JP3166522B2 - Acceleration sensor - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は加速度センサであっ
て、特に、バイモルフ構造の振動体を含む片持ち梁構造
の加速度センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an acceleration sensor, and more particularly, to an acceleration sensor having a cantilever structure including a vibrator having a bimorph structure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４はこの発明の背景となる従来の加速
度センサの一例を示す斜視図である。この加速度センサ
１は、長さ方向に振動する振動子２を含む。振動子２
は、その主面に直交する方向に加速度を受けた際に撓む
ように形成される。振動子２は、たとえば短冊状の振動
体３を含む。振動体３の両主面には、２つの圧電素子４
ａおよび４ｂが対向するように形成される。これらの圧
電素子４ａおよび４ｂは、それぞれ圧電体層を含み、圧
電体層の両主面には、電極がそれぞれ形成される。そし
て、圧電体層の一方の主面上の電極が振動体３の主面に
接着される。また、圧電素子４ａおよび４ｂの圧電体層
は、それぞれ、外側から振動体３側に厚み方向に分極さ
れている。2. Description of the Related Art FIG. 4 is a perspective view showing an example of a conventional acceleration sensor as a background of the present invention. The acceleration sensor 1 includes a vibrator 2 that vibrates in a length direction. Vibrator 2
Are formed so as to bend when subjected to acceleration in a direction orthogonal to the main surface. The vibrator 2 includes, for example, a strip-shaped vibrator 3. Two piezoelectric elements 4 are provided on both main surfaces of the vibrating body 3.
a and 4b are formed so as to face each other. These piezoelectric elements 4a and 4b each include a piezoelectric layer, and electrodes are respectively formed on both main surfaces of the piezoelectric layer. Then, an electrode on one main surface of the piezoelectric layer is bonded to the main surface of the vibrating body 3. The piezoelectric layers of the piezoelectric elements 4a and 4b are each polarized in the thickness direction from the outside toward the vibrator 3.
【０００３】振動子２の長手方向における一端側には、
２つの支持部材５が形成される。この場合、２つの支持
部材５は、振動体３の一端部近傍から、それぞれ振動体
３の幅方向に延びて、振動体３と一体的に形成される。
これらの支持部材５は、振動子２の一端側を片持ち支持
するためのものである。At one end of the vibrator 2 in the longitudinal direction,
Two support members 5 are formed. In this case, the two support members 5 extend from the vicinity of one end of the vibrating body 3 in the width direction of the vibrating body 3 and are formed integrally with the vibrating body 3.
These support members 5 are for supporting one end of the vibrator 2 in a cantilever manner.
【０００４】この加速度センサ１は、支持部材５を固定
することによって振動子２の一端側が支持される。そし
て、加速度センサ１の２つの圧電素子４ａおよび４ｂに
同位相の駆動信号を印加すると、振動子２が、長さ方向
に振動する。この場合、圧電素子４ａおよび４ｂ間の中
央部分が、長さ方向に振動する振動子２のノード部分と
なる。In the acceleration sensor 1, one end of a vibrator 2 is supported by fixing a support member 5. When a drive signal having the same phase is applied to the two piezoelectric elements 4a and 4b of the acceleration sensor 1, the vibrator 2 vibrates in the length direction. In this case, a central portion between the piezoelectric elements 4a and 4b is a node portion of the vibrator 2 that vibrates in the length direction.
【０００５】そして、振動子２の主面に直交する方向に
加速度を加えると、その加速度に応じて振動体３が圧電
素子４ａおよび４ｂとともに撓み、その撓みに応じた電
圧が圧電素子４ａおよび４ｂに発生する。そのため、圧
電素子４ａおよび４ｂに発生する電圧のいずれかを測定
することによって、加速度を検出することができる。When an acceleration is applied in a direction perpendicular to the main surface of the vibrator 2, the vibrating body 3 bends together with the piezoelectric elements 4a and 4b according to the acceleration, and a voltage corresponding to the bending is applied to the piezoelectric elements 4a and 4b. Occurs. Therefore, the acceleration can be detected by measuring one of the voltages generated in the piezoelectric elements 4a and 4b.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、振動体
３の両面に圧電素子４ａおよび４ｂを形成したいわゆる
バイモルフ構造においては、振動体３と圧電素子４ａお
よび４ｂとの３層構造になるため撓みにくく、加速度セ
ンサの出力感度が小さいという問題があった。However, a so-called bimorph structure in which the piezoelectric elements 4a and 4b are formed on both surfaces of the vibrating body 3 has a three-layer structure of the vibrating body 3 and the piezoelectric elements 4a and 4b, so that it is difficult to bend. However, there is a problem that the output sensitivity of the acceleration sensor is small.
【０００７】それゆえに、この発明の主たる目的は、加
速度の検出感度のよい、片持ち梁構造の加速度センサを
提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, a main object of the present invention is to provide an acceleration sensor having a cantilever structure with good acceleration detection sensitivity.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明にかかる加速度
センサは、板状の振動体と、振動体の両面に対向して複
数形成され、振動体の長さ方向の中央部の両側で伸びと
縮みとが逆となる長さ 振動を励振する圧電素子と、振動
体の一端部近傍を支持するための支持手段とを含む片持
ち梁構造の加速度センサであって、支持手段によって支
持された前記振動体の一端部近傍に孔が形成される、加
速度センサである。また、孔は、振動体の一端部近傍に
複数形成されてもよい。さらに、孔は、振動体のノード
部分に形成されることが好ましい。An acceleration sensor according to the present invention comprises a plate-shaped vibrator and a plurality of vibrators opposing both surfaces of the vibrator.
The number is formed and stretched on both sides of the longitudinal center of the vibrating body
A cantilever including a piezoelectric element that excites a lengthwise vibration that is opposite in contraction, and support means for supporting the vicinity of one end of the vibrating body
An acceleration sensor having a beam structure, wherein a hole is formed near one end of the vibrating body supported by a support means. Further, a plurality of holes may be formed near one end of the vibrating body. Further, it is preferable that the hole is formed in a node portion of the vibrator.
【０００９】[0009]
【作用】振動体の一端部近傍に孔が形成されているの
で、加速度によって振動体が撓みやすくなる。そのた
め、加速度の検出感度がよくなる。Since the hole is formed near one end of the vibrating body, the vibrating body is easily bent by acceleration. Therefore, the acceleration detection sensitivity is improved.
【００１０】[0010]
【発明の効果】この発明によれば、振動体の一端部近傍
に形成された孔によって、振動体が撓みやすくなるた
め、加速度の検出感度のよい片持ち梁構造の加速度セン
サを得ることができる。また、圧電素子を振動体の両面
に対向して複数形成し、振動体をその長さ方向の中央部
の両側で伸びと縮みとが逆となるような長さ振動をさせ
ることによって、振動体の全長がほとんど変化しなくな
り、振動体をどの部分で支持してもほとんど振動漏れが
発生せず支持が容易で、より加速度の検出感度のよい加
速度センサを得ることができる。According to the present invention, since the vibrating body is easily bent by the hole formed near one end of the vibrating body, it is possible to obtain an acceleration sensor having a cantilever structure with high sensitivity for detecting acceleration. . Also, a plurality of piezoelectric elements are formed on both sides of the vibrating body so as to face each other, and the vibrating body is caused to vibrate on both sides of a central portion in the longitudinal direction so that expansion and contraction are opposite to each other. Is almost unchanged, and no matter what part of the vibrating body is supported, there is almost no vibration leakage and the support is easy, and an acceleration sensor with higher acceleration detection sensitivity can be obtained.
【００１１】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.
【００１２】[0012]
【実施例】図１は、この発明の一実施例を示す分解斜視
図であり、図２は、その側面図である。この加速度セン
サ１０は、長さ方向に振動する振動子１２を含む。FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view thereof. The acceleration sensor 10 includes a vibrator 12 that vibrates in a length direction.
【００１３】振動子１２は、たとえば短冊状の振動体１
４を含む。振動体１４は、たとえば、ニッケル、鉄、ク
ロム、チタン、あるいはそれらの合金たとえばエリン
バ、鉄−ニッケル合金などの恒弾性金属材料で形成され
る。なお、振動体１４は、たとえば石英、ガラス、水
晶、セラミックなどのように一般的に機械的な振動を生
じる金属以外の材料で形成されてもよい。The vibrator 12 is, for example, a strip-shaped vibrator 1.
4 inclusive. The vibrating body 14 is formed of, for example, a constant elastic metal material such as nickel, iron, chromium, titanium, or an alloy thereof such as elinvar or an iron-nickel alloy. Note that the vibrating body 14 may be formed of a material other than a metal that generally generates mechanical vibration, such as quartz, glass, quartz, or ceramic.
【００１４】 振動体１４の長手方向における中央から一
端側の部分の両主面には、２つの圧電素子１６ａおよび
１６ｂが対向するように形成される。一方の圧電素子１
６ａは、たとえばセラミックからなる圧電体層１８ａを
含み、圧電体層１８ａの両主面には、電極２０ａおよび
２２ａがそれぞれ形成される。そして、電極２０ａが振
動体１４の一方の主面にたとえば接着剤で接着される。
同様に、他方の圧電素子１６ｂは、たとえばセラミック
からなる圧電体層１８ｂを含み、圧電体層１８ｂの両主
面には、電極２０ｂおよび２２ｂがそれぞれ形成され
る。そして、電極２０ｂが振動体１４の他方の主面にた
とえば接着剤で接着される。また、これらの圧電素子１
６ａおよび１６ｂの圧電体層１８ａおよび１８ｂは、電
極２２ａおよび２２ｂから電極２０ａおよび２０ｂに向
かって、すなわち外側から振動体１４側に向かって厚み
方向に分極されている。 [0014] On both main surfaces of the center from the one end portion in the longitudinal direction of the vibrating body 14, two piezoelectric elements 16a and 16b are formed to face. One piezoelectric element 1
6a includes a piezoelectric layer 18a made of, for example, ceramic, and electrodes 20a and 22a are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer 18a, respectively. Then, the electrode 20a is bonded to one main surface of the vibrating body 14 with, for example, an adhesive.
Similarly, the other piezoelectric element 16b includes a piezoelectric layer 18b made of, for example, ceramic, and electrodes 20b and 22b are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer 18b, respectively. Then, the electrode 20b is bonded to the other main surface of the vibrating body 14 with, for example, an adhesive. In addition, these piezoelectric elements 1
The piezoelectric layers 18a and 18b of 6a and 16b are polarized in the thickness direction from the electrodes 22a and 22b toward the electrodes 20a and 20b, that is, from the outside toward the vibrator 14.
【００１５】 さらに、振動体１４の長手方向における中
央から他端側の部分の両主面には、２つの圧電素子１６
ｃおよび１６ｄが対向するように形成される。一方の圧
電素子１６ｃは、たとえばセラミックからなる圧電体層
１８ｃを含み、圧電体層１８ｃの両主面には、電極２０
ｃおよび２２ｃがそれぞれ形成される。そして、電極２
０ｃが振動体１４の一方の主面にたとえば接着剤で接着
される。同様に、他方の圧電素子１６ｄは、たとえばセ
ラミックからなる圧電体層１８ｄを含み、圧電体層１８
ｄの両主面には、電極２０ｄおよび２２ｄがそれぞれ形
成される。そして、電極２０ｄが振動体１４の他方の主
面にたとえば接着剤で接着される。また、これらの圧電
素子１６ｃおよび１６ｄの圧電体層１８ｃおよび１８ｄ
は、電極２０ｃおよび２０ｄから電極２２ｃおよび２２
ｄに向かって、すなわち振動体１４側から外側に向かっ
て厚み方向に分極されている。 Furthermore, on both main surfaces of the other end portion from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 14, two piezoelectric elements 16
c and 16d are formed to face each other. One of the piezoelectric elements 16c includes a piezoelectric layer 18c made of, for example, ceramic, and electrodes 20 are provided on both main surfaces of the piezoelectric layer 18c.
c and 22c are formed respectively. And electrode 2
Oc is bonded to one main surface of the vibrating body 14 with, for example, an adhesive. Similarly, the other piezoelectric element 16d includes a piezoelectric layer 18d made of, for example, a ceramic.
Electrodes 20d and 22d are formed on both main surfaces of d, respectively. Then, the electrode 20d is bonded to the other main surface of the vibrating body 14 with, for example, an adhesive. Also, the piezoelectric layers 18c and 18d of these piezoelectric elements 16c and 16d
Are connected to the electrodes 22c and 22d from the electrodes 20c and 20d.
It is polarized in the thickness direction toward d, that is, from the vibrating body 14 side to the outside.
【００１６】 この振動子１２は、圧電素子１６ａ〜１６
ｄに同位相の駆動信号を印加すれば、長さ方向に振動す
る。この場合、振動子１２は、圧電素子１６ａおよび１
６ｂと、圧電素子１６ｃおよび１６ｄとは、互いに逆方
向に分極されているので、互いに逆方向に変位する。そ
のため、振動体１４の長手方向における中央から一端側
の部分が伸びるときには、振動体１４の長手方向におけ
る中央から他端側の部分が縮む。逆に、振動体１４の長
手方向における中央から一端側の部分が縮むときには、
振動体１４の長手方向における中央から他端側の部分が
伸びる。また、この場合、振動体１４の長手方向におけ
る中央から一端側の伸縮量と、振動体１４の長手方向に
おける中央から他端側の部分の伸縮量とが相殺されるの
で、振動体１４の長手方向における両端間の距離がほと
んど変化しない。さらに、この場合、振動体１４は、圧
電素子１６ａおよび１６ｂ間の中央部分と、圧電素子１
６ｃおよび１６ｄ間の中央部分とをノード部分として振
動する。 [0016] The vibrator 12 is a piezoelectric element 16a~16
When a drive signal of the same phase is applied to d, the vibration occurs in the length direction. In this case, the vibrator 12 includes the piezoelectric elements 16a and 1
6b and the piezoelectric elements 16c and 16d are polarized in directions opposite to each other, and therefore displace in directions opposite to each other. Therefore, when the portion on one end side from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 14 extends, the portion on the other end side from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 14 contracts. Conversely, when the portion on one end side from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 14 contracts,
The portion on the other end side extends from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 14. Further, in this case, the amount of expansion and contraction from the center to one end in the longitudinal direction of the vibrating body 14 and the amount of expansion and contraction from the center to the other end in the longitudinal direction of the vibrating body 14 cancel each other. The distance between both ends in the direction hardly changes. Further, in this case, the vibrating body 14 includes a central portion between the piezoelectric elements 16a and 16b and the piezoelectric element 1
The central portion between 6c and 16d vibrates as a node portion.
【００１７】 図３（Ａ）は、この実施例の振動体１４の
要部図解図である。 振動体１４の長手方向の一端部側の
ノード部分には、たとえば円形の孔１４ａが形成され
る。この孔１４ａは、振動体１４にエッチングやプレス
により形成される。また、この孔１４ａの直径は、この
実施例では、振動体１４の幅長の半分ほどに形成され
る。この孔１４ａは、加速度によって振動体１４を撓み
やすくするためのものである。 FIG . 3A shows the vibrating body 14 of this embodiment.
FIG. For example, a circular hole 14 a is formed in a node portion on one end side in the longitudinal direction of the vibrating body 14. The hole 14a is formed in the vibrator 14 by etching or pressing. In this embodiment, the diameter of the hole 14a is formed to be about half the width of the vibrating body 14. The hole 14a is for making the vibrating body 14 easily bendable by acceleration.
【００１８】 この振動子１２の長手方向における一端側
には、２つの支持部材２４が形成される。支持部材２４
は、それぞれ平面コ字形状を有する。そして、支持部材
２４のコ字形状の一端部は、振動体１４の長手方向の一
端部に接続され、支持部材２４のコ字形状の他端部は、
振動体１４の長手方向の一端部側のノード部分に接続さ
れる。したがって、２つの支持部材２４の他端部は、孔
１４ａの両側方にそれぞれ接続されることとなる。２つ
の支持部材２４は、振動体１４の幅方向外側に延びて、
振動体１４と一体的に形成される。 [0018] On one side in the longitudinal direction of the vibrator 12, two supporting members 24 is formed. Support member 24
Have a flat U-shape, respectively. The U-shaped one end of the support member 24 is connected to the longitudinal one end of the vibrating body 14, and the U-shaped other end of the support member 24 is
The vibration member 14 is connected to a node portion on one end side in the longitudinal direction. Therefore, the other ends of the two support members 24 are respectively connected to both sides of the hole 14a. The two support members 24 extend outward in the width direction of the vibrating body 14,
It is formed integrally with the vibrator 14.
【００１９】 この加速度センサ１０では、２つの支持部
材２４を固定することによって振動子１２の一端側を支
持するとともに、４つの圧電素子１６ａ〜１６ｄに同位
相の駆動信号を印加すれば、振動子１２は、図２の実線
の矢印および一点鎖線の矢印で示すように、長さ方向に
振動する。この場合、振動子１２の全長はほとんど変化
しないため、振動子１２のいずれの部分で支持したとし
ても、振動が漏れることはなく、きわめて検出効率が高
くなる。 In this acceleration sensor 10, one end of the vibrator 12 is supported by fixing two support members 24, and a driving signal having the same phase is applied to the four piezoelectric elements 16a to 16d. 12, as indicated by an arrow flows towards and one point of the solid line in FIG. 2, vibrates in the longitudinal direction. In this case, since the entire length of the vibrator 12 hardly changes, no matter what part of the vibrator 12 is supported, no vibration leaks and the detection efficiency is extremely high.
【００２０】 そして、振動子１２の振動体１４の主面に
直交する方向に加速度が加わると、その加速度に応じて
振動体１４が圧電素子１６ａ〜１６ｄとともに撓み、そ
の撓みに応じた電圧が圧電素子１６ａ〜１６ｄに発生す
る。そのため、圧電素子１６ａ〜１６ｄに発生する電圧
のいずれかを測定することによって加速度を検出するこ
とができる。 When an acceleration is applied in a direction orthogonal to the main surface of the vibrating body 14 of the vibrator 12, the vibrating body 14 bends together with the piezoelectric elements 16a to 16d in accordance with the acceleration, and a voltage corresponding to the bending is applied to the piezoelectric element 16a. This occurs in the elements 16a to 16d. Therefore, the acceleration can be detected by measuring any one of the voltages generated in the piezoelectric elements 16a to 16d.
【００２１】 また、この加速度センサ１０では、振動体
１４の一端側のノード部分に孔１４ａが形成されている
ので、加速度による振動体の撓みが大きくなるととも
に、振動体１４の長手方向の振動のバランスがくずれ
ず、振動体１４の長手方向の振動が安定する。そのた
め、図１に示す実施例の加速度センサ１０は、加速度の
検出感度がよい。 Further , in the acceleration sensor 10, since the hole 14a is formed in the node portion on one end side of the vibrating body 14, the bending of the vibrating body due to acceleration is increased, and the vibration of the vibrating body 14 in the longitudinal direction is increased. The balance is not lost, and the vibration in the longitudinal direction of the vibrating body 14 is stabilized. Therefore, the acceleration sensor 10 of the embodiment shown in FIG. 1, a good detection sensitivity of the acceleration.
【００２２】 なお、孔１４ａの形状は、円形の孔に限ら
ず、図３（Ｂ）に示すように、たとえば、正方形、長方
形、三角形などの他の形状であってもよい。 [0022] The shape of the hole 14a is not limited to a circular hole, as shown in FIG. 3 (B), for example, square, rectangular, or may be other shapes such as a triangle.
【００２３】 また、図３（Ｃ）に示すように、孔を振動
体１４の長手方向に２つ並べて形成してもよい。さら
に、図３（Ｄ）に示すように、孔を振動体１４の長手方
向に３つ並べて形成してもよい。これらの場合には、振
動体１４の撓みをより大きくすることができる。 As shown in FIG. 3C, two holes may be formed in the longitudinal direction of the vibrating body 14. Further, as shown in FIG. 3D, three holes may be formed in a row in the longitudinal direction of the vibrator 14. In these cases, the bending of the vibrating body 14 can be further increased.
【００２４】 さらに、圧電素子１６ａおよび１６ｂに発
生する電圧の差を検出することによっても、加速度を検
出することができる。 Further , the acceleration can also be detected by detecting the difference between the voltages generated in the piezoelectric elements 16a and 16b.
【００２５】 また、図１に示す実施例において、１以上
の圧電素子の圧電体層の分極方向を逆にするとともに、
分極方向を逆にした圧電素子に印加する駆動信号の位相
を逆にしてもよい。 In the embodiment shown in FIG. 1 , the polarization directions of the piezoelectric layers of one or more piezoelectric elements are reversed.
The phase of the drive signal applied to the piezoelectric element whose polarization direction is reversed may be reversed.
【００２６】 なお、上述の実施例において、振動子をそ
の長さ方向に振動させているのは、振動子を長さ方向に
振動させていると、振動子に加速度を加えた場合に振動
子が大きく撓み、加速度の検出感度がよくなるからであ
る。 In the above-described embodiment, the reason that the vibrator is vibrated in the longitudinal direction is that the vibrator is vibrated in the longitudinal direction and the vibrator is vibrated when acceleration is applied to the vibrator. Is greatly bent, and the acceleration detection sensitivity is improved.
【図１】この発明の一実施例を示す分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing one embodiment of the present invention.
【図２】図１に示す実施例の側面図である。FIG. 2 is a side view of the embodiment shown in FIG.
【図３】（Ａ）は、図１に示す実施例の振動体を示す要
部図解図である。（Ｂ）〜（Ｄ）は、その変形例を示す
要部図解図である。FIG. 3A is an illustrative view of a principal part showing a vibrating body of the embodiment shown in FIG. 1; (B)-(D) are the principal part illustrative views which show the modification.
【図４】 この発明の背景となる従来の加速度センサの一
例を示す斜視図である。 FIG. 4 is a perspective view showing an example of a conventional acceleration sensor as a background of the present invention.
１０ 加速度センサ １２ 振動子 １４ 振動体 １４ａ 孔 １６ａ，１６ｂ 圧電素子 １８ａ，１８ｂ 圧電体層 ２０ａ，２０ｂ 電極 ２２ａ，２２ｂ 電極 ２４ 支持部材 Reference Signs List 10 acceleration sensor 12 vibrator 14 vibrator 14a hole 16a, 16b piezoelectric element 18a, 18b piezoelectric layer 20a, 20b electrode 22a, 22b electrode 24 support member
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 15/09 G01P 15/10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01P 15/09 G01P 15/10
Claims (3)
して複数形成され、前記振動体の長さ方向の中央部の両
側で伸びと縮みとが逆となる長さ振動を励振する圧電素
子、および前記振動体の一端部近傍を支持するための支
持手段を含む片持ち梁構造の加速度センサであって、 前記支持手段によって支持された前記振動体の一端部近
傍に孔が形成される、加速度センサ。1. A plate-shaped vibrating body, opposed to both surfaces of said vibrating body
The vibrating body is formed with a plurality of
A piezoelectric element that excites a length vibration in which expansion and contraction are opposite to each other on the side, and a cantilever-type acceleration sensor including support means for supporting the vicinity of one end of the vibrating body, wherein the support means An acceleration sensor, wherein a hole is formed near one end of the vibrating body supported by the vibration sensor.
複数形成される、請求項１に記載の加速度センサ。2. The acceleration sensor according to claim 1, wherein a plurality of said holes are formed near said one end of said vibrating body.
される、請求項１または請求項２に記載の加速度セン
サ。3. The acceleration sensor according to claim 1, wherein the hole is formed at a node portion of the vibrating body.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30702894A JP3166522B2 (en) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | Acceleration sensor |
| EP95114484A EP0707212A3 (en) | 1994-09-14 | 1995-09-14 | Acceleration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30702894A JP3166522B2 (en) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | Acceleration sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH08146033A JPH08146033A (en) | 1996-06-07 |
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| JP30702894A Expired - Fee Related JP3166522B2 (en) | 1994-09-14 | 1994-11-15 | Acceleration sensor |
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|---|---|
| JP (1) | JP3166522B2 (en) |
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1994
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