JP4359893B2 - 位相アンラッピング方法、プログラム及び干渉計測装置 - Google Patents
位相アンラッピング方法、プログラム及び干渉計測装置 Download PDFInfo
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Description
候補画素i(親画素j)
のデータ形式で表して登録しており、親画素iに接続する画素が候補画素jであることを示している。
図19(A)の手順1では、アンラップ開始画素(a)を中心に、例えば下、右、上、左の順に隣接した画素(d),(b)を探索し、未訪問の画素であることから画素データ「d(a)」、「b(a)」を生成して候補画素としてキュー130に順番に登録する。隣接画素の探索が全て終了したら、キュー130に登録している候補画素の中で最も先に格納した候補画素(d)を取出して削除し、取出した候補画素(d)とその親画素(a)を結ぶ辺(d→a)をアンラッピング経路として確定する。
図19(B)の手順2では、手順1でキュー130から削除した画素(d)を親画素とし、親画素(d)を中心に隣接した画素(g),(e),(a)を順番に探索し、未訪問の画素(g),(e)を候補画素して画素データ「g(d)」、「e(d)」を生成してキュー130に順番に登録する。隣接画素の探索が全て終了したら、キュー130に登録している候補画素の中で最も先に格納した候補画素(b)を取出して削除し、取出した候補画素(b)とその親画素(a)を結ぶ辺(b→a)をアンラッピング経路として確定する。
図19(C)の手順3では、手順2でキュー130から削除した画素(b)を親画素とし、親画素(b)を中心に隣接した画素(e),(c),(a)を順番に探索し、未訪問の画素(c)を候補画素して画素データ「c(b)」を生成してキュー130に登録する。隣接画素の探索が全て終了したら、キュー130に登録している候補画素の中で最も先に格納した候補画素(g)を取出して削除し、取出した候補画素(g)とその親画素(d)を結ぶ辺(g→d)をアンラッピング経路として確定する。
候補画素j(親画素i,重み|Wij|)
の形式をもつデータを生成して登録する。
図20(A)の手順1では、位相アンラッピングの開始画素(a)を親画素とし、親画素(a)を中心に隣接した画素(d),(b)を順番に探索し、未訪問の画素(d),(b)を候補画素として
「d(a,2)」、「b(a,5)」
の画素データを生成し、生成した候補画素をヒープ132に登録することで最小の重みをもつ候補画素をヒープの一番下(根)の位置に配置する。隣接画素の探索が全て終了したら、ヒープ132の一番下に登録している重みの一番小さな候補画素(d)をヒープ132から削除し、削除した候補画素(d)とその親画素(a)を結ぶ辺(辺d→a)を位相アンラッピング経路として確定する。
図20(B)の手順2では、手順1でヒープ132から削除した候補画素(d)を親画素とし、親画素(d)を中心に隣接した画素(g),(e),(a)を順番に探索し、未訪問の画素(g),(e)を候補画素として
「g(d,4)」、「e(d,0)」
の画素データを生成し、生成した候補画素をヒープ132に登録することで最小の重みをもつ候補画素をヒープの一番下の位置となるように整列する。隣接画素の探索が全て終了したら、ヒープ132の一番下に登録している重みの一番小さな候補画素(e)をヒープ132から削除し、削除した候補画素(e)とその親画素(d)を結ぶ辺(辺e→d)を位相アンラッピング経路として確定する。
図20(C)の手順3では、手順2でヒープ132から削除した候補画素(e)を親画素とし、親画素(e)を中心に隣接した画素(h),(f),(b),(d)を順番に探索し、未訪問の画素(h),(f),(b)を候補画素として
「h(e,2)」、「f(e,0)」、「b(e,3)」
の画素データを生成し、重みが小さい候補画素の順番でヒープ132に登録する。ただし、候補画素(b)については、ヒープ132に同じ画素(b)の画素データ「b(a,5)」が図20(B)のように登録済みであり、同一画素の2重登録を避けるため、この場合は、登録済み候補画素(b)の画素データを小さい重み「3」とその親画素(e)に書替えて「b(e,3)」とし、書き換えた候補画素をヒープ132に登録することで最小の重みをもつ候補画素をヒープの一番下の位置となるよう整列する。なお、登録済み候補画素の重みの方が大きい場合は、新たに検索した同一候補画素は破棄し、登録済みの候補画素を残す。隣接画素の探索が全て終了したら、ヒープ132の一番下に登録している重みの一番小さな候補画素(f)をヒープ132から削除し、削除した候補画素(f)とその親画素(e)を結ぶ辺(辺f→e)を位相アンラッピング経路として確定する。
(方法)
本発明は、位相アンラッピング方法を提供する。即ち本発明は、
計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する位相アンラッピング方法に於いて、
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素iとし、前記親画素iを中心に隣接する経路未確定の隣接画素jを検索し、検索した隣接画素jについて親画素iと画素間の補正計算された位相差の大きさである重み|Wij|を組合せた画素データ{j(i,|Wij|)}をもつ候補画素を生成する候補画素生成ステップと、
候補画素の重み|Wij|が所定の閾値TH以上の場合は登録順序を整列する機能を備えた第1データ登録部に登録して重みに基づいて整列させ、閾値TH未満の場合は登録順序を整列する機能がない第2データ登録部に登録する登録制御ステップと、
親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、第1データ登録部と前記第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は第2データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、第1データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、削除した画素を次の親画素として候補画素生成ステップに引き渡す経路確定ステップと、
を備えたことを特徴とする。
登録済み候補画素の重みが大きい場合は、候補画素生成ステップで生成した候補画素の親画素と重みに書き替えた後に整列させ、
登録済み候補画素の重みが小さい場合は、候補画素生成ステップで生成した候補画素を破棄して登録済み候補画素を残す。
候補画素生成ステップで生成した候補画素を破棄して登録済み候補画素を残す。
本発明は、位相アンラッピングプログラムを提供する。即ち本発明のアンラッピングプログラムは、計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する干渉計測装置のコンピュータに、
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素iとし、親画素iを中心に隣接する経路未確定の隣接画素jを検索し、検索した隣接画素jについて親画素iと画素間のアンラッピング処理された位相差Wijの大きさである重みを組合せたデータj(i,|Wij|)をもつ候補画素を生成する候補画素生成ステップと、
候補画素の重み|Wij|が所定の閾値TH以上の場合は登録順序を整列する機能を備えた第1データ登録部に登録して重みに基づいて整列させ、閾値TH未満の場合は登録順序を整列する機能がない第2データ登録部に登録する登録制御ステップと、
親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、第1データ登録部と第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は第1データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、削除した画素を次の親画素として候補画素生成ステップに引き渡す経路確定ステップと、
を実行させることを特徴とする。
本発明は、干渉計測装置を提供する。即ち、本発明は、計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する干渉計測装置に於いて、
登録した情報の登録順序を整列する機能を備えた第1デ−タ登録部と、
登録した情報の登録順序を整列する機能がない第2データ登録部
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素iとし、親画素iを中心に隣接する経路未確定の隣接画素jを検索し、検索した隣接画素jについて親画素iと画素間のアンラッピング処理された位相差Wijの大きさである重みを組合せたデータj(i,|Wij|)をもつ候補画素を生成する候補画素生成部と、
候補画素の重み|Wij|が所定の閾値TH以上の場合は第1データ登録部に登録して重みに基づいて整列させ、閾値TH未満の場合は前記第2データ登録部に登録する登録制御部と、
親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、第1データ登録部と第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は第1データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、削除した画素を次の親画素として候補画素生成部に引き渡す経路確定部と、
を備えたことを特徴とする。
{j(i,|Wij|)}
を生成する。
{候補画素j(親画素i,重み|Wij|)}
のデータ形式を持つ画素データを生成して登録する。また画素間の辺に示す数値は補正計算された位相差Wijであり、位相差の大きさである|Wij|はヒープ44に登録した際の大小判別に使用される。
図4(A)の手順1では、位相アンラッピングの開始画素(a)を親画素とし、親画素aを中心に例えば下,右,上,左と、反時計回りに隣接した画素として画素(d)、(b)を順番に探索し、未訪問の画素(d)、(b)を候補画素として、それぞれの画素データ
「d(a,2)」
「b(a,5)」
を生成する。
図4(b)の手順2では、手順1でキュー45から削除した候補画素(d)を親画素とし、親画素(d)を中心に隣接した画素(g)(e)(a)を順番に探索し、未訪問の画素(g)(e)を候補画素として
「g(d,4)」、「e(d,0)」
の画素データを生成する。そして、閾値TH=3に対し重み=4と大きい候補画素(g)の画素データをヒープ44に登録して最小の重みをもつ候補画素をヒープの一番下の位置となるよう整列し、重み=0と閾値TH=3より小さい候補画素(e)の画素データをキュー45に登録する。
続いて、このときヒープ44とキュー45の両方に候補画素が登録されていることから、キュー45を優先し、キュー45から最も古い登録データである候補画素(e)の画素データを取り出して削除し、削除した候補画素(e)とその親画素(d)を結ぶ辺(e→d)を位相アンラッピング経路として確定する。
図4(C)の手順3では、手順2でキュー45から削除した候補画素(e)を親画素とし、親画素(e)を中心とした隣接画素(h)(f)(b)(d)を順番に探索し、未訪問の画素(h)(f)(b)を候補画素として、それぞれの画素データ
「h(e,2)」、「f(e,0)」、「b(e,2)」
を生成する。そして重みが閾値TH=3未満となる候補画素(h)、(f)については、キュー45に順番に登録する。一方、候補画素bについては、図4(A)の手順1の処理で、ヒープ44に既に画素データ「b(a,5)」として登録されており、同一画素の2重登録を避けるためこの場合にはヒープ44に既に登録している画素(b)の画素データ「b(a,5)」を点線の矢印75に示すようにキュー45に移動した後、新たに生成した候補画素(b)の画素データ「b(e,2)」に基づき、親画素を「a→e」と書き換え、また重みを「5→2」と書き換える。
。図11において、アンラッピング判定処理は、ステップS1でアンラッピング経路以外の辺を抽出し、ステップS2で(5)式からXを計算し、ステップS3でX=0でなければ、ステップS4で(6)式を計算し、ステップS5でYが±2πでなければ、ステップS6に進み、失敗した辺の数Cを1つカウントアップする。
(付記1)
計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、前記ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する位相アンラッピング方法に於いて、
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素とし、前記親画素を中心に隣接する経路未確定の隣接画素を検索し、検索した前記隣接画素について前記親画素と画素間の位相飛びを補正した位相差の大きさである重みを組合せた画素データをもつ候補画素を生成する候補画素生成ステップと、
前記候補画素の重みが所定の閾値以上の場合は登録順序を整列する機能を備えた第1データ登録部に登録して前記重みに基づいて整列させ、前記閾値未満の場合は登録順序を整列する機能がない第2データ登録部に登録する登録制御ステップと、
前記親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、前記第1データ登録部と前記第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は前記第2データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、前記第1データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、前記削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、前記削除した画素を次の親画素として前記候補画素生成ステップに引き渡す経路確定ステップと、
を備えたことを特徴とする位相アンラッピング方法。(1)
付記1記載の位相アンラッピング方法に於いて、前記登録制御ステップは、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の重みが前記閾値未満で且つ前記第1データ登録部に同じ候補画素が登録済みの場合、前記第1データ登録部の登録済候補画素を前記第2データ登録部に移動して、その親画素を前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の親画素に書き替えることを特徴とする位相アンラッピング方法。(2)
付記1記載の位相アンラッピング方法に於いて、前記登録制御ステップは、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の重みが前記閾値以上で且つ前記第1データ登録部に同じ候補画素が登録済みの場合、
登録済み候補画素の重みが大きい場合は、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の親画素と重みに書き替えた後に整列させ、
登録済み候補画素の重みが小さい場合は、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素を破棄して登録済み候補画素を残すことを特徴とする位相アンラッピング方法。
付記1記載の位相アンラッピング方法に於いて、前記登録制御ステップは、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の重みが前記閾値未満で且つ前記第2データ登録部に同じ候補画素が登録済みの場合、
前記候補画素生成ステップで生成した候補画素を破棄して登録済み候補画素を残すことを特徴とする位相アンラッピング方法。
付記1記載の位相アンラッピング方法に於いて、前記第1データ登録部はヒープであることを特徴とする位相アンラッピング方法。
付記1記載の位相アンラッピング方法に於いて、前記第2データ登録部は先入れ先出し機能を備えたキュー又は先入れ後出し機能を備えたスタックであることを特徴とする位相アンラッピング方法。
付記1記載の位相アンラッピング方法に於いて、更に、前記登録制御ステップで使用する閾値を可変設定する閾値設定ステップを備えたことを特徴とする位相アンラッピング方法。(3)
付記7記載の位相アンラッピング方法に於いて、前記閾値設定ステップは、所定のサンプルの干渉縞画像から求められた位相分布の位相のばらつき情報に基づき最適な閾値を決定することを特徴とする位相アンラッピング方法。
付記7記載の位相アンラッピング方法に於いて、前記閾値設定ステップは、計測対象物の決定されたアンラッピング経路を対象に、アンラッピング経路ではない隣接する画素について、アンラッピング後の位相差とアンラッピング補正演算による位相差を比較して不一致となる画素が所定の数を超えた場合にアンラッピング失敗と判断し、前記アンラッピング失敗回数が所定の回数を超えた場合、前記アンラッピング経路の決定に使用した閾値を低下させ、アンラッピング経路を決定する処理をリトライさせることを特徴とする位相アンラッピング方法。
計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、前記ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する干渉計測装置のコンピュータに、
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素とし、前記親画素を中心に隣接する経路未確定の隣接画素を検索し、検索した前記隣接画素について前記親画素と画素間の位相飛びを補正した位相差の大きさである重みを組合せた画素データをもつ候補画素を生成する候補画素生成ステップと、
前記候補画素の重みが所定の閾値以上の場合は登録順序を整列する機能を備えた第1データ登録部に登録して前記重みに基づいて整列させ、前記閾値未満の場合は登録順序を整列する機能がない第2データ登録部に登録する登録制御ステップと、
前記親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、前記第1データ登録部と前記第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は前記第2データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、前記第1データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、前記削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、前記削除した画素を次の親画素として前記候補画素生成ステップに引き渡す経路確定ステップと、
を実行させることを特徴とする位相アンラッピングプログラム。(4)
付記10記載の位相アンラッピングプログラムに於いて、前記登録制御ステップは、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の重みが前記閾値未満で且つ前記第1データ登録部に同じ候補画素が登録済みの場合、前記第1データ登録部の登録候補画素を前記第2データ登録部に移動して、その親画素を前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の親画素に書き替えることを特徴とする位相アンラッピングプログラム。
付記10記載の位相アンラッピングプログラムに於いて、前記登録制御ステップは、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の重みが前記閾値以上で且つ前記第1データ登録部に同じ候補画素が登録済みの場合、
登録済み候補画素の重みが大きい場合は、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の親画素と重みに書き替えた後に整列させ、
登録済み候補画素の重みが小さい場合は、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素を破棄して登録済み候補画素を残すことを特徴とする位相アンラッピングプログラム。
付記10記載の位相アンラッピングプログラムに於いて、前記登録制御ステップは、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の重みが前記閾値未満で且つ前記第2データ登録部に同じ候補画素が登録済みの場合、
前記候補画素生成ステップで生成した候補画素を破棄して登録済み候補画素を残すことを特徴とする位相アンラッピング方法。
付記10記載の位相アンラッピングプログラムに於いて、前記第1データ登録部はヒープであることを特徴とする位相アンラッピングプログラム。
付記10記載の位相アンラッピングプログラムに於いて、前記第2データ登録部は先入れ先出し機能を備えたキュー又は先入れ後出し機能を備えたスタックであることを特徴とする位相アンラッピングプログラム。
付記10記載の位相アンラッピングプログラムに於いて、更に、前記登録制御ステップで使用する閾値を可変設定する閾値設定ステップを備えたことを特徴とする位相アンラッピングプログラム。
計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、前記ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する干渉計測装置に於いて、
登録した情報の登録順序を整列する機能を備えた第1デ−タ登録部と、
登録した情報の登録順序を整列する機能がない第2データ登録部
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素とし、前記親画素を中心に隣接する経路未確定の隣接画素を検索し、検索した前記隣接画素について前記親画素と画素間の位相飛びを補正した位相差の大きさである重みを組合せた画素データをもつ候補画素を生成する候補画素生成部と、
前記候補画素の重みが所定の閾値以上の場合は前記第1データ登録部に登録して前記重みに基づいて整列させ、前記閾値未満の場合は前記第2データ登録部に登録する登録制御部と、
前記親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、前記第1
データ登録部と前記第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は前記第2データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、前記第1データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、前記削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、前記削除した画素を次の親画素として前記候補画素生成部に引き渡す経路確定部と、
を備えたことを特徴とする干渉計測装置。(5)
付記17記載の干渉計測装置に於いて、前記登録制御部は、前記候補画素生成部で生成した候補画素の重みが前記閾値未満で且つ前記第1データ格納部に同じ候補画素が登録済みの場合、前記第1データ登録部の登録候補画素を前記第2データ登録部に移動して、その親画素を前記候補画素生成部で生成した候補画素の親画素に書き替えることを特徴とする干渉計測装置。
付記17記載の干渉計測装置に於いて、前記第1データ登録部はヒープであり、前記第2データ登録部は先入れ先出し機能を備えたキュー又は先入れ後出し機能を備えたスタックであることを特徴とする干渉計測装置。
12:サンプル位置姿勢制御用ステージ
14:ピエゾステージ
16:サンプル(試料)
18:光源
20:ハーフミラー
22:参照ミラー
24:結像レンズ
26:CCDカメラ
28:信号処理回路
30:パーソナルコンピュータ
32:モニタ
34:アプリケーション実行環境
35:干渉縞画像入力部
36:干渉縞画像ファイル
38:ラッピング位相分布検出部
40:ラッピング位相分布ファイル
42:アンラッピング経路作成部
44:ヒープ
45:キュー
46:候補画素生成部
48:登録制御部
50:経路確定部
52:閾値設定部
54:アンラッピング経路ファイル
56:アンラッピング位相計算部
58:アンラッピング位相分布ファイル
60:CPU
62:バス
64:RAM
66:ROM
68:ハードディスクドライブ
70:デバイスインタフェース
72:キーボード
74:マウス
76:ディスプレイ
78:ネットワークアダプタ
80:開始位置
82−1〜82−3:位相不連続領域
90:スタック
Claims (5)
- 計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、前記ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する位相アンラッピング方法に於いて、
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素とし、前記親画素を中心に隣接する経路未確定の隣接画素を検索し、検索した前記隣接画素について前記親画素と画素間の位相飛びを補正した位相差の大きさである重みを組合せた画素データをもつ候補画素を生成する候補画素生成ステップと、
前記候補画素の重みが所定の閾値以上の場合は登録順序を整列する機能を備えた第1データ登録部に登録して前記重みに基づいて整列させ、前記閾値未満の場合は登録順序を整列する機能がない第2データ登録部に登録する登録制御ステップと、
前記親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、前記第1データ登録部と前記第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は前記第2データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、前記第1データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、前記削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、前記削除した画素を次の親画素として前記候補画素生成ステップに引き渡す経路確定ステップと、
を備えたことを特徴とする位相アンラッピング方法。
- 請求項1記載の位相アンラッピング方法に於いて、前記登録制御ステップは、前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の重みが前記閾値未満で且つ前記第1データ登録部に同じ候補画素が登録済みの場合、前記第1データ登録部の登録済候補画素を前記第2データ登録部に移動して、その親画素を前記候補画素生成ステップで生成した候補画素の親画素に書き替えることを特徴とする位相アンラッピング方法。
- 請求項1記載の位相アンラッピング方法に於いて、更に、前記登録制御ステップで使用する閾値を可変設定する閾値設定ステップを備えたことを特徴とする位相アンラッピング方法。
- 計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、前記ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する干渉計測装置のコンピュータに、
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素とし、前記親画素を中心に隣接する経路未確定の隣接画素を検索し、検索した前記隣接画素について前記親画素と画素間の位相飛びを補正した位相差の大きさである重みを組合せた画素データをもつ候補画素を生成する候補画素生成ステップと、
前記候補画素の重みが所定の閾値以上の場合は登録順序を整列する機能を備えた第1データ登録部に登録して前記重みに基づいて整列させ、前記閾値未満の場合は登録順序を整列する機能がない第2データ登録部に登録する登録制御ステップと、
前記親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、前記第1データ登録部と前記第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は前記第2データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、前記第1データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、前記削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、前記削除した画素を次の親画素として前記候補画素生成ステップに引き渡す経路確定ステップと、
を実行させることを特徴とする位相アンラッピングプログラム。
- 計測対象物の干渉縞画像からラッピングされた位相の画素を2次元配置したラッピング位相分布を生成し、前記ラッピング位相分布からアンラッピングされた位相の画素を連結したアンラッピング経路を決定する干渉計測装置に於いて、
登録した情報の登録順序を整列する機能を備えた第1デ−タ登録部と、
登録した情報の登録順序を整列する機能がない第2データ登録部
開始画素又は経路が確定した最新の画素を親画素とし、前記親画素を中心に隣接する経路未確定の隣接画素を検索し、検索した前記隣接画素について前記親画素と画素間の位相飛びを補正した位相差の大きさである重みを組合せた画素データをもつ候補画素を生成する候補画素生成部と、
前記候補画素の重みが所定の閾値以上の場合は前記第1データ登録部に登録して前記重みに基づいて整列させ、前記閾値未満の場合は前記第2データ登録部に登録する登録制御部と、
前記親画素を中心とした全ての隣接画素を候補画素とした処理が終了する毎に、前記第1
データ登録部と前記第2データ登録部に候補画素が存在する場合又は第2データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は前記第2データ登録部から登録順に応じた候補画素を1つ取出して削除し、前記第1データ登録部にのみ候補画素が存在する場合は整列された重みが最小となる候補画素を取出して削除し、前記削除した候補画素と親画素との間の経路を確定し、更に、前記削除した画素を次の親画素として前記候補画素生成部に引き渡す経路確定部と、
を備えたことを特徴とする干渉計測装置。
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