JP4366745B2

JP4366745B2 - Vibrating gyro

Info

Publication number: JP4366745B2
Application number: JP01982299A
Authority: JP
Inventors: 信行石床; 和博江原; 克己藤本
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-01-28
Filing date: 1999-01-28
Publication date: 2009-11-18
Anticipated expiration: 2019-01-28
Also published as: JP2000213943A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は振動ジャイロに関し、特にたとえば、カメラの手ぶれ補正等に使用されるバイモルフ型の振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】
本願発明の背景となる従来の技術が特許第２７８０６４３号公報、特開平１０−３３２３７８号公報、特開平１０−３３２３７９号公報に開示されている。
図７および図８に従来の振動ジャイロの一例を示す。この振動ジャイロ１では、略Ｚ字形状の支持部材２を用いてバイモルフ型の振動子３の屈曲振動の節点を上下から挟持するとともに電気的な導通をとっている。支持部材２の一端部は振動子３の一方主面にはんだ付け等で固着され、他端部は振動子３の側方に配置された支持台４に埋設された金属ピン５の一端部にはんだ付け等で固着されている。この振動子３の主面と支持台４の主面とは同一平面上に配置され、その同一平面上に支持部材２が平面状に延びるよう配置される。そのため、この振動ジャイロ１は、図８に示すように、支持台４の振動子３側の縁部に、支持部材２と支持台４とが互いに接触してはいるが固着されていないエッジ部６が形成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような振動ジャイロ１０では、振動子３の振動に伴い支持部材２が微小な振動を起こす場合がある。この場合、エッジ部６において支持部材２と支持台４とが擦れ合い、振動子３の振動が不安定になる。その結果、図１０および図１４に示すように、温度ドリフトや長期ドリフトが不安定になる場合があった。
また、振動子３の振動が支持部材２を介して支持台４に伝わり、さらに支持部材２が一体に固着されている筐体にまで振動が漏れてしまう場合があった。この場合にも、長期ドリフトが不安定になる。
【０００４】
それゆえに、本願発明の主たる目的は、温度ドリフトや長期ドリフトの安定なバイモルフ型の振動ジャイロを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本願発明にかかる振動ジャイロは、柱状の振動子と、振動子の節点に対応する位置に固着される支持部材と、振動子の側方に離間して配置され、支持部材の端部が固着される支持台とを含む振動ジャイロにおいて、支持部材の端部は、支持台のエッジ部より内側に埋設された金属ピンと接する範囲において固着され、支持台の振動子に対向する側のエッジ部において、支持部材と支持台との間に空隙部を設けたことを特徴とする、振動ジャイロである。
この振動ジャイロにおいて、空隙部は、エッジ部において支持台を切り欠いて形成されてもよく、エッジ部において支持部材を変形させて形成されてもよい。この場合、支持部材の変形は、絞り加工によりなされることが好ましい。また、支持部材の変形は、振動子の屈曲振動の方向に略平行な方向になされることが好ましい。
【０００６】
本願発明にかかる振動ジャイロでは、支持台のエッジ部において空隙部が設けられるので、エッジ部において支持部材と支持台とが擦れることがなく、擦れによる振動の不安定化が防止される。その結果、振動ジャイロの温度ドリフトや長期ドリフトが改善される。
また、支持部材を変形させて空隙部を形成する場合には、振動の閉じ込め効果が得られるので、振動子の振動が外部に漏れることが抑制され、このことによってもドリフトの安定化が図られる。特に、振動子の屈曲振動の方向と平行な方向に支持部材を変形させれば、振動漏れをより効果的に抑制することができる。
また、絞り加工によれば支持部材を所定の形状に変形加工することが容易である。
【０００７】
本願発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は、本願発明にかかる振動ジャイロの一実施形態を示す斜視図解図である。この振動ジャイロ１０は、たとえば正４角柱状の振動子１２を含む。
振動子１２は、たとえば短冊状の第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂを含む。第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂは、積層され接着される。また、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂは、互いに逆の厚み方向に分極される。なお、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂの分極の方向は、互いに対向する方向であってもよい。
【０００９】
第１の圧電体基板１４ａの主面には、その幅方向に間隔を隔てて２つの分割電極１６，１６が形成される。また、第２の圧電体基板１４ｂの主面には、共通電極１８が形成される。さらに、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂ間には、中間電極２０が形成される。
【００１０】
この振動子１２では、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂが互いに逆の厚み方向に分極されているので、２つの分割電極１６，１６および共通電極１８間にたとえば正弦波信号などの駆動信号を印加すれば、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂが互いに逆に振動する。この場合、第１の圧電体基板１４ａがその主面に平行する方向に伸びているときには、第２の圧電体基板１４ｂはその主面に平行する方向に縮む。逆に、第１の圧電体基板１４ａがその主面に平行する方向に縮んでいるときには、第２の圧電体基板１４ｂはその主面に平行する方向に伸びる。そのため、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂは、その長手方向における両端部から少しだけ内側の部分をノード部分として、その主面に直交する方向に屈曲振動する。
【００１１】
振動子１２の上面および下面における節点（ノード）に対応する４か所には、支持部材２２の中央部が取り付けられて、振動子１２が上下方向から挟持される。支持部材２２は、振動子１２の分割電極および共通電極に駆動信号を与え、また分割電極および共通電極から検出信号を得るための導電線ともなる。そのため、振動子１２の上面の長手方向の一方の支持部材２２は一方の分割電極１６に電気的に接続され、長手方向の他方の支持部材２２は他方の分割電極１６に電気的に接続される。また、振動子１２の下面の支持部材２２は、共通電極１８に電気的に接続される。
【００１２】
また、この支持部材２２は、たとえばリン青銅などの恒弾性金属の板材を打ち抜くことにより形成され、その際に両端部がそれぞれ略Ｚ字形状に形成される。略Ｚ字状に形成されることにより振動子１２の振動の閉じ込め効果を得ることができる。そして、振動子１２の上面に固着された支持部材２２は、振動子１２の側方に離間して配置された支持台２４の上面に露出した金属ピン２６にはんだ付け等で固着されるとともに電気的に導通される。同様に、振動子１２の下面に固着された支持部材２２は、支持台２４の下面に露出した金属ピン２６にはんだ付け等で固着されるとともに電気的に導通される。支持台２４は、図３に示すように、合成樹脂でなる筐体２８と一体に形成されるものである。金属ピン２６は、支持台２４内に埋設され、他端部が筐体２８内に保持された他の回路に電気的に接続される。
【００１３】
そして、この振動ジャイロ１０では、支持台２４の振動子１２に対向する側のエッジ部に切り欠き部３０が形成される。切り欠き部３０を形成することにより、支持部材２２と支持台２４との間に空隙部が形成されることになる。この切り欠き部３０の形成される部分は、図２に示すように支持台２４において金属ピン２６が埋設されておらず、支持部材２２と支持台２４とが固着されない部分である。
【００１４】
この振動ジャイロ１０では、発振回路から出力されるたとえば正弦波信号などの駆動信号が、支持部材２２を介して、振動子１２の２つの分割電極１６，１６および共通電極１８間に印加される。この駆動信号によって、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂは、その主面に直交する方向に屈曲振動する。その状態で、振動ジャイロ１０が振動子１２の中心軸を中心に回転すると、その回転角速度に応じたコリオリ力が、第１の圧電体基板１４ａおよび第２の圧電体基板１４ｂの主面に平行しかつ振動子１２の中心軸に直交する方向に働く。したがって、振動子１２の屈曲振動の方向が変わる。そのため、２つの分割電極１６，１６間には、その回転角速度に応じた信号が発生する。そして、２つの分割電極１６，１６間に発生する信号は、支持部材２２を介して、差動増幅回路によって検出され、差動増幅回路の出力信号によって、回転角速度を知ることができる。
【００１５】
また、この振動ジャイロ１０では、支持台２４のエッジ部に切り欠き部３０が形成されることにより空隙部が設けられるので、該エッジ部において支持部材２２と支持台２４とが擦れることがない。そのため、擦れによる振動の不安定化が防止され、図９および図１１に示すように、振動ジャイロ１０の温度ドリフトや長期ドリフトが安定化する。
【００１６】
図４は、本願発明にかかる振動ジャイロの他の実施形態を示す正面図解図である。この振動ジャイロ１０では、支持台２４の振動子１２に対向する側のエッジ部において、切り欠き部が形成されず、支持部材２２を略Ｌ字形状に屈曲させてなる屈曲部３２が形成される点において図１ないし図３に示した振動ジャイロと異なる。図４に示す振動ジャイロ１０では、このように屈曲部３２を設けることにより、エッジ部における支持部材２２と支持台２４との間に空隙部が形成されることになる。その結果、図４に示した振動ジャイロ１０は、図１ないし図３に示した振動ジャイロと同様の効果を得ることができ、図１２に示すように長期ドリフトも安定化する。
【００１７】
図５は、本願発明にかかる振動ジャイロのさらに他の実施形態を示す正面図解図である。この振動ジャイロ１０では、支持台２４の振動子１２に対向する側のエッジ部において、図１ないし図３に示した振動ジャイロと同様に切り欠き部３０が形成されるとともに、支持部材２２を略Ｌ字形状に屈曲させてなる屈曲部３２が形成される点において図１ないし図４に示した振動ジャイロと異なる。図５に示す振動ジャイロ１０では、支持台２４の切り欠き部３０と支持部材２２の屈曲部３２とで、エッジ部における支持部材２２と支持台２４との間に空隙部が形成されることになる。その結果、図５に示した振動ジャイロ１０は、図１ないし図４に示した振動ジャイロと同様の効果を得ることができ、図１３に示すように長期ドリフトも安定化する。
【００１８】
図６は、本願発明にかかる振動ジャイロの別の実施形態を示す正面図解図である。この振動ジャイロ１０では、支持台２４の振動子１２に対向する側のエッジ部において、切り欠き部が形成されず、支持部材２２を略Ｕ字形状に屈曲させてなる屈曲部３２が形成される点において図１ないし図５に示した振動ジャイロと異なる。図６に示す振動ジャイロ１０では、このように屈曲部３２を設けることにより、エッジ部における支持部材２２と支持台２４との間に空隙部が形成されることになる。その結果、図６に示した振動ジャイロ１０によっても、図１ないし図５に示した振動ジャイロと同様の効果を得ることができ、温度ドリフトおよび長期ドリフトが安定化する。
【００１９】
また、図４ないし図６に示した振動ジャイロ１０の製造工程において、それぞれの屈曲部３２は、絞り加工により形成される。その際、振動子１２の屈曲振動の方向と平行な方向、すなわち振動子１２の厚み方向と平行な方向に支持部材２２を屈曲変形させて屈曲部３２が形成される。屈曲部３２を振動子１２の振動方向と平行な方向に形成することにより、振動の閉じ込め効果を得ることができ、振動子１２の振動が外部に漏れることが抑制され、より一層の振動の安定化を図ることができ、延いては温度ドリフトおよび長期ドリフトが安定化する。
【００２０】
【発明の効果】
本願発明によれば、温度ドリフトおよび長期ドリフトの安定な振動ジャイロを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明にかかる振動ジャイロの一実施形態を示す斜視図解図である。
【図２】図１に示す振動ジャイロの正面図解図である。
【図３】図１に示す振動ジャイロの平面図解図である。
【図４】本願発明にかかる振動ジャイロの他の実施形態を示す正面図解図である。
【図５】本願発明にかかる振動ジャイロのさらに他の実施形態を示す正面図解図である。
【図６】本願発明にかかる振動ジャイロの別の実施形態を示す正面図解図である。
【図７】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図解図である。
【図８】図７に示す従来の振動ジャイロの正面図解図である。
【図９】図１に示す実施形態の振動ジャイロの温度ドリフトを示すグラフである。
【図１０】図７に示す従来の振動ジャイロの温度ドリフトを示すグラフである。
【図１１】図１に示す実施形態の振動ジャイロの長期ドリフトを示すグラフである。
【図１２】図４に示す実施形態の振動ジャイロの長期ドリフトを示すグラフである。
【図１３】図５に示す実施形態の振動ジャイロの長期ドリフトを示すグラフである。
【図１４】図７に示す従来の振動ジャイロの長期ドリフトを示すグラフである。
【符号の説明】
１０振動ジャイロ
１２振動子
１４ａ第１の圧電体基板
１４ｂ第２の圧電体基板
１６分割電極
１８共通電極
２０中間電極
２２支持部材
２４支持台
２６金属ピン
２８筐体
３０切り欠き部
３２屈曲部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a vibrating gyroscope, and more particularly to a bimorph type vibrating gyroscope used for, for example, camera shake correction.
[0002]
[Prior art]
Conventional techniques as the background of the present invention are disclosed in Japanese Patent No. 2780643, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-332378, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-332379.
7 and 8 show an example of a conventional vibrating gyroscope. In the vibrating gyroscope 1, a substantially Z-shaped support member 2 is used to sandwich the bending vibration node of the bimorph vibrator 3 from above and below and to be electrically connected. One end of the support member 2 is fixed to one main surface of the vibrator 3 by soldering or the like, and the other end is attached to one end of a metal pin 5 embedded in a support base 4 disposed on the side of the vibrator 3. It is fixed by soldering. The main surface of the vibrator 3 and the main surface of the support base 4 are arranged on the same plane, and the support member 2 is arranged on the same plane so as to extend in a planar shape. Therefore, as shown in FIG. 8, the vibrating gyroscope 1 has an edge portion where the support member 2 and the support base 4 are in contact with each other but not fixed to the edge of the support base 4 on the vibrator 3 side. 6 is formed.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a vibrating gyroscope 10, the support member 2 may cause minute vibrations with the vibration of the vibrator 3. In this case, the support member 2 and the support base 4 rub against each other at the edge portion 6, and the vibration of the vibrator 3 becomes unstable. As a result, as shown in FIGS. 10 and 14, the temperature drift and long-term drift may become unstable.
In addition, the vibration of the vibrator 3 is transmitted to the support base 4 via the support member 2, and further, the vibration may leak to the casing to which the support member 2 is integrally fixed. Also in this case, long-term drift becomes unstable.
[0004]
Therefore, a main object of the present invention is to provide a bimorph type vibration gyro that is stable in temperature drift and long-term drift.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
A vibrating gyroscope according to the present invention is provided with a columnar vibrator, a support member fixed at a position corresponding to a node of the vibrator, and a side of the vibrator spaced apart, and an end portion of the support member is fixed. In the vibrating gyroscope including the support base, the end portion of the support member is fixed in a range in contact with the metal pin embedded inside the edge portion of the support base , and at the edge portion on the side facing the vibrator of the support base, The vibration gyro is characterized in that a gap is provided between the support member and the support base.
In this vibrating gyroscope, the gap portion may be formed by cutting out the support base at the edge portion, or may be formed by deforming the support member at the edge portion. In this case, the support member is preferably deformed by drawing. The support member is preferably deformed in a direction substantially parallel to the direction of bending vibration of the vibrator.
[0006]
In the vibrating gyroscope according to the present invention, since the gap portion is provided at the edge portion of the support base, the support member and the support base are not rubbed at the edge portion, and vibration instability due to the friction is prevented. As a result, the temperature drift and long-term drift of the vibration gyro are improved.
Further, when the gap is formed by deforming the support member, a vibration confinement effect is obtained, so that the vibration of the vibrator is prevented from leaking to the outside, and this also stabilizes the drift. . In particular, if the support member is deformed in a direction parallel to the direction of bending vibration of the vibrator, vibration leakage can be more effectively suppressed.
Further, the drawing process makes it easy to deform the support member into a predetermined shape.
[0007]
The above object, other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments of the present invention with reference to the drawings.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a vibrating gyroscope according to the present invention. The vibrating gyroscope 10 includes, for example, a regular quadrangular prism-shaped vibrator 12.
The vibrator 12 includes, for example, a strip-shaped first piezoelectric substrate 14a and a second piezoelectric substrate 14b. The first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b are laminated and bonded. The first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b are polarized in opposite thickness directions. Note that the directions of polarization of the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b may be opposite to each other.
[0009]
Two divided electrodes 16 and 16 are formed on the main surface of the first piezoelectric substrate 14a with an interval in the width direction. A common electrode 18 is formed on the main surface of the second piezoelectric substrate 14b. Further, an intermediate electrode 20 is formed between the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b.
[0010]
In the vibrator 12, the first piezoelectric substrate 14 a and the second piezoelectric substrate 14 b are polarized in opposite thickness directions, so that, for example, a sine wave is provided between the two divided electrodes 16 and 16 and the common electrode 18. When a drive signal such as a signal is applied, the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b vibrate in the opposite directions. In this case, when the first piezoelectric substrate 14a extends in a direction parallel to the main surface, the second piezoelectric substrate 14b contracts in a direction parallel to the main surface. Conversely, when the first piezoelectric substrate 14a is contracted in a direction parallel to the main surface, the second piezoelectric substrate 14b extends in a direction parallel to the main surface. Therefore, the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b bend and vibrate in a direction perpendicular to the main surface, with the portions slightly inside from both ends in the longitudinal direction as node portions.
[0011]
At the four locations corresponding to the nodes (nodes) on the upper surface and the lower surface of the vibrator 12, the central portion of the support member 22 is attached, and the vibrator 12 is sandwiched from above and below. The support member 22 provides a drive signal to the divided electrode and the common electrode of the vibrator 12 and also serves as a conductive line for obtaining a detection signal from the divided electrode and the common electrode. Therefore, one support member 22 in the longitudinal direction on the upper surface of the vibrator 12 is electrically connected to one divided electrode 16, and the other support member 22 in the longitudinal direction is electrically connected to the other divided electrode 16. . Further, the support member 22 on the lower surface of the vibrator 12 is electrically connected to the common electrode 18.
[0012]
The support member 22 is formed by punching a constant elastic metal plate material such as phosphor bronze, and both end portions thereof are formed in a substantially Z shape. By being formed in a substantially Z shape, the effect of confining vibration of the vibrator 12 can be obtained. The support member 22 fixed to the upper surface of the vibrator 12 is fixed by soldering or the like to the metal pin 26 exposed on the upper surface of the support base 24 that is spaced apart from the side of the vibrator 12. Is electrically conducted. Similarly, the support member 22 fixed to the lower surface of the vibrator 12 is fixed to the metal pin 26 exposed on the lower surface of the support base 24 by soldering or the like and is electrically conducted. As shown in FIG. 3, the support base 24 is formed integrally with a casing 28 made of synthetic resin. The metal pin 26 is embedded in the support base 24, and the other end is electrically connected to another circuit held in the housing 28.
[0013]
In the vibrating gyroscope 10, a cutout portion 30 is formed at the edge portion of the support base 24 on the side facing the vibrator 12. By forming the notch 30, a gap is formed between the support member 22 and the support base 24. The portion where the notch 30 is formed is a portion where the metal pin 26 is not embedded in the support base 24 as shown in FIG. 2 and the support member 22 and the support base 24 are not fixed.
[0014]
In the vibrating gyroscope 10, a driving signal such as a sine wave signal output from the oscillation circuit is applied between the two divided electrodes 16 and 16 and the common electrode 18 of the vibrator 12 via the support member 22. By this drive signal, the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b bend and vibrate in a direction perpendicular to the main surface. In this state, when the vibrating gyroscope 10 rotates about the central axis of the vibrator 12, the Coriolis force according to the rotational angular velocity is parallel to the main surfaces of the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b. And works in a direction perpendicular to the central axis of the vibrator 12. Therefore, the direction of the bending vibration of the vibrator 12 changes. Therefore, a signal corresponding to the rotational angular velocity is generated between the two divided electrodes 16 and 16. A signal generated between the two divided electrodes 16 and 16 is detected by the differential amplifier circuit via the support member 22, and the rotational angular velocity can be known from the output signal of the differential amplifier circuit.
[0015]
Further, in the vibrating gyroscope 10, since the gap portion is provided by forming the notch portion 30 at the edge portion of the support base 24, the support member 22 and the support base 24 are not rubbed at the edge portion. Therefore, vibration instability due to rubbing is prevented, and the temperature drift and long-term drift of the vibration gyro 10 are stabilized as shown in FIGS. 9 and 11.
[0016]
FIG. 4 is a front view solution view showing another embodiment of the vibrating gyroscope according to the present invention. In the vibrating gyroscope 10, the notch portion is not formed at the edge portion of the support base 24 facing the vibrator 12, but the bent portion 32 formed by bending the support member 22 into a substantially L shape is formed. This is different from the vibrating gyroscope shown in FIGS. In the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 4, by providing the bent portion 32 as described above, a gap portion is formed between the support member 22 and the support base 24 at the edge portion. As a result, the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 4 can obtain the same effect as the vibrating gyroscope shown in FIGS. 1 to 3, and the long-term drift is stabilized as shown in FIG.
[0017]
FIG. 5 is an illustrative front view showing still another embodiment of the vibrating gyroscope according to the present invention. In the vibrating gyroscope 10, a notch 30 is formed in the edge portion of the support base 24 on the side facing the vibrator 12, similarly to the vibrating gyroscope shown in FIGS. It differs from the vibration gyro shown in FIGS. 1 to 4 in that a bent portion 32 formed by bending in an L shape is formed. In the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 5, a gap is formed between the support member 22 and the support base 24 at the edge portion by the cutout portion 30 of the support base 24 and the bent portion 32 of the support member 22. Become. As a result, the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 5 can obtain the same effect as the vibrating gyroscope shown in FIGS. 1 to 4, and the long-term drift is stabilized as shown in FIG.
[0018]
FIG. 6 is an illustration of a front view showing another embodiment of the vibrating gyroscope according to the present invention. In the vibrating gyroscope 10, a notch is not formed at the edge portion of the support base 24 facing the vibrator 12, and a bent portion 32 is formed by bending the support member 22 into a substantially U shape. This is different from the vibrating gyroscope shown in FIGS. In the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 6, by providing the bent portion 32 as described above, a gap portion is formed between the support member 22 and the support base 24 at the edge portion. As a result, the vibration gyro 10 shown in FIG. 6 can obtain the same effect as that of the vibration gyro shown in FIGS. 1 to 5, and the temperature drift and long-term drift are stabilized.
[0019]
In the manufacturing process of the vibrating gyroscope 10 shown in FIGS. 4 to 6, each bent portion 32 is formed by drawing. At this time, the support member 22 is bent and deformed in a direction parallel to the bending vibration direction of the vibrator 12, that is, a direction parallel to the thickness direction of the vibrator 12, thereby forming the bent portion 32. By forming the bent portion 32 in a direction parallel to the vibration direction of the vibrator 12, a vibration confinement effect can be obtained, and the vibration of the vibrator 12 is suppressed from leaking to the outside, thereby further stabilizing the vibration. As a result, temperature drift and long-term drift are stabilized.
[0020]
【The invention's effect】
According to the present invention, a vibration gyro having a stable temperature drift and long-term drift can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view illustrating an embodiment of a vibrating gyroscope according to the present invention.
FIG. 2 is an illustration of a front view of the vibrating gyroscope shown in FIG.
3 is an illustrative plan view of the vibrating gyroscope shown in FIG. 1; FIG.
FIG. 4 is a front view solution view showing another embodiment of a vibrating gyroscope according to the present invention.
FIG. 5 is an illustrative front view showing still another embodiment of the vibrating gyroscope according to the present invention.
FIG. 6 is an illustrative view showing another embodiment of the vibrating gyroscope according to the present invention.
FIG. 7 is a perspective view illustrating an example of a conventional vibrating gyroscope.
8 is an illustration of a front view of the conventional vibration gyro shown in FIG.
FIG. 9 is a graph showing temperature drift of the vibrating gyroscope according to the embodiment shown in FIG. 1;
10 is a graph showing temperature drift of the conventional vibrating gyroscope shown in FIG.
11 is a graph showing long-term drift of the vibration gyro according to the embodiment shown in FIG. 1; FIG.
12 is a graph showing long-term drift of the vibration gyro according to the embodiment shown in FIG. 4;
13 is a graph showing long-term drift of the vibration gyro according to the embodiment shown in FIG.
14 is a graph showing long-term drift of the conventional vibration gyro shown in FIG.
[Explanation of symbols]
10 Vibrating Gyro 12 Vibrator 14a First Piezoelectric Substrate 14b Second Piezoelectric Substrate 16 Divided Electrode 18 Common Electrode 20 Intermediate Electrode 22 Support Member 24 Support Base 26 Metal Pin 28 Housing 30 Notch 32 Bent

Claims

Columnar vibrator,
In a vibrating gyroscope including a support member fixed at a position corresponding to a node of the vibrator, and a support base that is arranged apart from the vibrator and to which an end of the support member is fixed.
The end portion of the support member is fixed in a range in contact with a metal pin embedded inside the edge portion of the support base,
A vibration gyro, wherein a gap is provided between the support member and the support base at an edge portion of the support base facing the vibrator.

The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the gap portion is formed by cutting out the support base at the edge portion.

The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the gap portion is formed by deforming the support member at the edge portion.

The vibrating gyroscope according to any one of claims 1 to 3, wherein the gap is formed by deforming the support member by drawing in a direction substantially parallel to a direction of bending vibration of the vibrator.