JP4377258B2 - Component mounting inspection method and circuit board inspection apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、回路部品の実装良否を検査する部品実装検査方法、およびその部品実装検査方法に従って回路基板を検査する回路基板検査装置に関するものである。 The present invention relates to a component mounting inspection method for inspecting circuit component mounting quality and a circuit board inspection apparatus for inspecting a circuit board according to the component mounting inspection method.
この種の回路基板検査装置として、出願人は、部品有無検出プローブを用いて回路部品の実装の有無(実装良否)を検査する回路基板検査装置を特開平7−72210号公報に開示している。この場合、部品有無検出プローブは、同公報の図3に示すように、第1プローブピン20、第2プローブピン21、前側保持部材22および後側保持部材23を備えて構成されている。また、両プローブピン20,21は、付勢手段25,26によって保持部材22,23から突き出される方向に付勢されている。さらに、第2プローブピン21および前側保持部材22には、第1プローブピン20の先端部が回路部品に対して非接触の状態において短絡状態となる接点部b1,b2が設けられている。
As this type of circuit board inspection apparatus, the applicant has disclosed a circuit board inspection apparatus for inspecting the presence / absence of mounting of circuit components (mounting quality) using a component presence / absence detection probe in Japanese Patent Laid-Open No. 7-72210. . In this case, as shown in FIG. 3 of the publication, the component presence / absence detection probe includes a first probe pin 20, a second probe pin 21, a
この回路基板検査装置によって回路部品の実装良否を検査する際には、まず、回路基板における検査対象の回路部品に対して(回路部品が実装されているべき部位に向けて)、その上方から部品有無検出プローブを下降させる。この際に、第1プローブピン20の先端部が回路部品の表面に接触した後に部品有無検出プローブをさらに下降させたときには、第1プローブピン20が前側保持部材22に対してスライドして第2プローブピン21をスライドさせる。この結果、同公報の図3(B)に示すように、接点部b1,b2が非接触状態となって、スライド以前に短絡状態であった接点部b1,b2間の抵抗値が大きな値となる。したがって、この回路基板検査装置では、接点部b1,b2間の抵抗値を測定しつつ部品有無検出プローブを下降させて、抵抗値が変化した時点までの部品有無検出プローブの下降量に基づいて、第1プローブピン20の先端部が検査対象体(回路部品または回路基板の表面)に接触した高さを特定する。次いで、この高さを検査用の基準値と比較することによって、回路部品が実装されているか否かが検査される。
ところが、出願人が開示している回路基板検査装置には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、この回路基板検査装置では、接点部b1,b2間の抵抗値が変化した時点までの部品有無検出プローブの下降量に基づいて、第1プローブピン20の先端部が検査対象体に接触した高さを特定している。この場合、接点部b1,b2のような機械的な構成は、長期に亘って繰り返して使用した際に、塵埃の付着や接点の摩耗を招くことがある。この結果、第1プローブピン20が回路部品等に接触していない状態であるにも拘わらず、大きな抵抗値が測定されて、第1プローブピン20の先端部が検査対象体に接触した高さが誤って測定されるおそれがある。したがって、出願人が開示している回路基板装置では、接点の摩耗等に起因する誤判別を回避するために、回路部品に向けて部品有無検出プローブを下降させるのに先立って、接点部b1,b2相互間が短絡状態であるか否かの事前検査を実行している。このため、回路基板についての検査開始に先立って実行する事前検査が煩雑であり、この点を改善するのが好ましい。また、この回路基板検査装置では、第1プローブピン20の先端部が検査対象体に接触した状態から部品有無検出プローブをさらに下降させて回路部品の実装良否(実装有無)を検査している。したがって、回路部品や回路基板に対して第1プローブピン20の先端部がある程度の力で押し付けられるため、回路部品の上面や回路基板の基板面が傷付くおそれがあり、この点を改善するのが好ましい。 However, the circuit board inspection apparatus disclosed by the applicant has the following problems to be improved. That is, in this circuit board inspection device, the tip of the first probe pin 20 contacts the object to be inspected based on the descending amount of the component presence / absence detection probe up to the time when the resistance value between the contact portions b1 and b2 changes. The height is specified. In this case, a mechanical configuration such as the contact portions b1 and b2 may cause dust adhesion and contact wear when used repeatedly over a long period of time. As a result, although the first probe pin 20 is not in contact with a circuit component or the like, a large resistance value is measured, and the height at which the tip of the first probe pin 20 contacts the object to be inspected. May be measured incorrectly. Therefore, in the circuit board device disclosed by the applicant, prior to lowering the component presence / absence detection probe toward the circuit component, in order to avoid erroneous determination due to contact wear or the like, the contact portion b1, A pre-inspection is performed to determine whether or not b2 is in a short circuit state. For this reason, the preliminary inspection performed prior to the start of the inspection of the circuit board is complicated, and it is preferable to improve this point. In this circuit board inspection apparatus, the component presence / absence detection probe is further lowered from the state in which the tip of the first probe pin 20 is in contact with the object to be inspected to inspect whether or not the circuit component is mounted (mounting presence / absence). Therefore, since the tip of the first probe pin 20 is pressed against the circuit component or the circuit board with a certain amount of force, the upper surface of the circuit component or the board surface of the circuit board may be damaged. Is preferred.
一方、特開2002−13916号公報には、電子部品20に向けてセンサ光を照射して、電子部品20で反射された反射光を一対の判別センサ10(第1センサ11および第2センサ12)で受光することにより、その受光状態に基づいて電子部品20の実装良否(部品形状の相違)を検査する部品判別装置が開示されている。この部品判別装置によれば、機械的な接点を有する電気計測用プローブを使用して回路部品の実装良否を検査する構成とは異なり、接点の摩耗等に起因する誤判別を招くことなく、かつ、電子部品20に対して非接触の状態で(電子部品20を傷付けることなく)実装良否を検査することができる。しかし、第1センサ11および第2センサ12が電気計測用プローブと比較して高価なため、部品判別装置の製造コストを低減することが困難であるという問題点が存在する。
On the other hand, JP 2002-13916 A discloses a pair of discrimination sensors 10 (first sensor 11 and second sensor 12) that irradiates sensor light toward the electronic component 20 and reflects the reflected light reflected by the electronic component 20. ), A component discriminating device that inspects whether or not the electronic component 20 is mounted (difference in component shape) based on the received light state is disclosed. According to this component discriminating apparatus, unlike the configuration for inspecting the mounting quality of circuit components using an electrical measurement probe having a mechanical contact, there is no misclassification due to contact wear and the like, and The mounting quality can be inspected in a non-contact state with respect to the electronic component 20 (without damaging the electronic component 20). However, since the first sensor 11 and the
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、回路基板検査装置の製造コストの高騰および検査対象体の傷付きを回避しつつ、機械的な接点を用いることなく回路部品の実装良否を検査し得る部品実装検査方法および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem to be improved, and avoids a rise in the manufacturing cost of a circuit board inspection apparatus and damage to an inspection object, while avoiding damage to a circuit object without using mechanical contacts. The main object is to provide a component mounting inspection method and a circuit board inspection apparatus capable of inspecting mounting quality.
上記目的を達成すべく請求項1記載の部品実装検査方法は、回路基板上における検査対象の各回路部品が実装されているべき実装空間に近接する所定位置に先端部を位置させた電気計測用プローブと基準電極との間についての電気的パラメータを測定し、前記回路部品の正常実装状態および非実装状態のいずれか一方の状態において前記各所定位置に前記先端部を位置させた前記電気計測用プローブと前記基準電極との間についての前記電気的パラメータを当該各回路部品についての基準値として、前記測定した電気的パラメータと当該各回路部品についての前記基準値とに基づいて前記各回路部品の実装良否を検査する際に、前記先端部が実装されているべき前記回路部品に接する直前の位置を前記所定位置とする。なお、本明細書における「実装良否の検査」には、回路部品の実装有無、実装位置の良否(位置ずれの有無)、実装姿勢の良否、および実装されているべき回路部品とは種類が相違する回路部品の実装有無などの各種の検査が含まれる。
In order to achieve the above object, the component mounting inspection method according to
請求項2記載の部品実装検査方法は、請求項1記載の部品実装検査方法において、前記実装空間における実装されているべき前記回路部品の上面を臨む位置を前記所定位置とする。 A component mounting inspection method according to a second aspect is the component mounting inspection method according to the first aspect, wherein a position facing the upper surface of the circuit component to be mounted in the mounting space is the predetermined position.
請求項3記載の部品実装検査方法は、請求項1または2記載の部品実装検査方法において、前記電気計測用プローブと前記基準電極との間の静電容量を前記電気的パラメータとして測定する。 A component mounting inspection method according to a third aspect is the component mounting inspection method according to the first or second aspect , wherein a capacitance between the electrical measurement probe and the reference electrode is measured as the electrical parameter.
請求項4記載の回路基板検査装置は、電気計測用プローブと、当該電気計測用プローブを移動させるプローブ移動機構と、前記電気計測用プローブおよび基準電極の間についての電気的パラメータを測定する測定部と、前記プローブ移動機構を制御すると共に前記電気的パラメータに基づいて回路部品の実装良否を検査する制御部と、前記回路基板上における検査対象の各回路部品が実装されているべき実装空間に近接する所定位置を記憶すると共に当該各所定位置に先端部を位置させた前記電気計測用プローブと基準電極との間についての電気的パラメータであって当該回路部品の正常実装状態および非実装状態のいずれか一方の状態において測定された値を当該各回路部品についての基準値として記憶する記憶部とを備え、前記制御部は、前記プローブ移動機構を制御して前記電気計測用プローブを前記記憶部に記憶されている前記各回路部品についての前記所定位置に位置させ、前記測定部に対して前記各所定位置における前記電気的パラメータを測定させ、当該測定させた電気的パラメータと当該各回路部品についての前記基準値とに基づいて当該各回路部品の実装良否を検査すると共に、前記先端部が実装されているべき前記回路部品に接する直前の位置を前記所定位置とする
5. The circuit board inspection apparatus according to
請求項5記載の回路基板検査装置は、請求項4記載の回路基板検査装置において、前記制御部は、前記実装空間における実装されているべき前記回路部品の上面を臨む位置を前記所定位置として前記プローブ移動機構に対して前記電気計測用プローブを移動させる。
The circuit board inspection apparatus according to claim 5 is the circuit board inspection apparatus according to
請求項6記載の回路基板検査装置は、請求項4または5記載の回路基板検査装置において、前記測定部は、前記電気計測用プローブと前記基準電極との間の静電容量を前記電気的パラメータとして測定する。
Circuit board inspection apparatus according to
請求項1記載の部品実装検査方法、および請求項4記載の回路基板検査装置では、回路基板上の所定位置に先端部を位置させた電気計測用プローブと基準電極との間についての電気的パラメータと基準値とを比較してその異同に基づいて回路部品の実装良否を検査する。この際に、回路部品が正常実装状態において測定した値を基準値として用いるときには、測定した電気的パラメータと基準値とが同等のとき(測定した電気的パラメータと基準値とが等しい、または、ほぼ等しいとき:一例として、±10%の範囲内のとき)に検査対象の回路部品が実装されていると判別し、電気的パラメータが基準値と同等ではないときに回路部品が実装されていないと判別する。また、回路部品が非実装状態において測定した値を基準値として用いるときには、測定した電気的パラメータと基準値とが同等ではないときに検査対象の回路部品が実装されていると判別し、電気的パラメータが基準値と回路部品が同等のときに実装されていないと判別する。したがって、回路部品の実装良否を検査するための機械的な接点が存在しないため、塵埃の付着や接点の摩耗に起因する誤判別を回避することができる。この結果、検査開始に先立って検査用プローブの良否を検査する事前検査を不要にできるため、回路部品の実装良否を迅速に検査することができる。また、電気計測用プローブの先端部を回路部品の上面や回路基板の基板面に接触させることなく回路部品の実装良否を検査することができるため、回路部品や回路基板への傷付き、および電気計測用プローブの破損を招くことなく、回路基板の良否を検査することができる。さらに、光センサを採用した検査装置と比較して簡易な構成で回路部品の実装良否を検査することができるため、回路基板検査装置の製造コストを十分に低減することができる。また、この部品実装検査方法、およびこの回路基板検査装置では、電気計測用プローブの先端部が回路部品に接する直前の位置を所定位置として検査する。したがって、回路部品が正常実装状態のときに回路部品の基準電極との距離が短くなる分だけ電気計測用プローブと基準電極との間の電気的パラメータ(例えば浮遊容量)が大きな値となる結果、回路部品の実装良否による測定結果の相違量を大きくすることができる。これにより、回路部品および回路基板への傷付きや電気計測用プローブの破損を招くことなく、回路部品の実装良否を正確に検査することができる。
5. The component mounting inspection method according to
また、請求項2記載の部品実装検査方法、および請求項5記載の回路基板検査装置では、実装空間における実装されているべき回路部品の上面を臨む位置に先端部を位置させた電気計測用プローブと基準電極との間についての電気的パラメータに基づいて回路部品の実装良否を検査する。したがって、例えば検査対象の回路部品の側方に電気計測用プローブの先端を位置させて検査する検査方法および検査装置とは異なり、隣り合う回路部品間のスペースが狭いときであっても、他の回路部品等に接触させることなく、電気計測用プローブの先端を回路部品の近傍(所定位置)に位置させることができる。この結果、回路部品の傷付きや電気計測用プローブの破損を招くことなく、回路基板の良否を検査することができる。
Further, in the component mounting inspection method according to
また、請求項3記載の部品実装検査方法、および請求項6記載の回路基板検査装置では、本発明における電気的パラメータとして基準電極と電気計測用プローブとの間の静電容量を測定して比較する。これにより、回路部品の実装良否を正確かつ容易に検査することができる。
Further, the component mounting inspection method according to
以下、本発明に係る部品実装検査方法および回路基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。 The best mode of a component mounting inspection method and a circuit board inspection apparatus according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
最初に、本発明に係る回路基板検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。
First, the configuration of the circuit
図1に示す回路基板検査装置1は、検査対象の回路基板Bについて各種の電気的検査を実行する装置であって、電気計測用プローブ2,3、プローブ移動機構5a,5b、測定部6、制御部7、RAM8およびROM9を備えて構成されている。電気計測用プローブ(以下、「プローブ」ともいう)2,3は、衝撃吸収一針型のコンタクトプローブであって、図2に示すように、測定部6に対してそれぞれ電気的に接続されたプローブピン2a,3aと、プローブ固定具4(図1参照)を介して移動機構5a,5bに取り付けられると共にプローブピン2a,3aを矢印Z1,Z2の向きでスライド(進退動)可能に保持する保持部2b,3bとを備えている。このプローブ2,3は、プローブピン2a,3aが保持部2b,3bに内蔵されたコイルスプリングによって矢印Z1の向きにそれぞれ付勢されている。プローブ移動機構(以下、「移動機構」ともいう)5a,5bは、制御部7の制御下でプローブ2,3を上下左右に移動させることにより、プローブピン2a,3aの先端部を、回路基板B上における検査対象の回路基板Bが実装されているべき実装位置(以下、「検査位置」ともいう)に移動させる。
A circuit
測定部6は、制御部7の制御に従ってプローブ2,3を介して回路基板Bに検査用の信号としての測定用交流信号を出力して、プローブ2と例えば回路基板B上の導体パターンBa等(3,4参照)との間の静電容量(本発明における電気的パラメータの一例)を測定する。具体的には、測定部6は、出力した測定用交流信号の電圧についての位相と、その回路基板Bおよび導体パターンBaを流れる電流についての位相との間の位相差を測定すると共に、測定用交流信号の電圧、測定用交流信号の電流、および測定した位相差に基づいてプローブ2および導体パターンBa間の静電容量を測定する。この場合、導体パターンBaは、本発明における基準電極の一例であって、図4に示すように、回路基板Bに実装される回路部品Pの電極部Paが接続されると共に内層パターンを介して導体パターンBbに接続されている。制御部7は、移動機構5a,5bおよび測定部6の動作を制御する。また、制御部7は、回路部品Pが実装されているべき実装位置で静電容量を測定させてRAM8に記憶させると共にRAM8に記憶させた静電容量に基づいて回路部品Pの実装良否を検査する検査処理を実行する。
The
RAM8は、本発明における記憶部に相当し、回路基板Bにおいて検査対象の回路部品Pが実装されているべき実装空間(図3に破線で示す空間、言い換えれば、実装されているべき回路部品P)に近接する検査位置(実装良否を検査すべき検査位置としての位置D)や、その検査位置についての基準値などを記憶すると共に、測定部6から出力された静電容量を記憶する。この場合、基準値は、図3に示すように、検査対象の回路基板Bであって回路部品Pが非実装状態の回路基板Bについて、その基板面から回路部品Pの上面までの距離(高さ)Lp以上だけ基板面から離間している位置Dに先端部を位置させたプローブ2(プローブピン2a)と導体パターンBaとの間についての静電容量を測定して作成されている。また、位置Dは、本発明における所定位置の一例であって、この回路基板検査装置1では、回路基板Bの基板面から回路部品Pの上面までの距離Lpよりも僅かに長い距離だけ基板面から離間した位置(プローブピン2aの先端部が回路部品Pの上面を臨む位置であって、その上面に極く接近する位置)に規定されている。つまり、位置Dは、プローブ2が回路部品Pの上方から近接(下降)させられたときに、回路部品Pの上面に接する直前の位置に規定されている。ROM9は、制御部7の動作プログラムなどを記憶する。
The
次に、回路基板検査装置1による回路基板Bの検査方法について、図面を参照して説明する。なお、検査用の基準値については、回路部品Pが非実装状態の回路基板Bから予め吸収してRAM8に記憶させてあるものとする。
Next, a method for inspecting the circuit board B by the circuit
まず、回路部品Pを実装した面(基板面)を表面側(上向き)にして検査対象の回路基板Bを検査位置にセットする。次に、制御部7が、例えば移動機構5bを制御することによってプローブ3を移動させて、プローブピン3aの先端部を導体パターンBbに接触させる。次に、制御部7は、移動機構5aを制御することにより、検査すべき回路部品Pが実装されているべき検査位置(測定ポイント)に対して所定の方向に離間した位置に予め規定されている位置(この例では、測定ポイントの上方)にプローブ2を移動させる。なお、回路基板Bを横向き状態で検査する際には、測定ポイントに対して所定の方向として横方向に離間した位置にプローブ2を位置させる。次いで、制御部7は、移動機構5aを制御することにより、プローブピン2aの先端部が位置Dに位置する高さまで基板面に向けてプローブ2を下降させる。続いて、制御部7は、測定部6に対して静電容量を測定させると共にその測定結果をRAM8に記憶させる。
First, the circuit board B to be inspected is set at the inspection position with the surface (board surface) on which the circuit component P is mounted facing the front side (upward). Next, the control part 7 moves the
この際に、図3に示すように、回路基板Bに回路部品Pが実装されていない状態(非実装状態)では、プローブピン2aの先端部と導体パターンBaとの距離に応じた浮遊容量C1が測定部6によって測定される。この浮遊容量C1は、基準値と同等の値(等しい値、または、ほぼ等しい値。一例として±10%の範囲内)値となるため、制御部7は、測定部6から出力された測定結果(上記の浮遊容量C1)と、RAM8に記憶されている基準値とを比較して、その値が同等であると判別して、その検査位置に回路部品Pが実装されていないと判別(検査)する。一方、図4に示すように、回路基板Bに回路部品Pが正常に実装されている状態(正常実装状態)では、プローブピン2aの先端部と導体パターンBaとの距離に応じた浮遊容量C1と共に、プローブピン2aの先端部と電極部Paとの距離に応じた浮遊容量C2などが加わった静電容量が測定部6によって測定される。この静電容量は、基準値よりも浮遊容量C2等の分だけ大きな値となる。したがって、制御部7は、測定部6から出力された測定結果(静電容量)と、RAM8に記憶されている基準値とを比較して、測定結果の方が大きな値であると判別して、その検査位置に回路部品Pが実装されていると判別(検査)する。
At this time, as shown in FIG. 3, in a state where the circuit component P is not mounted on the circuit board B (non-mounted state), the stray capacitance C1 corresponding to the distance between the tip of the
この後、制御部7は、回路基板B上のその他の測定ポイントについても、移動機構5a,5bを制御してプローブ2を位置Dに位置させると共にプローブ3を導体パターンに接触させた状態において測定部6に静電容量を測定させる。また、制御部7は、測定部6の測定結果と、各検査位置についての基準値とを比較することにより、両値が同等のときに回路部品Pが非実装状態であると判別し、測定部6の測定結果が基準値よりも大きな値のときに回路部品Pが正常実装状態であると判別する。この静電容量の測定および基準値との比較による回路部品Pの実装良否をすべての検査位置について検査することにより、回路基板Bの良否が判別される。
Thereafter, the control unit 7 also measures other measurement points on the circuit board B in a state where the
このように、この回路基板検査装置1、および回路基板検査装置1による検査方法によれば、回路基板B上の所定位置(この例では、検査対象の回路部品Pの実装空間に近接した位置であって、基板面から距離Lpだけ離間する位置)に先端部を位置させたプローブ2と導体パターンBaとの間についての静電容量に基づいて回路部品Pの実装良否を検査することにより、回路部品Pの実装良否を検査するための機械的な接点が存在しないため、塵埃の付着や接点の摩耗に起因する誤判別を回避することができる。したがって、検査開始に先立って検査用プローブの良否を検査する事前検査を不要にできるため、回路部品の実装良否を迅速に検査することができる。また、プローブ2(プローブピン2a)の先端部を回路部品Pの上面や回路基板Bの基板面に接触させることなく回路部品Pの実装良否を検査することができるため、回路部品Pや回路基板Bへの傷付き、およびプローブ2の破損を招くことなく、回路基板Bの良否を検査することができる。さらに、光センサを採用した検査装置と比較して簡易な構成で回路部品Pの実装良否を検査することができるため、回路基板検査装置の製造コストを十分に低減することができる。
As described above, according to the circuit
また、この回路基板検査装置1、および回路基板検査装置1による検査方法によれば、回路基板Bの基板面から回路部品Pにおける上面までの距離Lp以上だけ基板面から離間している位置に先端部を位置させたプローブ2と導体パターンBaとの間についての静電容量に基づいて回路部品Pの実装良否を検査することにより、例えば回路部品Pの側方に電気計測用プローブの先端を位置させて検査する検査方法および検査装置とは異なり、隣り合う回路部品P,P間のスペースが狭い場合であっても、他の回路部品P等に接触させることなく、プローブ2の先端を回路部品の近傍(所定位置)に位置させることができる。この結果、回路部品Pの傷付きやプローブ2の破損を招くことなく、回路基板Bの良否を検査することができる。
Further, according to the circuit
さらに、この回路基板検査装置1、および回路基板検査装置1による検査方法によれば、プローブピン2aの先端部が回路部品Pの上面に接する直前の位置Dを所定位置として検査することにより、回路部品Pが正常実装状態のときに回路部品Pの電極部Pa等との距離が短くなる分だけプローブ2と電極部Paとの間の浮遊容量C2が大きな値となる結果、回路部品Pの実装良否による測定結果の相違量を大きくすることができる。したがって、回路部品Pおよび回路基板Bへの傷付きやプローブ2の破損を招くことなく、回路部品Pの実装良否を正確に検査することができる。この場合、本発明における電気的パラメータとして導体パターンBa(基準電極)とプローブ2との間の静電容量を測定して比較することにより、回路部品Pの実装良否を正確かつ容易に検査することができる。
Further, according to the circuit
なお、本発明は、上記の方法および上記の構成に限定されない。例えば、本発明における電気的パラメータとして静電容量を測定して比較する例について説明したが、プローブ2および電極部(電極)を介して回路基板Bに検査用の信号としての測定用信号を出力して、出力した測定用信号の電圧値、出力した測定用信号の電流値、および、その電圧値と電流値とに基づいて算出したインピーダンスなどを電気的パラメータとして測定して比較する方法を採用することができる。
In addition, this invention is not limited to said method and said structure. For example, the example in which the capacitance is measured and compared as an electrical parameter in the present invention has been described, but a measurement signal as an inspection signal is output to the circuit board B via the
また、上記の例では、導体パターンBbにプローブ3を接触させて、内層パターンを介して導体パターンBbに接続された導体パターンBa(回路部品Pの電極部Paが接続された導体パターン)を本発明における基準電極として用いて静電容量を測定しているが、本発明における基準電極は、検査対象の回路部品が接続されている導体パターンに限定されず、検査対象の回路部品とは接続されていない導体パターンを基準電極として使用することができる。この場合、一例として、電源供給用パターンや、グランドパターン等の比較的大きな(面積が広い)導体パターンを基準電極として使用するのが好ましい。さらに、上記の例では、回路部品Pが非実装状態の回路基板Bから吸収した値(静電容量)を基準値として用いているが、回路部品Pが正常に実装された(正常実装状態の)良品の回路基板Bから吸収した値を基準値として用いることもできる。この場合、測定部6の測定結果と基準値とが同等のときに回路部品Pが正常実装状態であると判別し、測定結果が基準値とは相違するときに回路部品Pが非実装状態または異常な実装状態であると判別する。さらに、上記の回路基板検査装置1では、回路部品Pに対して上方からプローブ2を下降させてプローブピン2aの先端部を位置D(先端部が回路部品Pの上面に接触する直前の位置)に位置させて静電容量を測定しているが、本発明はこれに限定されず、回路部品Pに対して(回路部品Pの実装空間に向けて)その側方から回路基板Bの基板面に沿ってプローブ2を接近させて、または、その上方から回路基板Bの基板面に向けてプローブ2を接近させてプローブピン2aの先端部が回路部品Pの側面に近接する(接触する直前の)位置にプローブ2を位置させた状態において静電容量を測定することもできる。
In the above example, the
さらに、上記の回路基板検査装置1では、その先端が尖った針状のプローブピン2a,3aを有するプローブ2,3を使用しているが、本発明における電気計測用プローブの構成はこれに限定されない。例えば、図5に示す電気計測用プローブ12のように、その先端部が平らな柱状のプローブピン12aを保持部2bに対して矢印Z1,Z2の向きにスライド可能に配設して構成することができる。この構成によれば、電気計測用プローブ12における基準電極と対向する部位の面積が広いため、静電容量等の電気的パラメータを安定して正確に測定することができる。この場合、プローブ2,3,12においてプローブピン2a,3a,12aを付勢する手段は、コイルスプリングに限定されず、例えば、保持部2b,3bに対するプローブピン2a,3a,12aのスライドに伴って密閉空間内の気体が圧縮される、いわゆるエアクッション構造を採用することもできる。また、図6に示す電気計測用プローブ22のように、全体として板ばね状に形成して、先端部22aおよび基端部22b間が弾性変形することによって先端部22aが基端部22bに対して相対的に上動する構成を採用することができる。この構成によれば、機械的な可動部分が存在しないため、可動部分の摩耗等に起因する誤測定を招くことなく、静電容量等の電気的パラメータを一層正確に測定することができる。
Further, in the circuit
1 回路基板検査装置
2,3,12,22 電気計測用プローブ
2a,3a,12a プローブピン
2b,3b 保持部
4 プローブ固定具
5a,5b プローブ移動機構
6 測定部
7 制御部
8 RAM
9 ROM
22a 先端部
22b 基端部
B 回路基板
Ba,Bb 導体パターン
C1,C2 浮遊容量
D 位置
Lp 距離
P 回路部品
Pa 電極部
DESCRIPTION OF
9 ROM
22a
Claims (6)
前記制御部は、前記プローブ移動機構を制御して前記電気計測用プローブを前記記憶部に記憶されている前記各回路部品についての前記所定位置に位置させ、前記測定部に対して前記各所定位置における前記電気的パラメータを測定させ、当該測定させた電気的パラメータと当該各回路部品についての前記基準値とに基づいて当該各回路部品の実装良否を検査すると共に、前記先端部が実装されているべき前記回路部品に接する直前の位置を前記所定位置とする回路基板検査装置。 An electric measurement probe, a probe moving mechanism for moving the electric measurement probe, a measuring unit for measuring an electrical parameter between the electric measurement probe and a reference electrode, and controlling the probe moving mechanism A control unit that inspects whether or not circuit components are mounted based on electrical parameters, and stores a predetermined position close to a mounting space in which each circuit component to be inspected is mounted on the circuit board, and each predetermined position. the electrical measured values in one of the states of the parameter a be in normal mounting state and the non-mounted state of the circuit components for between the electrical measurement probe and the reference electrode was positioned a tip A storage unit that stores the reference value for each circuit component ;
Wherein the control unit, the said controls the probe movement mechanism is stored the electrical measurement probe in the storage unit is positioned at the predetermined position for each circuit component, each of the predetermined position with respect to the measuring section said electrical parameter is measured, as well as inspect the implementation quality of each circuit component based on said reference value of the electrical parameters and the respective circuit component is the measurement, the tip portion is mounted in the A circuit board inspection apparatus in which a position immediately before contact with a power circuit component is the predetermined position .
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