JP4347932B2 - Resin sealing device - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造用の樹脂封止装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造用として用いられる樹脂封止装置について図6を参照して説明する。図6において、101は装置本体の中央部に装備されたモールド金型である。このモールド金型101には、被成形品であるリードフレームやBGA用などの回路基板、樹脂タブレットなどが搬入される。モールド金型101の上下金型面には、上型と下型とをX−Y方向に位置決めするためのロックブロック102が四辺に設けられている。
モールド金型101の一方側(図面左側)には被成形品供給部103が装備されており、他方側(図面右側)には成形品収納部104が装備されている。
【0003】
被成形品供給部103には、供給テーブル105を前後に挟んでリードフレーム106を収容する供給マガジンや樹脂タブレット107を収容するパーツフィーダー108が配備されている。
供給マガジンに収容されたリードフレーム106は、プッシャにより1枚ずつ送り出され、更に搬送キャリアにより供給テーブル105上に供給される。また、樹脂タブレット107は、パーツフィーダー108よりホルダーに1回の樹脂封止分だけ保持されて供給テーブル105上に供給される。そして、供給テーブル105とモールド金型101との間を往復移動するローダー109によりリードフレーム106及び樹脂タブレット107が保持されたままモールド金型101へ搬送される。
【0004】
成形品収納部104には、成形品110をゲートブレイクするディゲート部111及び不要樹脂を取り除いた成形品110のみを収納する収納マガジン112が装備されている。樹脂封止後の成形品は、モールド金型101とディゲート部111との間を往復移動するアンローダー113により保持されてディゲート部111へ載置される。そして、ディゲート部111でゲートブレイクして不要樹脂をスクラップボックスへ回収した後、成形品110のみを収納用ハンドにより保持して収納マガジン112へ収納するようになっている。
アンローダー113には、モールド金型101より成形品を保持して退避する際に金型面をクリーニングするためのエア吸引口113a及びクリーニングブラシ113bが装備されており、これらが金型面に沿って摺動する際に封止樹脂の残りや塵などを吸引除去するようになっている。
尚、114は、樹脂封止装置の動作を制御する制御部である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図6に示す従来の樹脂封止装置には以下に述べる課題があった。即ち、樹脂タブレットから顆粒樹脂を使用したい場合、被成形品であるリードフレーム106と共に放熱板等も樹脂封止したい場合、リリースフィルムを用いて樹脂封止したい場合などの、成形品種の変更や多品種少量生産などのニーズの高まりや、半導体装置の高品質化、製造コストの低減化などを図るニーズの高まりから、樹脂封止装置に各種機能を増設して既存の装置形態を変更する必要がある。この場合、従来の装置レイアウトでは、増設ユニットの設置スペースに乏しく大幅な設計変更を迫られるため、上記ニーズに対応して臨機応変に装置形態を実現するのは困難であった。
【0006】
また、被成形品をリードフレームからBGA用の回路基板に変更した場合、収納マガジン112は、成形品毎にスリットを形成したスリットマガジン(ボンダーマガジン)115に変更するため、収納スペースが手前側にはみ出して、装置の設置面積が増える上に、ディゲート部111より成形品110をスリットマガジン115に押し込むための収納用プッシャーも必要となり、装置構成の大幅な変更を迫られる。
【0007】
また、被成形品及び成形品を搬入、搬出するためのローダー109、アンローダー113に装備されたチャックハンド、ディゲート部111より収納マガジン112へ収納する収納用ハンドのように少なくとも3種類のハンドを使用しているため、成形品種を変更すると成形品のチャック位置が変わることから、各ハンドを品種に応じて交換しなければならず品種交換に時間がかかる。また搬送経路に応じてハンドが変わることによりそれぞれ3種類のハンド毎に移送エリアや駆動源が必要となり装置の大型化を招来してしまう。
また、従来パーツフィーダー108のホルダーへの樹脂タブレット107の供給口からローダー109への受け渡し迄の距離が長いことも、装置の大型化を招来していた。
【0008】
また、従来の装置レイアウトによれば、リードフレームやBGA用の回路基板などの被成形品の補充及び交換、樹脂タブレットの補充及び交換、不要樹脂を収容したスクラップボックスの交換、収納マガジンの交換などのメンテナンス作業を装置の異なる側面から行われることから、装置の周囲に予め十分なスペースを確保しなければならず、装置どうしを近接して配置できず、クリーンルームの床面積を有効に利用できない。
【0009】
また、モールド金型101の金型表面にロックブロック101aが突設されているため、アンローダー113に装備したクリーナの吸引口113aが干渉し、金型表面に付着した塵を十分吸引除去できない。また、金型表面には、通常ローダー109、アンローダー113のチャックハンドが被成形品を載置したり成形品を保持したりするための逃げ(凹部)が形成されており、該凹部に塵がたまると除去できない。そのまま放置すればチャックハンドのチャック不良を生ずるおそれがあった。
【0010】
本発明は、上記従来技術の課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、各種機能増設ユニットを増設し易い装置レイアウトを実現し、成形品種の変更に伴う装置形態の変更を容易にすること、被成形品及び成形品などの補充交換などのメンテナンス作業を同一側面側より行うことで作業性を高めると共に装置を小型化して設置面積を有効に利用すること、クリーニング性能を向上させることなどを実現した樹脂封止装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、被成形品を供給する供給部、成形品を収納する収納部、成形品と不要樹脂を分離するディゲート部を有する供給収納エリアが、樹脂封止部を有する成形エリアに対して一方側に互いに隣接して直線的に集中配置されており、該成形エリアの周囲の空きエリアに増設ユニットを増設可能な増設エリアが形成され、前記被成形品の供給部から樹脂封止部への搬送動作、前記成形品及び不要樹脂のディゲート部への搬送動作、前記成形品のディゲート部から収納部への搬送動作のうち少なくとも2以上の動作を同一の搬送体を用いて行なわれることを特徴とする。
【0012】
また、前記供給収納エリアにおいて、供給マガジンに収容された被成形品、収納マガジンに収納された成形品、不要樹脂を回収するスクラップボックス、成形エリアにおけるダストボックスは、金型チェイスの引き出し方向と同一側面から各々交換作業が行えるようにしたことを特徴とする
また、前記供給収納エリアの供給部、収納部、ディゲート部と成形エリアの樹脂封止部がこの順に隣接して直線的に配置されていることを特徴とする。
また、前記搬送体に装備されたチャックハンドは断面L字状のレール状をしており、ハンド間の距離が可変となるように設けられていることを特徴とする
また、前記搬送体は前記供給部と前記樹脂封止部との間をガイドレールに沿って往復動することを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る半導体装置の製造用の樹脂封止装置について添付図面と共に詳細に説明する。図1は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図、図2は図1の樹脂封止装置の正面図、図3は図1の樹脂封止装置の左側面図、図4(a)(b)はモールド金型及びチャックハンドの構成を示す説明図、図5(a)(b)はモールド金型の上型及び下型の平面図である。
【0014】
先ず、図1乃至図3を参照して樹脂封止装置の概略構成について説明する。
図1において、樹脂封止装置のレイアウト構成について説明する。リードフレーム或いはBGA用の回路基板などの被成形品1を供給する供給部A、成形品2を収納する収納部B、成形品2と不要樹脂を分離するディゲート部Cを有する供給収納エリアPが、樹脂封止部Dを有する成形エリアQに対して一方側(図1の左側)に互いに隣接して集中配置されている。即ち、成形エリアQの周囲に形成された空きエリアに増設エリアRを形成して各種機能を有する増設ユニットを増設可能になっている。供給収納エリアPの供給部A、収納部B、ディゲート部Cと成形エリアQの樹脂封止部Dは直線的に配置されている。後述する搬送体17の移動距離を最短にできること、及びこれらを隣接して配置することで設置面積を効率化して小型化が実現できるからである。
尚、直線的に配置される供給収納エリアPの供給部A、収納部B、ディゲート部Cの配置順はかならずしも図1に示す順番に限定されるものではなく、これらの順番を入れ換えて配置されていても良い。
【0015】
この増設エリアRに増設される増設ユニットの例としては、長尺状或いは短冊状のリリースフィルムなどのフィルム搬送ユニット、顆粒樹脂供給ユニット、クリーニングブラシやクリーニングシートやUV照射方式などにより金型面をクリーニングするクリーナーユニット、放熱板等の被成形品供給ユニット、減圧成形やフィルム吸引用のバキュームユニット、上型のエジェクタピンプレートを押し下げるか又は引き上げるか或いは押し下げと引き上げの両方の機能を有するエジェクタピン駆動ユニットなどのうちいずれか或いはこれらを組み合わせて複数装備されていても良い。
【0016】
次に樹脂封止装置の具体的な構成について説明する。被成形品1を供給する供給部Aの構成について説明する。3は被成形品1を収容する供給マガジンであり、本実施例では図2に示すように上下2段に装備されている。供給マガジン3は、被形成品1が1枚ずつ供給される度に図示しないエレベーション機構により間欠的に上昇するようになっている。図3において、4は引き出し用チャックハンドであり、供給マガジン3より被成形品1を供給テーブル5へ引き出すようになっている。この引き出し用チャックハンド4は、供給テーブル5上に装備されており、引き出し用モータ6により回転駆動されるネジ軸(ボールネジ)に連繋するナットを有する移動体に一体に装備され、図3の紙面に垂直方向に往復移動するようになっている。尚、供給マガジン3への被成形品1の補充は、金型チェイスの引き出し方向と同方向である図1の矢印F方向から行えるようになっている。
【0017】
図1において、供給部A、収納部B及びディゲート部Cの装置下部には、樹脂タブレット7を収容するパーツフィーダー8が装備されている。このパーツフィーダー8は、図2に示すように、樹脂タブレット7を1個ずつ整列して繰り出しす。そして、繰り出された樹脂タブレット7は、タブレットエレベーション機構9が長手方向を上下方向に向けて待機しているホルダー10の保持穴位置へ移動して充填用プッシャー11により(図3参照)保持穴へ1個ずつ充填される。ホルダー10は、1回の樹脂封止動作に必要なだけ樹脂タブレット7を保持して搬送する。図3に示すように、ホルダー10は、ホルダー支持部材12に支点13を中心に回動可能に支持されており、ホルダー支持部材12は図示しない駆動源より回転駆動されるベルト14に連繋してガイド軸15がガイド穴16に沿って上昇する際にホルダー支持部材12が90°回転してガイド穴16の上端側でホルダー10が供給テーブル5に平行に水平方向に支持されるようになっている。尚、パーツフィーダー8への樹脂タブレット7の補充も、図2に示すタブレット補充用扉8aを開閉して、図1の矢印F方向から行えるようになっている。
このように、樹脂タブレット7をパーツフィーダー8の供給口(出口)から至近距離にて待機しているホルダー10へ受け渡して、該ホルダー10を供給テーブル5に対して下方から上下動させているため、後述する搬送体への樹脂タブレット7の受け渡し距離が短くなり、装置のコンパクト化や樹脂タブレット7の供給動作の高速化を図る上で有利である。
【0018】
図1において、17は搬送体であり、被成形品1の樹脂封止部Dへの搬送動作、成形品2及び不要樹脂のディゲート部Cへの搬送動作、成形品2のディゲート部Cから収納部Bへの搬送動作のうち少なくとも2以上の搬送動作を同一の搬送体17にて行うことが部品共用化の観点から望ましいが、本実施例ではこれらの3つの搬送動作を同一の搬送体17にて行うようになっている。
この搬送体17には、被成形品1や成形品2をチャックするチャックハンド18(図2参照)や樹脂タブレット7を保持するタブレット保持部19、更にはゲートブレイクする際に成形品の不要樹脂であるカルを上側から押さえる上カル押さえ20、モールド金型の表面をクリーニングするエア吸引口21などが一体に装備されている。このチャックハンド18は、幅サイズが異なる被成形品1及び成形品2を保持するため左右のハンドの間隔を拡縮できるようになっている。また、タブレット保持部19は、図2に示すように、供給テーブル5上に水平方向に支持されたホルダー10より樹脂タブレット7を受け渡されて保持する。
【0019】
また、図3において、搬送体17は、搬送用モータ22により回転駆動されるネジ軸(ボールネジ)23に連繋するナットを有する可動板24に一体に取り付けられている。搬送用モータ22を回転駆動することにより、可動板24がガイドレール25に沿って供給部Aと樹脂封止部Dとの間を往復移動するようになっている(図1参照)。尚、図1において、26は樹脂封止装置の動作を制御する制御部である。
【0020】
次に、樹脂封止部Dの構成について説明する。図1において、本実施例ではモールド金型27が多品種少量生産用として1フレーム取り用の金型が用いられている。モールド金型27のキャビティには被成形品1が1フレームと、ポット27aに樹脂タブレット7が装填される。図2において、上型28は固定プラテン29に支持されており、下型30は可動プラテン31に支持されている。図示しない電動モータにより回転駆動されるネジ軸に連繋するナットが上下動してトグル機構を介して支持された可動プラテン31がガイドポスト32に沿って上下に移動するようになっている。また、下型30側にはポット27a内にプランジャ33や該プランジャ33を支持する油圧閉回路やスプリングを有する均等圧ユニット34などを備えたプランジャ支持機構35が設けられている。このプランジャ支持機構35は、図示しない電動モータにより回転駆動されるネジ軸36に連繋するナット37により上下動するようになっている。
【0021】
モールド金型27のパーティング面は、リリースフィルム38に覆われていても良い。リリースフィルム38はモールド金型27の加熱温度に耐えられる所定の耐熱性を有するもので金型面から容易に剥離するものや、キャビティ等の樹脂封止部の内面形状にならって容易に変形する柔軟性、伸展性を有するもの、更には樹脂封止後に硬化した樹脂から容易に剥離するもの使用する。たとえば、PTFE、ETFE、PET、FEPフィルム等が好適に用いられる。また、図1に示すように、モールド金型27の前後の空いたスペースに長尺状のリリースフィルム38を供給リールから巻取リールに繰り出すリリースフィルム供給機構39を備えていても良い。
【0022】
また、図2に示すように、固定プラテン29の上側の空いたスペースに、エジェクタピン駆動ユニット40を備えていても良い。このエジェクタピン駆動ユニット40は、図4(a)に示す上型エジェクタピンプレート57を押し下げるか又は引き上げるか或いは押し下げと引き上げの両方の機能を有するものである。具体的には、エジェクタピン駆動ユニット40は、▲1▼型開きと同時に単に上型エジェクタピンプレート57を押下げロッドにより突いて押し下げて成形品2の離型に使用しても良く、▲2▼型開きと同時にスプリングの力で上型エジェクタピンプレート57と上型チェイスとが離間するように付勢して、成形品2と上型エジェクタピン56の表面とを引き剥がした後、▲1▼と同様にして成形品2の離型を行っても良く、或いは▲3▼上型エジェクタピンプレート57を引き上げて、成形品2と上型エジェクタピン56の表面とを引き剥がすようにしても良い。
また、図2において、成形エリアQの手前側、即ち樹脂封止部Dの手前側にはダストBOX41が引き出し可能に設けられている。このダストBOX41の上部にはフィルタ部42が設けられており、搬送体17に装備されたエア吸引口21より吸引された樹脂かすや微粉など或いはパーツフィーダ8より供給される樹脂タブレット7より吸引した樹脂粉などを吸引してフィルタにより除去するものである。このフィルタ部42は、ダストBOX41と一体になってケース固定部43より取り外せるようになっている。この場合には、ダストBOX41と共にフィルタも同時にクリーンルームの外へ持ち出して清掃したり、交換できるので、フィルタに付着した微粉がクリーンルーム内に飛散することがない。このフィルタ部42やダストBOX41の着脱作業は、図1の矢印F方向から行えるようになっている。
【0023】
次に、図1において、ディゲート部Cの構成について説明する。ディゲート部Cには、搬送体17により樹脂封止後の成形品2が不要樹脂と一体になったまま搬送される。図2において、ディケート位置には、下カル押さえ44が上下動可能に装備されており、搬送体17に装備した上カル押さえ20と共に成形品カルをクランプ可能になっている。また、ディゲート位置には、上カル押さえ20及び下カル押さえ44により成形品カルがクランプされた成形品2を突き上げて該成形品カルを支点に回動させる突き出しロッド45が装備されている。この突き出しロッド45は、シリンダ駆動により上下方向に進退可能になっており、成形品2と成形品ランナ2a、成形品カル2bなどの不要樹脂とをゲートブレイクして分離する。分離された不要樹脂は、下カル押さえ44の下方に配備されたスクラップBOX46に落下して回収されるようになっている。このスクラップBOX46の着脱作業も、図1の矢印F方向から行えるようになっている。
【0024】
次に、図1において、収納部Bの構成について説明する。収納部Bには、搬送体17によりディゲート後の成形品2が搬送される。搬送された成形品2は収納マガジン47に収納される。収納マガジン47の底部には成形品エレベーション機構48が装備されており、成形品2が収納される度に底部が下降して行くようになっている。また、成形品2がリードフレームの場合には、成形品2の上に成形品2が積み重なるように収納される。また、成形品2がBGA用の回路基板の場合には、図1に示すようにBGA用収納マガジン49に交換して、回路基板毎にスリット間に収納されるようになっている。この場合、BGA用の回路基板は、収納位置において収納用レール50に支持されており、該収納位置に対応して配備された収納用プッシャー51により収納用レール50に沿ってBGA用収納マガジン49に収納されるようになっている。
収納マガジン47やBGA用収納マガジン49の着脱作業も、図1の矢印F方向から行えるようになっている。
【0025】
尚、図1に示すように、装置手前側に十分なスペースがあるため、矢印F方向から供給マガジン3や収納マガジン47をBGA用の回路基板用のマガジンに交換しても、これらが装置の設置面積よりはみ出したりすることはない。
また、図2において、装置底部にはキャスター60が回動自在に装備されており、樹脂封止装置を押すことにより床面上を移動できるようになっている。このキャスター60によりクリーンルーム内を樹脂封止装置を自由に移動することができるうえに、複数種類の増設ユニットを用意しておいて、所望の増設ユニットに連結して使用することが可能となる。樹脂封止装置をクリーンルーム内の所定位置に固定する場合には、ネジ軸にて上下に移動可能な支持ピラー61により高さ調節を行ってクリーンルームの床面に水平となるように設置される。
【0026】
ここで、モールド金型27の構成と搬送体17に装備したチャックハンド18のチャック動作との関係について図4及び図5を参照して説明する。
図4(a)において下型30側には、成形品2、成形品ランナ2a及び成形品カル2bを離型させるための下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53が下型30より突き出し可能に装備されている。これら下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53は、下型エジェクタピンプレート54に立設されている。エジェクタピンプレート54の下方にエジェクタロッド55が設けられており、可動プラテン31が下動した際に下型エジェクタピンプレート54の下面にエジェクタロッド55が突き当たって、下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53を突き出すようになっている。下型エジェクタピン52は、成形品2や成形品ランナ2a及び成形品カル2bを突き上げて離型させるが、フレームエジェクタピン53は、成形品2のガイド穴を挿通して突き上げるガイドピンの役割を果している。
また、上型28側にも成形品2や成形品カル2bを突き下ろして離型させる上型エジェクタピン56が突き出し可能に設けられている。この上型エジェクタピン56は、上型エジェクタピンプレート57に立設されており、図示しない押下げロッドで押接して上型エジェクタピンプレート57が押動されて上型エジェクタピン56が上型28より突き出し可能になっている。
【0027】
また、図5(a)において、上型28に形成された上型カル28aは、通常ポット27bの形状に対応して円形に形成されるが、該上型カル28aには突起部28bが形成されている。この結果、図4(a)において成形品カル2bに成形品突起部2cが形成されるようになっている。28cは上型キャビティである。また、図5(b)において、下型30には、ポット27aや金型ランナ30a、下型キャビティ30bなどが形成されている。
【0028】
次に、図4(a)を参照して搬送体17に装備したチャックハンド18の成形品2のチャック動作について説明する。樹脂封止動作が終了してモールド金型27が型開きを行うと、上型エジェクタピン56が突き出して成形品2を離型させ、可動プラテン31が下降するのに伴い下型30が下動する。そして、下型エジェクタピンプレート54がエジェクタロッド55に突き当たると、下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53が下型30より突き出して成形品2を下型面より若干浮かせた位置で支持している。このとき、成形品2は、フレームエジェクタピン53が成形品2のガイド穴を挿通して支持しているため、支持位置がずれることはない。
尚、搬送体17は、成形品2のチャック動作のみならず、被成形品1を下型30に受け渡す際にも、チャックハンド18と下型面との干渉を防止するため、下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53が下型30より突き出させた状態で受け渡される。その後、下型エジェクタピンプレート54を下動させて下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53を下型30内に引き込んで、被成形品1のフレームに形成されたガイド穴に下型面に形成されたガイドピン30cが挿通して位置決めされてセットされる。
【0029】
搬送体17は型開きしたモールド金型27に進入して、下型30側に支持されている成形品2をチャックハンド18により保持する。このとき、被成形品1と成形品2に成形品ランナ2a、成形品カル2bなどの不要樹脂が一体となったものをチャックするには間隔が異なるため、左右のチャックハンド18の間隔を広がるように調整されてフレーム端2dと成形品カル2bの端部をL字状に形成された爪部18aで挟持する。このように、搬送体17のチャックハンド18に、成形品2が下型30より突き上げられて離型した位置で受渡しされるので、従来下型30の表面に通常形成されるチャックハンド18の爪部18aの進入用の逃げ(凹部)は不要となる。
【0030】
チャックハンド18は成形品ランナ2aの位置に応じて成形品2の長手方向に複数箇所に設けられていても良いが、成形品種の交換によりモールド金型27を交換した場合には、搬送体17側のチャックハンド18の取付位置の変更を迫られる。これに対して、図4(b)に示すようにチャックハンド18の爪部18aを断面L字状で成形品2の長手方向に連続するレール状になっているのが望ましい。チャックハンド18間の距離が可変となっているのは同様である。
これによって、成形品種が変わった場合、成形品ランナ2a間の距離が変化しても、フレーム端2dと成形突起部2cとの間隔は常に一定であるため、チャックハンド18を交換することなく成形品2を確実に掴むことができる。また、成形品カル2bに成形品突起部2cが形成されることで、レール状に形成されたチャックハンド18の爪部18aにより確実な支持が行えるという利点がある。
尚、成形品ランナ2aの位置を避ければ、ランナ位置が殆ど変わらない製品であれば、搬送体17のチャックハンド18は、従来ローダー及びアンローダに装備されていた細長い棒状のチャックハンドを共用することができる。また、被成形品1、成形品2が下型30表面より突き上げられた状態であれば、該下型30の逃げ(凹部)位置とガイドピン30cの位置が重なることもなくなり、成形品2の成形品ランナ2aの位置を考慮してチャックハンド18の取付位置を決めれば良いので、ローダーとアンローダーの共用には有利である。
【0031】
また、図5(a)(b)において、上型28と下型30には型閉じする際に互いに噛み合ってモールド金型27をX−Y方向に位置決めするロックブロック58、59が各々対向する辺縁部に設けられている。これらのロックブロック58、59が設けられている部位は、搬送体17が成形品2をチャックして退避する際に、エア吸引口21に設けられたゴムスカートと干渉しない位置に設けられているのが好ましい。これによって、搬送体17によるクリーニング動作を効果的に行うことができる。また、下型30にはチャックハンド18の爪部18aの進入用の逃げ(凹部)が形成されていないので、凹部に樹脂粉などの塵が溜まるおそれもなく、クリーニングブラシをオプションにしてもクリーニング効果が十分に得られるようになる。
【0032】
次に、上述のように構成された樹脂封止装置の1サイクル分の樹脂封止動作について搬送体17の動作を中心に図1を参照して説明する。
先ず、搬送体17は、供給部Aにおいて供給テーブル5上に供給マガジン3より供給された被成形品1をチャックハンド18により保持し、パーツフィーダー8によりホルダー10に収容されて供給された樹脂タブレット7をタブレット保持部19により保持する。そして、搬送体17は供給部Aより樹脂封止部Dへ移動して、型開きしたモールド金型27の下型30上に被成形品1及び樹脂タブレット7の順に移載する。このとき、被成形品1は、下型30より突き出された下型エジェクタピン52に支持されフレームエジェクタピン53により位置決めガイドされている。その後下型30が上動することにより下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53が下動して下型キャビティ30b上にセットされる。また,樹脂タブレット7はポット27a内に装填される。
【0033】
次に、搬送体17はディゲート部Cに移動して、1サイクル前の工程で樹脂封止された成形品2と不要樹脂が一体になったもののうち、成形品カル2bを上カル押さえ20と下カル押さえ44により挟圧して支持する。そして、突き出しロッド45により成形品2を成形品カル2bを支点として回動することによりゲートブレイクを行う。ゲートブレイク後、成形品ランナ2a、成形品カル2bなどの不要樹脂は下方のスクラップBOX46に落下して回収される。次いで、成形品2のみがチャックハンド18に保持されたままディゲート部Cより収納部Bに搬送され、下方に装備された収納マガジン47に収納される。
【0034】
次に、搬送体17は収納部Bより再びディゲート部Cに戻って樹脂封止動作が終了するまで待機する。樹脂封止動作が終了して、モールド金型27が型開きすると、搬送体17は樹脂封止部Dに移動して、前述したように、下型30より突き出された下型エジェクタピン52及びフレームエジェクタピン53により若干浮き上がった位置で支持されている成形品2及び不要樹脂をチャックハンド18の間隔を広げて保持し、再びディゲート部Cに移動して載置する。
【0035】
そして、成形品2及び不要樹脂をディゲート部Cに載置した後、供給部Aに戻って再度供給テーブル5上に供給された被成形品1及び樹脂タブレット7を保持して同様の動作を繰り返す。
【0036】
尚、本実施例では、搬送体17は、被成形品1を搬送するローダー、成形品2を搬送するアンローダーの両方の役割を兼用しているが、例えば搬送体17としてローダー及びアンローダーを上下2層に配置して各々個別に移動するように構成すれば、更にマシンサイクルの短縮化が可能となり高速化が図れる。
また、被成形品1としてBGA用の回路基板を用いた場合、供給マガジン3より供給テーブル5上へ引き出す引き出し用チャックハンド4は、搬送体17と一体に装備されていても良い。この場合には、被成形品1がリードフレームよりBGA用の回路基板に変更になった場合に、供給テーブル5上の引き出し位置の変更を搬送体17の移動により変更できること、及び収納マガジン47をBGA用収納マガジン49に変更した場合、収納用プッシャー51が別個に設ける必要があったが、引き出し用チャックハンド4の引き込み動作によりBGA用の回路基板を収納レール50に沿ってBGA用収納マガジン49への収納用に兼用できることなどの利点がある。
【0037】
上記構成によれば、被成形品1を供給する供給部A、成形品2を収納する収納部B、成形品2と不要樹脂を分離するディゲート部Cを有する供給収納エリアPが、樹脂封止部Dを有する成形エリアQに対して一方側に互いに隣接して集中配置されているので、装置形態の変更や成形品種を交換に伴う装置形態の改変が成形エリアの周囲に形成された増設エリアRに各種機能を有する増設ユニットを増設できるので装置の多機能化を図り、特に多品種少量生産へのニーズに対応して装置形態の改変が容易に行える。
【0038】
また、供給収納エリアPの供給部A、収納部B、ディゲート部Cと成形エリアQの樹脂封止部Dが直線的に隣接して配置されているので、搬送体17の移動経路が最短距離で足りるので、マシンサイクルの短縮化を図ることができる。また、被成形品1の樹脂封止部Dへの供給、成形品2のディゲート部Cへの取り出し、成形品2のディゲート部Cから収納部Bへの搬送を同一の搬送体17にて行えるので、成形品種の交換があっても、可能な限り部品の共用化を図ることができ、特に、搬送体17に装備されたチャックハンド18は断面L字状のレール状をしており、ハンド間の距離が可変となるように構成されている場合には、被成形品1と成形品2をハンド間の距離を変えて保持することが可能となるうえに、成形品の品種交換があっても、チャックハンド18を逐一交換する必要がなくなる。また、搬送体17に装備されたチャックハンド18は、成形品2が下型30より下型エジェクタピン52及びフレームエジャクタピン53に突き上げられて離型した位置で受け渡しが行えるので、下型30の表面に逃げ(凹部)を形成する必要がなくなり、製造コストが低減できる上に、該凹部に樹脂粉などの塵が溜まるを防止でき、クリーニング性能の向上に寄与できる。特に、搬送体17に装備されたエア吸引口21と、上型28及び下型30に設けられたX−Y方向を位置決めするロックブロック58、59が干渉しないように配置されていることにより、クリーニング効果が高めることができると共に、クリーニングブラシをオプションにして機能の簡素化を図ることも可能である。また、供給収納エリアPにおいて、供給マガジン3に収容された被成形品1、収納マガジン47に収納された成形品2、スクラップBOX46、成形エリアQにおけるダストBOX46は、金型チェイスの引き出し方向と同一側面から各々交換作業が行えるので、極めてメンテナンス作業が行い易く、しかも装置周辺に作業空間の空きスペースが不要となるため、クリーンルーム内の設置面積の有効利用を図ることができる。
【0039】
尚、本実施例は、モールド金型27として1フレーム取りの金型を用いて説明したが、2フレーム取り、或いはそれ以上の金型についても適用可能である。また、樹脂封止部Dには、モールド金型27やプレスユニットの数が複数装備されていても良い。
また、封止樹脂として固形の樹脂タブレット7を用いた装置構成になっているが、前述したように増設ユニットを設ければ、顆粒状の樹脂、粉体状の樹脂、液体状の樹脂、シート状の樹脂、ゼリー状の樹脂なども使用できる。
また、リリースフィルム38を用いる構成にすれば、金型面のクリーニング性を高めて成形品質の向上が図れる上に、BGA用の回路基板をモールド金型27にクランプする際にはんだボールなどの端子形成面を損傷することなく樹脂封止できるので有効である。
【0040】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂封止装置によれば、被成形品を供給する供給部、成形品を収納する収納部、成形品と不要樹脂を分離するディゲート部を有する供給収納エリアが、樹脂封止部を有する成形エリアに対して一方側に互いに隣接して集中配置されているので、装置形態の変更や成形品種を交換に伴う装置形態の改変が成形エリアの周囲に形成された増設エリアRに各種機能を有する増設ユニットを増設できるので装置の多機能化を図り、特に多品種少量生産へのニーズに対応して装置形態の改変が容易に行える。
【0041】
また、供給収納エリアの供給部、収納部、ディゲート部と成形エリアの樹脂封止部Dが直線的に隣接して配置されているので、搬送体の移動経路が最短距離で足りるので、マシンサイクルの短縮化を図ることができ、しかも装置の小型化を図ることができる。また、被成形品の供給部から樹脂封止部への搬送、成形品の樹脂封止部から収納部への搬送を同一の搬送体にて行えるので、成形品種の交換があっても、可能な限り部品の共用化を図ることができ、特に、搬送体に装備されたチャックハンドは断面L字状のレール状をしており、ハンド間の距離が可変となるように構成されている場合には、被成形品と成形品をハンド間の距離を変えて保持することが可能となる上に、成形品の品種交換があっても、チャックハンドを逐一交換する必要がなくなる。また、搬送体に装備されたチャックハンドは、成形品が下型より突き上げられて離型した位置で受け渡しが行えるので、下型の表面に逃げ(凹部)を形成する必要がなくなり、製造コストが低減できる上に、該凹部に樹脂粉などの塵が溜まるを防止でき、クリーニング性能の向上に寄与できる。特に、搬送体に装備されたエア吸引口と、上型及び下型に設けられたX−Y方向を位置決めするロックブロックが干渉しないように配置されていることにより、クリーニング効果が高めることができると共に、クリーニングブラシをオプションにして機能の簡素化を図ることも可能である。また、供給収納エリアにおいて、供給マガジンに収容された被成形品、収納マガジンに収納された成形品、スクラップBOX、成形エリアにおけるダストBOXは、金型チェイスの引き出し方向と同一側面から各々交換作業が行えるので、極めてメンテナンス作業が行い易く、しかも装置周辺に作業空間の空きスペースが不要となるため、クリーンルーム内の設置面積の有効利用を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図2】図1の樹脂封止装置の正面図である。
【図3】図1の樹脂封止装置の左側面図である。
【図4】モールド金型及びチャックハンドの構成を示す説明図である。
【図5】モールド金型の上型及び下型の平面図である。
【図6】従来の樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【符号の説明】
A 供給部
B 収納部
C ディゲート部
D 樹脂封止部
P 供給収納エリア
Q 成形エリア
R 増設エリア
1 被成形品
2 成形品
2a 成形品ランナ
2b 成形品カル
2c 成形品突起部
3 供給マガジン
4 引き出し用チャックハンド
5 供給テーブル
6 引き出し用モータ
7 樹脂タブレット
8 パーツフィーダー
9 タブレットエレベーション機構
10 ホルダー
11 充填用プッシャー
12 ホルダー支持部材
13 支点
14 ベルト
15 ガイド軸
16 ガイド穴
17 搬送体
18 チャックハンド
18a 爪部
19 タブレット保持部
20 上カル押さえ
21 エア吸引口
22 搬送用モータ
23,36 ネジ軸
24 可動板
25 ガイドレール
26 制御部
27 モールド金型
27a ポット
28 上型
28a 上型カル
28b 突起部
28c 上型キャビティ
29 固定プラテン
30 下型
30a 下型ランナ
30b 下型キャビティ
30c ガイドピン
31 可動プラテン
32 ガイドポスト
33 プランジャ
34 均等圧ユニット
35 プランジャ上下動機構
37 ナット
38 リリースフィルム
39 リリースフィルム供給機構
40 エジェクタピン駆動ユニット
41 ダストBOX
42 フィルタ部
43 ケース固定部
44 下カル押さえ
45 突き出しロッド
46 スクラップBOX
47 収納マガジン
48 成形品エレベーション機構
49 BGA用収納マガジン
50 収納用レール
51 収納用プッシャー
52 下型エジェクタピン
53 フレームエジェクタピン
54 下型エジェクタピンプレート
55 エジェクタロッド
56 上型エジェクタピン
57 上型エジェクタピンプレート
58,59 ロックブロック
60 キャスター
61 支持ピラー
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a resin sealing device for manufacturing a semiconductor device.
[0002]
[Prior art]
A resin sealing device conventionally used for manufacturing a semiconductor device will be described with reference to FIG. In FIG. 6, reference numeral 101 denotes a mold die provided at the center of the apparatus main body. In the mold 101, a lead frame, a BGA circuit board, a resin tablet, or the like, which is a molded product, is carried. On the upper and lower mold surfaces of the mold 101, lock blocks 102 for positioning the upper mold and the lower mold in the XY directions are provided on four sides.
A molding product supply unit 103 is provided on one side (left side of the drawing) of the mold 101 and a molded product storage unit 104 is provided on the other side (right side of the drawing).
[0003]
The molded product supply unit 103 is provided with a supply magazine for storing the lead frame 106 and a parts feeder 108 for storing the resin tablet 107 with the supply table 105 interposed therebetween.
The lead frames 106 accommodated in the supply magazine are sent out one by one by a pusher and further supplied onto the supply table 105 by a transport carrier. Further, the resin tablet 107 is held on the holder from the parts feeder 108 by the amount of resin sealing once and supplied onto the supply table 105. Then, the lead frame 106 and the resin tablet 107 are conveyed to the mold 101 while being held by a loader 109 that reciprocates between the supply table 105 and the mold 101.
[0004]
The molded product storage unit 104 is equipped with a degate unit 111 for gate-breaking the molded product 110 and a storage magazine 112 for storing only the molded product 110 from which unnecessary resin is removed. The molded product after resin sealing is held by the unloader 113 that reciprocates between the mold 101 and the degate unit 111 and placed on the degate unit 111. Then, after the gate break at the degate unit 111 and the unnecessary resin is collected in the scrap box, only the molded product 110 is held by the storage hand and stored in the storage magazine 112.
The unloader 113 is equipped with an air suction port 113a and a cleaning brush 113b for cleaning the mold surface when the molded product is held and retracted from the mold 101, and these are arranged along the mold surface. The rest of the sealing resin and dust are removed by suction when sliding.
Reference numeral 114 denotes a control unit that controls the operation of the resin sealing device.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional resin sealing device shown in FIG. 6 has the following problems. That is, if you want to use granular resin from a resin tablet, if you want to resin seal the heat sink and the like together with the lead frame 106 that is to be molded, or if you want to resin seal using a release film, Due to the growing needs for low-volume production of products, as well as the need to improve the quality of semiconductor devices and reduce manufacturing costs, it is necessary to add various functions to the resin sealing device and change the existing device configuration. is there. In this case, in the conventional apparatus layout, the installation space for the extension unit is scarce and a large design change is required, so that it has been difficult to realize the apparatus form in response to the above needs.
[0006]
Further, when the product to be molded is changed from a lead frame to a circuit board for BGA, the storage magazine 112 is changed to a slit magazine (bonder magazine) 115 in which a slit is formed for each molded product, so that the storage space is on the front side. In addition to the fact that the installation area of the apparatus increases, a storage pusher for pushing the molded product 110 into the slit magazine 115 from the degate part 111 is also required, and the apparatus configuration must be greatly changed.
[0007]
Further, at least three kinds of hands such as a loader 109 for loading and unloading a molded product and a molded product, a chuck hand mounted on the unloader 113, and a storage hand stored in the storage magazine 112 from the degate unit 111 are used. Since it is used, the chuck position of the molded product changes when the molded product is changed. Therefore, each hand must be replaced according to the product, and it takes time to change the product. In addition, since the hand changes according to the transport route, a transfer area and a drive source are required for each of the three types of hands, leading to an increase in the size of the apparatus.
Also, the long distance from the supply port of the resin tablet 107 to the holder of the conventional parts feeder 108 to the delivery to the loader 109 has led to an increase in the size of the apparatus.
[0008]
In addition, according to the conventional apparatus layout, replenishment and replacement of molded products such as lead frames and circuit boards for BGA, replenishment and replacement of resin tablets, replacement of scrap boxes containing unnecessary resin, replacement of storage magazines, etc. Since the maintenance work is performed from different sides of the apparatus, a sufficient space must be secured around the apparatus in advance, the apparatuses cannot be arranged close to each other, and the floor area of the clean room cannot be used effectively.
[0009]
Further, since the lock block 101a protrudes from the mold surface of the mold 101, the suction port 113a of the cleaner provided in the unloader 113 interferes and the dust attached to the mold surface cannot be sufficiently removed by suction. Further, a relief (recess) is formed on the mold surface for the chuck hands of the loader 109 and the unloader 113 to place the molded product or hold the molded product. If it accumulates, it cannot be removed. If it is left as it is, there is a risk of causing a chuck failure of the chuck hand.
[0010]
The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art, and the object of the present invention is to realize a device layout in which various function expansion units can be easily added, and to change the device configuration in accordance with a change in molding type. Easier operation, maintenance work such as replenishment and replacement of molded products and molded products, etc. from the same side, improving workability and downsizing the device to effectively use the installation area, cleaning performance An object of the present invention is to provide a resin sealing device that can be improved.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
  The present invention has the following configuration in order to achieve the above object.
  That is, a supply unit that supplies a molded product, a storage unit that stores the molded product, and a supply storage area that includes a delegate unit that separates the molded product and unnecessary resin are on one side with respect to the molding area that has the resin sealing unit. Next to each otherLinearlyCentrally placed around the molding areaAn expansion area in which an expansion unit can be added is formed in the empty area of the product, and the transfer operation of the molded product from the supply unit to the resin sealing unit, the transfer operation of the molded product and unnecessary resin to the delegation unit, the molded product At least two of the transfer operations from the delegation section to the storage section are performed using the same transport bodyIt is characterized by that.
[0012]
  Also, the aboveIn the supply storage area, the molded product stored in the supply magazine, the molded product stored in the storage magazine, the scrap box for collecting unnecessary resin, and the dust box in the molding area are replaced from the same side as the mold chase pull-out direction. The feature is that work can be done.
  Further, the supply section, the storage section, the degate section and the resin sealing section of the molding area in the supply / storage area are linearly arranged adjacent to each other in this order.
  Further, the chuck hand mounted on the transport body has a rail shape with an L-shaped cross section so that the distance between the hands can be varied.It is characterized by being provided.
  Moreover, the said conveyance body reciprocates between a said supply part and the said resin sealing part along a guide rail, It is characterized by the above-mentioned.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a resin sealing device for manufacturing a semiconductor device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a plan view showing a layout configuration of the resin sealing device, FIG. 2 is a front view of the resin sealing device of FIG. 1, FIG. 3 is a left side view of the resin sealing device of FIG. 1, and FIG. FIGS. 5A and 5B are plan views of the upper mold and the lower mold of the mold. FIG. 5A and FIG.
[0014]
First, a schematic configuration of the resin sealing device will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
In FIG. 1, the layout configuration of the resin sealing device will be described. A supply storage area P having a supply portion A for supplying a molded product 1 such as a lead frame or a circuit board for BGA, a storage portion B for storing a molded product 2, and a delegate portion C for separating the molded product 2 and unnecessary resin is provided. Further, they are concentratedly arranged adjacent to each other on one side (left side in FIG. 1) with respect to the molding area Q having the resin sealing portion D. That is, an extension unit R having various functions can be added by forming an extension area R in an empty area formed around the molding area Q. Supply section A, storage section B, degate section C in supply storage area P and resin sealing section D in molding area Q are arranged linearly. This is because the moving distance of the transfer body 17 to be described later can be made the shortest, and by arranging these adjacently, the installation area can be made efficient and downsizing can be realized.
In addition, the arrangement order of the supply unit A, the storage unit B, and the degate unit C in the supply storage area P arranged in a straight line is not necessarily limited to the order shown in FIG. May be.
[0015]
Examples of expansion units that can be added to the expansion area R include film transport units such as long or strip-like release films, granule resin supply units, cleaning brushes, cleaning sheets, and UV irradiation methods. Cleaner unit for cleaning, supply unit for molded products such as heat sink, vacuum unit for vacuum forming and film suction, ejector pin drive that pushes down or pulls up the upper ejector pin plate, or both push-down and pull-up functions A plurality of units or the like may be provided in combination.
[0016]
Next, a specific configuration of the resin sealing device will be described. The configuration of the supply unit A that supplies the molded product 1 will be described. Reference numeral 3 denotes a supply magazine that accommodates the product 1 to be molded. In this embodiment, the supply magazine is provided in two upper and lower stages as shown in FIG. The supply magazine 3 is raised intermittently by an elevation mechanism (not shown) every time the articles 1 to be formed are supplied one by one. In FIG. 3, reference numeral 4 denotes a drawer chuck hand, which pulls out the molded product 1 from the supply magazine 3 to the supply table 5. This drawer chuck hand 4 is mounted on a supply table 5 and is integrally mounted on a movable body having a nut connected to a screw shaft (ball screw) that is rotationally driven by a drawer motor 6. It is designed to reciprocate vertically. The supply magazine 3 can be replenished with the product 1 from the direction of arrow F in FIG. 1, which is the same direction as the mold chase withdrawing direction.
[0017]
In FIG. 1, a parts feeder 8 that accommodates the resin tablet 7 is provided at the lower part of the supply unit A, the storage unit B, and the delegate unit C. As shown in FIG. 2, the parts feeder 8 aligns and feeds the resin tablets 7 one by one. Then, the fed resin tablet 7 is moved to the holding hole position of the holder 10 where the tablet elevation mechanism 9 stands by with its longitudinal direction facing up and down, and is held by the filling pusher 11 (see FIG. 3). One by one. The holder 10 holds and transports the resin tablet 7 as much as necessary for one resin sealing operation. As shown in FIG. 3, the holder 10 is supported by a holder support member 12 so as to be rotatable about a fulcrum 13, and the holder support member 12 is linked to a belt 14 that is rotationally driven by a drive source (not shown). When the guide shaft 15 rises along the guide hole 16, the holder support member 12 rotates 90 ° so that the holder 10 is supported in the horizontal direction parallel to the supply table 5 on the upper end side of the guide hole 16. Yes. The replenishment of the resin tablet 7 to the parts feeder 8 can be performed from the direction of arrow F in FIG. 1 by opening and closing the tablet replenishing door 8a shown in FIG.
Thus, the resin tablet 7 is transferred from the supply port (exit) of the parts feeder 8 to the holder 10 waiting at a close distance, and the holder 10 is moved up and down with respect to the supply table 5 from below. The transfer distance of the resin tablet 7 to the carrier to be described later is shortened, which is advantageous for downsizing the apparatus and speeding up the supply operation of the resin tablet 7.
[0018]
In FIG. 1, reference numeral 17 denotes a transport body, which transports the molded product 1 to the resin sealing portion D, transports the molded product 2 and unnecessary resin to the degate portion C, and stores the molded product 2 from the delegate portion C. Although it is desirable that at least two or more of the transport operations to the part B are performed by the same transport body 17 from the viewpoint of sharing parts, in the present embodiment, these three transport operations are performed by the same transport body 17. It is supposed to be done at.
The transport body 17 includes a chuck hand 18 (see FIG. 2) for chucking the molded product 1 and the molded product 2, a tablet holding unit 19 for holding the resin tablet 7, and an unnecessary resin for the molded product when performing a gate break. And an air suction port 21 for cleaning the surface of the mold, and the like. Since the chuck hand 18 holds the molded product 1 and the molded product 2 having different width sizes, the distance between the left and right hands can be increased or decreased. As shown in FIG. 2, the tablet holding unit 19 receives and holds the resin tablet 7 from the holder 10 supported on the supply table 5 in the horizontal direction.
[0019]
In FIG. 3, the transport body 17 is integrally attached to a movable plate 24 having a nut connected to a screw shaft (ball screw) 23 that is rotationally driven by a transport motor 22. By rotating the conveying motor 22, the movable plate 24 reciprocates between the supply portion A and the resin sealing portion D along the guide rail 25 (see FIG. 1). In FIG. 1, reference numeral 26 denotes a control unit that controls the operation of the resin sealing device.
[0020]
Next, the structure of the resin sealing part D is demonstrated. In FIG. 1, in this embodiment, a mold for taking a single frame is used as a mold 27 for producing a variety of products in small quantities. In the cavity of the mold 27, one frame of the molded product 1 and the resin tablet 7 are loaded in the pot 27a. In FIG. 2, the upper die 28 is supported by a fixed platen 29, and the lower die 30 is supported by a movable platen 31. A nut connected to a screw shaft that is rotationally driven by an electric motor (not shown) moves up and down, and a movable platen 31 supported via a toggle mechanism moves up and down along a guide post 32. Further, on the lower mold 30 side, a plunger support mechanism 35 including a plunger 33, a hydraulic closed circuit for supporting the plunger 33, an equal pressure unit 34 having a spring, and the like is provided in the pot 27a. The plunger support mechanism 35 moves up and down by a nut 37 connected to a screw shaft 36 that is rotationally driven by an electric motor (not shown).
[0021]
  The parting surface of the mold 27 may be covered with a release film 38. The release film 38 has a predetermined heat resistance that can withstand the heating temperature of the mold 27 and can be easily peeled off from the mold surface or easily deformed according to the shape of the inner surface of a resin sealing portion such as a cavity. Those with flexibility and extensibility, and those that easily peel off from the cured resin after resin sealingTheuse. For example, PTFE, ETFE, PET, FEP film and the like are preferably used. In addition, as shown in FIG. 1, a release film supply mechanism 39 that feeds a long release film 38 from the supply reel to the take-up reel may be provided in an empty space before and after the mold 27.
[0022]
In addition, as shown in FIG. 2, an ejector pin drive unit 40 may be provided in an empty space above the fixed platen 29. This ejector pin drive unit 40 has a function of pushing down or pulling up the upper die ejector pin plate 57 shown in FIG. Specifically, the ejector pin drive unit 40 may be used for releasing the molded product 2 by simply pushing down the upper die ejector pin plate 57 with the push-down rod simultaneously with (1) mold opening. ▼ At the same time as the mold is opened, the upper die ejector pin plate 57 and the upper die chase are urged to be separated by the spring force, and the molded product 2 and the surface of the upper die ejector pin 56 are peeled off, and then ▲ 1 The molded product 2 may be released in the same manner as ▼, or (3) the upper die ejector pin plate 57 may be pulled up to peel off the molded product 2 and the surface of the upper die ejector pin 56. good.
In FIG. 2, a dust box 41 is provided on the front side of the molding area Q, that is, on the front side of the resin sealing portion D so as to be drawn out. A filter unit 42 is provided above the dust box 41, and is sucked from a resin scum or fine powder sucked from an air suction port 21 mounted on the carrier 17 or a resin tablet 7 supplied from a parts feeder 8. Resin powder is sucked and removed by a filter. The filter part 42 is integrated with the dust box 41 and can be removed from the case fixing part 43. In this case, the dust box 41 and the filter can be taken out of the clean room at the same time to be cleaned and replaced, so that the fine powder adhering to the filter is not scattered in the clean room. The attachment / detachment work of the filter unit 42 and the dust box 41 can be performed from the direction of arrow F in FIG.
[0023]
Next, the configuration of the degate unit C will be described with reference to FIG. The molded product 2 after resin sealing is transported to the delegate part C while being integrated with the unnecessary resin by the transport body 17. In FIG. 2, a lower cull presser 44 is provided at the detent position so as to be movable up and down, and the molded product cull can be clamped together with the upper cull presser 20 provided in the transport body 17. Further, a protruding rod 45 that pushes up the molded product 2 in which the molded product cull is clamped by the upper cull presser 20 and the lower cull presser 44 and rotates the molded product cull around a fulcrum is provided at the delegation position. The projecting rod 45 can be moved back and forth in the vertical direction by driving the cylinder, and separates the molded product 2 and unnecessary resin such as the molded product runner 2a and the molded product cal 2b by gate breaking. The separated unnecessary resin is dropped and recovered on a scrap box 46 disposed below the lower cull presser 44. The scrap box 46 can be attached and detached from the direction of arrow F in FIG.
[0024]
Next, in FIG. 1, the structure of the storage part B will be described. The molded product 2 after the delegation is conveyed to the storage unit B by the conveyance body 17. The conveyed molded product 2 is stored in the storage magazine 47. A molded product elevation mechanism 48 is provided at the bottom of the storage magazine 47, and the bottom is lowered every time the molded product 2 is stored. When the molded product 2 is a lead frame, the molded product 2 is stored so as to be stacked on the molded product 2. When the molded product 2 is a BGA circuit board, it is replaced with a BGA storage magazine 49 as shown in FIG. 1, and is stored between the slits for each circuit board. In this case, the circuit board for BGA is supported by the storage rail 50 at the storage position, and the BGA storage magazine 49 along the storage rail 50 by the storage pusher 51 provided corresponding to the storage position. It is designed to be stored in.
The attaching / detaching operation of the storage magazine 47 and the BGA storage magazine 49 can also be performed from the direction of arrow F in FIG.
[0025]
As shown in FIG. 1, since there is sufficient space on the front side of the apparatus, even if the supply magazine 3 or the storage magazine 47 is replaced with a magazine for a circuit board for BGA from the direction of arrow F, these will remain in the apparatus. It does not protrude beyond the installation area.
In FIG. 2, a caster 60 is rotatably mounted on the bottom of the apparatus so that it can be moved on the floor surface by pressing the resin sealing device. The caster 60 can freely move the resin sealing device in the clean room. In addition, a plurality of types of extension units can be prepared and connected to a desired extension unit. When the resin sealing device is fixed at a predetermined position in the clean room, the height is adjusted by a support pillar 61 that can be moved up and down by a screw shaft so as to be horizontal on the floor of the clean room.
[0026]
Here, the relationship between the configuration of the mold 27 and the chucking operation of the chuck hand 18 mounted on the transport body 17 will be described with reference to FIGS.
4A, on the lower mold 30 side, a lower mold ejector pin 52 and a frame ejector pin 53 for releasing the molded product 2, the molded product runner 2a, and the molded product cal 2b can protrude from the lower mold 30. Equipped. The lower die ejector pin 52 and the frame ejector pin 53 are erected on the lower die ejector pin plate 54. An ejector rod 55 is provided below the ejector pin plate 54. When the movable platen 31 moves downward, the ejector rod 55 hits the lower surface of the lower ejector pin plate 54, and the lower ejector pin 52 and the frame ejector pin. 53 is projected. The lower mold ejector pin 52 pushes up the molded product 2, the molded product runner 2 a and the molded product cal 2 b to release the mold, while the frame ejector pin 53 plays a role of a guide pin which is pushed up through the guide hole of the molded product 2. It's done.
Further, an upper die ejector pin 56 that pushes down the molded product 2 and the molded product cal 2b to release is also provided on the upper die 28 side so as to protrude. The upper die ejector pin 56 is erected on the upper die ejector pin plate 57. The upper die ejector pin plate 57 is pushed by a pressing rod (not shown) so that the upper die ejector pin 56 is moved to the upper die 28. It is possible to protrude more.
[0027]
In FIG. 5 (a), the upper mold cull 28a formed on the upper mold 28 is generally formed in a circular shape corresponding to the shape of the pot 27b, but a projection 28b is formed on the upper mold cull 28a. Has been. As a result, in FIG. 4A, a molded product protrusion 2c is formed on the molded product cull 2b. Reference numeral 28c denotes an upper mold cavity. 5B, the lower mold 30 is formed with a pot 27a, a mold runner 30a, a lower mold cavity 30b, and the like.
[0028]
Next, with reference to FIG. 4A, the chucking operation of the molded product 2 of the chuck hand 18 mounted on the conveyance body 17 will be described. When the resin sealing operation is completed and the mold die 27 is opened, the upper die ejector pin 56 protrudes to release the molded product 2 and the lower die 30 moves downward as the movable platen 31 descends. To do. When the lower die ejector pin plate 54 abuts against the ejector rod 55, the lower die ejector pin 52 and the frame ejector pin 53 protrude from the lower die 30 and support the molded product 2 at a position slightly lifted from the lower die surface. . At this time, the support position of the molded product 2 is not shifted because the frame ejector pin 53 is inserted and supported through the guide hole of the molded product 2.
The transport body 17 not only performs the chucking operation of the molded product 2 but also transfers the molded product 1 to the lower mold 30 in order to prevent the chuck hand 18 and the lower mold surface from interfering with each other. The pin 52 and the frame ejector pin 53 are delivered in a state of protruding from the lower mold 30. Thereafter, the lower die ejector pin plate 54 is moved downward to draw the lower die ejector pin 52 and the frame ejector pin 53 into the lower die 30 and are formed on the lower die surface in the guide holes formed in the frame of the molded product 1. The guide pin 30c is inserted and positioned and set.
[0029]
The transport body 17 enters the mold mold 27 that is opened, and holds the molded product 2 supported on the lower mold 30 side by the chuck hand 18. At this time, the distance between the left and right chuck hands 18 is widened because the interval is different for chucking the molded product runner 2a, the molded product cal 2b, and the like in which the unnecessary resin is integrated with the molded product 1 and the molded product 2. Thus, the frame end 2d and the end portion of the molded product cull 2b are clamped by a claw portion 18a formed in an L shape. Thus, since the molded product 2 is pushed up from the lower mold 30 and delivered to the chuck hand 18 of the transport body 17, the nail of the chuck hand 18 that is normally formed on the surface of the conventional lower mold 30. The escape (concave portion) for entering the portion 18a is not necessary.
[0030]
The chuck hand 18 may be provided at a plurality of locations in the longitudinal direction of the molded product 2 in accordance with the position of the molded product runner 2a. However, when the mold die 27 is replaced by replacement of the molded product, the carrier 17 It is necessary to change the mounting position of the chuck hand 18 on the side. On the other hand, as shown in FIG. 4B, it is desirable that the claw portion 18 a of the chuck hand 18 has a L-shaped cross section and has a rail shape continuous in the longitudinal direction of the molded product 2. Similarly, the distance between the chuck hands 18 is variable.
As a result, when the type of molding changes, even if the distance between the molded product runners 2a changes, the distance between the frame end 2d and the molding projection 2c is always constant, so that molding is performed without replacing the chuck hand 18. The product 2 can be securely gripped. Further, since the molded product protrusion 2c is formed on the molded product cull 2b, there is an advantage that reliable support can be performed by the claw portion 18a of the chuck hand 18 formed in a rail shape.
If the position of the runner 2a is avoided and the runner position is almost unchanged, the chuck hand 18 of the transport body 17 shares the slender bar-shaped chuck hand that is conventionally provided in the loader and unloader. Can do. Further, if the molded product 1 and the molded product 2 are in a state of being pushed up from the surface of the lower mold 30, the escape (concave) position of the lower mold 30 and the position of the guide pin 30 c do not overlap with each other. Since it is sufficient to determine the mounting position of the chuck hand 18 in consideration of the position of the molded product runner 2a, it is advantageous for sharing the loader and unloader.
[0031]
5 (a) and 5 (b), the upper mold 28 and the lower mold 30 are respectively opposed to lock blocks 58 and 59 that mesh with each other when the mold is closed to position the mold 27 in the XY direction. It is provided at the edge. The portions where the lock blocks 58 and 59 are provided are provided at positions where they do not interfere with the rubber skirt provided at the air suction port 21 when the carrier 17 chucks and retracts the molded product 2. Is preferred. Thereby, the cleaning operation by the carrier 17 can be performed effectively. Further, the lower mold 30 is not formed with a relief (recessed portion) for entering the claw portion 18a of the chuck hand 18, so there is no risk of dust such as resin powder collecting in the recessed portion. A sufficient effect can be obtained.
[0032]
Next, a resin sealing operation for one cycle of the resin sealing device configured as described above will be described with reference to FIG.
First, the transport body 17 holds the molded product 1 supplied from the supply magazine 3 on the supply table 5 in the supply unit A by the chuck hand 18 and is stored in the holder 10 by the parts feeder 8 and supplied. 7 is held by the tablet holding unit 19. And the conveyance body 17 moves to the resin sealing part D from the supply part A, and transfers the to-be-molded product 1 and the resin tablet 7 in order on the lower mold | type 30 of the mold mold 27 which was mold-opened. At this time, the molded product 1 is supported by the lower mold ejector pin 52 protruding from the lower mold 30 and is positioned and guided by the frame ejector pin 53. Thereafter, when the lower mold 30 is moved upward, the lower mold ejector pin 52 and the frame ejector pin 53 are moved downward and set on the lower mold cavity 30b. The resin tablet 7 is loaded in the pot 27a.
[0033]
Next, the conveyance body 17 moves to the delegation part C, and among the molded product 2 and the unnecessary resin that are resin-sealed in the previous cycle and the unnecessary resin, the molded product kull 2b The lower cull presser 44 is supported by pressing. Then, the molded product 2 is rotated about the molded product cull 2b by the protruding rod 45 to perform gate break. After the gate break, unnecessary resins such as the molded product runner 2a and the molded product cal 2b are dropped and recovered on the lower scrap box 46. Next, only the molded product 2 is transported from the delegate part C to the storage part B while being held by the chuck hand 18 and stored in the storage magazine 47 mounted below.
[0034]
Next, the conveyance body 17 returns from the storage part B to the delegation part C again and waits until the resin sealing operation is completed. When the resin sealing operation is completed and the mold die 27 is opened, the transfer body 17 moves to the resin sealing portion D, and as described above, the lower mold ejector pins 52 protruding from the lower mold 30 and The molded product 2 and unnecessary resin that are supported at a position slightly lifted by the frame ejector pin 53 are held with the gap between the chuck hands 18 widened, and moved to the delegation section C and placed again.
[0035]
Then, after the molded product 2 and the unnecessary resin are placed on the delegation unit C, the same operation is repeated while returning to the supply unit A and holding the molded product 1 and the resin tablet 7 supplied on the supply table 5 again. .
[0036]
In this embodiment, the transport body 17 serves as both a loader for transporting the molded product 1 and an unloader for transporting the molded product 2. For example, a loader and an unloader are used as the transport body 17. If it is arranged in two upper and lower layers and moved individually, the machine cycle can be further shortened and the speed can be increased.
When a circuit board for BGA is used as the molded product 1, the drawer chuck hand 4 that is pulled out from the supply magazine 3 onto the supply table 5 may be provided integrally with the carrier 17. In this case, when the molded product 1 is changed from a lead frame to a BGA circuit board, the change of the drawing position on the supply table 5 can be changed by the movement of the transport body 17, and the storage magazine 47 is When the storage magazine 49 is changed to the BGA storage magazine 49, the storage pusher 51 needs to be provided separately. However, the BGA storage magazine 49 is moved along the storage rail 50 by pulling the drawer chuck hand 4. There are advantages such as being able to be used for storage.
[0037]
According to the above configuration, the supply storage area P having the supply portion A for supplying the molded product 1, the storage portion B for storing the molded product 2, and the delegate portion C for separating the molded product 2 and unnecessary resin is resin-sealed. Since it is centrally located adjacent to each other on the one side with respect to the molding area Q having the part D, an additional area formed around the molding area with changes in the device configuration and changes in the device configuration accompanying the exchange of the molding type Since an extension unit having various functions can be added to R, the apparatus can be multi-functionalized, and the apparatus configuration can be easily modified particularly in response to the needs for high-mix low-volume production.
[0038]
  Moreover, since the supply part A, the storage part B, the delegation part C, and the resin sealing part D of the molding area Q in the supply storage area P are linearly adjacent to each other, the moving path of the transport body 17 is the shortest distance. Therefore, the machine cycle can be shortened. In addition, the same carrier 17 can supply the molded product 1 to the resin sealing portion D, take out the molded product 2 to the delegate portion C, and transport the molded product 2 from the delegate portion C to the storage portion B. Therefore, even if the molding type is exchanged, the parts can be shared as much as possible. In particular, the chuck hand 18 mounted on the transport body 17 has a rail shape with an L-shaped cross section. If the distance between them is variable, the molded product 1 and the molded product 2 can be held by changing the distance between the hands, and the type of the molded product can be changed. However, it is not necessary to replace the chuck hand 18 one by one. Further, the chuck hand 18 mounted on the transport body 17 can be delivered at a position where the molded product 2 is pushed up from the lower mold 30 by the lower mold ejector pin 52 and the frame ejector pin 53 and released from the lower mold 30. It is no longer necessary to form a relief (recessed portion) on the surface of the substrate, and the manufacturing cost can be reduced. In addition, accumulation of dust such as resin powder in the recessed portion can be prevented, which can contribute to an improvement in cleaning performance. In particular, the air suction port 21 provided in the transport body 17 and the lock blocks 58 and 59 for positioning the XY direction provided in the upper mold 28 and the lower mold 30 are arranged so as not to interfere with each other. The cleaning effect can be enhanced, and the function can be simplified by using a cleaning brush as an option. Further, in the supply storage area P, the molded product 1 stored in the supply magazine 3, the molded product 2 stored in the storage magazine 47, the scrap BOX 46, and the dust BOX 46 in the molding area Q are the same as the drawing direction of the mold chase. Each side can be replaced from the side, making maintenance work extremely easy and working space around the device.etcSince no empty space is required, it is possible to effectively use the installation area in the clean room.
[0039]
In this embodiment, the mold 27 is described as a mold having one frame, but the present invention can be applied to a mold having two frames or more. Further, the resin sealing portion D may be equipped with a plurality of mold dies 27 and press units.
Moreover, although it has the apparatus structure using the solid resin tablet 7 as sealing resin, if an extension unit is provided as mentioned above, granular resin, powdery resin, liquid resin, sheet Resin, jelly resin, etc. can also be used.
In addition, if the structure using the release film 38 is used, the mold surface can be cleaned and the molding quality can be improved. In addition, when a circuit board for BGA is clamped to the mold 27, terminals such as solder balls are used. This is effective because the resin can be sealed without damaging the formation surface.
[0040]
【The invention's effect】
According to the resin sealing device according to the present invention, the supply storage area having the supply portion for supplying the molded product, the storage portion for storing the molded product, and the degate portion for separating the molded product and the unnecessary resin is the resin sealing portion. Since there is a concentrated arrangement adjacent to each other on the one side with respect to the molding area having a variety of types, there are various modifications to the expansion area R formed around the molding area in accordance with changes in the equipment form and changes in the form of the equipment. Since an extension unit having functions can be added, the apparatus can be multi-functionalized, and in particular, the apparatus configuration can be easily modified to meet the needs for high-mix low-volume production.
[0041]
  In addition, since the supply section, the storage section, the degate section in the supply storage area, and the resin sealing section D in the molding area are arranged linearly adjacent to each other, the moving path of the transport body is sufficient in the shortest distance. Can be shortened, and the apparatus can be downsized. In addition, it is possible to transport the molded product from the supply section to the resin sealing section and the molded product from the resin sealing section to the storage section with the same transport body. Parts can be shared as much as possible, especially when the chuck hand mounted on the transport body has a rail shape with an L-shaped cross section and the distance between the hands is variable In addition, it is possible to hold the molded product and the molded product by changing the distance between the hands, and it is not necessary to replace the chuck hand one by one even if the type of the molded product is changed. In addition, the chuck hand equipped on the transport body can be delivered at a position where the molded product is pushed up from the lower mold and released, so there is no need to form a relief (concave part) on the surface of the lower mold, and the manufacturing cost is reduced. In addition to being able to reduce, it is possible to prevent dust such as resin powder from accumulating in the recess, which can contribute to improvement in cleaning performance. In particular, the cleaning effect can be enhanced by disposing the air suction port provided in the transport body and the lock block for positioning the XY direction provided in the upper mold and the lower mold so as not to interfere with each other. At the same time, it is possible to simplify the function by using a cleaning brush as an option. Also, in the supply storage area, the molded product stored in the supply magazine, the molded product stored in the storage magazine, the scrap BOX, and the dust BOX in the molding area can be exchanged from the same side as the mold chase pull-out direction. Because it can be done, it is extremely easy to perform maintenance work, and the work space around the deviceetcSince no empty space is required, it is possible to effectively use the installation area in the clean room.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a layout configuration of a resin sealing device.
FIG. 2 is a front view of the resin sealing device of FIG.
FIG. 3 is a left side view of the resin sealing device of FIG. 1;
FIG. 4 is an explanatory view showing configurations of a mold and a chuck hand.
FIG. 5 is a plan view of an upper mold and a lower mold of a mold.
FIG. 6 is a plan view showing a layout configuration of a conventional resin sealing device.
[Explanation of symbols]
A Supply section
B storage
C degate
D Resin sealing part
P Supply storage area
Q Molding area
R Additional area
1 Molded product
2 Molded products
2a Molded product runner
2b Cal
2c Projection part
3 Supply magazine
4 Drawer chuck hand
5 Supply table
6 Drawer motor
7 resin tablets
8 Parts feeder
9 Tablet elevation mechanism
10 Holder
11 Filling pusher
12 Holder support member
13 fulcrum
14 Belt
15 Guide shaft
16 Guide hole
17 Carrier
18 Chuck hand
18a Claw
19 Tablet holder
20 Top hold
21 Air suction port
22 Transport motor
23, 36 Screw shaft
24 Movable plate
25 guide rail
26 Control unit
27 Mold
27a pot
28 Upper mold
28a Upper Cal
28b Protrusion
28c Upper mold cavity
29 Fixed platen
30 Lower mold
30a Lower runner
30b Lower mold cavity
30c guide pin
31 Movable platen
32 Guide post
33 Plunger
34 Uniform pressure unit
35 Plunger vertical movement mechanism
37 nuts
38 release film
39 Release film supply mechanism
40 Ejector pin drive unit
41 Dust BOX
42 Filter section
43 Case fixing part
44 Lower presser
45 Extruding rod
46 Scrap Box
47 Storage magazine
48 Molded product elevation mechanism
49 Storage magazine for BGA
50 rails for storage
51 Pusher for storage
52 Lower Ejector Pin
53 Frame ejector pin
54 Lower Ejector Pin Plate
55 Ejector rod
56 Upper Ejector Pin
57 Upper ejector pin plate
58, 59 Lock block
60 casters
61 Support pillar

Claims (5)

被成形品を供給する供給部、成形品を収納する収納部、成形品と不要樹脂を分離するディゲート部を有する供給収納エリアが、樹脂封止部を有する成形エリアに対して一方側に互いに隣接して直線的に集中配置されており、該成形エリアの周囲の空きエリアに増設ユニットを増設可能な増設エリアが形成され、前記被成形品の供給部から樹脂封止部への搬送動作、前記成形品及び不要樹脂のディゲート部への搬送動作、前記成形品のディゲート部から収納部への搬送動作のうち少なくとも2以上の動作を同一の搬送体を用いて行なわれることを特徴とする樹脂封止装置。A supply section for supplying a molded product, a storage section for storing a molded product, and a supply storage area having a delegate section for separating a molded product and unnecessary resin are adjacent to each other on one side with respect to a molding area having a resin sealing portion and are linearly focused arranged, additional possible expansion area the extension unit in the empty area of the periphery of the shaped areas are formed, the transport operation from a supply of the molded article to the resin sealing portion, the Resin sealing characterized in that at least two operations among the conveying operation of the molded product and the unnecessary resin to the delegation unit and the conveying operation of the molded product from the delegation unit to the storage unit are performed using the same conveyance body. Stop device. 前記供給収納エリアにおいて、供給マガジンに収容された被成形品、収納マガジンに収納された成形品、不要樹脂を回収するスクラップボックス、成形エリアにおけるダストボックスは、金型チェイスの引き出し方向と同一側面から各々交換作業が行えるようにしたことを特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。 In the supply storage area, the molded product stored in the supply magazine, the molded product stored in the storage magazine, the scrap box for collecting unnecessary resin, and the dust box in the molding area are respectively from the same side as the mold chase drawing direction. 2. The resin sealing device according to claim 1, wherein the replacement work can be performed . 前記供給収納エリアの供給部、収納部、ディゲート部と成形エリアの樹脂封止部がこの順に隣接して直線的に配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の樹脂封止装置。3. The resin seal according to claim 1, wherein the supply portion, the storage portion, the degate portion, and the resin sealing portion of the molding area in the supply and storage area are linearly arranged adjacent to each other in this order. Stop device. 前記搬送体に装備されたチャックハンドは断面L字状のレール状をしており、ハンド間の距離が可変となるように設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の樹脂封止装置。 4. The chuck hand mounted on the transport body has a rail shape with an L-shaped cross section, and is provided so that a distance between the hands is variable. A resin sealing device according to claim 1. 前記搬送体は前記供給部と前記樹脂封止部との間をガイドレールに沿って往復動する請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の樹脂封止装置。 5. The resin sealing device according to claim 1, wherein the transport body reciprocates between the supply unit and the resin sealing unit along a guide rail .
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