JP4350598B2 - Drainer - Google Patents
Drainer Download PDFInfo
- Publication number
- JP4350598B2 JP4350598B2 JP2004184241A JP2004184241A JP4350598B2 JP 4350598 B2 JP4350598 B2 JP 4350598B2 JP 2004184241 A JP2004184241 A JP 2004184241A JP 2004184241 A JP2004184241 A JP 2004184241A JP 4350598 B2 JP4350598 B2 JP 4350598B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- draining
- processed
- injection
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Nozzles (AREA)
Description
本発明は、被処理物の表面に付着した水滴等の液分の水切り装置に関し、特にトレーやパレットなどの板状の被処理物に好適な水切り装置に関する。 The present invention relates to a draining device for liquids such as water droplets adhering to the surface of an object to be treated, and more particularly to a draining device suitable for a plate-like object to be treated such as a tray or a pallet.
噴射ノズルから噴射される気体噴射流自体の反力によって噴射ノズルを旋回させながら広い面積を同時に処理し得るように改良した水切り装置は従来から知られている(特許文献1参照)。この従来技術は、回転駆動機構が不要になるという利点があった。しかしながら、片面ずつ水切り処理を実行すると、処理面から吹飛ばされた水滴が反対面に回り込んで付着しやすいという問題があった。また、被処理物が板状の場合などには、被処理物が気体の吹付け圧によって不安定にばたついたり、ときには吹飛ばされるといった問題もあった。したがって、特に板状の被処理物の場合などには、気体噴射量を増やしたり吹付け圧を大きくとることには技術的な困難が伴い、効率的な水切り処理にも限界があった。また、気体の噴射に伴って近傍の気体を吸引して風量を増やしながら噴射する風量増幅型の噴射ノズルも知られている(特許文献2、特許文献3参照)。
本発明は、以上のような従来の技術的状況に鑑み、噴射ノズルからの気体噴射流自体の反力を利用して噴射ノズルの旋回を行うように構成するとともに、被処理物に対する吹付け圧の影響を緩和し、気体噴射量を増やすことにより、処理効率を向上し得る水切り装置を提供することを目的とする。 In view of the above-described conventional technical situation, the present invention is configured to turn the injection nozzle by utilizing the reaction force of the gas injection flow itself from the injection nozzle, and to apply the spray pressure to the object to be processed. An object of the present invention is to provide a drainer that can improve the processing efficiency by alleviating the influence of the above and increasing the gas injection amount.
前記課題を解決するため、請求項1の発明では、略矩形状からなる板状の被処理物に気体を吹付ける気体噴射手段と、該気体噴射手段と傾斜するように立てた状態の被処理物を相対的に移動させる移動手段とを備え、前記被処理物を傾斜させて立てた状態において前記気体噴射手段との間で相対的に移動させながら被処理物に付着する液分を気体の吹付け作用により除去する水切り装置において、前記気体噴射手段は、回転可能に支持されたノズルアームと、該ノズルアームに設けられ、気体の噴射に伴って近傍の気体を吸引して風量を増やしながら噴射する噴射ノズルとを備え、前記噴射ノズルからの気体の噴射により該噴射ノズルが旋回するように構成するとともに、以上の構成からなる前記気体噴射手段を被処理物を挟んで両側にほぼ対向するように縦方向に並べて複数組配設し、それらの気体噴射手段により被処理物の両側から同時に水切り処理を行うという技術手段を採用した。前記噴射ノズルを被処理物との距離が50mm以内になるように配設すると、より良好な水切り作用が得られる(請求項2)。板状の被処理物を水切り時及び搬送時に倒れないように傾斜させて立てた状態で支持する支持手段を設けたものでもよい(請求項3)。前記気体噴射手段を外部と隔離した水切り処理室内に設け、少なくとも水切り処理時に前記水切り処理室内を排気するように構成すれば、水切り作用により飛散した液分が被処理物の表面に再付着する度合いを低減することが可能である(請求項4)。前記水切り処理室の下流側に離隔して被処理物を熱風により乾燥させる熱風乾燥室を配設してもよい(請求項5)。 In order to solve the above-mentioned problem, in the invention of claim 1, a gas injection means for blowing a gas to a substantially rectangular plate-shaped object to be processed, and a process to be processed in a state of being inclined with respect to the gas injection means A moving means for moving the object relatively, and in a state where the object to be processed is inclined and standing, the liquid component adhering to the object to be processed is moved relative to the gas injection means while the gas is removed. In the draining device for removing by spraying action, the gas jetting means is provided on the nozzle arm rotatably supported, and the nozzle arm is sucking a nearby gas as the gas is jetted to increase the air volume. A jet nozzle for jetting, and the jet nozzle is configured to rotate by jetting the gas from the jet nozzle, and the gas jet means having the above-described configuration is disposed substantially on both sides of the workpiece. A plurality of sets disposed side by side in the vertical direction so that direction, adopting the technical means of simultaneously draining process from both sides of the object to be treated by their gas spray device. If the spray nozzle is disposed so that the distance to the object to be processed is within 50 mm, a better draining action can be obtained. Supporting means may be provided for supporting the plate-shaped workpiece in an inclined state so that it does not fall down when draining and transporting (Claim 3). If the gas injection means is provided in a draining chamber separated from the outside and configured to exhaust at least the draining chamber during draining, the degree of reattachment of the liquid scattered by the draining action to the surface of the workpiece Can be reduced (claim 4). A hot air drying chamber for drying the object to be processed by hot air may be provided on the downstream side of the draining processing chamber (Claim 5).
本発明によれば、噴射ノズルからの気体噴射流自体の反力を利用して噴射ノズルの旋回を行うように構成するとともに、被処理物に対して両側から気体噴射流を吹付けるように構成し、しかも前記被処理物を傾斜させて立てた状態において前記気体噴射手段との間で相対的に移動させるように構成したので、次の効果を得ることができる。
(1)噴射ノズルを旋回するための回転駆動機構が不要なことから、気体噴射手段の部分の構成を大幅に簡略化できる。
(2)被処理物に対する両側からの気体噴射流の吹付け圧がバランスして、吹付け圧による影響が大幅に低減され、被処理物の安定性が改善されるので、気体噴射量を増やして、処理効率を大幅に向上することが可能となる。
(3)とりわけ、気体噴射手段を被処理物を挟んで両側にほぼ対向するように縦方向に並べて複数組配設したので、その気体噴射手段の複数組の設置によって各気体噴射手段の噴射位置に関するバラツキが平均化され、被処理物に対する吹付け圧による影響をより的確かつ安定的に低減することができる。
(4)しかも、前記被処理物を傾斜させ、被処理物が下方の支持部に寄りかかり安定した状態において、気体噴射手段との間の相対的な移動が行われるので、上記(3)の効果と相俟ってきわめて安定した相対移動が可能である。
(5)気体を噴射することにより近傍の気体を吸引して噴射量を増幅する噴射ノズルを採用したので、大量の気体噴射流により処理効率のきわめて良好な、簡素な構成からなる使い勝手のよい水切り装置を提供することができる。
(6)少なくとも水切り処理時に水切り処理室内を排気するように構成すれば、水切り作用により飛散した液分が被処理物の表面に再付着する度合いを低減することが可能である。
According to the present invention, the jet nozzle is turned by utilizing the reaction force of the gas jet flow itself from the jet nozzle, and the gas jet stream is blown from both sides to the object to be processed. And since it comprised so that the said to-be-processed object might be moved relatively between the said gas-injection means in the state stood inclining , the following effect can be acquired.
(1) Since the rotation drive mechanism for turning the injection nozzle is unnecessary, the configuration of the gas injection means can be greatly simplified.
(2) Since the spray pressure of the gas jet flow from both sides to the workpiece is balanced, the influence of the spray pressure is greatly reduced, and the stability of the workpiece is improved. Thus, the processing efficiency can be greatly improved.
(3) In particular, since a plurality of gas injection units are arranged in the vertical direction so as to be substantially opposed to both sides across the object to be processed, the injection position of each gas injection unit is determined by the installation of the plurality of gas injection units. As a result, the influence of the spray pressure on the workpiece can be reduced more accurately and stably.
(4) In addition, since the object to be processed is tilted and the object to be processed leans against the lower support portion and is stable, the relative movement with the gas injection means is performed. In combination with this, extremely stable relative movement is possible.
( 5 ) Since an injection nozzle that aspirates nearby gas by injecting gas and amplifies the injection amount is adopted, easy-to-use draining consisting of a simple structure with very good processing efficiency by a large amount of gas injection flow An apparatus can be provided.
( 6 ) If the drainage chamber is exhausted at least during draining, it is possible to reduce the degree to which the liquid scattered by the draining action is reattached to the surface of the workpiece.
本発明は、洗浄処理後のトレーやパレットなどの略矩形状からなる板状の被処理物の表面に付着した液分を水切り処理する場合に好適である。板状の被処理物の表面に付着した液分の水切り処理においては、被処理物を立てた状態で、なるべく噴射ノズルを接近させて大量の気体を吹付けることが効果的である。特に、トレーのように部品挿入部などの凹部が存在する場合には、被処理物を水平に載置した状態では、凹部内に溜った液分を除去しにくいため、立てた状態で水切り処理を行うことが有効である。気体噴射手段は、被処理物を挟んでほぼ対向するように両側に配設し、それらの両側の気体噴射手段を共に作動させて水切り処理を行う。なお、水切り処理時には室内に微細な液滴が舞う状態となり、特に風量増幅型の噴射ノズルの場合には、その液滴を吸引してノズル部にスケールが堆積したり、被処理物に液滴が再付着したりする原因になることから、少なくとも水切り処理時に水切り処理室内を排気するように構成することは有効である。噴射ノズルとしては、近傍の気体を巻込んで風量を数倍〜数十倍に増幅可能な風量増幅型の噴射ノズルなどを採用し、ロータリージョイント等を中心として放射方向に延設され回転可能に構成されたノズルアームの端部に傾斜した状態に配設することにより、噴射反力の分力を活用して自ら旋回するように構成することができる。また、噴射ノズルの噴射方向は傾斜させずに、噴射ノズルの胴部の進行方向後方に形成した別個の小孔からの噴射反力によって旋回するように構成することも可能である。なお、ノズルアームの中心部を回転可能に支持し、その両端部に噴射ノズルを配設すると、旋回動作上のバランスがよくなる。また、ノズルアームを3本以上設け、バランスがとれるように配設したものでもよい。1本のノズルアームに複数の噴射ノズルを設ける場合には、そのうちの少なくとも1個の噴射ノズルを傾斜したり旋回用の前記小孔を形成すればよい。それぞれのノズルアームの長さを変えることも可能である。さらに、ノズルアーム上において、噴射ノズルの回転中心からの距離を自在に調節できるように構成することも可能である。噴射ノズルの設置数はいくつでもよく、同じ円周上に配置せずに旋回半径を変えて配置してもよい。以上のように組立てられた気体噴射手段は、被処理物の両側に縦方向に並べて複数組ずつ対称的に配設して、被処理物の両側から同時に水切り処理を実行するように構成する。また、気体噴射手段と被処理物とは、相対的に移動させながら水切り処理を実行することになる。板状の被処理物は傾斜させて立てた状態において相対的に移動させながら両側から水切り処理を行い、噴射ノズルは50mm以内に近づけて吹付けることが望ましい。なお、被処理物を搬送しながら連続的に水切り処理を実行するように構成してもよいし、被処理物を停止させて間欠的に水切り処理を実行するように構成してもよい。 The present invention is suitable for draining off a liquid component adhering to the surface of a plate-shaped workpiece having a substantially rectangular shape such as a tray or a pallet after the cleaning treatment. In draining the liquid adhering to the surface of the plate-shaped workpiece, it is effective to spray a large amount of gas with the spray nozzle as close as possible with the workpiece standing. In particular, when there is a recess such as a component insertion part such as a tray, it is difficult to remove the liquid accumulated in the recess when the workpiece is placed horizontally. It is effective to do. The gas jetting means is disposed on both sides so as to be substantially opposed to each other with the object to be processed, and the draining process is performed by operating both the gas jetting means on both sides. In addition, during the draining process, fine droplets fly in the room. Particularly in the case of an air volume amplification type injection nozzle, the droplets are sucked and scales are deposited on the nozzle part, or droplets are deposited on the object to be processed. Therefore, it is effective to evacuate the drainage treatment chamber at least during the drainage treatment. As the injection nozzle, an air volume amplification type injection nozzle that entrains nearby gas and amplifies the air volume several to several tens of times can be used, and it extends in the radial direction around a rotary joint and can rotate. By arranging in an inclined state at the end of the configured nozzle arm, it can be configured to turn by itself utilizing the component of the injection reaction force. Moreover, it is also possible to comprise so that it may turn by the injection | pouring reaction force from the separate small hole formed in the advancing direction back of the trunk | drum of an injection nozzle, without making the injection direction of an injection nozzle incline. In addition, if the center part of a nozzle arm is rotatably supported and an injection nozzle is arrange | positioned at the both ends, the balance on turning operation | movement will become good. Further, three or more nozzle arms may be provided so as to be balanced. When a plurality of injection nozzles are provided on one nozzle arm, at least one of the injection nozzles may be inclined or the small hole for turning may be formed. It is also possible to change the length of each nozzle arm. Furthermore, it is also possible to configure so that the distance from the rotation center of the injection nozzle can be freely adjusted on the nozzle arm. Any number of the injection nozzles may be installed, and the spray nozzles may be arranged by changing the turning radius without arranging them on the same circumference. The gas injection means assembled as described above are arranged in a vertical direction on both sides of the object to be processed and symmetrically arranged in pairs so that the draining process is performed simultaneously from both sides of the object to be processed. Moreover, the draining process is executed while the gas jetting means and the workpiece are moved relatively. It is desirable that the plate-like object to be treated is drained from both sides while being relatively moved in a tilted state, and the spray nozzle is blown close to within 50 mm. In addition , you may comprise so that a draining process may be performed continuously, conveying a to- be- processed object , or it may be comprised so that a to-be-processed object may be stopped and a draining process may be performed intermittently.
以上のように、本発明では被処理物を挟んで両側から同時に水切り処理を実行するように構成したので、噴射ノズルからの気体の吹付け力がバランスして被処理物に対する影響力が大幅に低減される。とりわけ、気体噴射手段を被処理物を挟んで両側にほぼ対向するように縦方向に並べて複数組配設したので、各気体噴射手段のノズルアームの回転位置のバラツキに起因する噴射位置に関するバラツキが平均化され、被処理物に対する吹付け圧による影響をより的確かつ安定的に低減することができる。したがって、近傍の気体を巻込んで風量を数倍〜数十倍に増幅させる風量増幅型の噴射ノズルを用いて、一度に広い範囲で水切り処理を行うことが可能となった。しかも、噴射ノズルの旋回力は、自らの噴射流自体の反力を活用して旋回するように構成したので、回転駆動機構が不要であり、構成の大幅な簡略化が可能である。因みに、噴射ノズルは風量を増幅可能なものであればどのようなタイプのものでも応用が可能であり、異なるタイプの噴射ノズルを組合わせて使用することも可能である。また、被処理物に対する気体噴射手段の相対的な動作も、単純に一方向動かすだけではなく、他の動きをさせることも可能である。 As described above, according to the present invention, the draining process is executed simultaneously from both sides with the object to be processed interposed therebetween, so that the gas blowing force from the injection nozzle is balanced and the influence on the object to be processed is greatly increased. Reduced. In particular, since a plurality of gas injection units are arranged in the vertical direction so as to be substantially opposed to both sides across the object to be processed, there are variations in the injection position due to variations in the rotational position of the nozzle arm of each gas injection unit. It is averaged, and the influence of the spray pressure on the workpiece can be reduced more accurately and stably. Accordingly, it has become possible to perform draining treatment in a wide range at once using an air volume amplification type injection nozzle that entrains a nearby gas and amplifies the air volume several to several tens of times. In addition, since the turning force of the injection nozzle is configured to turn by utilizing the reaction force of the injection flow itself, a rotation drive mechanism is not required, and the configuration can be greatly simplified. Incidentally, any type of injection nozzle that can amplify the air volume can be applied, and different types of injection nozzles can be used in combination. In addition, the relative operation of the gas injection unit with respect to the object to be processed can be moved not only in one direction but also in other directions.
図1は本発明の第1実施例を示した正面図であり、図2はその水切り処理室内を示した拡大側面図である。本実施例では、被洗浄物が電子部品を並べて載置するためのトレーの場合の適用例を示した。図中、1は搬入側の搬送コンベヤであり、この搬送コンベヤ1により被処理物としてのトレー2を案内支持部材3に沿って洗浄処理室4へ搬入するように構成している。洗浄処理室では図示しない適宜の洗浄ノズルを用いてトレー2の両面を洗浄する。洗浄処理の済んだトレー2はシャッタ5を介して隣接した水切り処理室6へ間欠的に移送され、両面に付着した水滴等の液分の水切り処理が行われる。水切り処理の済んだトレー2は搬出側の搬送コンベヤ7により案内支持部材8に沿って水切り処理室6から搬出され、さらに必要に応じて水平方向に転倒した上、所定段数に積重ねられ、積層状態で搬出される。
FIG. 1 is a front view showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged side view showing the draining chamber. In this embodiment, the application example in the case where the object to be cleaned is a tray for placing electronic components side by side is shown. In the figure, reference numeral 1 denotes a carrying conveyor on the carry-in side, and this carrying conveyor 1 is configured to carry a
次に前記水切り処理室6内におけるトレー2に対する水切り処理に関して説明する。本実施例では、洗浄処理済みのトレー2に対し、図2に示したように案内支持部材8に寄りかかるように若干傾斜した状態に立てた状態で、両面に対する水切り処理を行う場合を例示した。この場合、トレー2に吹付けられる気体の衝撃圧によってトレー2が安定しないような場合には、必要に応じてトレー2の上部を押え部材によって下方へ押付けるように構成してもよい。傾斜した前記トレー2の両側には、第1気体噴射手段9と第2気体噴射手段10が対向設置されている。因みに、それらの第1及び第2気体噴射手段9,10へはコンプレッサなどの1つの加圧気体供給源から分岐してそれぞれ圧縮空気が供給されるように構成されている。また、それらの第1及び第2気体噴射手段9,10は、それぞれ縦方向に並んで配設された3組ずつの旋回噴射手段11〜16を備えている。なお、水切り処理室6には図示しない排気装置が接続されており、第1気体噴射手段9及び第2気体噴射手段10からの気体の吹付けによって飛散した液分を含んだ空気を外部へ排気できるように構成されている。その場合、洗浄処理室4を介して水切り処理室6の排気を行うように構成することも可能である。
Next, a draining process for the
図3〜図5は前記各旋回噴射手段の構成及び作動原理を説明するための概略説明図であり、図3は被処理物側からみた正面図、図4は平面図、図5はその右側面図である。図示のように、旋回噴射手段11〜16は、それぞれロータリジョイント17を介して中央部を回転可能に支持されたノズルアーム18を備えており、そのノズルアーム18の両端部に備えた噴射ノズル19,20から構成される。図5に示したように、噴射ノズル19,20は、それらの噴射方向がロータリジョイント17を中心とした旋回方向後方へ若干傾斜した状態に設置されている。このため、噴射ノズル19,20から気体が噴射されると、その噴流の反力の円周方向成分により、噴射ノズル19,20は、図3において矢印で示した方向にロータリジョイント17を中心に自ら旋回することになる。したがって、噴射ノズル19,20を旋回するための回転駆動機構が不要となることから、旋回噴射手段11〜16の構成を大幅に簡略化することができる。なお、噴射ノズル19,20の傾斜状態に関しては、少なくともロータリジョイント17を中心とした旋回方向後方への傾斜を含むものであれば、他の方向への傾斜を含むものであってもよい。また、噴射ノズル19,20への気体の供給は、ロータリジョイント17及びノズルアーム18に形成した内部流通路を介して供給することができる。
3 to 5 are schematic explanatory views for explaining the configuration and operating principle of each of the swirl injection means. FIG. 3 is a front view as viewed from the workpiece, FIG. 4 is a plan view, and FIG. FIG. As shown in the figure, each of the swirl jet means 11 to 16 includes a
しかして、被処理物としてのトレー2が搬送コンベヤ1を介して洗浄処理室4へ搬入され、所期の洗浄処理が終了すると、水切り処理室6へ移送され、水切り処理が行われる。この水切り処理は、第1気体噴射手段9と第2気体噴射手段10とを対向させて移動しながら、トレー2の表裏両面に対して気体を吹付けて表面に付着した液分を除去することにより行われる。その際、それぞれの旋回噴射手段11〜16に備えられた噴射ノズル19,20は、前述のように自らの噴射流による反力によってロータリジョイント17を中心として旋回しながら、広範囲にわたって均等な気体吹付け作用を与えることができる。以上のように、本実施例では、第1気体噴射手段9と第2気体噴射手段10とを対向させて移動しながらトレー2の両側から気体を吹付けるように構成したので、それらの気体の吹付け圧が互いにバランスして、トレー2に対する影響力を解消ないし大幅に低減することができる。したがって、第1気体噴射手段9及び第2気体噴射手段10からの風量や吹付け圧を増やして吹付け作用を強化して、水切り処理の効率を大幅に向上することが可能となる。なお、本実施例においては、洗浄処理室4における洗浄処理工程と、水切り処理室6における水切り処理工程を、トレー2を停止させた状態で並行して間欠的に実行する間欠処理方式を採用したが、連続処理方式も可能である。
Thus, the
1…搬送コンベヤ、2…トレー、3…案内支持部材、4…洗浄処理室、5…シャッタ、6…水切り処理室、7…搬送コンベヤ、8…案内支持部材、9…第1気体噴射手段、10…第2気体噴射手段、11〜16…旋回噴射手段、17…ロータリジョイント、18…ノズルアーム、19,20…噴射ノズル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Conveyor conveyor, 2 ... Tray, 3 ... Guide support member, 4 ... Cleaning process chamber, 5 ... Shutter, 6 ... Draining process chamber, 7 ... Conveyor conveyor, 8 ... Guide support member, 9 ... 1st gas injection means, DESCRIPTION OF
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004184241A JP4350598B2 (en) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | Drainer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004184241A JP4350598B2 (en) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | Drainer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006010111A JP2006010111A (en) | 2006-01-12 |
JP4350598B2 true JP4350598B2 (en) | 2009-10-21 |
Family
ID=35777560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004184241A Expired - Fee Related JP4350598B2 (en) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | Drainer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4350598B2 (en) |
-
2004
- 2004-06-22 JP JP2004184241A patent/JP4350598B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006010111A (en) | 2006-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI285136B (en) | Substrate processing equipment | |
CN100446190C (en) | Method of removing deposit from substrate and method of drying substrate, and device for removing deposit from substrate and device of drying substrate using these methods | |
KR960032656A (en) | Semiconductor manufacturing apparatus and method of manufacturing semiconductor device | |
JP2015192141A (en) | Substrate drying apparatus and substrate drying method | |
TW201713419A (en) | Dust-removing nozzle and dust-removing apparatus | |
JP2013049004A (en) | Dust removal device | |
US20060278160A1 (en) | Photoresist coating method and apparatus for performing same | |
TWI227035B (en) | Substrate processing device of transporting type | |
JP2004221244A5 (en) | ||
JP2003243811A (en) | Spraying device for printed circuit board | |
JP4350598B2 (en) | Drainer | |
JP4502854B2 (en) | Substrate processing apparatus and processing method | |
JP2014038915A (en) | Drying device and drying method for substrate | |
JP2007059417A (en) | Substrate treatment device | |
KR101187882B1 (en) | Apparatus to dry glass substrate | |
JP4932897B2 (en) | Nozzle, dry cleaner and dry cleaner system | |
JP5111999B2 (en) | Substrate processing equipment | |
JP2014038914A (en) | Drying device and drying method for substrate | |
JP2003282525A (en) | Substrate treatment device | |
JP2004209450A (en) | Method for leveling coating film and apparatus for leveling coating film | |
JP4598911B2 (en) | Method and apparatus for removing processing liquid from substrate | |
JP6656255B2 (en) | System and method for rinsing a substrate | |
JP4260132B2 (en) | Draining device for inner surface of container | |
JP2004074104A (en) | Conveying and dust removing apparatus | |
KR101075483B1 (en) | Substrate cleaning apparatus and method using the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060916 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090717 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090722 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120731 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4350598 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130731 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |