JP4353262B2 - 弾性表面波デバイス及び圧電デバイス用基板 - Google Patents
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Description
3 励振電極
4 SAW(弾性表面波)デバイス
C ランガサイト単結晶
L 融液
S 種結晶
Claims (5)
- La2O3を、48.13から48.80重量%とし、Ga2O3を、45.25から46.60重量%とし、SiO2を、5.21から6.19重量%とした組成範囲内で秤量してルツボ内で融解させ、該ルツボ内から引き上げ育成されたランガサイト単結晶で形成された圧電デバイス用基板と、
前記圧電デバイス用基板の表面上に形成された弾性表面波を送受信する電極と、
を備えることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 引き上げにより育成されたランガサイト単結晶で形成された圧電デバイス用基板であって、前記ランガサイトは、La2O3が48.10から48.80重量%であり、Ga2O3が45.25から46.60重量%であるとともに、SiO2が5.21から6.19重量%である組成範囲内の単結晶であることを特徴とする圧電デバイス用基板。
- 請求項2に記載の圧電デバイス用基板の表面上に弾性表面波を送受信する電極を形成したことを特徴とする弾性表面波デバイス。
- 前記電極は、
第1の励振電極と、
前記第1の励振電極と対向する位置に形成された第2の励振電極とからなり、
前記第1の励振電極及び前記第2の励振電極は、SAWフィルタを形成することを特徴とする請求項1又は3に記載の弾性表面波デバイス。 - 前記第1の励振電極及び前記第2の励振電極は、アルミニウムからなることを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波デバイス。
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