JP4380926B2 - Auto handler for COF - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、COF(Chip on film)を試験・分類するオートハンドラに関する。
【0002】
【従来の技術】
COF用オートハンドラは、周知のTAB(Tape Automated Bonding)用オートハンドラと同様、テープ上に実装したICデバイスを搬送し、ICテスタからの分類信号に従って、ICデバイスを、例えば、良品、不良品に分類する装置である。
ここで、COFは、従来のTABと比較し、下記の特徴を備えている。
(1)TABのテープ厚さは75um以上であったのに対し、COFは、テープの厚さが40um以下で薄く半透明なものがある。
(2)TABではパターン裏面よりの実装が主流であったのに対し、COFは、ICチップ実装とパターン面が同一である。
(3)TABでは折り曲げ窓での短絡があったのに対し、COFは、折り曲げ用の窓が無く、裏面での電気的な短絡がない。
このような特徴を備えるCOFは、例えば、LCD(液晶ディスプレイ)の駆動用IC等に利用されている。
【0003】
図4はCOFの一般な構成例を示したもので、1はCOF、1aはリード、1bはICチップ、1cはテストパッド、1dはレジスト、1eは位置決めマークである。
COF1において、リード1aでICチップ1bとテストパッド1cが電気的接続され、ICチップ1bの周辺には、リード1aとICチップ1bを保護するためのレジスト1dと位置決めマーク1eが形成されている。
【0004】
図5は従来のCOF用オートハンドラと撮像装置及び照明装置の概略構成を正面から示したもので、2はプッシャー(測定部)、2aはプッシャープレート、3はプローブカード、4はテストヘッド、4aは穴部、5はカメラユニット(撮像装置)、6は照明装置、11は供給リール、12は収容リール、13と14はスプロケット、15はパンチ(分類部)である。
このCOF用オートハンドラは、具体的には、COF1を供給リール11から測定部(プッシャー)2、分類部(パンチ)15に搬送し、収容リール12まで搬送して、実装したICデバイス(ICチップ1b)を分類する。例えば、不良品はパンチ15による穴あけ処理により分類される。
なお、供給リール11及び収容リール12の近傍において、COF1が一定以上たるむと、図示しない光センサにより検出され、それぞれスプロケット13・14が必要に応じ駆動されることで、COF1の一定以上のたるみが取り除かれる。
【0005】
そして、測定部(プッシャー)2において、COF1はプローブカード3に遮られることなく照明装置6により照明され、その画像がカメラユニット5により撮像される。
ここで、プッシャープレート2aは、COF1の裏面に密着し、COF1を平坦に保持している。また、カメラユニット5及び照明装置6は、プッシャー2に対しテストヘッド4の対向側に配置されており、テストヘッド4の中央の穴部4aを通して照明・撮像される。すなわち、COF1に対してほぼ平行となるように配置されたカメラユニット5によって、照明装置6により照射されたCOF1がテストヘッド4中央の穴部4aを通してCOF1表面の位置決めマーク1eやテストパッド1c、リード1aが撮像される。
撮像後は、図示しない画像処理装置において、予め登録されている位置決めマーク1eの画像データと、現在の画像データの位置決めマーク1eの位置関係を計算し、その差分だけプッシャー2を動かし、プローブカード3とCOF1を位置決めする。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、照明時において、半透明のCOF1は光を透過するため、その表面と裏面のプッシャープレート2aで反射する光が交錯し、図6に示したように、乱反射が発生する。この乱反射の状態を撮像すると、COF1のパターンは、その裏面側のプッシャープレート2aの表面と混じりあった状態となり、目視でも確認できない状態となる。
従って、画像処理装置においても、特定のパターンの登録、検出ができなかった。
【0007】
本発明の課題は、オートハンドラにおいて、COF撮像の際に、光の反射量を押さえ、更には、乱反射を防止し、画像処理可能な安定したCOFの画像が取り込めるようにすることである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決すべく請求項1記載の発明は、
例えば、図1及び図2に示すように、
半透明のCOF1を供給リール11からプッシャー2を経て収容リール12まで搬送し、COF1に対しプッシャー2と反対側に配置され、COF1を照射する撮像用照明装置7を備え、COF1に対しプッシャー2と反対側に配置され、COF1を撮像する撮像装置5を有し、撮像装置5によりCOF表面を撮像し、プッシャー2を動かしてプローブカード3とCOF1を位置決めするCOF用オートハンドラにおいて、
プッシャー2とCOF1との間に浮き部分が生じた場合においても、鮮明なCOF画像が得られるようにするために、前記プッシャー2の前記COF1の背面に当接する面を、前記撮像用照明装置7から照射され、COF1を通過した光を吸収する光吸収色部2bとしたことを特徴とする。
【0009】
請求項1記載の発明によれば、オートハンドラのプッシャーにおいて、撮像時の照明光がCOF背面に当接する面の光吸収色となる黒色の表面部で吸収されるので、プッシャー表面での反射光が微小なものとなる。
従って、光の反射量を押さえて、画像処理可能な安定したCOF画像が取り込めるようになる。
【0010】
請求項2記載の発明は、
請求項1記載のCOF用オートハンドラであって、
前記撮像用照明装置7は前記COF1の表面と照射がなす角が鋭角な照明部7bを有することを特徴とする。
【0011】
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の撮像用照明装置による鋭角な入射角をもった照明光がCOF表面とプッシャー表面とで鋭角な斜め方向に抜けるので、COF表面及びプッシャー表面での反射光は撮像装置には直接戻らない。
従って、光の反射量を押さえて、画像処理可能な安定したCOF画像が取り込めるようになる。
【0012】
請求項3記載の発明は、
請求項2記載のCOF用オートハンドラであって、
前記撮像用照明装置7は散乱光を照射することを特徴とする。
【0013】
請求項3記載の発明によれば、請求項2記載の撮像用照明装置による散乱光の照射によって、乱反射を防止でき、より安定したCOF画像が取り込める。
【0014】
請求項4記載の発明は、
請求項1〜3のいずれかに記載のCOF用オートハンドラであって、
前記光吸収色部は黒色メッキが施されていることを特徴とする。
【0015】
請求項5記載の発明は、
請求項1〜4のいずれかに記載のCOF用オートハンドラであって、
前記プッシャーは前記COFを平坦に密着保持することを特徴とする。
【0016】
請求項6記載の発明は、
請求項1〜5のいずれかに記載のCOF用オートハンドラであって、
前記COFは位置決めマークを有し、
前記COFに対し前記プッシャーと反対側に配置された撮像装置により前記位置決めマークを含んで前記COF表面を撮像し、
その位置決めマークを含んだ画像を取り込んだ画像処理装置において、予め登録されている位置決めマークの画像データと現在の画像データの位置決めマークの位置関係を計算し、
その位置決めマークの位置の差分だけ前記プッシャーを動かして、前記COFとその表面側に配置されたプローブカードの位置決めを行うことを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
まず、図1及び図2において、1はCOF、2はプッシャー(測定部)、2aはプッシャープレート、3はプローブカード、4はテストヘッド、4aは穴部、5はカメラユニット(撮像装置)、7は照明装置、11は供給リール、12は収容リール、13・14はスプロケット、15はパンチ(分類部)である。
本発明は、プッシャープレート2a及び照明装置7に変更を施したものである。
【0018】
すなわち、プッシャー2には、COF1の種類に応じて製作されたプッシャープレート2aが装着されている。
このプッシャープレート2aのCOF1の裏面に平坦に密着する部分は、例えば、黒色メッキが施された黒色表面部2bとなっている。すなわち、この黒色表面部2bは、光の反射を防止する光吸収機能を有している。
【0019】
そして、照明装置7は、プッシャー2に対しテストヘッド4の手前側に配置されており、例えば、LED照明のような散乱光を発する中央照明部7a及び側方照明部7bからなる。
これら中央照明部7a及び側方照明部7bは、図示のように、プローブカード3とテストヘッド4の間に配置され、プローブカード3に遮られない位置でCOF1を照射する。特に、中央照明部7aの両側の側方照明部7bは、COF1の表面と照射がなす角が浅い角度(鋭角)で照射する配置となっている。
【0020】
以上のようにCOF用オートハンドラにおいて、黒色表面部2bを有するプッシャープレート2aと、COF1の表面と照射がなす角が鋭角に照射する側方照明部7bを有する照明装置7とを備えたことで、測定部(プッシャー)2でのCOF撮像時に以下の作用効果が得られる。
測定部(プッシャー)2において、プッシャープレート2aの黒色表面部2bにより背面を平坦に密着保持されたCOF1が、照明装置7のLED照明のような散乱光により照射された状態で、カメラユニット5により良好に撮像される。
【0021】
すなわち、照明装置7の中央照明部7a及び側方照明部7bからそれぞれ照射された散乱光は、半透明のCOF1を通過してプッシャープレート2aに達するが、その黒色表面部2bで吸収される。このため、プッシャープレート2a表面での反射光は、図3に矢印で示したように、COF1表面のレジスト1d及び位置決めマーク1eでの反射光と同様、微小な反射光となる。
そして、側方照明部7bから照射された散乱光は、図3に矢印で示したように、COF1表面とプッシャープレート2a表面とで鋭角な斜め方向に抜け、プッシャープレート2a表面に対し直角方向のカメラユニット5には直接戻らない。
以上の結果、図3に小さな矢印で示したように、COF1表面の位置決めマーク1eで代表される光沢面で反射した散乱光のみがカメラユニット5に戻るだけとなる。
【0022】
従って、カメラユニット5によりCOF1表面の位置決めマーク1eを含んで撮像し、その位置決めマーク1eを含んだ画像を図示しない画像処理装置に取り込んで、乱反射が生じない鮮明な画像が得られる。
その結果、画像処理装置において、予め登録されている位置決めマーク1eの画像データと現在の画像データの位置決めマーク1eの位置関係を計算後、その差分だけプッシャー2を動かしてプローブカード3とCOF1を正確に位置決めできる。また、同様に、COF1のテストパッド1cとプローブカード3のプローブの初期の位置合わせも正確にできる。
【0023】
なお、プッシャープレート2aの黒色表面部(光吸収色部)2bの形成、照明装置7の散乱光用の光源、その側方照明部7bの配置角度等については、実施形態に限らず任意であることは勿論である。
【0024】
【発明の効果】
請求項1記載の発明によれば、COF背面に当接する面の光吸収色による黒色の表面部で照明光を吸収して、プッシャー表面での反射光を微小にできるため、光の反射量を押さえて安定したCOF画像の取り込みが可能になる。
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明により得られる効果に加え、COF表面とプッシャー表面で照明光を鋭角な斜め方向に反射させて、反射光を撮像装置に直接戻らなくできるため、光の反射量を押さえて安定したCOF画像の取り込みが可能になる。
請求項3記載の発明によれば、請求項2記載の発明により得られる効果に加え、撮像用照明装置による散乱光による照射により乱反射を防止して、より安定したCOF画像を撮像できる。
従って、本発明によれば、オートハンドラにおいて、乱反射が生じない鮮明なCOF画像を得て、プローブカードとCOFを正確に位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した一例としてのCOF用オートハンドラと撮像装置及び照明装置の概略構成を正面から見た模式図である。
【図2】図1の測定部及び照明装置部分の拡大図である。
【図3】図1及び図2の照明装置による照明光の反射状態を示した図である。
【図4】COFの一般な構成例を示した平面図である。
【図5】従来のCOF用オートハンドラと撮像装置及び照明装置の概略構成を正面から見た模式図である。
【図6】図5の照明装置による照明光の反射状態を示した図である。
【符号の説明】
1 COF
1a リード
1b ICチップ
1c テストパッド
1d レジスト
1e 位置決めマーク
2 プッシャー(測定部)
2a プッシャープレート
2b 黒色表面部(光吸収色部)
4 テストヘッド
4a 穴部
5 撮像装置
7 照明装置
7a 中央照明部
7b 側方照明部
11 供給リール
12 収容リール
15 パンチ(分類部)[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an auto handler that tests and classifies COF (Chip on film).
[0002]
[Prior art]
Similar to the well-known TAB (Tape Automated Bonding) auto handler, the COF auto handler transports IC devices mounted on a tape, and converts the IC devices into, for example, good products and defective products according to the classification signal from the IC tester. It is a device to classify.
Here, the COF has the following characteristics as compared with the conventional TAB.
(1) The tape thickness of TAB was 75 um or more, whereas COF is thin and translucent with a tape thickness of 40 um or less.
(2) In TAB, mounting from the back side of the pattern was the mainstream, whereas in COF, the IC chip mounting and the pattern surface are the same.
(3) In TAB, there was a short circuit in the folding window, whereas in COF, there was no folding window and there was no electrical short circuit on the back surface.
The COF having such a feature is used in, for example, a driving IC for an LCD (liquid crystal display).
[0003]
FIG. 4 shows a general configuration example of the COF, where 1 is a COF, 1a is a lead, 1b is an IC chip, 1c is a test pad, 1d is a resist, and 1e is a positioning mark.
In the
[0004]
FIG. 5 shows a schematic configuration of a conventional COF auto-handler, imaging device and illumination device from the front. 2 is a pusher (measurement unit), 2a is a pusher plate, 3 is a probe card, 4 is a test head, 4a Is a hole portion, 5 is a camera unit (imaging device), 6 is an illumination device, 11 is a supply reel, 12 is a receiving reel, 13 and 14 are sprockets, and 15 is a punch (classification portion).
More specifically, this COF autohandler transports
In the vicinity of the
[0005]
In the measurement unit (pusher) 2, the
Here, the pusher plate 2a is in close contact with the back surface of the
After imaging, an image processing apparatus (not shown) calculates the positional relationship between the image data of the registration mark 1e registered in advance and the positioning mark 1e of the current image data, moves the
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the
Therefore, the specific pattern cannot be registered and detected even in the image processing apparatus.
[0007]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to suppress the amount of light reflection during COF imaging in an auto handler, and further to prevent irregular reflection so that a stable COF image capable of image processing can be captured.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the invention described in
For example, as shown in FIGS.
The
Even when a floating portion is generated between the
[0009]
According to the invention of
Accordingly, it is possible to capture a stable COF image capable of image processing while suppressing the amount of reflected light.
[0010]
The invention according to
An auto handler for COF according to
The imaging illumination device 7 includes an
[0011]
According to the second aspect of the present invention, since the illumination light having an acute angle of incidence of the imaging illumination apparatus according to
Accordingly, it is possible to capture a stable COF image capable of image processing while suppressing the amount of reflected light.
[0012]
The invention described in claim 3
An auto handler for COF according to
The imaging illumination device 7 irradiates scattered light.
[0013]
According to the invention described in claim 3, irregular reflection can be prevented by irradiation of scattered light by the imaging illumination device according to
[0014]
The invention according to
The auto handler for COF according to any one of
The light absorbing color portion is black-plated .
[0015]
The invention according to claim 5
An auto handler for COF according to any one of
The pusher is characterized in that the COF is held in close contact with the flat surface .
[0016]
The invention described in claim 6
A COF auto handler according to any one of
The COF has a positioning mark,
The COF surface including the positioning mark is imaged by an imaging device arranged on the opposite side of the pusher with respect to the COF,
In the image processing apparatus that captures the image including the positioning mark, calculate the positional relationship between the registration mark image data registered in advance and the current image data positioning mark,
The pusher is moved by the difference between the positions of the positioning marks to position the COF and the probe card disposed on the surface thereof.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 and 2, 1 is a COF, 2 is a pusher (measurement unit), 2a is a pusher plate, 3 is a probe card, 4 is a test head, 4a is a hole, 5 is a camera unit (imaging device), 7 is an illumination device, 11 is a supply reel, 12 is a receiving reel, 13 and 14 are sprockets, and 15 is a punch (classification unit).
In the present invention, the pusher plate 2a and the lighting device 7 are modified.
[0018]
In other words, the pusher plate 2 a manufactured according to the type of the
The portion of the pusher plate 2a that is in close contact with the back surface of the
[0019]
And the illuminating device 7 is arrange | positioned in front of the
The
[0020]
As described above, the COF auto handler includes the pusher plate 2a having the black surface portion 2b and the illumination device 7 having the
In the measurement unit (pusher) 2, the
[0021]
That is, scattered light emitted from the
Then, as shown by the arrows in FIG. 3, the scattered light emitted from the
As a result, as shown by the small arrows in FIG. 3, only the scattered light reflected by the glossy surface represented by the positioning mark 1e on the surface of the
[0022]
Accordingly, the camera unit 5 captures an image including the positioning mark 1e on the surface of the
As a result, in the image processing apparatus, after calculating the positional relationship between the image data of the registration mark 1e registered in advance and the positioning mark 1e of the current image data, the
[0023]
In addition, about formation of the black surface part (light absorption color part) 2b of the pusher plate 2a, the light source for the scattered light of the illuminating device 7, the arrangement | positioning angle of the
[0024]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, the illumination light is absorbed by the black surface portion of the light absorptive color of the surface abutting on the COF back surface, and the reflected light on the pusher surface can be made minute. A stable COF image can be captured by pressing.
According to the second aspect of the invention, in addition to the effect obtained by the first aspect of the invention , the reflected light is not returned directly to the imaging device by reflecting the illumination light in an acute oblique direction on the COF surface and the pusher surface. Therefore, it is possible to capture a stable COF image while suppressing the amount of reflected light.
According to the invention described in claim 3, in addition to the effect obtained by the invention described in
Therefore, according to the present invention, the auto handler can obtain a clear COF image in which irregular reflection does not occur, and can accurately position the probe card and the COF.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view of a schematic configuration of a COF autohandler, an imaging apparatus, and an illumination apparatus as an example to which the present invention is applied as viewed from the front.
FIG. 2 is an enlarged view of a measurement unit and a lighting device portion of FIG.
3 is a view showing a reflection state of illumination light by the illumination device of FIGS. 1 and 2. FIG.
FIG. 4 is a plan view showing a general configuration example of a COF.
FIG. 5 is a schematic view of a schematic configuration of a conventional COF auto handler, an imaging device, and an illumination device as viewed from the front.
6 is a view showing a reflection state of illumination light by the illumination device of FIG. 5. FIG.
[Explanation of symbols]
1 COF
2a Pusher plate 2b Black surface part (light absorption color part)
4
Claims (6)
前記プッシャーと前記COFとの間に浮き部分が生じた場合においても、鮮明なCOF画像が得られるようにするために、前記プッシャーの前記COFの背面に当接する面を、前記撮像用照明装置から照射され、COFを通過した光を吸収する光吸収色部としたことを特徴とするCOF用オートハンドラ。The translucent COF is transported from the supply reel to the receiving reel through the pusher, and is disposed on the opposite side of the pusher with respect to the COF, and includes an imaging illumination device that irradiates the COF, and is disposed on the opposite side of the pusher with respect to the COF . In a COF auto handler that has an imaging device that images a COF, images the surface of the COF by the imaging device, and moves the pusher to position the probe card and the COF.
Even when a floating portion is generated between the pusher and the COF, in order to obtain a clear COF image, the surface of the pusher that is in contact with the back surface of the COF is separated from the imaging illumination device. An auto handler for COF, characterized in that a light-absorbing color portion that absorbs light that has been irradiated and passed through the COF is formed.
前記COFに対し前記プッシャーと反対側に配置された撮像装置により前記位置決めマークを含んで前記COF表面を撮像し、
その位置決めマークを含んだ画像を取り込んだ画像処理装置において、予め登録されている位置決めマークの画像データと現在の画像データの位置決めマークの位置関係を計算し、
その位置決めマークの位置の差分だけ前記プッシャーを動かして、前記COFとその表面側に配置されたプローブカードの位置決めを行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のCOF用オートハンドラ。The COF has a positioning mark,
The COF surface including the positioning mark is imaged by an imaging device arranged on the opposite side of the pusher with respect to the COF,
In the image processing apparatus that captures the image including the positioning mark, calculate the positional relationship between the registration mark image data registered in advance and the current image data positioning mark,
6. The COF auto-handler according to claim 1, wherein the pusher is moved by the difference between the positions of the positioning marks to position the COF and the probe card disposed on the surface thereof. .
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