JP4359116B2 - Micro-part X-ray irradiation apparatus and micro-part X-ray irradiation method of X-ray diffractometer - Google Patents
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Description
本発明は、コリメータからのX線を試料の微小領域に導くためのX線回折装置の微小部X線照射装置及び微小部X線照射方法に関し、特に、試料の面内回転を必要とするX線回折装置において好適なX線回折装置の微小部X線照射装置及び微小部X線照射方法に関する。 The present invention relates to a micro part X-ray irradiation apparatus and a micro part X-ray irradiation method of an X-ray diffraction apparatus for guiding X-rays from a collimator to a micro area of a sample, and in particular, X which requires in-plane rotation of a sample. The present invention relates to a micro X-ray irradiation apparatus and a micro X-ray irradiation method of an X-ray diffraction apparatus suitable for a line diffraction apparatus.
一般に、試料の微小領域に関して短時間に分解能の高いX線回折測定を行おうとする場合には、X線管からのX線をピンホールコリメータと呼ばれるコリメータによってX線を試料の微小領域に絞って照射することが行なわれている。 In general, when X-ray diffraction measurement with high resolution is performed in a short time with respect to a micro area of a sample, X-rays from the X-ray tube are focused on the micro area of the sample by a collimator called a pinhole collimator. Irradiation is performed.
また、例えば、以下の特許文献1によれば、特定のモノクロメータと焦点サイズが30μm以下のマイクロフォーカスのX線源とを組み合わせることにより、試料に集束するX線の強度を高める技術は、既に知られている。
ところで、上記のように試料の微小領域に関して分解能の高いX線回折測定を行なおうとする場合、試料を入射ビームに対し、15〜30度程度の傾斜角度で傾ける必要がある。これは、入射ビームを90度(入射X線と試料表面が垂直)で入射できれば、照射野は伸長しないが、しかし、その場合、回折線が試料自体に遮られてしまうので測定が出来ないことによる。そのため、この試料の傾斜により、傾斜した方向での照射野が拡大してしまい、微小部での検出感度が低下してしまうという問題点があった。このことは、特に、試料の微小部においてはその結晶の数も少なくなり、そのため、回折線を感度良く高精度で検出するためには、試料の面内回転(所謂、φ軸回転)が必要となるが、かかる場合、試料の傾斜によって生じる照射野の変化は、コリメータ径の4倍以上にも拡大してしまい、高精度な回折線の検出を不可能にしてしまう。 By the way, when the X-ray diffraction measurement with high resolution is performed on the minute region of the sample as described above, the sample needs to be tilted at an inclination angle of about 15 to 30 degrees with respect to the incident beam. This means that if the incident beam can be incident at 90 degrees (incident X-ray and sample surface are perpendicular), the irradiation field will not expand, but in that case, the diffraction line will be blocked by the sample itself and measurement will not be possible. by. For this reason, there is a problem that the irradiation field in the inclined direction is expanded due to the inclination of the sample, and the detection sensitivity at the minute portion is lowered. This is because the number of crystals is particularly small in the minute part of the sample, and therefore in-plane rotation of the sample (so-called φ axis rotation) is necessary to detect the diffraction line with high sensitivity and high accuracy. However, in such a case, the change in the irradiation field caused by the inclination of the sample expands to four times or more the collimator diameter, making it impossible to detect the diffraction lines with high accuracy.
そこで、本発明は、上述した従来技術における問題点を解消し、すなわち、試料の微小領域に関し、試料の面内回転を行なって検出感度の高いX線回折測定を実現するX線回折装置において好適な、X線回折装置の微小部X線照射装置、及び、その方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention is suitable for an X-ray diffractometer that solves the above-described problems in the prior art, that is, that performs X-ray diffraction measurement with high detection sensitivity by performing in-plane rotation of the sample with respect to a minute region of the sample. It is another object of the present invention to provide an X-ray diffractometer micro-part X-ray irradiation apparatus and a method thereof.
かかる上記の目的を達成するため、本発明によれば、まず、X線源と、前記X線源からのX線を試料の微小領域に導くコリメータと、試料を少なくとも回転させることのできる試料保持機構と、前記試料で回折したX線を検出するX線検出器とを備えたX線回折装置において使用する微小部X線照射装置であって、前記コリメータから前記試料の表面に照射されるX線ビームの当該照射面における照射形状が、前記X線ビームと前記試料との傾斜角度にもかかわらず、略円形の一定の照射領域になるようにするX線回折装置の微小部X線照射装置が提供される。 In order to achieve the above-described object, according to the present invention, first, an X-ray source, a collimator for guiding X-rays from the X-ray source to a minute region of the sample, and a sample holder capable of rotating at least the sample A micro X-ray irradiation apparatus used in an X-ray diffraction apparatus including a mechanism and an X-ray detector for detecting X-rays diffracted by the sample, the X-ray being irradiated from the collimator onto the surface of the sample X-ray irradiator for a small part of an X-ray diffractometer that makes an irradiation shape of the irradiation surface of the X-ray beam on the irradiation surface be a substantially circular constant irradiation region regardless of the inclination angle between the X-ray beam and the sample Is provided.
また、本発明によれば、前記に記載したX線回折装置の微小部X線照射装置は、前記コリメータから出射する前記X線ビームに交差する一対のスリットを備えており、又は、前記一対のスリットの先端部は湾曲形状を有している。 Further, according to the present invention, the micro X-ray irradiation apparatus of the X-ray diffraction apparatus described above includes a pair of slits that intersect the X-ray beam emitted from the collimator, or the pair of slits The tip of the slit has a curved shape.
加えて、本発明では、やはり、上述の目的を達成するため、X線源と、前記X線源からのX線を試料の微小領域に導くコリメータと、試料を少なくとも回転させることのできる試料保持機構と、前記試料で回折したX線を検出するX線検出器とを備えたX線回折装置において、前記コリメータから前記試料の表面に照射されるX線ビームの当該照射面における照射形状が、前記X線ビームと前記試料との傾斜角度にもかかわらず、略円形の一定の照射領域になるようにするX線回折装置の微小部X線照射方法が提供される。 In addition, according to the present invention, in order to achieve the above-described object, an X-ray source, a collimator for guiding the X-rays from the X-ray source to a minute region of the sample, and a sample holder capable of rotating the sample at least In an X-ray diffraction apparatus including a mechanism and an X-ray detector that detects X-rays diffracted by the sample, the irradiation shape of the X-ray beam irradiated on the surface of the sample from the collimator is There is provided a micro-part X-ray irradiation method of an X-ray diffractometer that makes a substantially circular constant irradiation region irrespective of the tilt angle between the X-ray beam and the sample.
また、本発明によれば、好ましくは、前記に記載したX線回折装置の微小部X線照射方法であって、前記コリメータから出射する前記X線ビームに一対のスリットを交差するX線回折装置の微小部X線照射方法が提供される。 According to the present invention, it is preferable that the X-ray diffracting method of the X-ray diffracting apparatus described above is an X-ray diffracting apparatus that intersects a pair of slits with the X-ray beam emitted from the collimator. A method for irradiating a minute part X-ray is provided.
以上からも明らかなように、本発明になるX線回折装置の微小部X線照射装置及び微小部X線照射方法によれば、特に、試料の微小領域に関して試料の面内回転を行なって検出感度の高いX線回折測定を実現するX線回折装置において、試料を入射ビームに対して15〜30度程度の傾斜角度で傾けて試料の面内回転(所謂、φ軸回転)を行なっても照射野の変化を生じることなく、高感度かつ高精度な回折線の検出を可能にするという、技術的に極めて優れた効果を発揮する。 As is clear from the above, according to the micro-part X-ray irradiation apparatus and micro-part X-ray irradiation method of the X-ray diffraction apparatus according to the present invention, in particular, detection is performed by performing in-plane rotation of the specimen with respect to the micro area of the specimen. In an X-ray diffractometer that realizes highly sensitive X-ray diffraction measurement, even if the sample is tilted at an inclination angle of about 15 to 30 degrees with respect to the incident beam, in-plane rotation (so-called φ axis rotation) of the sample is performed. It exhibits a technically excellent effect of enabling highly sensitive and highly accurate detection of diffraction lines without causing a change in the irradiation field.
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
まず、添付の図4には、本発明の一実施の形態になる微小部X線照射装置及び微小部X線照射方法が利用される、所謂、微小部X線回折装置の概略構成の一例を示している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
First, in FIG. 4 attached, an example of a schematic configuration of a so-called micro X-ray diffractometer using a micro X-ray irradiation apparatus and a micro X-ray irradiation method according to an embodiment of the present invention is shown. Show.
この微小部X線回折装置は、X線を放射するX線源F(X線焦点)と、上記X線源Fから放射されるX線を単色化するモノクロメータ3と、このモノクロメータ3で単色化されたX線を微小断面径の平行X線ビームとして取り出すコリメータ4と、試料Sを支持する試料台1と、そして、試料Sの試料面に対向して配設された、例えば、一次元X線検出器としてのPSPC(位置敏感型比例計数管)2とを有している。
This micro X-ray diffractometer includes an X-ray source F (X-ray focal point) that emits X-rays, a
試料Sは、それ自体が微小試料である場合もあり、あるいは、ある程度の大きさを有する試料の微小部である場合もある。そして、上記X線源F(X線焦点)は、例えばポイントフォーカスのX線焦点として形成され、また、モノクロメータ3は、例えば平板グラファイト結晶によって構成される。そして、コリメータ4は、例えば断面径が10〜100μmφ程度の、微小断面径の平行X線ビームを形成する。
The sample S may itself be a minute sample, or may be a minute part of a sample having a certain size. The X-ray source F (X-ray focal point) is formed as a point-focused X-ray focal point, for example, and the
一方、試料台1はアーク支持台6によって支持され、このアーク支持台6は、面内スライダ7により支持され、そして、上記面内スライダ7は面直角スライダ8により支持されている。なお、試料台1にはφ回転装置9が付設され、このφ回転装置9によって駆動されて上記試料Sがφ軸線を中心として回転する。このφ軸線は、試料Sに入射するX線(すなわち、入射X線)R0の光軸X0と試料Sとが交わる点を通る軸線であって、所謂、試料Sを面内回転させるときの回転中心軸線となるものである。
On the other hand, the sample table 1 is supported by an arc support table 6, which is supported by an in-
また、アーク支持台6にはω回転装置11が付設され、このω回転装置11によって駆動されて試料Sがω軸線を中心として回転する。このω軸線は、この図4の紙面垂直方向に延びると共に、上記の入射X線光軸X0と試料Sとが交わる点を通る軸線であって、入射X線R0の試料Sに対する入射角θを変化させるときの回転中心となるものである。
The
面内スライダ7は、水平面内を自由に平行移動できる、所謂、X−Yスライダを用いて構成されており、この平行移動により試料Sを平面内で平行移動させることができる。この内面スライダ7は、面内駆動装置12によって駆動されて移動する。
The in-
面直角スライダ8は、内面スライダ7の平行移動方向に対直の方向へ往復平行移動し、上記図2の場合には、上下方向へ往復移動できるスライダを用いて構成することができる。この移動により、試料Sを上記面内スライダ7の平行移動方向に対して直角の方向へ移動させることができる。この面直角スライダ8は、面直角駆動装置13によって駆動され、平行移動する。
The right-
上述したφ回転装置9、ω回転装置11、面内駆動装置12及び面直角駆動装置13は、それぞれ、任意の構造の駆動機構を用いて構成できるが、一般的には、例えばパルスモータ等の駆動源を含んで構成される。
The
PSPC2は、周知の一次元X線検出器であり、例えば、図示のような湾曲形状のケーシング14の内部に信号線16及びX線から電荷を誘導するための適宜の構造が格納される。X線から電荷を誘導する構造としえは、例えばアノード線及びカソード線を信号線16に平行に配設する構造が考えられる。ケーシング14のうち、試料Sに対向する面には、X線の回折角度(2θ)方向の広い範囲からX線を取り込むための細長い開口17が設けられている。
The PSPC 2 is a well-known one-dimensional X-ray detector. For example, an appropriate structure for inducing charges from the
上記したPSPC2に取り込まれたX線の強度及び回折角度を検出するためのX線演算回路18は、図示のように、例えば、上記信号線16の両端からの信号を入力する位置演算回路19と、位置演算回路19の出力信号をピーク波形の波高に変換する位置/波高変換回路21と、そして、位置/波高変換回路21からの出力信号に基づいて回折角度(2θ)に関するX線強度分布を求めるMCA(Multi-Channel Height Analyzer:多重波高分析器)22とを含んで構成されている。このMCA22の出力端子には、必要に応じて、演算結果を映像として表示するためのディスプレイ23及び演算結果を紙等の印刷材上にプリントアウトするプリンタ24が接続されている。
The
次に、本発明になる微小部X線照射装置及び微小部X線照射方法の原理について説明する。上述したように、特に、微小領域でのX線回折では、試料を入射ビームに対し、15〜30度程度の傾斜角度で傾ける必要がある。例えば、図5(a)に符号Bで示すように、略直角の入射時に得られる試料面での入射ビームの形状は、コリメータ径とほぼ同一の略円形になる。しかしながら、試料を入射ビームに対し、15〜30度程度の傾斜角度で傾けた場合には、図5(b)にも示すように、試料面での入射ビームの形状Cは試料面の傾斜方向に伸長されてしまい(楕円形状)、そのため、試料の面内回転(所謂、φ軸回転)を考慮すると、照射野VFは、コリメータ径の4倍以上にも拡大してしまい、高精度な微小部X線照射を不可能にしてしまう。 Next, the principle of the micro X-ray irradiation apparatus and micro X-ray irradiation method according to the present invention will be described. As described above, in particular, in X-ray diffraction in a minute region, it is necessary to tilt the sample with respect to the incident beam at an inclination angle of about 15 to 30 degrees. For example, as indicated by reference numeral B in FIG. 5A, the shape of the incident beam on the sample surface obtained at substantially right angle incidence is a substantially circular shape that is substantially the same as the collimator diameter. However, when the sample is tilted at an inclination angle of about 15 to 30 degrees with respect to the incident beam, as shown in FIG. 5B, the shape C of the incident beam on the sample surface is the inclination direction of the sample surface. Therefore, in consideration of the in-plane rotation of the sample (so-called φ axis rotation), the irradiation field VF is expanded to more than four times the collimator diameter, and a highly accurate minute X-ray irradiation becomes impossible.
そこで、図1に示すように、上記X線源F(X線焦点)から放射されるX線を、例えば、湾曲ミラーMに投射して平行な入射X線を得る場合、この平行な入射X線の途中に一対のスリット100、100を設けて、断面略円形状の入射X線の一部を遮断する。その結果、このスリット100、100を介して得られる入射X線の形状を、当該入射X線が試料Sの表面が傾斜している方向を短軸にした略楕円形状に形成する(図の符号MBを参照)。
Therefore, as shown in FIG. 1, when projecting X-rays radiated from the X-ray source F (X-ray focal point) onto, for example, the curved mirror M to obtain parallel incident X-rays, the parallel incident X-rays are obtained. A pair of
その結果、上記試料Sの微小部表面に照射される入射X線の形状は、図中にMCで示すように、略円形に形成されることとなる。すなわち、コリメータからの入射X線の断面形状を、円ではなく、その縦横比を適宜変更可能とする(例えば、入射角θが30度の場合、1:2とする)。これにより、試料を傾斜させる方向における入射X線の照射幅を減少し(上記の例では1/2)、もって、試料表面上での照射野の縦横比を同じくすることが出来、たとえ試料を面内回転させてもその照射野が変化することがない。なお、従来の方法では、例えば10μmφの照射野を得る場合には、5μmφのコリメータを要したが、本発明の微小部X線照射装置及び微小部X線照射方法によれば、10×5μmの楕円形状の入射X線を得ることにより同じ照射野が得られることとなる。すなわち、2倍のX線量で同じ照射野になり、強度が2倍になる。 As a result, the shape of the incident X-ray irradiated on the surface of the micro part of the sample S is formed in a substantially circular shape as indicated by MC in the figure. That is, the cross-sectional shape of the incident X-rays from the collimator is not a circle but the aspect ratio thereof can be changed as appropriate (for example, 1: 2 when the incident angle θ is 30 degrees). This reduces the irradiation width of incident X-rays in the direction in which the sample is tilted (1/2 in the above example), so that the aspect ratio of the irradiation field on the sample surface can be made the same. Even if it is rotated in-plane, the irradiation field does not change. In the conventional method, for example, in order to obtain an irradiation field of 10 μmφ, a collimator of 5 μmφ is required. However, according to the micro-part X-ray irradiation apparatus and micro-part X-ray irradiation method of the present invention, 10 × 5 μm By obtaining an elliptical incident X-ray, the same irradiation field can be obtained. That is, the same irradiation field is obtained with twice the X-ray dose, and the intensity is doubled.
次に、添付の図2には、より具体的に、上記コリメータ4の入射X線の射出口(コリメータの先端)、又は、その近傍に、上記一対のスリット100、100を設けた例を示している。なお、これら一対のスリット100、100は、射出口の先端又は近傍に配置された部材上に搭載されており、例えば、スクリュー機構など、その位置を微調整することの可能な機構を介し、図に矢印aで示すように、互いに近接し、又は、離隔することが可能になっている。すなわち、この微小部X線照射装置によって得られる略楕円形状のX線の断面形状を、入射角度θの変化に対応して、適宜、可変することが出来るようになっている。なお、これら一対のスリット100、100の位置微調整機構は、例えば、手動で行なうように構成することも出来るが、又は、設定した入射角度θに対応して、パルスモータ等により自動的に駆動調整するようにしてもよい。なお、一般的に、入射X線に対する試料の傾斜角度(入射角度θ)は、測定中は一定である。
Next, FIG. 2 attached more specifically shows an example in which the pair of
さらに、添付の図3には、上記一対のスリット100、100の具体的な形状を示している。図3(a)には、これら一対のスリット100、100を、方形の板状部材で構成した例を示しており、なお、図中の破線は、コリメータからの入射X線の外径を示している。この図からも明らかなように、上記方形のスリット100、100によれば、略円形の入射X線の外径を上下から遮断することから、特に、その遮蔽部分が大きくなると(即ち、入射角θが小さく、スリット間の距離が小さくなった場合)、楕円形状とは遠い形状となる。そこで、図3(b)にも示すように、上記一対のスリット100、100の対向する端部の形状を湾曲状に形成することにより、遮蔽部分が大きくなってもより楕円形状に近い入射X線の断面外径を得ることが可能となる。
Further, FIG. 3 attached here shows a specific shape of the pair of
また、上記の実施の形態では、本発明になる微小部X線照射装置を、上記図4に示した微小部X線回折装置において使用した例を示したが、しかしながら、本発明はこれにのみ限定されることなく、特に、試料を搭載して所望の角度位置に調整するための機構としては、上記に代えて、例えば、添付の図6や図7に示すようなものであってもよい。 In the above embodiment, the micro X-ray irradiation apparatus according to the present invention is used in the micro X-ray diffraction apparatus shown in FIG. 4, however, the present invention is limited to this. Without limitation, in particular, as a mechanism for mounting the sample and adjusting it to a desired angular position, for example, the mechanism shown in the attached FIG. 6 or FIG. 7 may be used instead of the above. .
以上にも述べたように、本発明によれば、入射X線に対し斜めに傾けた試料の微小部分を、当該試料を面内回転させながら測定するX線回折装置において、試料の傾斜角度を一定に保持した状態で面内回転させても、X線の当る部分(位置)が変化しないように、即ち、一定のX線照射領域とするために、試料面上でのX線照射領域を、当該試料の回転中心を中心とした略円形に近い形状としている。これによれば、そのX線の照射面積を一定とすると共に、面内回転により試料の表面を回転しても、その照射場所が変わらないようにすることが可能となる。 As described above, according to the present invention, in an X-ray diffractometer that measures a minute portion of a sample obliquely inclined with respect to incident X-rays while rotating the sample in-plane, the inclination angle of the sample is set. The X-ray irradiation area on the sample surface is set so that the portion (position) where the X-ray hits does not change even if the in-plane rotation is performed in a constant state, that is, in order to obtain a constant X-ray irradiation area. The shape is close to a substantially circular shape around the center of rotation of the sample. According to this, it is possible to make the irradiation area of the X-ray constant and to keep the irradiation place unchanged even if the surface of the sample is rotated by in-plane rotation.
これに対し、従来は、微小な部分を測定する場合には、その周囲の余計な部分にX線を照射しないようにするために、照射野が広がる分を予め見込んで更に径の小さいコリメータを選択して使用する必要があり、そのため、X線強度が非常に弱くなってしまっていた。これに対し、本発明では、上記の詳細に説明したように、照射形状が伸長する方向にだけ入射X線を細くして、その照射形状がほぼ円形になるようにしたので、試料を面内回転させてもその照射野は変わらず、従来にように、X線強度が弱くなり過ぎることもなくなる。 On the other hand, conventionally, when measuring a minute part, in order not to irradiate the surrounding extra part with X-rays, a collimator with a smaller diameter is expected in advance so that the irradiation field is widened. The X-ray intensity has become very weak because it has to be selected and used. On the other hand, in the present invention, as described in detail above, the incident X-ray is thinned only in the direction in which the irradiation shape extends, so that the irradiation shape becomes substantially circular. Even if it is rotated, the irradiation field does not change, and the X-ray intensity does not become too weak as in the prior art.
さらに、上記の説明では、入射X線を制限するための具体的な方法の一例として、所謂、スリットを用いる方法について述べたが、しかしながら、コリメータ自体が楕円の出口を持ったものを使用することも可能である。なお、その場合、予め試料の傾斜角度に対応して、楕円の扁平率の異なる複数のコリメータを用意しておき、測定時の傾斜角度の設定により適宜選択して使用することが考えられる。また、ある特定した試料の傾斜角度の範囲では、1種類の楕円コリメータを使用して測定することも可能であろう。更には、スリットに関しても、上述のような可変スリットでもよく、又は、これに代え、例えば、予め幅の異なる複数個の固定スリットを用意しておき、試料の傾斜角度に応じて適切な固定スリットを選択することも可能である。 Furthermore, in the above description, a method using a so-called slit has been described as an example of a specific method for limiting incident X-rays. However, the collimator itself has an elliptical exit. Is also possible. In this case, it is conceivable that a plurality of collimators having different elliptical flatness ratios are prepared in advance corresponding to the inclination angle of the sample, and appropriately selected and used depending on the setting of the inclination angle at the time of measurement. It may also be possible to measure using a single elliptical collimator within a range of tilt angles of a particular sample. Furthermore, regarding the slit, the variable slit as described above may be used. Alternatively, for example, a plurality of fixed slits having different widths are prepared in advance, and appropriate fixed slits are prepared according to the inclination angle of the sample. It is also possible to select.
1 試料台(φ軸回転)
100 スリット
4 コリメータ
9 φ回転装置
S 試料
MB スリットからの楕円形状入射X線
MC 試料上の円形状の入射X線。
1 Sample stage (φ axis rotation)
100
Claims (5)
前記試料の保持角度を一定に保持した状態で、前記コリメータから前記試料の表面に照射されるX線ビームの当該照射面における照射形状が、前記試料の回転中心を中心とした略円形の一定の照射領域になるようにし、前記試料の表面を回転してもその照射場所が変わらないようにすることを特徴とするX線回折装置の微小部X線照射装置。 An X-ray source, a collimator for guiding X-rays from the X-ray source to a minute region of the sample, a sample holding mechanism capable of rotating at least the sample, and an X-ray detector for detecting X-rays diffracted by the sample A micro-part X-ray irradiation apparatus of an X-ray diffraction apparatus comprising:
In a state where the holding angle of the sample is held constant, the irradiation shape of the X-ray beam irradiated on the surface of the sample from the collimator is a substantially circular constant around the rotation center of the sample. An X-ray diffractometer for X-ray diffractometer, wherein the X-ray diffractometer is an irradiation region, and the irradiation location is not changed even if the surface of the sample is rotated.
前記試料の保持角度を一定に保持した状態で、前記コリメータから前記試料の表面に照射されるX線ビームの当該照射面における照射形状が、前記試料の回転中心を中心とした略円形の一定の照射領域になるようにし、前記試料の表面を回転してもその照射場所が変わらないようにすることを特徴とするX線回折装置の微小部X線照射方法。 An X-ray source, a collimator for guiding X-rays from the X-ray source to a minute region of the sample, a sample holding mechanism capable of rotating at least the sample, and an X-ray detector for detecting X-rays diffracted by the sample In the X-ray diffraction apparatus for X-ray diffractometer,
In a state where the holding angle of the sample is held constant, the irradiation shape of the X-ray beam irradiated on the surface of the sample from the collimator is a substantially circular constant around the rotation center of the sample. A method for irradiating a minute portion of an X-ray diffractometer, wherein the irradiation location is not changed even when the surface of the sample is rotated.
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