(すなわち、端122,123)が光学素子117に接近して位置するように、ビーム119と126が光学素子117に対し配置されている。言い換えると、両方の端は光学素子117の外縁190に接近して配置されている。これは、第一ビームの端だけが光学素子17の外縁90に接近して位置付けられている図7のビームの配置と反対である。図8の形状合わせビームの配列は、二組の形状合わせビーム、すなわち、第一組のビーム119a,119bと第二組のビーム126a,126bからなっており、上述のように、各ビームは、プレートを回転し、光学素子117を持ち上げる各プレート120a,126bの第一端122へ接続されている。各組ビームの各ビームの第二端123は、基板113へ固定され、光学素子117の外縁190へ接近して位置付けられている。各組(例えば、ビーム119a,119b)のビームの第二端123は、また、示されたように相互に接近して好適に配置されている。この形状合わせビームの配置は、修正されたマイクロ電気機械式光学装置112の全占有面積または占有した基板の面積を有利に減少する。
【0051】
図10に関し、形状合わせマイクロ電気機械式光学装置の配列が示されている。示されているように、この配列は、図8の形状合わせビーム配置を採用している複数のマイクロ電気機械式光学装置からなっている。各組ビーム119のビーム端123の位置は、個々の装置112と起動リード線154の図形化配置の経済的レイアウトを可能にしている。その結果、図9に示された配線路160は不要となり、隣接するマイクロ電気機械式光学装置112のの間の物理的分離は、図9の配列の隣接した前記装置のの必要な分離と比較して縮小される。お分かりのように、これは、単一の基板113により収容された装置112の数の増加を可能にする。
【0052】
装置112の動作中に、信号が一つまたは両方の対のスプリング130,132へ送られて、内側フレーム116及びまたは光学要素117の傾斜を発生する。傾斜量は、スプリングへ送られた信号の強さに比例する。個々の強さの信号により、内側フレーム116の外縁191または光学素子の外縁90は、基板面113と接触するようになる。これが発生すると、光学素子117が基板113に対し水平位置へ後方へ動く、すなわち戻ろうとする時など、基板とフレーム縁91との間、または、基板と光学素子縁90との間の静止摩擦力または引っ掻き力が、フレームまたは光学要素117がさらに動こうとするのを遅らせるか、妨害する。
【0053】
静止摩擦力の程度または量は、この二つ物体の間の接触面積に比例することが明らかになった。この発見により、本発明の好適な実施態様は、基板と内側フレームの外縁及びまたは光学素子117との間の接触面を制限する起伏追従の要素を有する。この特徴が図11に示されており、図は光学素子117と内側支持部116の断面を示している。示されているように、光学素子117の前縁90は、素子117から外方へ伸長している、複数の放射状に間隔を置いて突起または指200からなっている。内側フレーム116の前縁もまた、放射状に配列され、内側フレーム116から離れる方向へ指向した複数の突起からなっている。内側フレーム縁91または光学素子縁90いずれかが基板113と接触するようになると、接触領域が減少し、基板と突起200の先端との間だけに発生する。これは静止摩擦力を最小にし、マイクロ電気機械式構造体115の運動性を高める
。
【0054】
【図面の簡単な説明】
【図1】マイクロ電気機械式構造体へ接続された光学素子を有するその表面に配置された、本発明のマイクロ電気機械式光学装置を有する基板の平面図。
【図2】光学素子がマイクロ電気機械式構造体により基板面の上方へ持ち上げられた後の、図1のマイクロ電気機械式光学装置の側面図。
【図3】起動力が加えられる前のビームの一つの外形の断面図。
【図4】起動力が加えられた後の図3のビームの断面図。
【図5】起動力が加えられる前のビームの別の外形の断面図。
【図6】起動力が加えられた後の図5のビームの断面図。
【図7】本発明によるマイクロ電気機械式光学装置の別の実施態様の平面図。
【図8】本発明によるマイクロ電気機械式光学装置のさらに別の実施態様の平面図。
【図9】図7の装置で製作された、マイクロ電気機械式光学装置の配列図。
【図10】図8の装置で製作された、マイクロ電気機械式光学装置の配列図。
【図11】本発明の他の特徴を示す、図8のマイクロ電気機械式光学装置の部分拡大図。
【符号の説明】
13 マイクロ電気機械式光学装置
14 スプリング
15 マイクロ電気機械式構造体
17 光学素子
19,26 ビーム
20 ヒンジ取り付けプレート
22 ビーム19の端
25 係合プレート
27,28 導電性層(電極)
31,32 重ねられた材料層
41,42 二つ以上の重ねられた材料層
30 スプリング
50,52 電極
80 光学素子の配列
16 内側フレーム
19a,26b ビーム
20a,20b プレート
23 ビームの基板へ固定された端
54,154 起動リード線
90,190 光学素子の外縁
91,191 内側フレームの外縁
112 マイクロ電気機械式光学装置
113 基板
115 マイクロ電気機械式構造体
116 内側フレーム
117 光学素子
119,119a,119b ビーム
122 ビームの端
123 ビームの端
126,126a,126b ビーム
130,132 スプリング
150 マイクロ電気機械式構造体
160,162 起動リード線の配線路
200 突起の先端
Claims (8)
- A)表面領域を有する基板と、
B)光学要素により受光された光学信号を偏向する、外縁を有する前記光学要素と、
C)前記基板面上に支持され、前記光学要素の前記外縁へ機械的に接続され、前記光学要素を前記基板面上方に持ち上げるように動作可能なマイクロ電気機械式構造体からなるマイクロ電気機械式光学装置であって、
前記マイクロ電気機械式構造体が、
第一プレートと、第一ビーム対とを有し、
前記第一ビーム対の各ビームの第一端が、前記第一プレートに接続され、
前記第一ビーム対の各ビームの第二端が、前記基板面に接続され、および
前記第一プレートが前記光学要素の前記外縁に接続され、
前記第一ビーム対の各ビームが起動されることにより、前記第一プレートが前記光学要素を前記基板面から持ち上げる位置に移動するようになっており、
前記第一ビーム対が、前記光学要素の前記外縁に接近して位置するように前記基板上に配置され、これにより前記マイクロ電気機械式光学装置の全占有面積を減少させるようにした
ことを特徴とするマイクロ電気機械式光学装置。 - 前記マイクロ電気機械式構造体が、第二プレートと、第二ビーム対とを更に含んでおり、
前記第二プレートが前記第二ビーム対の各ビームの第一端へ接続され、前記第二ビーム対の各ビームの第二端が前記基板面へ接続され、および前記第二プレートが前記光学要素の前記外縁に接続され、
前記第二ビーム対の各ビームが起動されることにより、前記第二プレートが前記光学要素を前記基板面から持ち上げる位置に移動するようになっており、
前記第二ビーム対が前記光学要素の前記外縁に接近して位置するように前記基板面上に配置され、これにより前記マイクロ電気機械式光学装置の全占有面積を減少させるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のマイクロ電気機械式光学装置。 - 前記第一ビーム対の前記第二端が前記第二ビーム対の前記第二端に接近して前記基板上に配置されていることを特徴とする請求項2に記載のマイクロ電気機械式光学装置。
- 前記光学要素の前記外縁が湾曲し、前記第一及び第二ビーム対の前記各ビームが湾曲していることを特徴とする請求項2に記載のマイクロ電気機械式光学装置。
- A)表面領域を有する基板と、
B)受光された光学信号を偏向する光学要素と、
C)前記光学要素を支持する外縁を有する支持体と、
D)前記基板面上に支持され、前記支持体へ機械的に接続され、前記光学要素を前記基板面上方に持ち上げるように動作可能なマイクロ電気機械式構造体と、からなるマイクロ電気機械式光学装置であって、
前記マイクロ電気機械式構造体が、
第一プレートと、第一ビーム対とを有し、
前記第一ビーム対の各ビームの第一端が、前記第一プレートに接続され、
前記第一ビーム対の各ビームの第二端が、前記基板面に接続され、および
前記第一プレートが前記支持体の前記外縁に接続され、
前記第一ビーム対の各ビームが起動されることにより、前記第一プレートが前記光学要素を前記基板面から持ち上げる位置に移動するようになっており、
前記第一ビーム対が、前記支持体の前記外縁に接近して位置するように前記基板上に配置され、これにより前記マイクロ電気機械式光学装置の全占有面積を減少させるようにした
ことを特徴とするマイクロ電気機械式光学装置。 - さらに、前記光学要素の前記外縁に配置され、前記基板と前記光学要素間の静止摩擦力を低減するための静止摩擦力低減要素を含んでいることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ電気機械式光学装置。
- 前記静止摩擦力低減要素が、前記光学要素の前記外縁から外方へ伸長し、かつ、その回りに放射状に間隔を置いて配置された複数の突起を含んでいることを特徴とする請求項6に記載のマイクロ電気機械式光学装置。
- A)表面領域を有する基板と、
B)受光された光学信号を偏向する光学要素と、
C)前記光学要素を支持する外縁を有する支持体と、
D)前記基板面上に支持され、前記支持体へ機械的に接続され、前記光学要素を前記基板面上方に持ち上げるように動作可能なマイクロ電気機械式構造体と、
前記基板と前記光学要素間の静止摩擦力を低減するために、前記光学要素の前記外縁に配置された第一静止摩擦力低減要素と、
前記基板と前記支持体間の静止摩擦力を低減するために、前記内側支持体の前記外縁に配置された第二静止摩擦力低減要素と、を備えるマイクロ電気機械式光学装置であって、
前記マイクロ電気機械式構造体が、
第一プレートと、第一ビーム対とを有し、
前記第一ビーム対の各ビームの第一端が、前記第一プレートに接続され、
前記第一ビーム対の各ビームの第二端が、前記基板面に接続され、および
前記第一プレートが前記支持体の前記外縁に接続され、
前記第一ビーム対の各ビームが起動されることにより、前記第一プレートが前記光学要素を前記基板面から持ち上げる位置に移動するようになっており、
前記第一ビーム対が、前記支持体の前記外縁に接近して位置するように前記基板上に配置され、これにより前記マイクロ電気機械式光学装置の全占有面積を減少させるようにし、
前記マイクロ電気機械式構造体が、第二プレートと、第二ビーム対とを更に含んでおり、
前記第二プレートが前記第二ビーム対の各ビームの第一端へ接続され、前記第二ビーム対の各ビームの第二端が前記基板面へ接続され、および前記第二プレートが前記支持体の前記外縁に接続され、
前記第二ビーム対の各ビームが起動されることにより、前記第二プレートが前記光学要素を前記基板面から持ち上げる位置に移動するようになっており、
前記第二ビーム対が前記支持体の前記外縁に接近して位置するように前記基板面上に配置され、これにより前記マイクロ電気機械式光学装置の全占有面積を減少させるようにした、
ことを特徴とするマイクロ電気機械式光学装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/415178 | 1999-10-08 | ||
US09/415,178 US6300619B1 (en) | 1997-12-22 | 1999-10-08 | Micro-electro-mechanical optical device |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001221962A JP2001221962A (ja) | 2001-08-17 |
JP2001221962A5 JP2001221962A5 (ja) | 2006-08-03 |
JP4388221B2 true JP4388221B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=23644681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000309805A Expired - Fee Related JP4388221B2 (ja) | 1999-10-08 | 2000-10-10 | マイクロ電気機械式光学装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6300619B1 (ja) |
EP (1) | EP1093005A3 (ja) |
JP (1) | JP4388221B2 (ja) |
CA (1) | CA2322122C (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6706202B1 (en) * | 2000-09-28 | 2004-03-16 | Xerox Corporation | Method for shaped optical MEMS components with stressed thin films |
US6522801B1 (en) * | 2000-10-10 | 2003-02-18 | Agere Systems Inc. | Micro-electro-optical mechanical device having an implanted dopant included therein and a method of manufacture therefor |
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US7129601B2 (en) | 2001-03-30 | 2006-10-31 | Gsi Group Corporation | Apparatus for controlled movement of an element |
US7136547B2 (en) * | 2001-03-30 | 2006-11-14 | Gsi Group Corporation | Method and apparatus for beam deflection |
US20020181069A1 (en) * | 2001-03-30 | 2002-12-05 | Gsi Lumonics Corporation | Free space optical switch |
US7054851B2 (en) * | 2001-06-25 | 2006-05-30 | Siemens Medical Solutions Health Services Corporation | Communication data format for use in data storage and retrieval |
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US7426067B1 (en) | 2001-12-17 | 2008-09-16 | Regents Of The University Of Colorado | Atomic layer deposition on micro-mechanical devices |
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US6858911B2 (en) * | 2002-02-21 | 2005-02-22 | Advanced Micriosensors | MEMS actuators |
US6717227B2 (en) | 2002-02-21 | 2004-04-06 | Advanced Microsensors | MEMS devices and methods of manufacture |
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JP3846359B2 (ja) * | 2002-05-09 | 2006-11-15 | 株式会社デンソー | 光デバイス |
KR100431581B1 (ko) * | 2002-05-28 | 2004-05-17 | 한국과학기술원 | 미소거울 구동기 |
US6975788B2 (en) * | 2002-12-09 | 2005-12-13 | Lucent Technologies, Inc. | Optical switch having combined input/output fiber array |
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US7212695B2 (en) * | 2003-08-05 | 2007-05-01 | Lucent Technologies Inc. | Variable optical delay line with a large continuous tuning range |
US20060203195A1 (en) * | 2005-03-10 | 2006-09-14 | Squire Bret C | Integrated ocular examination device |
US20140341504A1 (en) | 2013-05-16 | 2014-11-20 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Optical cross-connect switch with configurable optical input/output ports |
US9225458B2 (en) | 2013-12-20 | 2015-12-29 | Alcatel Lucent | Wavelength-selective cross-connect device having a variable number of common ports |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5662771A (en) * | 1994-12-01 | 1997-09-02 | Analog Devices, Inc. | Surface micromachining process |
EP0805985B1 (de) * | 1995-01-24 | 2001-07-18 | Infineon Technologies AG | Mikromechanisches bauelement |
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US6137941A (en) * | 1998-09-03 | 2000-10-24 | Lucent Technologies, Inc. | Variable optical attenuator |
-
1999
- 1999-10-08 US US09/415,178 patent/US6300619B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-10-03 EP EP00308683A patent/EP1093005A3/en not_active Withdrawn
- 2000-10-03 CA CA002322122A patent/CA2322122C/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-10-10 JP JP2000309805A patent/JP4388221B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1093005A3 (en) | 2004-03-10 |
US6300619B1 (en) | 2001-10-09 |
EP1093005A2 (en) | 2001-04-18 |
JP2001221962A (ja) | 2001-08-17 |
CA2322122C (en) | 2003-12-23 |
CA2322122A1 (en) | 2001-04-08 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131009 Year of fee payment: 4 |
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