JP4367487B2 - Coil parts - Google Patents

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Description

本発明は、コイル部品に関し、更に詳しくは、例えばコモンモードチョークコイル等として好適に使用することができるコイル部品に関するものである。   The present invention relates to a coil component, and more particularly to a coil component that can be suitably used as, for example, a common mode choke coil.

例えば特許文献1にはコモンモードチョークコイル等として使用することができるコイル部品が提案されている。このコイル部品は、上下の磁性体基板で挟持した非磁性体層と、この非磁性体層内に形成された一対のコイル電極とを備えたコモンモードチョークコイルである。一対のコイル電極は、厚み方向に絶縁層を介して積層して対向配置されている。各コイル電極はそれぞれ二層の並列スパイラル状電極によって構成されている。スパイラル状電極は、大きなコモンモードインピーダンスを効率良く得ることができると共に、磁束が集中して高い結合度が得られる。従って、このような構成を備えたコモンモードチョークコイルは、大きなコモンモードインピーダンスが得られると共に、コイル間の高い結合が得られ、ノーマルモードインピーダンスを低く抑えることができる。更に、各コイルはそれぞれ二層の並列スパイラル状電極によって構成されているため、一層の電極と比べて電極の断面積を二倍にでき、コイルの直流抵抗を低く抑えることができる。   For example, Patent Document 1 proposes a coil component that can be used as a common mode choke coil or the like. This coil component is a common mode choke coil including a nonmagnetic layer sandwiched between upper and lower magnetic substrates and a pair of coil electrodes formed in the nonmagnetic layer. The pair of coil electrodes are disposed to face each other in the thickness direction with an insulating layer interposed therebetween. Each coil electrode is composed of two layers of parallel spiral electrodes. The spiral electrode can efficiently obtain a large common mode impedance, and a high degree of coupling can be obtained by concentrating magnetic flux. Therefore, the common mode choke coil having such a configuration can obtain a large common mode impedance and a high coupling between the coils, so that the normal mode impedance can be kept low. Furthermore, since each coil is composed of two layers of parallel spiral electrodes, the cross-sectional area of the electrodes can be doubled compared to a single-layer electrode, and the DC resistance of the coil can be kept low.

また、特許文献2には主として高速信号伝送系を有するデジタル回路等から放射される電磁妨害を抑制するためのコモンモードチョークコイルが提案されている。このコモンモードチョークコイルは、磁芯を含む磁気回路中に一対のミアンダ形状の平行平板電極からなる電極パターンが絶縁層を介して対向配置され、平衡線路の微小区間のディファレンシャルインダクタンスと容量とで特性インピーダンスを調整する。   Patent Document 2 proposes a common mode choke coil for suppressing electromagnetic interference radiated mainly from a digital circuit having a high-speed signal transmission system. This common mode choke coil is characterized by the differential inductance and capacitance of a minute section of a balanced line, in which an electrode pattern composed of a pair of meander-shaped parallel plate electrodes is placed opposite to each other through an insulating layer in a magnetic circuit including a magnetic core. Adjust the impedance.

特開2003−133135号公報JP 2003-133135 A 特開2000-277335号公報JP 2000-277335 A

しかしながら、従来の特許文献1に記載のコイル部品には以下の課題があった。即ち、所望の特性インピーダンスを得るためにコイル間の容量を低減する必要がある場合には、対向するコイル線幅を細くするか、コイル間の距離を広げる必要がある。しかし、コイル線幅を細くするだけでは直流抵抗が増加するため好ましくなく、また、コイル間の距離を広げるだけでは磁性体基板間の距離が広がってインピーダンスの取得効率が低下すると共に結合度が低下する。また、逆に、所望の特性インピーダンスを得るためにはコイル間の容量を増やす必要がある場合には、対向するコイル線幅を太くするか、コイル間の距離を狭くする必要がある。しかし、コイル線幅を太くするだけではスペースに限界があり必要なインダクタンスが得られず、また、コイル間の距離を狭くするだけでは磁性体基板間の絶縁性を確保することが難しく、信頼性の面で限界がある。   However, the conventional coil component described in Patent Document 1 has the following problems. That is, when it is necessary to reduce the capacitance between the coils in order to obtain a desired characteristic impedance, it is necessary to narrow the opposing coil wire width or increase the distance between the coils. However, narrowing the coil wire width is not preferable because the DC resistance increases, and widening the distance between the coils widens the distance between the magnetic substrates, reducing the impedance acquisition efficiency and reducing the coupling degree. To do. Conversely, when it is necessary to increase the capacitance between the coils in order to obtain a desired characteristic impedance, it is necessary to increase the width of the opposing coil lines or to reduce the distance between the coils. However, increasing the coil wire width does not provide the required inductance because the space is limited, and it is difficult to ensure insulation between the magnetic substrates simply by reducing the distance between the coils. There is a limit in terms of.

一方、従来の特許文献2に記載のコモンモードチョークコイルには以下の課題があった。即ち、ミアンダ形状の平行平板電極を所定の間隔で対向配置することで均一な特性インピーダンスが得られる反面、ミアンダ形状では大きなインピーダンスを効率良く得ることができず、しかも高い結合が得られずノーマルモードインピーダンスが増加して好ましくない。更に、所望の特性インピーダンスを得ようとすれば、コイル間の容量を調整する際に特許文献1の技術の場合と同様の課題があった。   On the other hand, the conventional common mode choke coil described in Patent Document 2 has the following problems. That is, by arranging the meander-shaped parallel plate electrodes facing each other at a predetermined interval, uniform characteristic impedance can be obtained. On the other hand, the meander shape cannot obtain large impedance efficiently, and high coupling cannot be obtained. Impedance increases, which is not preferable. Furthermore, if a desired characteristic impedance is to be obtained, there is a problem similar to that in the technique of Patent Document 1 when adjusting the capacitance between the coils.

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、小型化及び低背化を促進することができると共に、低抵抗で取得インピーダンスの範囲を広く、コイル間の結合を高めることができ、しかも特性インピーダンスの設計の自由度を高めることができるコイル部品を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve the above problems, and can promote downsizing and low profile, wide range of acquired impedance with low resistance, and increase coupling between coils, In addition, an object of the present invention is to provide a coil component that can increase the degree of freedom in designing characteristic impedance.

本発明の請求項1に記載のコイル部品は、上下一対の磁性体基板と、これらの磁性体基板の間に介在する非磁性体層と、この非磁性体層内で上下方向に離間して形成され且つ互いに対向して配置された一対の第1、第2コイル電極と、を備えたコイル部品であって、上記第1、第2コイル電極は、それぞれ、互いに上下方向に隣接して離間し且つ互いに並列接続された少なくとも二層のスパイラル状の第1、第2パターン電極を有し、上記第1、第2コイル電極それぞれの第1パターン電極はそれぞれ上下方向の最も内側に配置されて互いに対向すると共に、上記各第1パターン電極の面積はそれぞれの外側に配置された第2パターン電極よりも大きいか、または小さいことを特徴とするものである。 The coil component according to claim 1 of the present invention includes a pair of upper and lower magnetic substrates, a nonmagnetic layer interposed between these magnetic substrates, and a vertical separation within the nonmagnetic layer. A coil component comprising a pair of first and second coil electrodes formed and arranged opposite to each other, wherein the first and second coil electrodes are adjacent to each other in the vertical direction. And at least two layers of spiral-shaped first and second pattern electrodes connected in parallel with each other, and the first pattern electrodes of the first and second coil electrodes are respectively disposed on the innermost side in the vertical direction. Opposite to each other, the area of each of the first pattern electrodes is larger or smaller than that of the second pattern electrodes arranged on the outer side.

また、本発明の請求項2に記載のコイル部品は、請求項1に記載の発明において、上記第1、第2コイル電極は、いずれも二層のスパイラル状のパターン電極を有することを特徴とするものである。   The coil component according to claim 2 of the present invention is characterized in that, in the invention according to claim 1, each of the first and second coil electrodes has two layers of spiral pattern electrodes. To do.

また、本発明の請求項3に記載のコイル部品は、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記第1パターン電極の線幅は、上記第2パターン電極の線幅と異なることを特徴とするものである。   According to a third aspect of the present invention, in the coil component according to the first or second aspect, the line width of the first pattern electrode is different from the line width of the second pattern electrode. It is a feature.

また、本発明の請求項4に記載のコイル部品は、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発明において、上記第1パターン電極のコイルの巻数は、上記第2パターン電極のコイルの巻数と異なることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項5に記載のコイル部品は、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の発明において、上記第1パターン電極と上記第2パターン電極とは並列接続され、上記第1パターン電極の面積は第2パターン電極の面積よりも小さいことを特徴とするものである。
The coil component according to claim 4 of the present invention is the invention according to any one of claims 1 to 3, wherein the number of turns of the coil of the first pattern electrode is the number of turns of the second pattern electrode. It differs from the number of turns of the coil.
Further, in the coil component according to claim 5 of the present invention, in the invention according to any one of claims 1 to 4, the first pattern electrode and the second pattern electrode are connected in parallel, The area of the first pattern electrode is smaller than the area of the second pattern electrode.

本発明によれば、上下一対の磁性体基板と、これらの磁性体基板の間に介在する非磁性体層と、この非磁性体層内で上下方向に離間して形成され且つ互いに対向して配置された一対の第1、第2コイル電極と、を備えたコイル部品であって、上記第1、第2コイル電極は、それぞれ、互いに上下方向に隣接して離間し且つ互いに並列接続された少なくとも二層のスパイラル状の第1、第2パターン電極を有し、上記第1、第2コイル電極それぞれの第1パターン電極はそれぞれ上下方向の最も内側に配置されて互いに対向すると共に、上記各第1パターン電極の面積はそれぞれの外側に配置された第2パターン電極よりも大きいか、または小さくなっているため、上下方向で互いに対向する一対のコイル電極を有するコイル部品の小型化及び低背化を促進することができると共に、低抵抗で取得インピーダンスの範囲を広く、コイル間の結合を高めることができ、しかも上下のコイル電極それぞれのパターン電極のうち、最も内側において上下で互いに対向するパターン電極の面積によって特性インピーダンスを高く設定したり、低く設定したりして、特性インピーダンスの設計の自由度を高めることができるコイル部品を提供することができる。
According to the present invention, a pair of upper and lower magnetic substrate, a non-magnetic layer interposed between these magnetic substrate, are spaced apart in the vertical direction in this non-magnetic layer and facing each other A coil component comprising a pair of first and second coil electrodes arranged, wherein the first and second coil electrodes are spaced apart from each other in the vertical direction and connected in parallel to each other. At least two layers of spiral first and second pattern electrodes are provided, and the first pattern electrodes of the first and second coil electrodes are arranged on the innermost side in the vertical direction and face each other. since that is either greater or less than the second pattern electrode area of the first pattern electrode disposed on the respective outer, downsizing of the coil component having a pair of coil electrodes that face each other in the vertical direction and It is possible to promote the height, wide range of acquisition impedance low resistance, it is possible to increase the coupling between the coils, yet out of the upper and lower coil electrode each pattern electrodes, facing each other in the vertical at the innermost By setting the characteristic impedance high or low depending on the area of the pattern electrode, it is possible to provide a coil component that can increase the degree of freedom in designing the characteristic impedance.

本発明のコイル部品の一実施形態を示す図で、(a)はその外観を示す斜視図、(b)は(a)のB−B線方向の断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows one Embodiment of the coil components of this invention, (a) is a perspective view which shows the external appearance, (b) is sectional drawing of the BB line direction of (a). 図1に示すコイル部品のコイル電極を取り出して示す図で、(a)はその第1、第2パターン電極を示す平面図、(b)は第1、第2パターン電極の接続状態を示す説明図である。It is a figure which takes out and shows the coil electrode of the coil components shown in FIG. 1, (a) is a top view which shows the 1st, 2nd pattern electrode, (b) is an explanation which shows the connection state of the 1st, 2nd pattern electrode FIG. 図1に示すコイル部品を分解して示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which decomposes | disassembles and shows the coil components shown in FIG. 本発明のコイル部品の他の実施形態を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows other embodiment of the coil components of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 コイル部品
11、12 磁性体基板
13 非磁性体層
14 第1コイル電極
15 第2コイル電極
141A、151A 第1パターン電極
141B、151B 第2パターン電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Coil components 11, 12 Magnetic board | substrate 13 Nonmagnetic layer 14 1st coil electrode 15 2nd coil electrode 141A, 151A 1st pattern electrode 141B, 151B 2nd pattern electrode

以下、図1〜図3に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。   Hereinafter, the present invention will be described based on the embodiment shown in FIGS.

本実施形態のコイル部品10は、例えば図1〜図3に示すように、上下の磁性体基板11、12と、これらの磁性体基板11、12間に介在し且つ複数の絶縁層13A、13Bが積層された非磁性体層13と、この非磁性体層13内に上下方向で互いに対向して配置された平面形状がスパイラル状を呈する一対の第1、第2コイル電極14、15と、これらのコイル電極14、15の両端部とそれぞれ電気的に接続された二対の第1、第2外部電極16A、16B、17A、17Bと、を備え、例えばコモンモードチョークコイルとして使用するように構成されている。また、上側の磁性体基板12と非磁性体層13との間にはこれら両者を接着する接着層18が介在している。   For example, as shown in FIGS. 1 to 3, the coil component 10 of the present embodiment includes upper and lower magnetic substrates 11 and 12, and a plurality of insulating layers 13 </ b> A and 13 </ b> B interposed between the magnetic substrates 11 and 12. A pair of first and second coil electrodes 14 and 15 having a spiral planar shape disposed in the nonmagnetic layer 13 so as to face each other in the vertical direction, Two pairs of first and second external electrodes 16A, 16B, 17A, and 17B that are electrically connected to both ends of the coil electrodes 14 and 15, respectively, and are used as, for example, a common mode choke coil It is configured. In addition, an adhesive layer 18 is provided between the upper magnetic substrate 12 and the nonmagnetic layer 13 to bond them together.

コイル部品10は、通常、マザー基板に複数個同時に形成することができる。第1、第2コイル電極14、15等の内部配線はフォトリソグラフィ技術等によって形成することができる。尚、以下では上下の磁性体基板11、12、非磁性体層13及び第1、第2コイル電極14、15を含むコイル部品本体を必要に応じてコイル部品本体10Aと称する。   Usually, a plurality of coil components 10 can be simultaneously formed on a mother substrate. Internal wirings such as the first and second coil electrodes 14 and 15 can be formed by a photolithography technique or the like. Hereinafter, the coil component body including the upper and lower magnetic substrates 11 and 12, the nonmagnetic layer 13, and the first and second coil electrodes 14 and 15 will be referred to as a coil component body 10A as necessary.

磁性体基板11、12は、磁性材料で形成されたものであれば特に制限されないが、磁性体材料としては、例えば高周波特性に優れたフェライト材料が好ましく用いられる。磁性体基板11、12上には絶縁層13を形成するため、その接合面が表面粗さRaで0.5μm以下に研磨されていることが好ましい。   The magnetic substrates 11 and 12 are not particularly limited as long as they are made of a magnetic material. As the magnetic material, for example, a ferrite material excellent in high frequency characteristics is preferably used. In order to form the insulating layer 13 on the magnetic substrates 11 and 12, it is preferable that the bonding surface is polished to a surface roughness Ra of 0.5 μm or less.

非磁性体層13は、複数の絶縁層13A、13Bが積層して形成されている。図3に示すように、非磁性体層13のうち上から3番目及び4番目に位置する絶縁層13Bは、第1コイル電極14と第2コイル電極15との間に介在し、コイル部品10の特性インピーダンスを設定する層である。これらの絶縁層13A、13Bの形成方法は特に制限されないが、その形成方法としては、例えばスピン塗布法等を用いることができる。   The nonmagnetic material layer 13 is formed by laminating a plurality of insulating layers 13A and 13B. As shown in FIG. 3, the third and fourth insulating layers 13B from the top of the nonmagnetic layer 13 are interposed between the first coil electrode 14 and the second coil electrode 15, and the coil component 10. This is a layer for setting the characteristic impedance. A method for forming these insulating layers 13A and 13B is not particularly limited, and for example, a spin coating method or the like can be used.

絶縁層13A、13Bは、非磁性の絶縁性材料によって形成されたものであれば特に制限されないが、絶縁性材料としては例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂等の熱硬化性樹脂や、SiO等のガラス、ガラスセラミックが好ましく用いられる。また、絶縁性材料としては、必要に応じて感光性を付与した感光性樹脂材料を単独であるいは上記各材料と組み合わせて用いることもできる。感光性樹脂材料からなる絶縁層13A、13Bは、絶縁層13A、13Bにビアホールを形成する場合に用いられる。ビアホールを形成する場合には、絶縁層13A、13Bをフォトマスクでマスキングした後、絶縁層13A、13Bを露光、現像処理してビアホールを形成する。絶縁層13Aの厚さは、例えば1〜3μmの範囲が好ましく、絶縁層13Bの厚さは、特性インピーダンスを規定する関係上5〜30μmの範囲が好ましい。接着層18に用いられる接着剤としては、ポリイミド樹脂等の熱硬化性樹脂を用いることができる。The insulating layers 13A and 13B are not particularly limited as long as they are formed of a nonmagnetic insulating material. Examples of the insulating material include thermosetting resins such as polyimide resin, epoxy resin, and benzocyclobutene resin, Glass such as SiO 2 and glass ceramic are preferably used. Moreover, as an insulating material, the photosensitive resin material which provided photosensitivity as needed can also be used individually or in combination with said each material. The insulating layers 13A and 13B made of a photosensitive resin material are used when via holes are formed in the insulating layers 13A and 13B. When forming via holes, the insulating layers 13A and 13B are masked with a photomask, and then the insulating layers 13A and 13B are exposed and developed to form via holes. The thickness of the insulating layer 13A is preferably in the range of 1 to 3 μm, for example, and the thickness of the insulating layer 13B is preferably in the range of 5 to 30 μm because of defining the characteristic impedance. As the adhesive used for the adhesive layer 18, a thermosetting resin such as a polyimide resin can be used.

第1、第2コイル電極14、15は、図1及び図3に示すように、それぞれ上下方向で互いに対称になるように対向して配置され、互いに重なる位置関係を有している。各コイル電極14、15は、後述するようにそれぞれ実質的に同一大きさのスパイラル形状に形成された第1、第2パターン電極を有し、第1、第2パターン電極はそれぞれの引き出し電極を介して第1外部電極16A、16B及び第2外部電極17A、17B(図1の(a)参照)に接続されている。第1、第2コイル電極14、15はそれぞれスパイラル状に形成されているため、広範囲のインピーダンスを得ることができ、コイル部品10の小型化、低背化を促進することができる。   As shown in FIGS. 1 and 3, the first and second coil electrodes 14 and 15 are arranged to face each other so as to be symmetrical with each other in the vertical direction, and have a positional relationship overlapping each other. As will be described later, each of the coil electrodes 14 and 15 has first and second pattern electrodes formed in spiral shapes having substantially the same size, and the first and second pattern electrodes respectively have respective lead electrodes. To the first external electrodes 16A and 16B and the second external electrodes 17A and 17B (see FIG. 1A). Since the first and second coil electrodes 14 and 15 are each formed in a spiral shape, a wide range of impedance can be obtained, and the coil component 10 can be reduced in size and height.

第1、第2コイル電極14、15それぞれの第1パターン電極は、5〜30μm厚の絶縁層13Bを介して互いに対向して配置され、それぞれの外側に配置された第2パターン電極とは異なる面積を有している。コイル部品10は、第1、第2コイル電極14、15それぞれの互いに対向する第1パターン電極の面積の大きさによって第1、第2コイル電極14、15間の容量が調整され、コモンモードインピーダンスの低下や結合度の低下を招くことなく、特性インピーダンスが調整される。つまり、本発明では、第1、第2コイル電極14、15それぞれの第1パターン電極の面積を第2パターン電極の面積より小さくすることにより、コイル部品10の特性インピーダンスを高く設定することができ、逆に、上下の第1パターン電極の面積を第2パターン電極の面積より大きくすることにより、コイル部品10の特性インピーダンスを低く設定することができる。   The first pattern electrodes of the first and second coil electrodes 14 and 15 are arranged to face each other with an insulating layer 13B having a thickness of 5 to 30 μm, and are different from the second pattern electrodes arranged on the outer sides thereof. It has an area. In the coil component 10, the capacitance between the first and second coil electrodes 14, 15 is adjusted according to the size of the area of the first pattern electrodes facing each other of the first and second coil electrodes 14, 15, and the common mode impedance The characteristic impedance is adjusted without incurring a decrease in coupling or a decrease in coupling degree. That is, in the present invention, the characteristic impedance of the coil component 10 can be set high by making the area of the first pattern electrode of each of the first and second coil electrodes 14 and 15 smaller than the area of the second pattern electrode. Conversely, the characteristic impedance of the coil component 10 can be set low by making the area of the upper and lower first pattern electrodes larger than the area of the second pattern electrodes.

以下、第1、第2コイル電極14、15のコイル構造について具体的に説明する。第1、第2コイル電極14、15は、それぞれの第1、第2パターン電極の面積の大小関係のみが上下逆転する上下対称構造になっていることを除き、実質的に同一構造を有するため、第1コイル電極14を中心に説明する。   Hereinafter, the coil structure of the first and second coil electrodes 14 and 15 will be described in detail. The first and second coil electrodes 14 and 15 have substantially the same structure except that the first and second coil electrodes 14 and 15 have a vertically symmetrical structure in which only the size relationship of the areas of the first and second pattern electrodes is reversed upside down. The first coil electrode 14 will be mainly described.

第1コイル電極14は、図1の(b)〜図3に示すように、絶縁層13Bを介して第2コイル電極15の上側に位置している。第1コイル電極14は、図3に示すように、絶縁層13Aを介して互いに上下に配置され且つ並列接続された二層のスパイラル状の第1、第2パターン電極141A、141Bと、第1、第2パターン電極141A、141Bの両端部からそれぞれ第1外部電極16A、16Bまで引き出されたそれぞれの一対の引き出し電極142A、142B、143A、143Bと、を有し、一方の引き出し電極142A、143Aが一方の第1外部電極16Aにそれぞれ接続され、他方の引き出し電極142B、143Bが他方の第1外部電極16Bにそれぞれ接続されている。第1コイル電極14は、上下二層の第1、第2パターン電極141A、141Bが第1外部電極16A、16Bを介して並列接続されて構成されているため、断面積が略倍増して直流抵抗が低くなっている。   As shown in FIGS. 1B to 3, the first coil electrode 14 is located above the second coil electrode 15 with the insulating layer 13 </ b> B interposed therebetween. As shown in FIG. 3, the first coil electrode 14 includes two layers of spiral first and second pattern electrodes 141A and 141B which are arranged one above the other through an insulating layer 13A and connected in parallel, And a pair of lead electrodes 142A, 142B, 143A, 143B drawn from both ends of the second pattern electrodes 141A, 141B to the first external electrodes 16A, 16B, respectively, and one lead electrode 142A, 143A. Are connected to one first external electrode 16A, and the other lead electrodes 142B and 143B are connected to the other first external electrode 16B. The first coil electrode 14 is configured by connecting the upper and lower two layers of the first and second pattern electrodes 141A and 141B in parallel via the first external electrodes 16A and 16B. Resistance is low.

第1コイル電極14は、第1パターン電極141Aが上下方向内側(下側)に位置し、第2パターン電極141Bが上下方向外側(上側)に位置している。第2コイル電極15は、第1パターン電極151Aが上下方向内側(上側)に位置し、第2パターン電極151Bが上下方向外側(下側)に位置している。そして、第1パターン電極141A、151Aの線幅は、それぞれ第2パターン電極141B、151Bの線幅より細く、小さな面積として形成されている。上下の第1、第2コイル電極14、15それぞれの互いに対向する第1パターン電極141A、151Aの面積を小さくすることによって、コモンモードインピーダンスや結合度を低下させることなく、両コイル14、15間の容量を小さくし、コイル部品10の特性インピーダンスを高めることができる。また、第1パターン電極141A、151Aの線幅が細くても、第2パターン電極141B、151Bの線幅を太くすることで、第1、第2コイル電極14、15の直流抵抗の増加を回避することができる。   In the first coil electrode 14, the first pattern electrode 141A is positioned on the inner side (lower side) in the vertical direction, and the second pattern electrode 141B is positioned on the outer side (upper side) in the vertical direction. In the second coil electrode 15, the first pattern electrode 151A is positioned on the inner side (upper side) in the vertical direction, and the second pattern electrode 151B is positioned on the outer side (lower side) in the vertical direction. The line widths of the first pattern electrodes 141A and 151A are smaller than the line widths of the second pattern electrodes 141B and 151B, respectively, and are formed as small areas. By reducing the area of the first pattern electrodes 141A and 151A that face each other of the upper and lower first and second coil electrodes 14 and 15, it is possible to reduce the common mode impedance and the coupling between the coils 14 and 15 without reducing the coupling degree. , And the characteristic impedance of the coil component 10 can be increased. Further, even if the line widths of the first pattern electrodes 141A and 151A are narrow, by increasing the line widths of the second pattern electrodes 141B and 151B, an increase in DC resistance of the first and second coil electrodes 14 and 15 is avoided. can do.

次に、第1、第2パターン電極141A、141Bの並列接続構造について図2、図3を参照しながら説明する。尚、図2の(a)では第1パターン電極141Aは破線で示してある。図2の(b)、(c)では線幅の細い第1パターン電極141Aを細い線で示し、線幅の太い第2パターン電極141Bを太い線で示してあり、電流の方向を矢印で示してある。   Next, a parallel connection structure of the first and second pattern electrodes 141A and 141B will be described with reference to FIGS. In FIG. 2A, the first pattern electrode 141A is indicated by a broken line. In FIGS. 2B and 2C, the first pattern electrode 141A having a narrow line width is indicated by a thin line, the second pattern electrode 141B having a large line width is indicated by a thick line, and the direction of current is indicated by an arrow. It is.

第1電極パターン141Aは、図2の(a)、図3に示すように、一方の引き出し電極142Aを始点として時計方向に矩形状のスパイラルを描いて絶縁層13Bの略中心を終点としている。第1電極パターン141Aの他方の引き出し電極142Bは、絶縁層13B上で第1パターン電極141Aの外側に位置しているため、他方の引き出し電極142Bと第1パターン電極141Aの終点とを絶縁層13B上で直接接続できないため、図3に示すように第1電極パターン141Aの終点と他方の引き出し電極142Bの直接接続できない区間は分断されて、この部分の引き出し配線を後述するように第2パターン電極141Bの引き出し線が肩代わりしている。   As shown in FIG. 2A and FIG. 3, the first electrode pattern 141A draws a rectangular spiral clockwise starting from one lead electrode 142A and ends at the approximate center of the insulating layer 13B. Since the other lead electrode 142B of the first electrode pattern 141A is located outside the first pattern electrode 141A on the insulating layer 13B, the other lead electrode 142B and the end point of the first pattern electrode 141A are connected to the insulating layer 13B. As shown in FIG. 3, the section where the end point of the first electrode pattern 141A and the other lead electrode 142B cannot be directly connected is divided, as shown in FIG. The lead wire 141B takes over.

一方、第2パターン電極141Bは、図2の(a)、図3に示すように、第1パターン電極141Aと同様に一方の引き出し電極143Aを始点として時計方向にスパイラルを描いて絶縁層13Aの略中心を終点としている。そして、この終点と第2パターン電極141Bの外側に配置された他方の引き出し電極143Bとは絶縁層13A上で引き出し配線144によって接続され、この引き出し配線144が第1パターン電極141Aの引き出し配線を肩代わりし、第1パターン電極141Aの電流が引き出し配線144で第2パターン電極141Bと一旦合流するようにしている。   On the other hand, as shown in FIG. 2A and FIG. 3, the second pattern electrode 141B is spirally drawn in the clockwise direction starting from one extraction electrode 143A as in the case of the first pattern electrode 141A. The approximate center is the end point. The end point and the other lead electrode 143B arranged outside the second pattern electrode 141B are connected to each other by a lead wire 144 on the insulating layer 13A. The lead wire 144 replaces the lead wire of the first pattern electrode 141A. Then, the current of the first pattern electrode 141A is temporarily merged with the second pattern electrode 141B through the lead-out wiring 144.

つまり、図2の(b)に示すように、第1パターン電極141Aの終点と、第2パターン電極141Bの終点(引き出し配線144の一端でもある)は、絶縁層13Aの中央部を貫通するビアホール導体145Aを介して電気的に接続され、第1パターン電極141Aは第2パターン電極141Bの引き出し配線144を利用するようにしてある。更に、第2パターン電極141Bの外側に位置する引き出し配線144の他端は、同様に絶縁層13Aを貫通するビアホール導体(図示せず)を介して第1パターン電極141Aの引き出し電極142Bに対して電気的に接続されている。この結果、第1パターン電極141Aの電流は、引き出し配線144の一端で第2パターン電極141Bの電流と合流し、引き出し配線144の他端で引き出し電極142B、143Bに戻る。   That is, as shown in FIG. 2B, the end point of the first pattern electrode 141A and the end point of the second pattern electrode 141B (also one end of the lead-out wiring 144) are via holes penetrating the central portion of the insulating layer 13A. The first pattern electrode 141A is electrically connected via the conductor 145A, and the lead wiring 144 of the second pattern electrode 141B is used. Further, the other end of the lead wiring 144 positioned outside the second pattern electrode 141B is connected to the lead electrode 142B of the first pattern electrode 141A via a via-hole conductor (not shown) that similarly penetrates the insulating layer 13A. Electrically connected. As a result, the current of the first pattern electrode 141A merges with the current of the second pattern electrode 141B at one end of the lead wiring 144, and returns to the lead electrodes 142B and 143B at the other end of the lead wiring 144.

また、第2パターン電極141Bでは引き出し配線144が通過する部分が図2(a)、図3に示すように分断されているため、この部分を第1パターン電極141Aが肩代わりしている。この場合も引き出し配線144の両側で対峙する第2パターン電極141Bの分断点は、それぞれ図2の(c)に示すように、絶縁層13Aを貫通するビアホール導体145B、145Cを介して第1パターン電極141Aに対して電気的に接続されている。そして、第2パターン電極141Bの電流は、ビアホール導体145Bで第1パターン電極141Aの電流と合流し、ビアホール導体145Cを介して第2パターン電極141Bに戻る。   Further, in the second pattern electrode 141B, the portion through which the lead-out wiring 144 passes is divided as shown in FIG. 2A and FIG. 3, so the first pattern electrode 141A takes over this portion. Also in this case, the dividing points of the second pattern electrode 141B facing each other on both sides of the lead-out wiring 144 are the first pattern via via-hole conductors 145B and 145C penetrating the insulating layer 13A as shown in FIG. It is electrically connected to the electrode 141A. The current of the second pattern electrode 141B merges with the current of the first pattern electrode 141A at the via hole conductor 145B, and returns to the second pattern electrode 141B via the via hole conductor 145C.

また、第2コイル電極15も、第1コイル電極14と同様に、第1、第2パターン電極151A、151B及びそれぞれの引き出し電極152A、152B、153A、153Bを有し、第1コイル電極14に準じて構成されている。但し、第1パターン電極151Aは、上述したように上側に位置し、第2パターン電極151Bが下側に位置している。   Similarly to the first coil electrode 14, the second coil electrode 15 also has first and second pattern electrodes 151 A and 151 B and respective extraction electrodes 152 A, 152 B, 153 A and 153 B. It is configured accordingly. However, the first pattern electrode 151A is located on the upper side as described above, and the second pattern electrode 151B is located on the lower side.

第1、第2コイル電極14、15及びビアホール導体の導電性材料としては、導電性に優れた金属であれば特に制限されないが、このような金属としては、例えばAg、Pd、Cu、Alを用いることができる。   The conductive material for the first and second coil electrodes 14 and 15 and the via-hole conductor is not particularly limited as long as it is a metal having excellent conductivity. Examples of such a metal include Ag, Pd, Cu, and Al. Can be used.

而して、コイル部品10を製造する場合には、例えば、スピン塗布法を用いて絶縁層を形成し、スパッタリング法を用いてコイル電極を絶縁層に形成する。絶縁層のビアホール及びコイル電極層をそれぞれパターニングする場合にはフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用い、一層毎に形成して積層する。例えば、予め作製された磁性体基板11上に例えば絶縁材料(例えば、ポリイミド樹脂)を塗布して絶縁層13Aを形成し、加熱、キュア(硬化)した後、冷却する。次いで、絶縁層13A上に導電層をスパッタリングにて形成した後、この導電層上に感光性のレジスト材を塗布し、このレジスト材層を、フォトマスクを介して露光、現像した後、導電層をエッチングして第2コイル電極15の第2パターン電極151Bを形成した後、レジストを剥離する。   Thus, when the coil component 10 is manufactured, for example, an insulating layer is formed using a spin coating method, and a coil electrode is formed on the insulating layer using a sputtering method. When patterning the via hole and the coil electrode layer of the insulating layer, respectively, a photolithography technique and an etching technique are used to form and laminate each layer. For example, an insulating material (for example, polyimide resin) is applied on the magnetic substrate 11 prepared in advance to form the insulating layer 13A, heated and cured (cured), and then cooled. Next, after forming a conductive layer on the insulating layer 13A by sputtering, a photosensitive resist material is applied on the conductive layer, and the resist material layer is exposed and developed through a photomask. Is etched to form the second pattern electrode 151B of the second coil electrode 15, and then the resist is peeled off.

引き続き、感光性絶縁材料(例えば、感光性を付与したポリイミド樹脂)を塗布、乾燥して絶縁層13Aを形成し、フォトマスクを介して露光、現像した後、所定のパターンでビアホールを形成し、加熱、硬化する。更に、導電層をスパッタリング法によって形成した後、この導電層上に感光性のレジスト材を塗布し、このレジスト材層を、フォトマスクを介して露光、現像した後、導電層をエッチングして第2コイル電極15の第1パターン電極151Aを形成した後、レジストを剥離する。これによって第2コイル電極15の第1、第2パターン電極151A、151Bがビアホール導体を介して電気的に接続される。   Subsequently, a photosensitive insulating material (for example, a polyimide resin imparted with photosensitivity) is applied and dried to form an insulating layer 13A. After exposure and development through a photomask, via holes are formed in a predetermined pattern, Heat and cure. Further, after forming a conductive layer by a sputtering method, a photosensitive resist material is applied on the conductive layer, this resist material layer is exposed and developed through a photomask, and then the conductive layer is etched and etched. After forming the first pattern electrode 151A of the two-coil electrode 15, the resist is peeled off. As a result, the first and second pattern electrodes 151A and 151B of the second coil electrode 15 are electrically connected via the via-hole conductor.

その後、上述した要領で、第2コイル電極15と第1コイル電極14間の絶縁層13B、13Bを連続して形成した後、第1コイル電極14の第1パターン電極141Aを絶縁層13B上に、第2パターン電極141Bを絶縁層13A上に順次形成し、更に最上層の絶縁層13Aを形成し、磁性体基板11上に回路積層体を形成する。   Then, after the insulating layers 13B and 13B between the second coil electrode 15 and the first coil electrode 14 are continuously formed as described above, the first pattern electrode 141A of the first coil electrode 14 is formed on the insulating layer 13B. Then, the second pattern electrode 141B is sequentially formed on the insulating layer 13A, the uppermost insulating layer 13A is formed, and a circuit laminate is formed on the magnetic substrate 11.

回路積層体を形成した後、不活性ガス雰囲気下または真空下で回路積層体の上面に接着層18を介して磁性体基板12を加熱、加圧して接着し、複数のコイル部品本体10Aを一括して作製する。次いで、ダイシング等の切断加工を行って個々のコイル部品本体10Aに切り出して分割した後、第1外部電極16A、16B及び第2外部電極17A、17Bを設けてコイル部品10を得る。   After forming the circuit laminate, the magnetic substrate 12 is heated and pressed to adhere to the upper surface of the circuit laminate via the adhesive layer 18 in an inert gas atmosphere or under vacuum, and the plurality of coil component bodies 10A are collectively bonded. To make. Next, after cutting and dividing into individual coil component bodies 10A by cutting such as dicing, the first external electrodes 16A and 16B and the second external electrodes 17A and 17B are provided to obtain the coil component 10.

以上説明したように本実施形態によれば、上下一対の磁性体基板11、12と、これらの磁性体基板11、12の間に介在する非磁性体層13と、この非磁性体層13内に上下方向に離間して形成され且つ互いに対向して上下対称に配置された一対の第1、第2コイル電極14、15と、を備え、一対の第1、第2コイル電極14、15は、それぞれ絶縁層13Aを介して互いに離間して配置され且つ二層のスパイラル状の第1、第2パターン電極141A、141B及び第1、第2パターン電極151A、151Bとを有し、且つ、一対の第1、第2コイル電極14、15は、それぞれの上下方向の最も内側に配置されて互いに対向する第1パターン電極141A、151Aの線幅がそれぞれ他の第2パターン電極141B、151Bの線幅より小さいため、小型化及び低背化が可能で、取得インピーダンスの範囲が広く、コイル間の結合度が高く、直流抵抗が低く、しかも特性インピーダンスを高く設定することができる。   As described above, according to the present embodiment, the pair of upper and lower magnetic substrates 11 and 12, the nonmagnetic layer 13 interposed between these magnetic substrates 11 and 12, and the inside of the nonmagnetic layer 13 And a pair of first and second coil electrodes 14 and 15 that are spaced apart from each other in the vertical direction and are arranged vertically symmetrically to face each other, and the pair of first and second coil electrodes 14 and 15 includes The first and second pattern electrodes 141A and 141B and the first and second pattern electrodes 151A and 151B, which are spaced apart from each other via the insulating layer 13A and have two layers, and a pair The first and second coil electrodes 14 and 15 are arranged on the innermost sides in the vertical direction, and the line widths of the first pattern electrodes 141A and 151A facing each other are the lines of the other second pattern electrodes 141B and 151B, respectively. For smaller, it can be downsized and low profile, wide range of acquisition impedance, high degree of coupling between the coils, the direct current resistance is low and can be set high characteristic impedance.

次に、図4に示す実施形態に基づいて特性インピーダンスを低く設定する場合について説明する。以下では、上記実施形態と同一または相当部分には同一符号を附して本実施形態の特徴を中心に説明し、本実施形態のコイル部品のその他の部分は上記実施形態のコイル部品に準じて構成されている。   Next, a case where the characteristic impedance is set low based on the embodiment shown in FIG. 4 will be described. In the following, the same or corresponding parts as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and the features of this embodiment will be mainly described. The other parts of the coil parts of this embodiment are the same as those in the above embodiments. It is configured.

本実施形態のコイル部品10は、例えば図4に示すように、上下一対の磁性体基板11、12と、これらの磁性体基板11、12の間に介在する非磁性体層13と、この非磁性体層13内で離間して形成され且つ互いに絶縁層13Bを介して対向して配置された一対の第1、第2コイル電極14、15と、を備え、第1、第2コイル電極14、15は、それぞれ、互いに絶縁層13Bを介して離間して対向するスパイラル状の第1パターン電極141A、151A及び第2パターン電極141B、151Bを有している。   For example, as shown in FIG. 4, the coil component 10 of the present embodiment includes a pair of upper and lower magnetic substrates 11, 12, a nonmagnetic layer 13 interposed between the magnetic substrates 11, 12, A pair of first and second coil electrodes 14 and 15 which are formed in the magnetic layer 13 so as to be spaced apart from each other and are opposed to each other via an insulating layer 13B. , 15 have spiral first pattern electrodes 141A, 151A and second pattern electrodes 141B, 151B that are spaced apart from each other with an insulating layer 13B therebetween.

そして、第1、第2コイル電極14、15それぞれの互いに対向する第1パターン電極141A、151Aの線幅が第2パターン電極141B、151Bの線幅よりも広く設定され、第1パターン電極141A、151Aの面積が第2パターン電極141B、151Bの面積より大きく形成されている。従って、第1パターン電極141A、151A間の容量を大きくすることができ、もってコイル部品10の特性インピーダンスを低く設定することができる。 The line widths of the first pattern electrodes 141A and 151A facing each other of the first and second coil electrodes 14 and 15 are set wider than the line widths of the second pattern electrodes 141B and 151B, and the first pattern electrodes 141A, The area of 151A is formed larger than the areas of the second pattern electrodes 141B and 151B. Therefore, the capacitance between the first pattern electrodes 141A and 151A can be increased, and the characteristic impedance of the coil component 10 can be set low.

上述のように第1パターン電極141A、151Aの面積を大きくすると、スペース上の制約から第1パターン電極141A、151Aの巻数が減少し、延いては必要なインダクタンス値が得られなくなる虞がある。そこで、必要なインダクタンス値が得られない場合には、第2パターン電極141B、151Bの巻数を増やして第1パターン電極141A、151Aの不足分を補完する。必要なインダクタンス値が得られる場合には、上記実施形態のように第1、第2パターン電極141A、141Bを並列接続しても良い。本実施形態では図4に示すように、第1パターン電極141A、151Aと第2パターン電極141B、151Bとを直列接続し、第2パターン電極141B、151Bの巻数を第1パターン電極141A、151Aの巻数より増やして必要なインダクタンス値を得ている。   As described above, when the areas of the first pattern electrodes 141A and 151A are increased, the number of turns of the first pattern electrodes 141A and 151A is reduced due to space restrictions, and there is a possibility that a necessary inductance value cannot be obtained. Therefore, when a necessary inductance value cannot be obtained, the number of turns of the second pattern electrodes 141B and 151B is increased to supplement the shortage of the first pattern electrodes 141A and 151A. When a necessary inductance value is obtained, the first and second pattern electrodes 141A and 141B may be connected in parallel as in the above embodiment. In the present embodiment, as shown in FIG. 4, the first pattern electrodes 141A and 151A and the second pattern electrodes 141B and 151B are connected in series, and the number of turns of the second pattern electrodes 141B and 151B is set to the first pattern electrodes 141A and 151A. The required inductance value is obtained by increasing the number of turns.

第1コイル電極14の第1パターン電極141Aと第2パターン電極141Bの直列接続構造について説明すると、図4に示すように、第1パターン電極141Aの始点(外端)である引き出し電極142Aは磁性体基板11、12の一側面側に位置し、その終点(内端)は第1パターン電極141Aの内側に位置する。また、第2パターン電極141Bの始点(内端)は第1パターン電極141Aの内端の真上に位置し、その終点(外端)である引き出し電極143Bは磁性体基板11、12の一側面に対向する側面に位置する。そして、第1、第2パターン電極141A、141Bはそれぞれの内端でビアホール導体145を介して接続されている。第2コイル電極15も第1コイル電極14に準じて直列接続されている。尚、図4において、155は第2コイル電極15の第1パターン電極151Aと第2パターン電極151Bを接続するビアホール導体である。   The series connection structure of the first pattern electrode 141A and the second pattern electrode 141B of the first coil electrode 14 will be described. As shown in FIG. 4, the lead electrode 142A that is the starting point (outer end) of the first pattern electrode 141A is magnetic. It is located on one side of the body substrates 11 and 12, and its end point (inner end) is located inside the first pattern electrode 141A. The start point (inner end) of the second pattern electrode 141B is located immediately above the inner end of the first pattern electrode 141A, and the lead electrode 143B as the end point (outer end) is one side surface of the magnetic substrates 11 and 12. Located on the side facing the. The first and second pattern electrodes 141A and 141B are connected to each other at their inner ends via via-hole conductors 145. The second coil electrode 15 is also connected in series according to the first coil electrode 14. In FIG. 4, reference numeral 155 denotes a via-hole conductor that connects the first pattern electrode 151A and the second pattern electrode 151B of the second coil electrode 15.

以上説明したように本実施形態によれば、第1、第2コイル電極14、15の互いに対向する第1パターン電極141A、151Aの線幅を、それぞれの第2パターン電極141B、151Bの線幅より広くして面積を大きくしたため、第1、第2コイル電極14、15間の容量が大きくなり、特性インピーダンスを低く設定することができる。また、第1パターン電極141A、151Aの面積を大きくしてそれぞれの巻数が減少しても、これらのパターン電極141A、151Aそれぞれに直列接続された第2パターン電極141B、151Bの巻数を増やすことにより必要なインピーダンス値を確保することができる。本実施形態では特性インピーダンスを低くすることができる以外は、上記実施形態と同様に作用効果を期することができる。   As described above, according to this embodiment, the line widths of the first pattern electrodes 141A and 151A of the first and second coil electrodes 14 and 15 facing each other are set to the line widths of the second pattern electrodes 141B and 151B. Since the area is increased by increasing the area, the capacitance between the first and second coil electrodes 14 and 15 is increased, and the characteristic impedance can be set low. In addition, even if the area of the first pattern electrodes 141A and 151A is increased and the number of turns is reduced, the number of turns of the second pattern electrodes 141B and 151B connected in series to the pattern electrodes 141A and 151A is increased. A necessary impedance value can be secured. In the present embodiment, it is possible to achieve the same effects as the above embodiment except that the characteristic impedance can be lowered.

尚、上記各実施形態では、第1、第2コイル電極14、15が第1パターン電極141A、151A及び第2パターン電極141B、151Bの二層のパターン電極を有する場合について説明したが、それぞれのパターン電極が3層以上あっても良い。また、上記実施形態では第1コイル電極14の第1パターン電極141Aが下層で第2パターン電極141Bが上層の場合について説明したが、第1パターン電極141Aが上層で第2パターン電極141Bが下層であっても良い。この場合には第1コイル電極14の第2パターン電極141Bと第2コイル電極15の第1パターン電極151Aとが対向することになる。要は、第1、第2コイル電極それぞれの複数層のパターン電極のうち、第1、第2コイル電極の互いに直接対向するパターン電極の面積が、それぞれの他のパターン電極の面積と異なるものであれば良い。   In each of the above embodiments, the case where the first and second coil electrodes 14 and 15 have the two-layer pattern electrodes of the first pattern electrodes 141A and 151A and the second pattern electrodes 141B and 151B has been described. There may be three or more pattern electrodes. In the above embodiment, the first pattern electrode 141A of the first coil electrode 14 is the lower layer and the second pattern electrode 141B is the upper layer. However, the first pattern electrode 141A is the upper layer and the second pattern electrode 141B is the lower layer. There may be. In this case, the second pattern electrode 141B of the first coil electrode 14 and the first pattern electrode 151A of the second coil electrode 15 face each other. In short, among the multiple layers of pattern electrodes of the first and second coil electrodes, the areas of the pattern electrodes of the first and second coil electrodes facing each other directly differ from the areas of the other pattern electrodes. I just need it.

本発明は、パソコンをはじめとするデジタル機器の高速作動伝送ラインのコモンモードチョークコイルとして好適に用いることができるコイル部品に広く利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely used for coil parts that can be suitably used as a common mode choke coil for high-speed operation transmission lines of digital equipment such as personal computers.

Claims (5)

上下一対の磁性体基板と、これらの磁性体基板の間に介在する非磁性体層と、この非磁性体層内で上下方向に離間して形成され且つ互いに対向して配置された一対の第1、第2コイル電極と、を備えたコイル部品であって、上記第1、第2コイル電極は、それぞれ、互いに上下方向に隣接して離間し且つ互いに並列接続された少なくとも二層のスパイラル状の第1、第2パターン電極を有し、上記第1、第2コイル電極それぞれの第1パターン電極はそれぞれ上下方向の最も内側に配置されて互いに対向すると共に、上記各第1パターン電極の面積はそれぞれの外側に配置された第2パターン電極よりも大きいか、または小さいことを特徴とするコイル部品。  A pair of upper and lower magnetic substrates, a nonmagnetic layer interposed between the magnetic substrates, and a pair of first magnetic layers formed in the nonmagnetic layer so as to be spaced apart from each other in the vertical direction and disposed opposite to each other. 1 and a second coil electrode, wherein the first and second coil electrodes are respectively spirally formed in at least two layers separated from each other in the vertical direction and connected in parallel to each other. The first pattern electrodes of the first and second coil electrodes are disposed on the innermost side in the vertical direction and face each other, and the area of each first pattern electrode Is larger or smaller than the second pattern electrode arranged on the outer side thereof. 上記第1、第2コイル電極は、いずれも二層のスパイラル状のパターン電極を有することを特徴とする請求項1に記載のコイル部品。  2. The coil component according to claim 1, wherein each of the first and second coil electrodes has a two-layer spiral pattern electrode. 上記第1パターン電極の線幅は、上記第2パターン電極の線幅と異なることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のコイル部品。  The coil component according to claim 1 or 2, wherein a line width of the first pattern electrode is different from a line width of the second pattern electrode. 上記第1パターン電極のコイルの巻数は、上記第2パターン電極のコイルの巻数と異なることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のコイル部品。  4. The coil component according to claim 1, wherein the number of turns of the coil of the first pattern electrode is different from the number of turns of the coil of the second pattern electrode. 5. 上記第1パターン電極と上記第2パターン電極とは並列接続され、上記第1パターン電極の面積は第2パターン電極の面積よりも小さいことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のコイル部品。  The first pattern electrode and the second pattern electrode are connected in parallel, and the area of the first pattern electrode is smaller than the area of the second pattern electrode. The coil component according to the item.
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