JP3084926B2 - Chip observation device - Google Patents

Chip observation device

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JP3084926B2
JP3084926B2 JP04134685A JP13468592A JP3084926B2 JP 3084926 B2 JP3084926 B2 JP 3084926B2 JP 04134685 A JP04134685 A JP 04134685A JP 13468592 A JP13468592 A JP 13468592A JP 3084926 B2 JP3084926 B2 JP 3084926B2
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JP
Japan
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light
chip
source
filter
transfer head
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JP04134685A
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貴之 畑瀬
徹 赤阪
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Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
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Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はチップの観察装置に係
り、詳しくは、明るい背景の中にチップを暗く観察する
ことと、暗い背景の中にチップを明るく観察することを
選択できるチップの観察装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for observing a chip, and more particularly, to observing a chip which can be selected to observe a chip darkly on a light background or to observe a chip brightly on a dark background. Related to the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】IC、LSI、抵抗チップ、コンデンサ
チップなどのチップタイプの電子部品(以下、「チッ
プ」という)を基板に自動搭載するチップマウンタは、
移載ヘッドのノズルにチップを真空吸着し、このチップ
を基板へ移送するようになっている。
2. Description of the Related Art A chip mounter that automatically mounts chip-type electronic components (hereinafter, referred to as "chips") such as ICs, LSIs, resistor chips, and capacitor chips on a substrate.
The chip is vacuum-sucked to the nozzle of the transfer head, and the chip is transferred to the substrate.

【0003】この場合、チップは基板の所定の座標位置
に正しく搭載せねばならないことから、移載ヘッドがチ
ップを基板に移送する途中において、ノズルに吸着され
たチップをカメラにより観察してチップの位置ずれを光
学的に検出し、検出された位置ずれを補正したうえで、
基板に搭載するようになっている。
In this case, the chip must be correctly mounted at a predetermined coordinate position on the substrate. Therefore, while the transfer head is transferring the chip to the substrate, the chip adsorbed by the nozzle is observed by a camera, and the position of the chip is measured. After optically detecting the displacement and correcting the detected displacement,
It is designed to be mounted on a substrate.

【0004】このようなチップの観察装置としては、例
えば特開平2−99000号公報に開示されているよう
に、移載ヘッドの下部に白色のアクリル樹脂板のような
光拡散板を設け、この光拡散板に向かって下方から光を
照射し、その反射光を下方のカメラで受光する手段が知
られており、この手段によれば図3に示すように明るい
背景の中にチップPを暗く観察することができる。
As such a chip observing apparatus, for example, a light diffusing plate such as a white acrylic resin plate is provided below a transfer head, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-99000. Means for irradiating light from below toward the light diffusing plate and receiving the reflected light with a lower camera are known. According to this means, the chip P is darkened in a bright background as shown in FIG. Can be observed.

【0005】またこれとは反対に、移載ヘッドの下部に
暗色の光吸収板を設け、ノズルに真空吸着されたチップ
へ向かって下方から光を照射して、下方のカメラで観察
することにより、図4に示すように暗い背景の中にチッ
プPを明るく観察する手段が知られている。何れにせ
よ、チップの観察装置は、チップとその背景を明瞭な明
暗のコントラストで観察するようになっている。
On the contrary, a dark light absorbing plate is provided at the lower part of the transfer head, and light is emitted from below toward the chip vacuum-adsorbed to the nozzle, and observed by a camera below. Means for observing a chip P brightly in a dark background as shown in FIG. 4 are known. In any case, the chip observation device observes the chip and its background with a clear contrast of light and dark.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】移載ヘッドは、様々な
品種のチップを基板に移送搭載するものであり、チップ
の品種に応じて、図3及び図4に示す2つの明暗態様で
チップを観察することが望ましい。ところが従来、同一
の観察装置で前記2つの明暗態様で観察できる手段はな
かったため、図3に示すようにチップを明るい背景の中
で暗く観察するか、又は図4に示すように暗い背景の中
で明るく観察する手段が択一的に採用されていた。
A transfer head transfers and mounts various types of chips on a substrate, and transfers the chips in two light and dark modes shown in FIGS. 3 and 4 according to the type of chips. It is desirable to observe. However, conventionally, there has been no means for observing the two light and dark modes with the same observation apparatus. Therefore, the chip is observed dark in a light background as shown in FIG. 3 or is displayed in a dark background as shown in FIG. Means for observing brightly with the camera were alternatively adopted.

【0007】そこで本発明は、チップの品種に応じて、
明るい背景の中にチップを暗く観察することと、暗い背
景の中にチップを明るく観察することを選択できるチッ
プの観察装置を提供することを目的とする。
Therefore, the present invention provides an
It is an object of the present invention to provide a chip observing apparatus that allows a user to select between observing a chip darkly on a bright background and observing the chip brightly on a dark background.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】このために本発明は、ノ
ズルにチップを吸着する移載ヘッドへ向かって光を照射
する第1の光源及び第2の光源と、移載ヘッドの下部に
積層して設けられた光拡散板及びフィルターとを構成
し、第1の光源と第2の光源のフィルターに対する分光
特性を異ならせたものである。
For this purpose, the present invention comprises a first light source and a second light source for irradiating light to a transfer head for attracting a chip to a nozzle, and the light source is stacked below the transfer head. A light diffusion plate and a filter are provided, and the first light source and the second light source have different spectral characteristics with respect to the filter.

【0009】[0009]

【作用】上記構成によれば、2つの光源を切り替えるこ
とにより、明るい背景の中にチップを暗く観察すること
と、暗い背景の中にチップを明るく観察することを選択
することができる。
According to the above arrangement, by switching between the two light sources, it is possible to select between observing the chip darkly on a bright background and observing the chip brightly on a dark background.

【0010】[0010]

【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0011】図1はチップの観察装置の側面図である。
移載ヘッド1の下部には、例えば白色アクリル樹脂板の
ような光拡散板と、青色透明のフィルター3が積層して
設けられており、またこの移載ヘッド1から下方へ突出
するノズル4の下端部4にチップPが真空吸着されてい
る。この移載ヘッド1は、パーツフィーダ(図外)に備
えられたチップPを真空吸着してピックアップし、基板
(図外)に移送搭載するものであり、この移送の途中に
おいて、この観察装置によりノズル4に吸着されたチッ
プPの位置ずれを検出する。
FIG. 1 is a side view of a chip observation device.
A light diffusing plate such as a white acrylic resin plate and a blue transparent filter 3 are laminated and provided below the transfer head 1, and a nozzle 4 protruding downward from the transfer head 1 is provided. The tip P is vacuum-adsorbed to the lower end 4. The transfer head 1 picks up a chip P provided in a parts feeder (not shown) by vacuum suction and transfers the chip P to a substrate (not shown). The displacement of the chip P sucked by the nozzle 4 is detected.

【0012】5は移載ヘッド1の移動路の下方に設けら
れたケースであり、その内部にはミラー6が45°傾斜
して内蔵されており、またその側方にはミラー6に反射
された光を受光するカメラ7が設けられている。またケ
ース5の上面には第1の光源8と第2の光源9が設けら
れている。本実施例では、第1の光源8はLEDであ
り、またこれから照射されるLED光LLの照射角度θ
1はかなり広角度であって、小チップからQFPのよう
なリードを有する大チップまで光を照射できる。また第
2の光源9はハロゲンランプであり、またこれから照射
されるハロゲン光HLの照射角度θ2は狭角度であり、
チップPに光が照射されないように光拡散板2に対して
光を照射する。
Reference numeral 5 denotes a case provided below the moving path of the transfer head 1, in which a mirror 6 is built at an inclination of 45 °, and is reflected by the mirror 6 on its side. A camera 7 for receiving the reflected light is provided. A first light source 8 and a second light source 9 are provided on the upper surface of the case 5. In this embodiment, the first light source 8 is an LED, and the irradiation angle θ of the LED light LL to be irradiated from now on.
1 is a very wide angle and can irradiate light from a small chip to a large chip having leads such as a QFP. Further, the second light source 9 is a halogen lamp, and the irradiation angle θ2 of the halogen light HL to be irradiated is a narrow angle,
Light is irradiated to the light diffusion plate 2 so that the chip P is not irradiated with light.

【0013】図2はLED光LLとハロゲン光HLの分
光特性と、フィルター3の光透過率BFの特性を示して
いる。図示するように、LED光LLのピーク波長は6
55nm付近であって、この波長付近に集中しているの
に対し、ハロゲン光HLのピーク波長は620nm付近
であり、これよりも大きな波長は急激に減衰し、またこ
れよりも小さな波長は緩やかに減衰する。またフィルタ
ー3の光透過率は520nm以下及び670nm以上で
高く、520nm〜670nm付近では著しく低い。し
たがってこのフィルター3はLED光LLは殆ど透過し
ないが、520nm以下のハロゲン光HLはかなり透過
する。
FIG. 2 shows the spectral characteristics of the LED light LL and the halogen light HL and the characteristics of the light transmittance BF of the filter 3. As shown, the peak wavelength of the LED light LL is 6
The peak wavelength of the halogen light HL is around 620 nm while the peak wavelength of the halogen light HL is around 620 nm. Decay. The light transmittance of the filter 3 is high at 520 nm or less and 670 nm or more, and is extremely low near 520 nm to 670 nm. Therefore, this filter 3 hardly transmits the LED light LL, but considerably transmits the halogen light HL of 520 nm or less.

【0014】図3は、LEDから成る第1の光源8を消
灯し、ハロゲンランプから成る第2の光源9を点灯し
て、チップPを観察した画像を示している。図2を参照
しながら説明したように、フィルター3は520nm以
下のハロゲン光HLはかなり透過するので、この透過し
たハロゲン光HLは光拡散板2で散乱され、光拡散板2
は明るく観察される。また上述したようにハロゲン光H
LはチップPには照射されないのでチップPは暗く観察
される。
FIG. 3 shows an image obtained by observing the chip P by turning off the first light source 8 composed of an LED and turning on the second light source 9 composed of a halogen lamp. As described with reference to FIG. 2, since the filter 3 transmits the halogen light HL of 520 nm or less considerably, the transmitted halogen light HL is scattered by the light diffusion plate 2,
Is observed brightly. As described above, the halogen light H
Since L is not irradiated on the chip P, the chip P is observed dark.

【0015】図4は第1の光源8を点灯し、第2の光源
9を消灯した場合を示している。この場合、LED光L
LはチップPの下面に照射されるのでチップは明るく観
察されるが、フィルター3に照射されたLED光LL
は、図2を参照しながら説明したようにフィルター3を
透過せず、その大部分がフィルター3に吸収されるの
で、チップPの背景は暗く観察される。このように本手
段によれば、第1の光源8と第2の光源9を切り替える
ことにより、図3及び図4に示す2つの明暗コントラス
トでチップPを観察できる。
FIG. 4 shows a case where the first light source 8 is turned on and the second light source 9 is turned off. In this case, the LED light L
Since L is irradiated on the lower surface of the chip P, the chip is observed brightly, but the LED light LL irradiated on the filter 3
Does not pass through the filter 3 as described with reference to FIG. 2 and most of the light is absorbed by the filter 3, so that the background of the chip P is observed dark. As described above, according to the present means, by switching between the first light source 8 and the second light source 9, the chip P can be observed with the two contrasts shown in FIGS.

【0016】本発明は上記実施例に限定されないのであ
って、例えば光源としては、ハロゲンランプやLED以
外のものでもよく、要はフィルターの分光特性の異なる
2種類の光源を使用してこれらの光源を切り替えること
により、図3及び図4で示す2つの明暗コントラストで
チップを観察できるようにすればよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, a light source other than a halogen lamp or an LED may be used. In short, two types of light sources having different filter spectral characteristics are used. , The chip can be observed with the two contrasts shown in FIGS. 3 and 4.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ノ
ズルに吸着されたチップの品種に応じて、第1の光源と
第2の光源を切り替えることにより、明るい背景の中に
チップを暗く観察することと、暗い背景の中にチップを
明るく観察することを選択することができる。
As described above, according to the present invention, by switching between the first light source and the second light source in accordance with the type of chip adsorbed by the nozzle, the chip is darkened on a light background. You can choose to observe and brightly observe the chip in a dark background.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るチップの観察装置の側面図FIG. 1 is a side view of a chip observation device according to the present invention.

【図2】本発明に係るフィルターの光透過率と分光特性
FIG. 2 is a diagram showing light transmittance and spectral characteristics of a filter according to the present invention.

【図3】本発明に係るチップの画像図FIG. 3 is an image diagram of a chip according to the present invention.

【図4】本発明に係るチップの画像図FIG. 4 is an image diagram of a chip according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 移載ヘッド 2 光拡散板 3 フィルター 4 ノズル 7 カメラ 8 第1の光源 9 第2の光源 REFERENCE SIGNS LIST 1 transfer head 2 light diffusion plate 3 filter 4 nozzle 7 camera 8 first light source 9 second light source

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/00 - 11/30 G01N 21/84 G03B 15/00 H01L 21/66 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01B 11/00-11/30 G01N 21/84 G03B 15/00 H01L 21/66

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ノズルにチップを吸着する移載ヘッドへ向
かって光を照射する第1の光源及び第2の光源と、前記
移載ヘッドの下部に積層して設けられた光拡散板及びフ
ィルターと、この光拡散板及び前記チップに反射された
光が入射するカメラとを備え、前記第1の光源と第2の
光源の前記フィルターに対する分光特性を異ならせたこ
とを特徴とするチップの観察装置。
A first light source and a second light source for irradiating light to a transfer head for attracting a chip to a nozzle; a light diffusing plate and a filter provided below the transfer head; And a camera on which the light reflected by the light diffusing plate and the chip is incident, wherein the first light source and the second light source have different spectral characteristics with respect to the filter. apparatus.
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