JP2002221417A - Vibration gyro - Google Patents

Vibration gyro

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JP2002221417A
JP2002221417A JP2001016397A JP2001016397A JP2002221417A JP 2002221417 A JP2002221417 A JP 2002221417A JP 2001016397 A JP2001016397 A JP 2001016397A JP 2001016397 A JP2001016397 A JP 2001016397A JP 2002221417 A JP2002221417 A JP 2002221417A
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vibrator
vibrating gyroscope
support member
piezoelectric substrate
support
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Inventor
Iku Nagai
郁 永井
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration gyro having a stable property for the gyro. SOLUTION: The vibration gyro 10 includes a vibrator 12 that is made chiefly of piezoelectric ceramics and formed like a regular rectangular prism. The vibrator 12 is supported by a support member 22 made of 42Ni, for example. The support member 22 is connected to a support base 32 formed on a mount base 30.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は振動ジャイロに関
し、特にたとえばカーナビゲーションシステムの回転検
出や車の横転検出などに使用される振動ジャイロに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating gyroscope, and more particularly to a vibrating gyroscope used, for example, for detecting rotation of a car navigation system or rollover of a car.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図である。図7に示す振動ジャイロ1は、圧電セラ
ミックスを主成分とする柱状の振動子2を含む。振動子
2は、リン青銅からなる支持部材3を介して、取付基台
4の支持台5に取り付けられる。図7に示す振動ジャイ
ロ1では、コリオリ力が働かないときにはx軸方向に振
動しているが、z軸を中心に回転してコリオリ力が働く
と、y軸方向の振動モードも加わり、このy軸方向の振
動を検出することによって角速度が検知される。すなわ
ち、振動ジャイロ1においては、x軸方向とy軸方向と
の2方向の振動モードが環境に左右されずに安定でなけ
ればならない。そのため、振動子2の支持構造には、特
に注意が必要である。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope. A vibrating gyroscope 1 shown in FIG. 7 includes a columnar vibrator 2 mainly composed of piezoelectric ceramics. The vibrator 2 is mounted on a support base 5 of a mounting base 4 via a support member 3 made of phosphor bronze. The vibrating gyroscope 1 shown in FIG. 7 vibrates in the x-axis direction when the Coriolis force does not act, but when the Coriolis force acts by rotating around the z-axis, a vibration mode in the y-axis direction is also added, and this y The angular velocity is detected by detecting the vibration in the axial direction. That is, in the vibrating gyroscope 1, the vibration modes in the two directions of the x-axis direction and the y-axis direction must be stable without being affected by the environment. Therefore, special attention is required for the support structure of the vibrator 2.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】図7に示す振動ジャイ
ロ1では、支持部材3に弾性および電気伝導性が求めら
れるために支持部材3がリン青銅で構成される一方、振
動子2は主に圧電セラミックスなどの非金属材料で構成
されるので、振動子2と支持部材3との熱膨張の差が大
きい。振動子2と支持部材3との熱膨張の差が大きい
と、x軸方向およびy軸方向の振動モードの温度変化も
大きくなるため、振動ジャイロ1の出力の温度ドリフト
特性および感度の温度特性などのジャイロ特性として安
定したジャイロ特性が得られない。また、振動子2と支
持部材3との熱膨張の差が大きいと、振動子2と支持部
材3との接続部にかかる熱応力も大きく、振動ジャイロ
1の熱衝撃などに対する耐久性がよくない。
In the vibrating gyroscope 1 shown in FIG. 7, since the supporting member 3 is required to have elasticity and electrical conductivity, the supporting member 3 is made of phosphor bronze, while the vibrator 2 is mainly composed of phosphor bronze. Since it is made of a non-metallic material such as piezoelectric ceramics, the difference in thermal expansion between the vibrator 2 and the support member 3 is large. If the difference between the thermal expansions of the vibrator 2 and the support member 3 is large, the temperature change of the vibration mode in the x-axis direction and the y-axis direction is also large. As a result, stable gyro characteristics cannot be obtained. If the difference in thermal expansion between the vibrator 2 and the support member 3 is large, the thermal stress applied to the connection between the vibrator 2 and the support member 3 is large, and the durability of the vibrating gyroscope 1 against thermal shock and the like is poor. .

【0004】それゆえに、この発明の主たる目的は、安
定したジャイロ特性が得られる振動ジャイロを提供する
ことである。
[0004] Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibration gyro capable of obtaining stable gyro characteristics.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明にかかる振動ジ
ャイロは、非金属を主成分とする柱状の振動子と、振動
子に電気的かつ機械的に接続され振動子を支持する支持
部材と、支持部材に接続される取付基台とを有する振動
ジャイロにおいて、支持部材の材料として熱膨張係数が
振動子の熱膨張係数の0.1倍から10倍までの範囲に
ある金属材料を用いたことを特徴とする、振動ジャイロ
である。この発明にかかる振動ジャイロでは、支持部材
の材料としてたとえばFeおよびNiを主成分とする合
金が用いられる。
A vibrating gyroscope according to the present invention comprises: a columnar vibrator mainly composed of a non-metal; a support member electrically and mechanically connected to the vibrator to support the vibrator; In a vibrating gyroscope having a mounting base connected to a support member, a metal material having a coefficient of thermal expansion in the range of 0.1 to 10 times the thermal expansion coefficient of the vibrator is used as a material of the support member. A vibration gyro characterized by the following. In the vibrating gyroscope according to the present invention, for example, an alloy mainly containing Fe and Ni is used as a material of the support member.

【0006】この発明にかかる振動ジャイロでは、支持
部材の材料として熱膨張係数が振動子の熱膨張係数の
0.1倍から10倍までの範囲にある金属材料が用いら
れるので、振動子と支持部材との熱膨張の差が小さくな
る。
In the vibrating gyroscope according to the present invention, a metal material having a thermal expansion coefficient in the range of 0.1 to 10 times the thermal expansion coefficient of the vibrator is used as the material of the supporting member. The difference in thermal expansion with the member is reduced.

【0007】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】図1はこの発明にかかる振動ジャ
イロの一例を示す平面図解図であり、図2はその振動ジ
ャイロに用いられる振動子を示す斜視図である。図1に
示す振動ジャイロ10は、たとえば正4角柱状の振動子
12を含む。
FIG. 1 is a schematic plan view showing an example of a vibrating gyroscope according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a vibrator used in the vibrating gyroscope. The vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 1 includes a vibrator 12 having, for example, a regular quadrangular prism shape.

【0009】振動子12は、図2に示すように、圧電セ
ラミックスからなるたとえば短冊状の第1の圧電体基板
14aおよび第2の圧電体基板14bを含む。第1の圧
電体基板14aおよび第2の圧電体基板14bは、積層
され接着される。また、第1の圧電体基板14aおよび
第2の圧電体基板14bは、互いに逆の厚み方向に分極
される。なお、第1の圧電体基板14aおよび第2の圧
電体基板14bの分極の方向は、互いに対向する方向で
あってもよい。
As shown in FIG. 2, the vibrator 12 includes, for example, a strip-shaped first piezoelectric substrate 14a and a second piezoelectric substrate 14b made of piezoelectric ceramics. The first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b are stacked and bonded. Further, the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b are polarized in opposite thickness directions. The polarization directions of the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b may be opposite to each other.

【0010】第1の圧電体基板14aの主面には、その
幅方向に間隔を隔てて2つの分割電極16,16が形成
される。また、第2の圧電体基板14bの主面には、共
通電極18が形成される。さらに、第1の圧電体基板1
4aおよび第2の圧電体基板14b間には、中間電極2
0が形成される。
On the main surface of the first piezoelectric substrate 14a, two divided electrodes 16, 16 are formed at intervals in the width direction. A common electrode 18 is formed on the main surface of the second piezoelectric substrate 14b. Further, the first piezoelectric substrate 1
4a and the second piezoelectric substrate 14b, the intermediate electrode 2
0 is formed.

【0011】この振動子12では、第1の圧電体基板1
4aおよび第2の圧電体基板14bが互いに逆の厚み方
向に分極されているので、2つの分割電極16,16お
よび共通電極18間にたとえば正弦波信号などの駆動信
号を印加すれば、第1の圧電体基板14aおよび第2の
圧電体基板14bが互いに逆に振動する。この場合、第
1の圧電体基板14aがその主面に平行する方向に伸び
ているときには、第2の圧電体基板14bはその主面に
平行する方向に縮む。逆に、第1の圧電体基板14aが
その主面に平行する方向に縮んでいるときには、第2の
圧電体基板14bはその主面に平行する方向に伸びる。
そのため、第1の圧電体基板14aおよび第2の圧電体
基板14bは、その長手方向における両端部から少しだ
け内側の部分をノード部分として、その主面に直交する
方向に屈曲振動する。
In the vibrator 12, the first piezoelectric substrate 1
Since the piezoelectric substrate 4a and the second piezoelectric substrate 14b are polarized in opposite thickness directions, if a drive signal such as a sine wave signal is applied between the two divided electrodes 16, 16 and the common electrode 18, the first piezoelectric substrate 14b becomes first. The piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b vibrate in opposite directions. In this case, when the first piezoelectric substrate 14a extends in a direction parallel to the main surface, the second piezoelectric substrate 14b contracts in a direction parallel to the main surface. Conversely, when the first piezoelectric substrate 14a is contracted in a direction parallel to its main surface, the second piezoelectric substrate 14b extends in a direction parallel to its main surface.
Therefore, the first piezoelectric substrate 14a and the second piezoelectric substrate 14b bend and vibrate in a direction perpendicular to the main surface, with a portion slightly inside from both ends in the longitudinal direction as a node portion.

【0012】振動子12の上面および下面における節点
(ノード)に対応する4か所には、4つの支持部材22
の略矩形板状の中央部22aがたとえばはんだ付けや導
電接着剤で取り付けられて、振動子12が上下方向から
挟持される。支持部材22は、振動子12の分割電極お
よび共通電極に駆動信号を与え、また分割電極および共
通電極から検出信号を得るための導電線ともなる。その
ため、振動子12の上面の長手方向の一方の支持部材2
2の中央部22aは一方の分割電極16に電気的に接続
され、長手方向の他方の支持部材22の中央部22aは
他方の分割電極16に電気的に接続される。また、振動
子12の下面の2つの支持部材22の中央部22aは、
共通電極18に電気的に接続される。
At four positions corresponding to nodes on the upper and lower surfaces of the vibrator 12, four support members 22 are provided.
Is attached by, for example, soldering or a conductive adhesive, and the vibrator 12 is sandwiched from above and below. The support member 22 provides a drive signal to the divided electrode and the common electrode of the vibrator 12 and also serves as a conductive line for obtaining a detection signal from the divided electrode and the common electrode. Therefore, one support member 2 in the longitudinal direction of the upper surface of the vibrator 12
The central portion 22a of the second support member 22 is electrically connected to one divided electrode 16, and the central portion 22a of the other support member 22 in the longitudinal direction is electrically connected to the other divided electrode 16. The central portions 22a of the two support members 22 on the lower surface of the vibrator 12 are
It is electrically connected to the common electrode 18.

【0013】上述の支持部材22は、中央部22aが略
矩形板状のパッドとして形成され、中央部22aの両側
には、それぞれ、振動子12の振動の閉じ込め効果を得
るための略Z字状の中間部22bを介して矩形板状の端
部22cが形成される。これらの支持部材22は、たと
えば42Niの板材を打ち抜くことにより形成される。
The above-mentioned supporting member 22 has a central portion 22a formed as a substantially rectangular plate-like pad, and a substantially Z-shaped pad on both sides of the central portion 22a for obtaining the effect of confining the vibration of the vibrator 12. A rectangular plate-like end portion 22c is formed via the intermediate portion 22b. These support members 22 are formed by punching, for example, a 42Ni plate material.

【0014】さらに、この振動ジャイロ10は、たとえ
ば合成樹脂からなる箱型の取付基台30を含む。取付基
台30の幅方向における両側の内壁には、たとえば直方
体状の4つの支持台32が間隔を隔てて取付基台30と
一体的に形成される。
The vibrating gyroscope 10 further includes a box-shaped mounting base 30 made of, for example, a synthetic resin. On the inner walls on both sides in the width direction of the mounting base 30, for example, four rectangular parallelepiped support bases 32 are formed integrally with the mounting base 30 at intervals.

【0015】そして、振動子12の下面に取り付けられ
る2つの支持部材22の4つの端部22cは、取付基台
30の4つの支持台32の下面に、たとえば接着剤で取
り付けられる。同様に、振動子12の上面に取り付けら
れる2つの支持部材22の4つの端部22cは、取付基
台30の4つの支持台32の上面に、たとえば接着剤で
取り付けられる。
The four ends 22c of the two support members 22 attached to the lower surface of the vibrator 12 are attached to the lower surfaces of the four support bases 32 of the attachment base 30, for example, with an adhesive. Similarly, the four ends 22 c of the two support members 22 attached to the upper surface of the vibrator 12 are attached to the upper surfaces of the four support stands 32 of the attachment base 30 by, for example, an adhesive.

【0016】図1に示す振動ジャイロ10では、振動子
12が主に圧電セラミックスで構成されその圧電セラミ
ックスの熱膨張係数がたとえば1.1×10-6/℃であ
り、支持部材22が42Niで構成されその42Niの
熱膨張係数がたとえば4.5×10-6/℃であるので、
特に熱膨張係数がたとえば17×10-6/℃であるリン
青銅で支持部材を構成した圧電ジャイロと比べて、振動
子12と支持部材22との熱膨張の差が小さくなる。
In the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 1, the vibrator 12 is mainly made of piezoelectric ceramics, the coefficient of thermal expansion of which is, for example, 1.1 × 10 −6 / ° C., and the supporting member 22 is made of 42Ni. Since the thus formed 42Ni has a thermal expansion coefficient of, for example, 4.5 × 10 −6 / ° C.,
In particular, the difference in thermal expansion between the vibrator 12 and the support member 22 is smaller than that of a piezoelectric gyro having a support member made of phosphor bronze having a thermal expansion coefficient of, for example, 17 × 10 −6 / ° C.

【0017】この振動ジャイロ10では、振動子12と
支持部材22との熱膨張の差が小さくなるので、振動子
12の支持が温度に左右されずに安定になり、振動ジャ
イロ10の出力の温度ドリフト特性および感度の温度特
性などのジャイロ特性として安定したジャイロ特性が得
られる。
In the vibrating gyroscope 10, since the difference in thermal expansion between the vibrator 12 and the support member 22 is reduced, the support of the vibrator 12 is stabilized without being affected by temperature, and the temperature of the output of the vibrating gyroscope 10 is reduced. Stable gyro characteristics such as drift characteristics and temperature characteristics of sensitivity can be obtained.

【0018】また、この振動ジャイロ10では、振動子
12と支持部材22との熱膨張の差が小さくなるので、
振動子12と支持部材22との接続部にかかる熱応力も
小さくなり、振動ジャイロ10の熱衝撃などに対する耐
久性がよくなる。
In the vibrating gyroscope 10, the difference in thermal expansion between the vibrator 12 and the support member 22 is reduced.
The thermal stress applied to the connection between the vibrator 12 and the support member 22 is also reduced, and the durability of the vibrating gyroscope 10 against thermal shock and the like is improved.

【0019】図3は図1に示す振動ジャイロ10の熱衝
撃に対する感度変化を示すグラフであり、図4はリン青
銅で支持部材を構成した振動ジャイロの熱衝撃に対する
感度変化を示すグラフである。図3および図4に示すグ
ラフより、1000回の熱衝撃試験を行った後での感度
変化は、リン青銅で支持部材を構成した振動ジャイロで
は20%以上であるのに対して、42Niで支持部材を
構成した図1に示す振動ジャイロ10では5%程度まで
改善されていることがわかる。
FIG. 3 is a graph showing a change in sensitivity to thermal shock of the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a graph showing a change in sensitivity to thermal shock of a vibrating gyroscope having a supporting member made of phosphor bronze. From the graphs shown in FIGS. 3 and 4, the change in sensitivity after the thermal shock test was performed 1000 times was 20% or more for the vibrating gyroscope in which the supporting member was formed of phosphor bronze, whereas the change in sensitivity was 42Ni. It can be seen that the vibration gyro 10 shown in FIG.

【0020】図5は図1に示す振動ジャイロ10の熱衝
撃に対する出力変化を示すグラフであり、図6はリン青
銅で支持部材を構成した振動ジャイロの熱衝撃に対する
出力変化を示すグラフである。図5および図6に示すグ
ラフより、1000回の熱衝撃試験を行った後での出力
変化も、リン青銅で支持部材を構成した振動ジャイロで
は100度/秒以上のばらつきがあるのに対して、42
Niで支持部材を構成した図1に示す振動ジャイロ10
では30度/秒以内のばらつきに改善されているととも
に変動量自体も小さくなっていることがわかる。
FIG. 5 is a graph showing the output change with respect to the thermal shock of the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. 1, and FIG. 6 is a graph showing the output change with respect to the thermal shock of the vibrating gyroscope having the supporting member made of phosphor bronze. According to the graphs shown in FIGS. 5 and 6, the output change after the thermal shock test was performed 1000 times also showed that the vibration gyro having the supporting member made of phosphor bronze had a variation of 100 degrees / second or more. , 42
The vibrating gyroscope 10 shown in FIG.
It can be seen that the variation is improved to within 30 degrees / sec and the variation itself is also small.

【0021】なお、上述の振動ジャイロ10では支持部
材22が42Niで構成されているが、この発明では熱
膨張係数がたとえば1.2×10-6/℃である36Ni
で支持部材22が構成されてもよい。この場合、振動子
12と支持部材22との熱膨張の差がさらに小さくなる
ので、上述の効果より優れた効果を奏する。
In the above-described vibrating gyroscope 10, the supporting member 22 is made of 42Ni. In the present invention, however, 36Ni having a thermal expansion coefficient of, for example, 1.2 × 10 −6 / ° C.
The support member 22 may be constituted by. In this case, since the difference in thermal expansion between the vibrator 12 and the support member 22 is further reduced, an effect superior to the above-described effect is achieved.

【0022】また、上述の振動ジャイロ10では正4角
柱状の振動子12、略Z字状の中間部22bを有する支
持部材22および直方体状の支持台32を有する箱型の
取付基台30が用いられているが、この発明ではそれら
は他の形状に形成されてもよい。
In the vibrating gyroscope 10 described above, a box-shaped mounting base 30 having a regular quadrangular prism-shaped vibrator 12, a support member 22 having a substantially Z-shaped intermediate portion 22b, and a rectangular parallelepiped support 32 is provided. Although used, they may be formed in other shapes in the present invention.

【0023】[0023]

【発明の効果】この発明によれば、安定したジャイロ特
性が得られる振動ジャイロが得られる。
According to the present invention, a vibrating gyroscope having stable gyro characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明にかかる振動ジャイロの一例を示す平
面図解図である。
FIG. 1 is an illustrative plan view showing one example of a vibrating gyroscope according to the present invention.

【図2】図1に示す振動ジャイロに用いられる振動子を
示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a vibrator used in the vibrating gyroscope shown in FIG.

【図3】図1に示す振動ジャイロの熱衝撃に対する感度
変化を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing a change in sensitivity to thermal shock of the vibrating gyroscope shown in FIG.

【図4】リン青銅で支持部材を構成した振動ジャイロの
熱衝撃に対する感度変化を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing a change in sensitivity to a thermal shock of a vibrating gyroscope having a supporting member made of phosphor bronze.

【図5】図1に示す振動ジャイロの熱衝撃に対する出力
変化を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing an output change with respect to a thermal shock of the vibrating gyroscope shown in FIG. 1;

【図6】リン青銅で支持部材を構成した振動ジャイロの
熱衝撃に対する出力変化を示すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing an output change with respect to a thermal shock of a vibrating gyroscope having a supporting member made of phosphor bronze.

【図7】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。
FIG. 7 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 振動ジャイロ 12 振動子 14a 第1の圧電体基板 14b 第2の圧電体基板 16 分割電極 18 共通電極 20 中間電極 22 支持部材 22a 中央部 22b 中間部 22c 端部 30 取付基台 32 支持台 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vibration gyroscope 12 Vibrator 14a 1st piezoelectric substrate 14b 2nd piezoelectric substrate 16 Split electrode 18 Common electrode 20 Intermediate electrode 22 Supporting member 22a Central part 22b Intermediate part 22c End part 30 Mounting base 32 Support base

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非金属を主成分とする柱状の振動子、前
記振動子に電気的かつ機械的に接続され前記振動子を支
持する支持部材、および前記支持部材に接続される取付
基台を有する振動ジャイロにおいて、 前記支持部材の材料として熱膨張係数が前記振動子の熱
膨張係数の0.1倍から10倍までの範囲にある金属材
料を用いたことを特徴とする、振動ジャイロ。
1. A columnar vibrator mainly composed of a non-metal, a support member electrically and mechanically connected to the vibrator to support the vibrator, and a mounting base connected to the support member. A vibrating gyroscope comprising: a metal material having a coefficient of thermal expansion in a range of 0.1 to 10 times a coefficient of thermal expansion of the vibrator as a material of the supporting member.
【請求項2】 前記支持部材の材料としてFeおよびN
iを主成分とする合金を用いたことを特徴とする、請求
項1に記載の振動ジャイロ。
2. The material of said support member is Fe and N.
The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein an alloy containing i as a main component is used.
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