JP3714765B2

JP3714765B2 - Conveying mechanism of press machine

Info

Publication number: JP3714765B2
Application number: JP09381097A
Authority: JP
Inventors: 一彦小林
Original assignee: Apic Yamada Corp
Current assignee: Apic Yamada Corp
Priority date: 1997-04-11
Filing date: 1997-04-11
Publication date: 2005-11-09
Anticipated expiration: 2017-04-11
Also published as: JPH10286699A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工前のワークが供給部より単数又は複数装備されたプレス部に搬入され、加工後のワークが前記プレス部より収容部に搬出されるプレス装置の搬送機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プレス装置の中で用いられる樹脂封止装置は、トランスファモールドによる自動機が広く使用されている。このトランスファモールド装置は、例えば図１７に示すように、被成形品としてのリードフレームがリードフレーム供給部１０１よりフレーム整列部１０２に供給されてプレヒートされ、樹脂タブレット供給部１０３よりタブレットカセット１０３ａを介してフレーム整列部１０２に供給されて、ローダー１０４によりリードフレーム及び樹脂タブレットがチャックされてモールド金型１０５へ移送される。そして、該モールド金型１０５でクランプされ、ポット内から溶融樹脂をプランジャでキャビティ内に圧送してパッケージ部が樹脂封止される。樹脂封止後の成形品はアンローダー１０６により回収されてディケート部１０７へ搬送されゲートブレイクが行われた後、成形品のみが成形品収容部１０８に収容される。
【０００３】
上記ローダー１０４及びアンローダー１０６は、ガイドシャフト１０９に沿って供給位置と搬入位置、搬出位置とディゲート位置との間を矢印Ｘ方向にそれぞれ往復移動するように構成されている。上記ローダー１０４及びアンローダー１０６は、上記ガイドシャフト１０９に対して横並びに設けられている。また、上記ローダー１０４及びアンローダー１０６は、モールド金型１０５に対して矢印Ｙ方向に進退移動可能であり、上記搬入位置及び搬出位置よりモールド金型１０５に移動して被成形品を搬入し成形品を搬出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記リードフレーム供給部１０１と成形品収容部１０８がモールド金型１０５の両側に設けられており、ローダー１０４及びアンローダー１０６は、ガイドシャフト１０９に沿って直線的に往復移動する配置構成であるため、装置全体がＸ方向に長くなりレイアウト上の制約を受け易く、プレス装置全体がコンパクトにならず、工場フロア内の床面積を広く取る。特に半導体装置製造用の樹脂封止装置は、高純度のクリーンルーム内で使用するため、該クリーンルーム内の床面スペースを効率良く利用することは重要である。
また、成形品の量産化を図るため、モールド金型１０５を複数装備した場合には、Ｘ方向に更に長くなるため装置全体が大型化する。また、上記複数のモールド金型１０５に対して一方向からローダー１０４及びアンローダー１０６が個別に進退移動し、アンローダー１０６が成形品を搬出してモールド金型１０５から退避してから、図示しないクリーナーが進退移動して上下金型表面をクリーニングし、次いでローダー１０４が被成形品をモールド金型１０５へ搬入するので、被成形品の搬入、金型クリーニング及び成形品の搬出が段階的に行われるためマシンサイクルが遅延化して、高速処理化に限界がある。
【０００５】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、装置全体を小型化すると共にマシンサイクルを短縮化して、量産化や高速化を実現可能なプレス装置の搬送機構を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
即ち、加工前のワークを供給部より単数又は複数装備されたプレス部へ搬入するため、該プレス部に対してワークを保持して進退移動可能な搬入保持手段を備えたワーク搬入手段と、加工後のワークを前記プレス部より収容部へ搬出するため、該プレス部に対してワークを保持して進退移動可能な搬出保持手段を備えたワーク搬出手段とを備え、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、同一平面に沿って上下に重なり合うように近接して対向配置され、それぞれ個別に備えた駆動源により回動する回動軸を一体に支持する可動支持板が、取付台の長手方向に往復動可能に取り付けられていることを特徴とする。
【０００７】
また、プレス部は、上型に対して下型が上下動可能に装備されており、ワーク搬入手段は、上動した下型上に搬入保持手段に保持した加工前のワークを移載し、ワーク搬出手段は型開きした下型上へ搬出保持手段を下動することにより加工後のワークを回収することを特徴とする。
また、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段に各々装備した搬入保持手段及び搬出保持手段は、プレス部の上下金型をそれぞれクリーニングするクリーナーと、クリーニングした塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する吸引ダクトとをそれぞれ備えたことを特徴とする。
また、搬出保持手段が加工後のワークを保持したままプレス部より退避するとき、搬入保持手段は加工前のワークを保持したままプレス部に進入し、搬出保持手段と搬入保持手段が入れ替わるように型開きしたプレス部に進退移動することを特徴とする。
また、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、プレス部に対する搬入保持手段及び搬出保持手段の進退方向と交差する方向に往復移動可能に装備されていることを特徴とする。
また、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、その周囲を囲繞するよう配設されたワーク供給部、プレス部及びワーク収容部に対してそれぞれワークを搬入及び／又は搬出することを特徴とする。
また、ワーク供給部、プレス部及びワーク収容部はユニット化されており、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも１のユニットが着脱可能に装備されていることを特徴とする。
また、搬入保持手段及び搬出保持手段に各々設けられる吸引口と回動軸と共に回転する回転ダクトが吸引ダクトにより各々接続されており、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段が回動した際に、可動支持板の進退方向両側に設けられたいずれかの可動ダクトに回転ダクトが接続して吸引動作が行われることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の態様を添付図面に基づいて詳細に説明する。
〔第１実施例〕
本実施例は、プレス装置の一例として半導体装置製造に用いるトランスファーモールドによる樹脂封止装置を用い、下型にプランジャを設置したロアープランジャ方式によるもので、マルチポットタイプのモールド金型を使用する、ロアーマルチプランジャ方式を採用した樹脂封止装置を用いて説明する。
【０００９】
図１はプレス部を取り外した樹脂封止装置の概略構成を示す平面図、図２は図１の樹脂封止装置の正面図、図３は図１の樹脂封止装置の右側面図、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は搬送機構の平面図、正面図及び左側面図、図５（ａ）〜（ｄ）はローダーの説明図、図６（ｅ）〜（ｇ）はローダーの他例の説明図、図７（ａ）〜（ｄ）はアンローダーの説明図、図８（ｅ）〜（ｇ）はアンローダーの他例の説明図である。
【００１０】
（全体構成）
先ず、図１〜図３を参照して樹脂封止装置の概略構成について説明する。
１は装置本体としての基本ユニットであり、プレス機能を装備した２台のプレス部２を着脱自在に装備している。尚、プレス部２は基本ユニット１の占有エリア内に位置しているので、プレス部２を着脱しても装置本体の占有エリアが変化することはない。また、プレス部２は複数台装備する場合に限らず単数装備されていても良い。
【００１１】
上記基本ユニット１は、ワークとして単数又は複数の被成形品（リードフレーム及び樹脂タブレット）を供給可能に収容するリードフレーム供給部３及び樹脂供給部４と、ワークとして樹脂封止後のリードフレームを収容するリードフレーム収容部５を装備している。また、上記基本ユニット１にはリードフレーム供給部３及び樹脂供給部４より供給されたリードフレーム及び樹脂タブレットを上記プレス部２へ搬入するためのワーク搬入手段としてのローダー６と、樹脂封止後のリードフレームを上記プレス部２より上記リードフレーム収容ユニット５へ搬出するワーク搬出手段としてのアンローダ７を装備している。上記ローダー６はアンローダー７の上に重なり合うように配設されている。
【００１２】
上記ローダー６は、上記リードフレーム供給部３より回転テーブル３ｂを備えたフレーム整列部３ａへ供給されたリードフレームを受け渡されて９０°回転した後、樹脂供給部４よりカセット４ａに供給された樹脂タブレットをそのカセット４ａより受け渡されて、更に９０°回転してこれらを型開きしたいずれか一方のプレス部２へ搬入する。また、アンローダー７は、成形後のリードフレームを前記プレス部２より回収して一旦ディゲート部８へ搬出する。
尚、上記リードフレーム供給部３やリードフレーム収容ユニット５は、基本ユニット１の基台上に角ロッド等により支持されたベースプレート（図示せず）上に設けられている。樹脂封止前のリードフレームを収容した供給マガジンや樹脂封止後のリードフレームを収容した収容マガジンは、上記ベースプレート上より取り出されて補充される。また、上記樹脂供給部４は、上記ベースプレートより下方の基台上に装備されており、上記カセット４ａはこの基台上の供給位置と上部の受け渡し位置とを往復移動している。
【００１３】
上記基本ユニット１の上記ローダー６及びアンローダー７の移動路９の両側には、装置基台の一部にプレス着脱部１０が設けられており、該プレス着脱部１０には前記プレス部２が着脱自在に装着される（図１参照）。
また、上記基本ユニット１には操作部１１が設けられており（図２参照）、樹脂封止動作の開始や動作モードを選択操作する。１２は制御部であり、上記操作部１１より入力された指令に基づき、基本ユニット１に装備された各部の動作を制御する。
【００１４】
上記リードフレーム供給部３及び樹脂供給部４より供給されたリードフレーム及び樹脂タブレットはローダー６にチャックされて、各プレス部２に搬入されて上下金型１３，１４間でクランプされて樹脂封止され、樹脂封止後の成形品はアンローダー７にチャックされてディゲート部８へ搬出され、ゲートブレイクが行われた後、リードフレーム収容部５へ移送されて収容される。
本実施例では、装置の一方向（図１の左側）からリードフレーム，樹脂タブレットの供給と成形品の取り出しが可能な配置構成にできるので、作業性が良い。
【００１５】
（プレス部の構成）
以下、上記プレス部２の構成について、概略を説明する。
図３において、プレスベースと下型１４を支持する可動プラテンとの間を図示しない昇降機構により連繋し、該昇降機構を電動モータ（サーボモータ）や油圧機構（図示せず）等を用いて作動させることによって上記下型１４を昇降させて、上固定プラテンに固定された上型１３との型開閉が行われる。また、上記下型１４にはポットに供給された樹脂をキャビティへ圧送すべくプランジャを上下動させるトランスファ駆動機構（図示せず）が装備されている。上記トランスファ駆動機構は電動モータや油圧機構などにより駆動される。上記プレス部２にも固有の操作部や制御部が装備されており、プレス動作を制御可能に構成されている。
【００１６】
また、上記プレス着脱部１０には、図１〜図３に示すように、プレス部２の底部を支持して着脱するため、該プレス部２の着脱方向に沿って複数のローラー１０ａがユニット支持面１０ｄに回動可能に設けられている。また、上記プレス着脱部１０のプレス部２の装着方向奥側には突き当て部１０ｂが形成されている。また、上記ユニット支持面１０ｄの長手方向両側には、プレス部２の幅方向をガイドするためのガイドレール１０ｃが設けられている。上記プレス着脱部１０の設置面より下型１４の加工面（パーティング面）までの距離は、金型の品種が変わっても一義的に決まるように設定されている。
【００１７】
尚、上記プレス着脱部１０に設けられたローラー１０ａは、該ローラー１０ａの変形や摩耗等を考慮すると、プレス部２の底部を着脱時支持する位置からプレス着脱部１０ａの内部に退避するように構成しても良い。この場合には、プレス着脱部１０のユニット支持面（平面）１０ｄによりプレス部２を支持するので、着脱を繰り返しても高さ出しの精度が変動することがない。また、上記ローラー１０ａの代わりに枠体に金属ボールが回転自在に取り付けられたボールベアリングを用いたり、上記ユニット支持面（平面）１０ｄを鏡面状にして滑り易くしても良い。上記プレス着脱部１０に装着されたプレス部２は、先端に螺合部を形成された位置決めピン１０ｅにより位置決め固定される。また、上記プレス部２の着脱作業は、予め専用の治具により平面位置及び高さ出しが行われた後、専用の移動台車Ｋなどにより運搬されてプレス着脱部１０に移載される（図１参照）。
【００１８】
（搬送機構の構成）
次に、ローダー６及びアンローダー７の構成について、図４〜図８を参照して具体的に説明する。図４において、上記ローダー６及びアンローダー７は上下に配設されており（図４（ｂ）参照）、同一平面に沿って移動可能に装備されている。このように、上記ローダー６及びアンローダー７を近接して対向配置することで、装置本体の占有面積を可能な限り少なくすることができる。また、上記ローダー６及びアンローダー７には、回動モータ（電動モータ）１５，１６が個別に装備されている（図４（ｂ）参照）。この回動モータ１５，１６のモータギヤと回動軸１７，１８に同軸状に設けられたプーリギヤ１９，２０との間にタイミングベルト（図示せず）が掛け渡されており、上記回動モータ１５，１６を駆動することにより、上記ローダー６及びアンローダー７は、回動軸１７，１８を中心にそれぞれ回動される。上記回動軸１７，１８の内部には、ローダー６及びアンローダー７の駆動部分への配線用のカールケーブル１７ａ，１８ａがそれぞれ配設されている。
【００１９】
ここで、上記ローダー６及びアンローダー７の移動機構について説明する。図４（ａ）において、２１は取付台であり、ローダー６及びアンローダー７にそれぞれ設けられている。この取付台２１には、上記ローダー６及びアンローダー７の回動軸１７，１８を一体に支持する可動支持板２２が、該取付台２１の長手方向に往復移動可能にそれぞれ取り付けられている。上記可動支持板２２は、上記取付台２１の長手方向に配設されたレール２３に対して可動支持板２２に固定されたガイド２２ａを介して移動可能に嵌め込まれている。また、上記取付台２１には、上記レール２３と平行にボールネジ２４が配設されている。このボールネジ２４は、上記取付台２１に設けられた正逆回転駆動可能な移動モータ（サーボモータ）２５によりタイミングベルト２５ａを介して回動される。
上記可動支持板２２の一部に形成されたナット２２ｂには上記ボールネジ２４が挿通するように螺合しており、上記ボールネジ２４が回転駆動されると、可動支持板２２がレール２３に沿って図４（ａ）の回動位置Ａと移動路９に沿って複数装備されたプレス部２に対応する進退位置Ｂとの間を左右方向に移動するように構成されている。尚、上記レール２３は回転軸１７，１８の中心部真下に設けなかったのは、該回転軸１７，１８の中心部は配線路として利用されるため、スペースを確保しようとするとローダー６及びアンローダー７の全体の高さが高くなってしまうためである。
【００２０】
また、図４（ｂ）（ｃ）に示すように、ローダー６及びアンローダー７は、型開きしたプレス部２に対してワークを保持して個別に進退移動可能な搬入保持手段としての搬入移動体２６及び搬出保持手段としての搬出移動体２７をそれぞれ装備している。
【００２１】
上記搬入，搬出移動体２６，２７の具体的な構成について図５〜図８を参照して説明する。図５（ａ）及び図７（ａ）は搬入，搬出移動体の上視図、図５（ｂ）（ｃ）及び図７（ｂ）（ｃ）は、図５（ａ）及び図７（ａ）の左右展開図、図５（ｄ）及び図７（ｄ）は上下クリーナーの待機状態を示す説明図、図６（ｅ）〜（ｇ）及び図８（ｅ）〜（ｇ）は、他例に係る上下クリーナーの上視図、上下クリーナーの動作状態及び待機状態を示す説明図である。
先ず、ローダー６に装備された搬入移動体２６の構成について図５（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。上記搬入移動体２６は、断面コ字状の搬入枠体２８の内部にチャックハンド２９、上型１３のパーティング面をクリーニングするための上クリーナー３０、該上クリーナー３０により掻き落とされた不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口３１及びこれに接続する吸引ダクト３２が可動フレーム２６ａに装備されている。この吸引ダクト３２は上記可動フレーム２６ａの周囲に沿って配設されており、後述する回転ダクト５０に接続されている。
【００２２】
上記上クリーナー３０は、吸引ダクト３２に接続するフード３３の開口内部に収容されている。上記フード３３の開口が、吸引口３１を兼用しているのは、上記ローダー６は、上クリーナー３０が先頭側となってプレス部２へ進入するため、上クリーナー３０のフード３３が吸引口３１を兼用することが望ましいためである。また、上記上クリーナー３０は、進退移動時の上型１３との干渉を回避するため、上クリーナーシリンダ３４により上型１３のパーティング面に対して接離動可能に構成されている。即ち、搬入移動体２６が金型内に進入するときのみ、上型１３側へ突出するよう上クリーナーシリンダ３４により接離動させる（図５（ｃ）（ｄ）参照）。尚、上記上クリーナー３０は、図６（ｅ）〜（ｇ）に示すように、図示しないシリンダ駆動により上クリーナー３０がフード３３と一体にプーリーを中心に回動して上型１３のパーティング面に接離動するように構成しても良い。
【００２３】
また、図５（ａ）に示すように、上記上クリーナー３０は上クリーナー駆動モータ３５よりプーリー間に掛け渡されたタイミングベルトを介して回転駆動される。また、成形前のリードフレームをチャックするチャックハンド２９は、チャックハンド取付プレート３６に保持されている。また樹脂タブレットは、上記チャックハンド取付プレート３６に形成されたタブレット保持穴３７に保持されて搬送される。
【００２４】
次に、アンローダー７に装備された搬出移動体２７の構成について、図７（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。上記搬出移動体２７は、断面コ字状の搬出枠体３８の内部にチャックハンド３９、下型１４のパーティング面をクリーニングするための下クリーナー４０、該下クリーナー４０により掻き出された不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口４１及びこれに接続する吸引ダクト４２が可動フレーム２７ａに装備されている。この吸引ダクト４２は上記可動フレーム２７ａの周囲に沿って配設されており、後述する回転ダクト５１に接続されている。
【００２５】
上記下クリーナー４０は、フード４３の開口内部に収容されており、該フード４３と隣接して吸引口４１が形成されている。上記吸引口４１は、下クリーナー４０とは別個に該下クリーナー４０より退避方向後側に形成されている。これは、上記下クリーナー４０は、搬出移動体２７がプレス部２より退避する際に下型１４のクリーニングを行うため、下クリーナー４０の退避方向後側に配設されているのが望ましいからである。また、上記下クリーナー４０は、進退移動時の下型１４や成形品との干渉を回避するため、下クリーナーシリンダ４４により下型１４のパーティング面に対して接離動可能に構成されている。即ち、搬出移動体２７が金型より退避するときのみ、下型１４側へ突出するよう下クリーナーシリンダ４４により接離動させる（図７（ｃ）（ｄ）参照）。尚、上記下クリーナー４０は、図８（ｅ）〜（ｇ）に示すように、図示しないシリンダ駆動により下クリーナー４０がフード４３と一体にプーリーを中心に回動して下型１４のパーティング面に接離動するように構成しても良い。
【００２６】
また、図７（ａ）に示すように、上記下クリーナー４０は下クリーナー駆動モータ４５よりプーリー間に掛け渡されたタイミングベルトを介して回転駆動される。また、成形後のリードフレームをチャックするチャックハンド３９は、チャックハンド取付プレート４６に保持されている。このチャックハンド取付プレート４６は、図７（ｃ）に示すハンドベースシリンダ４７により下動可能に装備されており、これによってチャックハンド３９の先端の爪部分を下型１４より離型した成形品に確実に潜り込ませて成形品の回収を確実に行うことができる。
【００２７】
上記搬入，搬出移動体２６，２７の進退動作について図４（ｂ）（ｃ）を参照して説明する。搬入，搬出枠体２８，３８に設けられた進退用モータ（電動モータ）４８，４９のモーターギヤは可動フレーム２６ａ，２７ａに設けられたラック２６ｂ，２７ｂとそれぞれ噛合している。上記進退用モータ４８，４９を正逆回転駆動することにより、可動フレーム２６ａ，２７ａを進退位置Ｂ（図４（ａ）参照）とプレス部２との間を往復動させる。上記可動フレーム２６ａ，２７ａは、搬入，搬出枠体２８，３８の両側に設けられたガイドレール２８ａ，３８ａ（図４（ｂ）参照）に沿って進退移動する。上記搬入，搬出移動体２６，２７は上下に配置されているので、可動フレーム２６ａ，２７ａは型開きしたプレス部２に同時に進入させることが可能ある。
【００２８】
次に、上記搬入，搬出移動体２６，２７のワークの搬入搬出動作について説明する。先ずローダー６は、図４（ａ）の回動位置Ａにおいて、搬入移動体２６から可動フレーム２６ａを前進させ、フレーム整列部３ａの回転テーブル３ｂ（図１参照）に切り出されたリードフレームをチャックハンド２９によりチャックする。また、上記可動フレーム２６ａを一旦後退させた後、回動モータ１５を作動させてローダー６を９０°回転させ、上記可動フレーム２６ａを前進させてカセット４ａより樹脂タブレットをチャックする。そして、上記可動フレーム２６ａを後退させて、時計回り若しくは反時計回りに９０°回転させた後、移動モータ２５を作動させて可動支持板２２をレール２３に沿って移動させ、ローダー６をその回動軸１７が回動位置Ａより進退位置Ｂへ到達するまで移動路９を移動させる。上記回転軸１７の回動位置Ａから進退位置Ｂへの移動とローダー６の回動を複合的に行えば、マシンサイクルの短縮化ができる。尚、図４（ａ）においてＲはローダー６，アンローダー７の旋回ラインを示す。
【００２９】
前述したように、プレス部２は上型１３に対して下型１４が上下動可能に装備されている。上記搬入移動体２６は、型開きしたプレス部２内に進退用モータ４８を駆動させて可動フレーム２６ａを進入させ、上動させた下型１４上にチャックハンド２９に保持したリードフレームや樹脂タブレットをチャックを解放して移載する。上記可動フレーム２６ａが型開きしたプレス部２に、図４（ａ）に示す進退位置Ｂより進入するとき、上クリーナーシリンダ３４を作動させてフード３３内に収容された上クリーナー３０を上型１３のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を吸引ダクト３２内に吸引しながら進入する。尚、ワークを搬入後、上記可動フレーム２６ａがプレス部２より退避するときには、上記上クリーナー３０を上型１３より退避させた状態で進退位置Ｂへ退避させる。
【００３０】
また、樹脂封止後に型開きしたプレス部２より成形品を取り出す場合には、アンローダー７を図４（ａ）に示す進退位置Ｂに移動させた状態で、上記搬出移動体２７は、進退用モータ４９を駆動させて型開きしたプレス部２内に進退位置Ｂより可動フレーム２７ａを進入させる。尚、上記可動フレーム２７ａがプレス部２へ進入するときには、上記下クリーナー４０を下型１４より離間させた状態で進入する。
そして、ハンドベースシリンダ４７を作動させてチャックハンド３９を下型１４上へ下動させて、離型された成形品をチャックして再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部２より進退位置Ｂまで退避させる。上記可動フレーム２７ａは、プレス部２より退避するとき、下クリーナーシリンダ４４を作動させてフード４３内に収容された下クリーナー４０を下型１４のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を吸引ダクト４２内に吸引しながら退避する。
【００３１】
次に、移動モータ２５を作動させて可動支持板２２をレール２３に沿って移動させ、アンローダー７をその回動軸１８が進退位置Ｂより回動位置Ａへ到達するまで移動路９を移動させる。そして、必要に応じて回動モータ１６を起動してアンローダー７を１８０°回動させた後、進退用モータ４９を駆動させて回動位置Ａよりディゲート部８へ可動フレーム２７ａを移動させてチャックハンド３９を下動させて成形品が受け渡される。上記回動軸１８の進退位置Ｂから回動位置Ａへの移動とアンローダー７の回動を複合的に行えば、マシンサイクルの短縮化ができる。
上記ディゲート部８でゲートブレイクされた成形品は、リードフレームと不要樹脂とが分離され、図示しない搬送手段によりリードフレームのみがリードフレーム収容部５へ収容される。
【００３２】
上記搬入，搬出移動体２６，２７より可動フレーム２６ａ，２７ａを進退させる動作のタイミングは、プレス部２へ可動フレーム２７ａを進入させて樹脂封止が行われた成形品をチャックして下型１４のパーティング面をクリーニングしながら該プレス部２より退避するとき、次のワークを保持した可動フレーム２６ａが上型１３のパーティング面をクリーニングしながら進入する。即ち、上記可動フレーム２６ａと可動フレーム２７ａが入れ替わるように移動する。上記成形品をチャックした可動フレーム２７ａをプレス部２より退避させると、下型１４を上動させ、上記可動フレーム２６ａのチャックハンド２９を解放して、リードフレーム及び樹脂タブレットを下型１４のキャビティやポットにセットする。そして、上記可動フレーム２６ａをプレス部２より退避させると、下型１４が更に上動して上型１３と型閉じして樹脂封止が行われる。
このように、型開きしたプレス部２へワークの搬入搬出動作を連繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を該搬入搬出動作と同時に行うことで、装置の合理化とサイクルタイムの短縮化を促進することができる。
【００３３】
また、搬入移動体２６のチャックハンド２９によるワークの搬入動作において、該チャックハンド２９の上下動を省略したのは、ローダー６自体の厚さを薄くして小型化できる他に、ローダー６とアンローダー７は上下に配設されているので、アンローダ７側の可動フレーム２７ａがプレス部２より退避したとき、ワークを保持した可動フレーム２６ａと下型１４との間に距離があるため、上記チャクハンド２９を下動させるより、型閉じ動作のため上動する下型１４の途中動作を利用してワークの搬入動作を行うことで、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現できるからである。
【００３４】
一方、上記搬出移動体２７のチャックハンド３９によるワークの搬出動作において、該チャックハンド３９の上下動を行うのは、下型１４が最下点まで下動したときに、エジェクションロッド（図示せず）により成形品を突き上げて離型させるため、上記チャックハンド３９により離型した成形品を取りに行かなければならないためである。また、上記エジェクションロッドによる成形品の突き上げは、可動プラテンの昇降動作を利用しているため、下型エジェクション専用の駆動源を省略できる。
しかしながら、成形品の離型動作が下型１４が最下点へ下動したときのみで行われるため、エジェクションロッドを設ける位置が規制されてしまう。このため、下型エジェクション専用の駆動源を下型ベース部に設ければ、チャックハンド３９の上下動は不要となり、また可動プラテンの位置によらずエジェクションロッドを突き上げて成形品を離型させることができるので、アンローダー７をローダー６の上側に配置することも可能となる。
【００３５】
次に、上記ローダー６及びアンローダー７における吸引ダクトの３２，４２の配管構造について図４（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。
吸引口３１，４１より可動フレーム２６ａ，２７ａの周囲に沿って形成された吸引ダクト３２，４２は、搬入，搬出枠体２８，３８内に装備された回転ダクト５０，５１にそれぞれ接続されている（図４（ｂ）参照）。この回転ダクト５０，５１は、回動軸１７，１８と共に回動するので、上記吸引ダクト３２，４２が回転軸１７，１８に絡みつくことはない。
【００３６】
また、可動支持板２２には、可動ダクト５２，５３が一体に取り付けられている（図４（ｂ）（ｃ）参照）。上記回転ダクト５０，５１にそれぞれ形成された回転吸引口５４，５５は、上記ローダー６及びアンローダー７が回動した際に、上記可動ダクト５２，５３の可動フレーム２６ａ，２７ａの進退方向両側に２か所にそれぞれ形成された可動吸引口５６，５７のいずれかに接続して吸引動作が行われる（図４（ａ）参照）。上記回動吸引口５４，５５は、例えば金属製の球面状突出部の頂上部分に開口が形成されており、上記可動吸引口５６，５７は、ゴム製又はプラスチック製の球面状突出部の頂上部分に開口が形成されている。よって、上記ローダー６及びアンローダー７の回動動作に伴い、回転吸引口５４，５５がいずれか一方に形成された可動吸引口５６，５７と圧接して該可動吸引口５６，５７の突出部分を弾性変形させることによりダクトどうしが気密性を保って接続される。尚、上記回転吸引口５４，５５と可動吸引口５６，５７は、気密性が保たれれば、金属部品どうし、或いはゴム製部品どうしの連結構造であっても良い。
【００３７】
また、上記可動支持板２２を取り付ける取付台２１には、上下固定ダクト５８，５９がそれぞれ設けられており、該上下固定ダクト５８，５９は上記可動ダクト５２，５３に上下接続ホース６０，６１により接続されている。上記上下固定ダクト５８，５９は図示しない集塵機へそれぞれ接続されている（図４（ｂ）参照）。
【００３８】
上記構成によれば、ローダー６及びアンローダー７は上下に配設され、それぞれ個別に備えた回動モータ１５，１６により回動軸１７，１８を中心に回動可能に装備したことにより、リードフレーム供給部３とプレス部２との間及びプレス部２とリードフレーム収容部５との間で、リードフレーム、樹脂タブレット、成形品などのワークを効率的に搬送することができる。よって、プレス装置のサイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現できる。また、ワークを主として回転運動により搬送するため、設置面積を減少させて装置の小型化に寄与することができる。上記設置面積の減少は、特に半導体装置製造用のクリーンルームのスペースの有効利用が図れるため有意義である。
【００３９】
特に、上記ローダー６及びアンローダー７は、プレス部２に対してワークを保持して個別に進退移動可能な搬入，搬出移動体２６，２７をそれぞれ備え、搬入移動体２６は、上動した下型１４上にチャックハンド２９に保持した加工前のワークを移載し、搬出移動体２７のチャックハンド３９を下型１４上へ下動させて加工後のワークを回収することにより、型閉じ動作に入る下型１４の途中動作を利用してワークの搬入動作を行うことで、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現できる。また、上記搬出移動体２７のチャックハンド３９上下動を行うことにより、アンローダー７がプレス部２へ進入するときに成形品に干渉するおそれもなく、しかもチャックハンド３９により成形品が確実にチャックできる。
【００４０】
また、上記搬入，搬出移動体２６，２７は、プレス部２の上下金型１３，１４をそれぞれクリーニングする上下クリーナー３０，４０と、クリーニングした不要樹脂、塵埃などを吸引する吸引口３１，４１及びこれに接続する吸引ダクト３２，４２とをそれぞれ備えたことにより、型開きしたプレス部２にワークの搬入搬出動作を連繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を前記搬入搬出動作と同時に行うことによっても、装置の合理化とサイクルタイムの短縮化を促進することができる。
【００４１】
尚、ワークの保持は、チャックハンドに限定されるものではなく、吸着方式によって保持することも可能である。
また、上記実施例は、樹脂封止装置の構成として、プレス部を基本ユニット１に対してプレス部２を着脱可能に装備した実施例について説明したが、図９に示すように、２台のプレス部６２を基本ユニット１に一体に組み込んだ構成であっても良い。この場合には取付台２１に取り付けられた可動支持板２２の移動方向は、各プレス部６２に対向する位置へ図９の上下方向に移動するように構成される。
【００４２】
〔第２実施例〕
次に、プレス装置の搬送機構の他例について図１０を参照して説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
第１実施例は、基本ユニット１のプレス着脱部１０に２台のプレス部２を装着可能な樹脂封止装置に適用する場合について説明したが、図１０に示すように、４台のプレス部２を装着可能な樹脂封止装置に適用することも可能である。この場合、ローダー６及びアンローダー７の構成は上記第１実施例と同様の構成が採用できる。
【００４３】
また、基本ユニット１に近い両側プレス部２に対してワークの搬入搬出を行う場合には、第１実施例と同様に図４（ａ）の進退位置Ｂまで回動軸１７，１８が到達するよう可動支持板２２を移動させて可動フレーム２６ａ，２７ａの進退を行う。また、基本ユニット１より遠い両側プレス部２対してワークの搬入搬出を行う場合には、図４（ａ）の進退位置Ｃまで回動軸１７，１８が到達するよう可動支持板２２を移動させて可動フレーム２６ａ，２７ａの進退を行う。この場合、図４（ｂ）に示すように、取付台２１，レール２３，ボールネジ２４を長いもの（Ｌ→Ｌ´）に変更することで可動支持板２２の移動量を延長させれば良い。また、ガイド２２ａの位置Ｇと回動位置Ａの距離Ｑを、進退位置Ｂ，Ｃ間の距離Ｐとを合わせて可動支持板２２を取付台２１の外方へ片持ち支持の状態で移動量Ｐだけ更に突出して移動するようにすれば、移動路９の延出部に支え等を設ける程度の改変で２プレスユニットと４プレスユニットの装置のいずれにも対応させることができる。
【００４４】
〔第３実施例〕
次に、プレス装置の搬送機構の他例について図１１〜図１４を参照して説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
前記各実施例は、ローダー６及びアンローダー７の回動軸１７，１８の移動路９に沿った移動機構を装備していたが、上記移動機構を装備してしない形態も可能である。また、基本ユニット１に装備されるプレス部２は着脱可能に構成されていたが、本実施例はプレス部６２を基本ユニット１に一体に装備されるように構成されている。
【００４５】
図１１〜図１３を参照して樹脂封止装置の概略構成について説明する。図１１は樹脂封止装置の平面図、図１２は図１１の樹脂封止装置の正面図、図１３は図１１の樹脂封止装置の右側面図、図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）は搬送機構の平面図、正面図及び左側面図である。
図１１〜図１３において、基本ユニット１には、ローダー６及びアンローダー７の回動位置Ａの周囲にリードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部６２ディゲート部８及びリードフレーム収容部５が配設されている。上記ローダー６及びアンローダー７は、回動軸１７，１８を中心とした回動動作と可動フレーム２６ａ，２７ａの進退動作を行いながら、プレス部６２へのワークの搬入及び搬出を行う。即ち、上記ローダー６及びアンローダー７は、取付台２１に対して回動軸１７，１８が移動することなく回動可能にそれぞれ固定されている（図１４（ｂ）参照）。
【００４６】
また、上記ローダー６の搬入移動体２６は、進退用モータ４８を駆動させて可動フレーム２６ａをフレーム整列部３ａ上に前進させて、回転テーブル３ｂに切り出されたリードフレームをチャックハンド２９によりチャックする（図１３参照）。また、上記可動フレーム２６ａを一旦後退させた後、回動モータ１５を作動させてローダー６を９０°回転させ、上記可動フレーム２６ａを前進させてカセット４ａより樹脂タブレットをチャックする。そして、上記可動フレーム２６ａを後退させた後、上記ローダー６を時計回り若しくは反時計回りに１８０°回転させて、搬入移動体２６をプレス部６２に対向する位置まで回動させる（図１４（ａ）参照）。尚、図１４（ａ）において、Ｒはローダー６，アンローダー７の旋回ラインを示す。
【００４７】
上記搬入移動体２６は、進退用モータ４８を駆動させて可動フレーム２６ａを型開きしたプレス部６２内に進入させ、上動させた下型１４上にチャックハンド２９に保持したリードフレームや樹脂タブレットをチャックを解放して移載する。上記可動フレーム２６ａが型開きしたプレス部６２に進入するとき、上クリーナーシリンダ３４を作動させてフード３３内に収容された上クリーナー３０を上型１３のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を吸引ダクト３２内に吸引しながら進入する（図１４（ｃ）参照）。
【００４８】
また、樹脂封止後に型開きしたプレス部６２より成形品を取り出す場合には、アンローダー７の搬出移動体２７は、進退用モータ４９を駆動させて可動フレーム２７ａを型開きしたプレス部６２内に可動フレーム２７ａを進入させる。
そして、ハンドベースシリンダ４７を作動させてチャックハンド３９を下型１４上へ下動させて、離型された成形品をチャックして再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部６２より回動位置Ａまで退避させる。上記可動フレーム２７ａは、プレス部２より退避するとき、下クリーナーシリンダ４４を作動させてフード４３内に収容された下クリーナー４０を下型１４のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を吸引ダクト４２内に吸引しながら退避する（図１４（ｃ）参照）。
【００４９】
次に、必要に応じて回動モータ１６を起動してアンローダー７を９０°回動させた後、進退用モータ４９を駆動させて可動フレーム２７ａを回動位置Ａよりディゲート部８へ移動させ、チャックハンド３９より成形品が受け渡される。
上記ディゲート部８でゲートブレイクされた成形品は、リードフレームと不要樹脂とが分離され、図示しない搬送手段によりリードフレームのみがリードフレーム収容部５へ収容される（図１１参照）。
【００５０】
上記搬入，搬出移動体２６，２７に装備した可動フレーム２６ａ，２７ａをプレス部６２へ進退させる動作のタイミングは、型開きしたプレス部６２へ可動フレーム２７ａを進入させて樹脂封止が行われた成形品をチャックして下型１４のパーティング面をクリーニングしながら該プレス部２より退避するとき、次のワークを保持した可動フレーム２６ａが上型１３のパーティング面をクリーニングしながら進入する。即ち、上記可動フレーム２６ａと可動フレーム２７ａが入れ替わるように移動する。上記可動フレーム２７ａをプレス部２より退避させると、下型１４を上動させ、上記可動フレーム２６ａのチャックハンド２９を解放して、リードフレーム及び樹脂タブレットを下型１４のキャビティやポットにセットする。そして、上記可動フレーム２６ａをプレス部２より退避させると、下型１４が更に上動して上型１３と型閉じして樹脂封止が行われる。
【００５１】
上記構成によれば、ローダー６及びアンローダー７の移動は回動動作及び搬入，搬出移動体２６，２７の進退動作のみであり、回動軸１７，１８の移動がないため、プレス部６２に対するワークの搬入搬出がスムーズに行えるのでサイクルタイムの短縮化に寄与することができる。
【００５２】
〔第４実施例〕
次に、プレス装置の搬送機構の他例について図１５を参照して説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
上記第３実施例は、プレス部６２を１台装備した樹脂封止装置について説明したが、図１５に示すように、プレス部６２ａ，６２ｂを複数台（本実施例では２台）装備していても良い。例えば上記プレス部６２ａは、フレーム整列部３ａに対して回動位置Ａを中心に時計回り方向に４５°回転した位置に配設されており、プレス部６２ｂはディゲート部８に対して回動位置Ａを中心に反時計回り方向に４５°回転した位置に配設されている。上記プレス部６２ａ，６２ｂどうしは、９０°の回転角度を隔てて配設されている。
【００５３】
図１５において、ローダー６の搬入移動体２６は、進退用モータ４８を駆動させて可動フレーム２６ａをフレーム整列部３ａ上に前進させて、回転テーブル３ｂに切り出されたリードフレームをチャックハンド２９によりチャックする。また、上記可動フレーム２６ａを一旦後退させて回動モータ１５を作動させてローダー６を９０°回転させた後、上記可動フレーム２６ａを前進させてカセット４ａより樹脂タブレットをチャックする。そして、上記可動フレーム２６ａを後退させた後、上記ローダー６を時計回り又は反時計回り方向に１３５°回転させて、搬入移動体２６をプレス部６２ａ若しくはプレス部６２ｂに対向する位置まで回動させる。
そして、進退用モータ４８を起動して可動フレーム２６ａをプレス部６２ａ又は６２ｂへ進退移動させてワークの搬入を行う。
【００５４】
また、樹脂封止後に型開きしたプレス部６２より成形品を取り出す場合には、アンローダー７は、搬出移動体２７の可動フレーム２７ａを、型開きしたプレス部６２ａ又は６２ｂ内に進入させる。そして、ハンドベースシリンダ４７を作動させてチャックハンド３９を下型１４上へ下動させて、離型された成形品をチャックして再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部６２ａ又は６２ｂより回動位置Ａまで退避させる。
【００５５】
次に、回動モータ１６を起動してアンローダー７をプレス部６２ａに対向する位置から反時計回り方向へ２２５°又はプレス部６２ｂに対向する位置から時計回り方向へ４５°回動させた後、進退用モータ４９を駆動させて回動位置Ａよりディゲート部８へ可動フレーム２７ａを移動させて成形品が受け渡される。
上記ディゲート部８でゲートブレイクされた成形品は、リードフレームと不要樹脂とが分離され、図示しない搬送手段によりリードフレームのみがリードフレーム収容部５へ収容される。
【００５６】
このように、複数台のプレス部６２ａ，６２ｂを備えた樹脂封止装置においても、ローダー６及びアンローダー７の回動位置Ａの周囲にプレス部やワークの供給・収容部などを配設することにより、回動軸１７，１８を移動することなく装置レイアウトを自由に設計して回動角度を制御することにより、ローダー６及びアンローダー７によるワークの搬入搬出動作を最小限で行うことができ、サイクルタイムの短縮化や装置の小型化に寄与できる。
また、上記第４実施例に示す構成では、プレス部の数を増やそうとしても、装置レイアウト上難しいが、前記第２実施例のようにローダー６及びアンローダー７の移動機構を設けるとプレス部の数を増やし易く、装置の設置面積を増やすことなく成形品の量産化に対応できる。このときの回動軸１７，１８の移動は、移動路９を挟んで両側にプレス部２を配置しているので、最小の移動量で足りる。
【００５７】
〔第５実施例〕
次に、プレス装置の搬送機構の他例について図１６を参照して説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
図１６において、ローダー６及びアンローダー７の回動位置Ａを中心にその周囲を囲繞するよう配設されたユニット化されたリードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部２及びリードフレーム収容部５が、基本ユニット１に対してそれぞれ着脱自在に装備されている。上記ローダー６及びアンローダー７は上記リードフレーム供給部３や樹脂供給部４よりリードフレームや樹脂タブレットなどを搬出し、リードフレーム収容部５に成形後のリードフレームを搬入し、プレス部２にリードフレームや樹脂タブレットなどを搬入し、成形後のリードフレームを搬出する。
【００５８】
上記基本ユニット１には、リードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部２及びリードフレーム収容部５が着脱可能なリードフレーム供給着脱部６３、樹脂供給着脱部６４、プレス着脱部６５及びリードフレーム収容着脱部６６がそれぞれ形成されている。上記各着脱部には、ユニット支持面６３ｄ，６４ｄ，６５ｄ，６６ｄ上に着脱方向に沿って複数のローラー６３ａ，６４ａ，６５ａ，６６ａがそれぞれ回動可能に設けられている。また、上記各着脱部装着方向奥側には突き当て部６３ｂ，６４ｂ，６５ｂ，６６ｂがそれぞれ形成されている。また、上記各着脱部の長手方向両側には、幅方向をガイドするためのガイドレール６３ｃ，６４ｃ，６５ｃ，６６ｃがそれぞれ設けられている。
これらは、基本ユニット１に装着されると同時にローダー６及びアンローダー７の搬送路に対しての高さ出しが行われるのが好ましいが、少なくともプレス部２の金型のパーティング面の高さ出しが行われるのが好ましい。また、上記各着脱部により高さ出しを行わなくても、ユニット化されたリードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部２及びリードフレーム収容部５が、上記着脱部を設けていない搬送機構のみ有する基本ユニット１に対して個別に着脱自在に装備されていても良い。また、第５実施例は、リードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部２及びリードフレーム収容部５が全て着脱可能な構成であるが、少なくとも１つが着脱自在であっても良い。
【００５９】
上記樹脂封止装置の各部をユニット化したのは、例えば、リードフレーム供給部３においては、リードフレームの回転テーブル３ｂへの供給を１枚切り出しにするか複数枚切り出しにするかで交換が必要な場合があり、樹脂供給部４においては、樹脂タブレットをマガジンタイプで供給するか、パーツフィーダーで供給するか、或いは樹脂タブレットの代わりに顆粒タイプの樹脂を供給するかを変更できればユーザーのニーズに応じて選択の幅が広がるためである。また、プレス部２は生産量を調整するため或いは品種を変えるため金型を交換する必要があり、リードフレーム収容部５は、製品によって積層マガジンとスリットマガジンとを選択して使用できるため、汎用性や使い勝手が著しく向上するためである。
【００６０】
このように、ユーザーの利便性向上を図った樹脂封止装置においても、各部に対してワークの搬入搬出をローダー６及びアンローダー７の回動動作により行えるので、ユーザーの利便性の向上に加えて、装置の小型化や製造工程のサイクルタイムの短縮化に寄与することができる。
【００６１】
尚、本発明は上記各実施の態様に限定されるものではなく、プレス装置は樹脂封止装置に限らずリード加工装置などの他の装置に適用することも可能である等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【００６２】
【発明の効果】
本発明は前述したように、単数又は複数装備されたプレス部に対してワークを保持して進退移動可能な搬入保持手段を備えたワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、装置本体に互いに重なり合うよう配設し、それぞれ個別に備えた駆動源により回動軸を中心に回動可能に装備したことにより、ワークを供給部とプレス部との間及びプレス部と収容部との間で効率的に搬送することができる。よって、プレス装置のサイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現できる。また、ワークを主として回転運動により搬送するため、設置面積を減少させて装置の小型化に寄与することができる。
特に、前記ワーク搬入手段は、上動した下型上に前記搬入保持手段に保持した加工前のワークを移載し、前記ワーク搬出手段は型開きした下型上へ前記搬出保持手段を下動することにより加工後のワークを回収するようにした場合には、型閉じ動作に入る下型の途中動作を利用してワークの搬入動作を行うことで、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現できる。
また、前記搬出保持手段が加工後のワークを保持したまま下型をクリーニングしながらプレス部より退避するとき、前記搬入保持手段は加工前のワークを保持したまま上型をクリーニングしながら前記プレス部に進入し、前記搬出保持手段と搬入保持手段が入れ替わるように型開きしたプレス部に進退移動することによって、型開きした金型にワークの搬入動作と搬出動作を連繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を該搬入搬出動作と同時に行うことによっても、装置の合理化とサイクルタイムの短縮化を促進することができる。
また、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、前記プレス部に対する搬入保持手段及び搬出保持手段の進退方向と交差する方向に往復移動可能に装備された場合には、前記プレス部の増設に応じて回動軸の位置を直線的に移動させてワークを前記プレス部に搬入搬出することができる。
また、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、その周囲を囲繞するよう配設された供給部、プレス部及び収容部に対してそれぞれワークを搬入及び／又は搬出するようにした場合には、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段の回動動作及び前記搬入保持手段及び搬出保持手段の進退動作を組み合わせてワークの搬入及び搬出がそれぞれスムーズに行えるので、サイクルタイムの短縮化に寄与できる。
また、前記供給部、プレス部及び収容部はユニット化されており、前記搬入手段及び搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも１のユニットが着脱可能に装備された場合には、ユーザーの利便性の向上に加えて、装置の小型化やサイクルタイムの短縮化に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例に係るプレス部を取り外した樹脂封止装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１の樹脂封止装置の正面図である。
【図３】図１の樹脂封止装置の右側面図である。
【図４】搬送機構の平面図、正面図及び左側面図である。
【図５】ローダーの説明図である。
【図６】ローダーの他例の説明図である。
【図７】アンローダーの説明図である。
【図８】アンローダーの他例の説明図である。
【図９】図１に示す樹脂封止装置の他の構成を示す平面図である。
【図１０】第２実施例に係るプレス部を取り外した樹脂封止装置の概略構成を示す平面図である。
【図１１】第３実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図１２】図１１の樹脂封止装置の正面図である。
【図１３】図１１の樹脂封止装置の右側面図である。
【図１４】搬送機構の平面図、正面図及び左側面図である。
【図１５】第４実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図１６】第５実施例に係る各ユニットを取り外した樹脂封止装置の平面図である。
【図１７】従来の樹脂封止装置の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１基本ユニット
２，６２，６２ａ，６２ｂプレス部
３リードフレーム供給部
３ａフレーム整列部
３ｂ回転テーブル
４樹脂タブレット供給部
４ａカセット
５リードフレーム収容部
６ローダー
７アンローダー
８ディゲート部
９移動路
１０，６５プレス着脱部
１０ａ，６３ａ，６４ａ，６５ａ，６６ａローラー
１０ｂ，６３ｂ，６４ｂ，６５ｂ，６６ｂ突き当て部
１０ｃ，２８ａ，３８ａ，６３ｃ，６４ｃ，６５ｃ，６６ｃガイドレール
１０ｄ，６３ｄ，６４ｄ，６５ｄ，６６ｄユニット支持面
１１操作部
１２制御部
１３上型
１４下型
１５，１６回動モータ
１７，１８回動軸
１７ａ，１８ａカールケーブル
１９，２０プーリギヤ
２１取付台
２２可動支持板
２２ａガイド
２２ｂナット
２３レール
２４ボールネジ
２５移動モータ
２６搬入移動体
２６ａ，２７ａ可動フレーム
２６ｂ，２７ｂラック
２７搬出移動体
２８，３８搬入，搬出枠体
２９，３９チャックハンド
３０，４０上下クリーナー
３１，４１吸引口
３２，４２吸引ダクト
３３，４３フード
３４，４４上下クリーナーシリンダ
３５，４５上下クリーナー駆動モータ
３６，４６チャックハンド取付プレート
３７タブレット保持穴
４７ハンドベースシリンダ
４８，４９進退用モータ
５０，５１回転ダクト
５２，５３可動ダクト
５４，５５回転吸引口
５６，５７可動吸引口
５８，５９上下固定ダクト
６０，６１上下接続ホース
６３リードフレーム供給着脱部
６４樹脂供給着脱部
６６リードフレーム収容着脱部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a transport mechanism of a press apparatus in which a workpiece before processing is carried into a pressing unit equipped with one or more from a supply unit, and a workpiece after processing is carried out from a pressing unit to a storage unit.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as a resin sealing device used in a press device, an automatic machine using a transfer mold has been widely used. In this transfer mold apparatus, for example, as shown in FIG. 17, a lead frame as a molded product is supplied from a lead frame supply unit 101 to a frame alignment unit 102 and preheated, and from a resin tablet supply unit 103 via a tablet cassette 103a. The lead frame and the resin tablet are chucked by the loader 104 and transferred to the mold 105. Then, it is clamped by the mold 105, and the molten resin is pumped from the pot into the cavity with the plunger to seal the package part with the resin. After the resin sealing, the molded product is collected by the unloader 106, conveyed to the decay unit 107, and subjected to gate break. Then, only the molded product is stored in the molded product storage unit 108.
[0003]
The loader 104 and the unloader 106 are configured to reciprocate in the direction of arrow X along the guide shaft 109 between a supply position and a carry-in position, and a carry-out position and a delegate position. The loader 104 and the unloader 106 are provided side by side with respect to the guide shaft 109. The loader 104 and the unloader 106 can move forward and backward in the direction of the arrow Y with respect to the mold 105, move from the carry-in position and the carry-out position to the mold mold 105, and carry the molded product into the mold. Unload the goods.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
Since the lead frame supply unit 101 and the molded product storage unit 108 are provided on both sides of the mold 105, the loader 104 and the unloader 106 are arranged to reciprocate linearly along the guide shaft 109. The entire apparatus becomes longer in the X direction and is liable to be restricted in layout, and the entire pressing apparatus is not compact, and takes up a large floor area in the factory floor. In particular, since a resin sealing device for manufacturing a semiconductor device is used in a high-purity clean room, it is important to efficiently use the floor space in the clean room.
In addition, when a plurality of mold dies 105 are provided in order to mass-produce molded products, the entire apparatus becomes larger because it becomes longer in the X direction. In addition, the loader 104 and the unloader 106 individually move forward and backward from one direction with respect to the plurality of mold dies 105, and the unloader 106 carries out the molded product and retreats from the mold dies 105. The cleaner moves forward and backward to clean the upper and lower mold surfaces, and then the loader 104 carries the molded product into the mold die 105, so that the molding product is carried in, the mold cleaning and the molded product are carried out step by step. Therefore, the machine cycle is delayed and there is a limit to high-speed processing.
[0005]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-described problems of the prior art, and to provide a transport mechanism for a press apparatus that can achieve mass production and high speed by reducing the size of the entire apparatus and shortening the machine cycle.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above object, the present invention comprises the following arrangement.
  That is, in order to carry a workpiece before processing from a supply unit to a single or a plurality of equipped press units, a workpiece carrying unit provided with a loading and holding unit capable of moving forward and backward while holding the workpiece with respect to the press unit, and processing In order to carry out the subsequent work from the press part to the accommodating part, the work carrying means provided with a carry-out holding means capable of moving forward and backward while holding the work with respect to the press part, the work carry-in means and the work carry-out means meansAre arranged close to each other so as to overlap vertically along the same plane, and a movable support plate that integrally supports a rotating shaft that is rotated by a drive source that is individually provided reciprocates in the longitudinal direction of the mounting base. Mounted movablyIt is characterized by that.
[0007]
  In addition, the press unit is equipped with a lower die that can move up and down relative to the upper die, and the work carry-in means transfers the unprocessed work held in the carry-in holding means onto the lower mold that has moved up, The workpiece unloading means collects the processed workpiece by moving the unloading holding means down onto the lower mold that has been opened.Characterized by.
  Also, the carry-in holding means and the carry-out holding means respectively provided in the work carry-in means and the work carry-out means include a cleaner for cleaning the upper and lower molds of the press unit, a suction port for sucking the cleaned dust and the like, and a suction connected to the suction port. Each with a ductCharacterized by.
  In addition, the unloading and holding means holds the processed workpiece.MapWhen evacuating from the loess, the loading and holding means holds the workpiece before processing.MapEntering the loess part and moving forward and backward to the press part opened so that the carry-out holding means and the carry-in holding means are switched.Characterized by.
  Further, the work carry-in means and the work carry-out means are equipped so as to be capable of reciprocating in a direction crossing the advancing and retreating direction of the carry-in holding means and the carry-out holding means with respect to the press unit.It is characterized by.
  Further, the work carrying-in means and the work carrying-out means are arranged so as to surround the periphery thereof.workSupply section, press section andworkEach of the workpieces is carried into and / or out of the storage unit.
  Also,workSupply section, press section andworkThe accommodating portion is unitized, and at least one unit is detachably mounted on the basic unit having the workpiece carry-in means and the work carry-out means.
  Also,A suction port provided in each of the carry-in holding means and the carry-out holding means and a rotary duct that rotates together with the rotary shaft are connected to each other by the suction duct, and when the work carry-in means and the work carry-out means rotate, the movable support plate A rotating duct is connected to one of the movable ducts provided on both sides of the advancing / retreating direction to perform a suction operation.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
[First embodiment]
This example uses a resin molding device by transfer molding used for semiconductor device manufacture as an example of a press device, and is based on a lower plunger system in which a plunger is installed in a lower die, and uses a multi-pot type mold. A description will be given using a resin sealing device employing a lower multi-plunger method.
[0009]
1 is a plan view showing a schematic configuration of a resin sealing device from which a press section is removed, FIG. 2 is a front view of the resin sealing device of FIG. 1, and FIG. 3 is a right side view of the resin sealing device of FIG. 4 (a), (b), and (c) are a plan view, a front view and a left side view of the transport mechanism, FIGS. 5 (a) to 5 (d) are explanatory views of the loader, and FIGS. 6 (e) to 6 (g) are loaders. 7A to 7D are explanatory diagrams of the unloader, and FIGS. 8E to 8G are explanatory diagrams of other examples of the unloader.
[0010]
(overall structure)
First, a schematic configuration of the resin sealing device will be described with reference to FIGS.
Reference numeral 1 denotes a basic unit as an apparatus main body, which is detachably equipped with two press portions 2 equipped with a press function. In addition, since the press part 2 is located in the occupation area of the basic unit 1, even if the press part 2 is attached or detached, the occupation area of the apparatus main body does not change. Further, the press unit 2 is not limited to being equipped with a plurality of units, and may be equipped with a single unit.
[0011]
The basic unit 1 includes a lead frame supply unit 3 and a resin supply unit 4 that house a single or a plurality of molded articles (lead frames and resin tablets) as workpieces, and a lead frame after resin sealing as a workpiece. It is equipped with a lead frame accommodating portion 5 for accommodating. The basic unit 1 includes a loader 6 as a work loading means for loading the lead frame and the resin tablet supplied from the lead frame supply unit 3 and the resin supply unit 4 into the press unit 2; The unloader 7 is provided as a work unloading means for unloading the lead frame from the press section 2 to the lead frame housing unit 5. The loader 6 is disposed on the unloader 7 so as to overlap.
[0012]
The loader 6 receives the lead frame supplied from the lead frame supply unit 3 to the frame alignment unit 3a provided with the rotary table 3b, rotates 90 °, and then is supplied from the resin supply unit 4 to the cassette 4a. The resin tablet is delivered from the cassette 4a, and is further rotated by 90 ° and carried into any one of the press sections 2 in which the molds are opened. Further, the unloader 7 collects the molded lead frame from the press unit 2 and temporarily carries it out to the delegate unit 8.
The lead frame supply unit 3 and the lead frame housing unit 5 are provided on a base plate (not shown) supported on the base of the basic unit 1 by a square rod or the like. The supply magazine containing the lead frame before resin sealing and the storage magazine containing the lead frame after resin sealing are taken out from the base plate and replenished. The resin supply unit 4 is mounted on a base below the base plate, and the cassette 4a reciprocates between a supply position on the base and an upper delivery position.
[0013]
On both sides of the movement path 9 of the loader 6 and unloader 7 of the basic unit 1, a press attaching / detaching part 10 is provided in a part of the apparatus base, and the press attaching / detaching part 10 includes the press part 2. It is detachably mounted (see FIG. 1).
Further, the basic unit 1 is provided with an operation unit 11 (see FIG. 2), which selects and starts a resin sealing operation and an operation mode. A control unit 12 controls the operation of each unit equipped in the basic unit 1 based on the command input from the operation unit 11.
[0014]
The lead frame and the resin tablet supplied from the lead frame supply unit 3 and the resin supply unit 4 are chucked by the loader 6, loaded into each press unit 2, clamped between the upper and lower molds 13 and 14, and sealed with resin. Then, the molded product after resin sealing is chucked by the unloader 7 and carried out to the degate unit 8, and after the gate break is performed, the molded product is transferred to the lead frame storage unit 5 and stored therein.
In this embodiment, since the lead frame and the resin tablet can be supplied and the molded product can be taken out from one direction of the apparatus (left side in FIG. 1), workability is good.
[0015]
(Configuration of the press section)
Hereinafter, an outline of the configuration of the press unit 2 will be described.
In FIG. 3, the press base and the movable platen that supports the lower mold 14 are connected by a lifting mechanism (not shown), and the lifting mechanism is operated using an electric motor (servo motor), a hydraulic mechanism (not shown), or the like. As a result, the lower mold 14 is moved up and down to open and close the upper mold 13 fixed to the upper fixed platen. Further, the lower mold 14 is equipped with a transfer drive mechanism (not shown) that moves the plunger up and down to pressure-feed the resin supplied to the pot to the cavity. The transfer drive mechanism is driven by an electric motor or a hydraulic mechanism. The press unit 2 is also equipped with a specific operation unit and control unit, and is configured to be able to control the press operation.
[0016]
Further, as shown in FIGS. 1 to 3, a plurality of rollers 10 a are unit-supported along the attaching / detaching direction of the press portion 2 to the press attaching / detaching portion 10 to support and attach the bottom portion of the press portion 2. The surface 10d is rotatably provided. Further, an abutting portion 10b is formed on the back side of the press attaching / detaching portion 10 in the mounting direction of the press portion 2. Further, guide rails 10c for guiding the width direction of the press portion 2 are provided on both sides in the longitudinal direction of the unit support surface 10d. The distance from the installation surface of the press attaching / detaching portion 10 to the processing surface (parting surface) of the lower die 14 is set so as to be uniquely determined even if the type of the mold is changed.
[0017]
Note that the roller 10a provided in the press attaching / detaching portion 10 takes into consideration the deformation and wear of the roller 10a so that the bottom of the press portion 2 is retracted into the inside of the press attaching / detaching portion 10a from the position where the bottom portion is supported when attaching / detaching. It may be configured. In this case, since the press part 2 is supported by the unit support surface (planar) 10d of the press attaching / detaching part 10, the accuracy of height adjustment does not fluctuate even if the attaching / detaching is repeated. Further, instead of the roller 10a, a ball bearing in which a metal ball is rotatably attached to the frame body may be used, or the unit support surface (plane) 10d may be made into a mirror surface to make it easy to slide. The press part 2 attached to the press attaching / detaching part 10 is positioned and fixed by a positioning pin 10e having a threaded part formed at the tip. In addition, the attaching / detaching operation of the press unit 2 is carried out in advance by a dedicated jig, and then transferred to the press attaching / detaching unit 10 after being transported by a dedicated movable carriage K or the like (see FIG. 1).
[0018]
(Configuration of transport mechanism)
Next, the configuration of the loader 6 and the unloader 7 will be specifically described with reference to FIGS. In FIG. 4, the loader 6 and the unloader 7 are arranged one above the other (see FIG. 4B) and are mounted so as to be movable along the same plane. In this way, by placing the loader 6 and the unloader 7 in close proximity to each other, the area occupied by the apparatus main body can be reduced as much as possible. The loader 6 and the unloader 7 are individually equipped with rotation motors (electric motors) 15 and 16 (see FIG. 4B). A timing belt (not shown) is stretched between the motor gears of the rotation motors 15 and 16 and pulley gears 19 and 20 provided coaxially on the rotation shafts 17 and 18. , 16 are driven to rotate the loader 6 and the unloader 7 about the rotation shafts 17 and 18, respectively. Inside the rotating shafts 17 and 18, curl cables 17a and 18a for wiring to the drive portions of the loader 6 and the unloader 7 are disposed, respectively.
[0019]
Here, the moving mechanism of the loader 6 and the unloader 7 will be described. In FIG. 4A, reference numeral 21 denotes a mounting base, which is provided on the loader 6 and the unloader 7, respectively. A movable support plate 22 that integrally supports the rotating shafts 17 and 18 of the loader 6 and the unloader 7 is attached to the mounting base 21 so as to be capable of reciprocating in the longitudinal direction of the mounting base 21. The movable support plate 22 is movably fitted to a rail 23 disposed in the longitudinal direction of the mounting base 21 via a guide 22 a fixed to the movable support plate 22. A ball screw 24 is disposed on the mounting base 21 in parallel with the rail 23. The ball screw 24 is rotated via a timing belt 25 a by a moving motor (servo motor) 25 provided on the mounting base 21 and capable of being driven to rotate forward and backward.
The nut 22b formed in a part of the movable support plate 22 is screwed so that the ball screw 24 is inserted, and when the ball screw 24 is driven to rotate, the movable support plate 22 is moved along the rail 23. 4A is configured to move in the left-right direction between a rotation position A in FIG. 4A and advancing / retreating positions B corresponding to the plurality of press portions 2 provided along the movement path 9. The rail 23 is not provided directly below the central portions of the rotary shafts 17 and 18 because the central portions of the rotary shafts 17 and 18 are used as wiring paths. This is because the overall height of the loader 7 is increased.
[0020]
As shown in FIGS. 4B and 4C, the loader 6 and the unloader 7 carry-in movement as carrying-in holding means capable of holding the work with respect to the press-opened press unit 2 and moving forward and backward individually. A body 26 and a carry-out moving body 27 as carry-out holding means are provided.
[0021]
A specific configuration of the carry-in / carry-out moving bodies 26 and 27 will be described with reference to FIGS. FIGS. 5 (a) and 7 (a) are top views of the loading / unloading moving body, and FIGS. 5 (b) (c), 7 (b) and (c) are FIGS. 5 (a) and 7 (c). FIG. 5 (d) and FIG. 7 (d) are explanatory diagrams showing the standby state of the upper and lower cleaners, and FIGS. 6 (e) to (g) and FIGS. It is explanatory drawing which shows the upper view of the up-and-down cleaner which concerns on another example, the operation state of an up-and-down cleaner, and a standby state.
First, the structure of the carrying-in moving body 26 equipped in the loader 6 will be described with reference to FIGS. The carrying-in moving body 26 includes a chuck hand 29, an upper cleaner 30 for cleaning the parting surface of the upper mold 13, and unnecessary resin scraped off by the upper cleaner 30 inside a carrying frame 28 having a U-shaped cross section. The movable frame 26a is equipped with a suction port 31 for sucking dust and the like and a suction duct 32 connected thereto. The suction duct 32 is disposed along the periphery of the movable frame 26a and is connected to a rotating duct 50 described later.
[0022]
The upper cleaner 30 is accommodated inside the opening of the hood 33 connected to the suction duct 32. The opening of the hood 33 also serves as the suction port 31 because the loader 6 enters the press portion 2 with the upper cleaner 30 at the head side, and therefore the hood 33 of the upper cleaner 30 is inserted into the suction port 31. This is because it is desirable to use both. The upper cleaner 30 is configured to be movable toward and away from the parting surface of the upper die 13 by the upper cleaner cylinder 34 in order to avoid interference with the upper die 13 during forward and backward movement. That is, only when the carry-in moving body 26 enters the mold, it is moved toward and away from the upper cleaner cylinder 34 so as to protrude toward the upper mold 13 (see FIGS. 5C and 5D). As shown in FIGS. 6E to 6G, the upper cleaner 30 rotates the upper cleaner 30 around the pulley integrally with the hood 33 by driving a cylinder (not shown). You may comprise so that it may contact / separate to a surface.
[0023]
Further, as shown in FIG. 5A, the upper cleaner 30 is rotationally driven by the upper cleaner drive motor 35 via a timing belt that is stretched between pulleys. A chuck hand 29 that chucks the lead frame before molding is held by a chuck hand mounting plate 36. The resin tablet is conveyed while being held in a tablet holding hole 37 formed in the chuck hand mounting plate 36.
[0024]
Next, the structure of the carry-out moving body 27 equipped in the unloader 7 will be described with reference to FIGS. The carry-out moving body 27 includes a chuck hand 39, a lower cleaner 40 for cleaning the parting surface of the lower mold 14, and an unnecessary resin scraped out by the lower cleaner 40 inside a carry-out frame body 38 having a U-shaped cross section. The movable frame 27a is equipped with a suction port 41 for sucking dust and dust and the like, and a suction duct 42 connected thereto. The suction duct 42 is disposed along the periphery of the movable frame 27a and is connected to a rotating duct 51 described later.
[0025]
The lower cleaner 40 is accommodated inside the opening of the hood 43, and a suction port 41 is formed adjacent to the hood 43. The suction port 41 is formed on the rear side in the retracting direction from the lower cleaner 40 separately from the lower cleaner 40. This is because the lower cleaner 40 is preferably disposed on the rear side of the lower cleaner 40 in order to clean the lower die 14 when the carry-out moving body 27 is retracted from the press unit 2. is there. The lower cleaner 40 is configured to be movable toward and away from the parting surface of the lower die 14 by a lower cleaner cylinder 44 in order to avoid interference with the lower die 14 and the molded product during forward and backward movement. . That is, only when the carry-out moving body 27 is retracted from the mold, it is moved toward and away from the lower cleaner cylinder 44 so as to protrude toward the lower mold 14 (see FIGS. 7C and 7D). As shown in FIGS. 8E to 8G, the lower cleaner 40 is driven by a cylinder (not shown) so that the lower cleaner 40 rotates together with the hood 43 around the pulley so that the lower mold 14 is parted. You may comprise so that it may contact / separate to a surface.
[0026]
Further, as shown in FIG. 7A, the lower cleaner 40 is rotationally driven by a lower cleaner driving motor 45 via a timing belt stretched between pulleys. Further, the chuck hand 39 for chucking the molded lead frame is held by the chuck hand mounting plate 46. The chuck hand mounting plate 46 is mounted so as to be able to move downward by a hand base cylinder 47 shown in FIG. 7 (c), thereby forming a molded product in which the claw portion at the tip of the chuck hand 39 is released from the lower mold 14. It is possible to reliably immerse and to reliably recover the molded product.
[0027]
The advance / retreat operation of the carry-in / carry-out moving bodies 26 and 27 will be described with reference to FIGS. Motor gears of forward / backward motors (electric motors) 48 and 49 provided on the carry-in and carry-out frame bodies 28 and 38 mesh with racks 26b and 27b provided on the movable frames 26a and 27a, respectively. The forward and backward motors 48 and 49 are driven to rotate forward and backward, whereby the movable frames 26a and 27a are reciprocated between the forward / backward position B (see FIG. 4A) and the press unit 2. The movable frames 26a and 27a move forward and backward along guide rails 28a and 38a (see FIG. 4B) provided on both sides of the carry-in and carry-out frame bodies 28 and 38, respectively. Since the carry-in and carry-out moving bodies 26 and 27 are arranged above and below, the movable frames 26a and 27a can enter the press unit 2 with the mold opened at the same time.
[0028]
Next, the work loading / unloading operation of the loading / unloading moving bodies 26 and 27 will be described. First, the loader 6 advances the movable frame 26a from the carry-in moving body 26 at the rotation position A in FIG. 4A, and chucks the lead frame cut out on the rotary table 3b (see FIG. 1) of the frame alignment portion 3a. Chuck by hand 29. Further, after the movable frame 26a is once retracted, the rotation motor 15 is operated to rotate the loader 6 by 90 °, and the movable frame 26a is advanced to chuck the resin tablet from the cassette 4a. Then, after the movable frame 26a is retracted and rotated 90 ° clockwise or counterclockwise, the moving motor 25 is operated to move the movable support plate 22 along the rail 23, and the loader 6 is The moving path 9 is moved until the moving shaft 17 reaches the advance / retreat position B from the rotation position A. If the movement of the rotary shaft 17 from the rotation position A to the advance / retreat position B and the rotation of the loader 6 are combined, the machine cycle can be shortened. In FIG. 4A, R indicates a turning line of the loader 6 and the unloader 7.
[0029]
As described above, the press unit 2 is equipped with the lower die 14 so as to be movable up and down with respect to the upper die 13. The carry-in moving body 26 has a lead frame or a resin tablet held by a chuck hand 29 on the lower die 14 that has been moved up by driving the advance / retreat motor 48 into the press portion 2 that has been opened to enter the movable frame 26a. Release the chuck and transfer. When the movable frame 26a enters the press part 2 where the mold is opened from the advance / retreat position B shown in FIG. 4A, the upper cleaner cylinder 34 is operated and the upper cleaner 30 accommodated in the hood 33 is moved to the upper mold 13. The dust enters the suction duct 32 while being brought into contact with the parting surface and rotated for cleaning. When the movable frame 26a is retracted from the press portion 2 after the work is loaded, the upper cleaner 30 is retracted to the advance / retreat position B in a state of being retracted from the upper mold 13.
[0030]
Further, when the molded product is taken out from the press part 2 that has been opened after the resin sealing, the unloader 7 is moved forward and backward while the unloader 7 is moved to the forward / backward position B shown in FIG. The movable frame 27a is caused to enter from the advancing / retreating position B into the press portion 2 that is opened by driving the motor 49. Note that when the movable frame 27a enters the press portion 2, the lower cleaner 40 enters in a state of being separated from the lower mold 14.
Then, the hand base cylinder 47 is actuated to lower the chuck hand 39 onto the lower mold 14, chuck the released molded product and move it up again, and then press the press section 2 while holding the molded product. Retreat to the forward / backward position B. When the movable frame 27a is retracted from the press unit 2, the lower cleaner cylinder 44 is operated to bring the lower cleaner 40 accommodated in the hood 43 into contact with the parting surface of the lower mold 14 and rotate to clean it. The dust is retracted while sucking the dust into the suction duct 42.
[0031]
Next, the moving motor 25 is operated to move the movable support plate 22 along the rail 23, and the unloader 7 moves on the moving path 9 until the rotation shaft 18 reaches the rotation position A from the advance / retreat position B. Let Then, if necessary, the rotation motor 16 is activated to rotate the unloader 7 by 180 °, and then the advance / retreat motor 49 is driven to move the movable frame 27a from the rotation position A to the delegation unit 8. The chuck hand 39 is moved down to deliver the molded product. If the movement of the rotation shaft 18 from the advance / retreat position B to the rotation position A and the rotation of the unloader 7 are combined, the machine cycle can be shortened.
In the molded product gate-breaked in the degate part 8, the lead frame and the unnecessary resin are separated, and only the lead frame is accommodated in the lead frame accommodating part 5 by a conveying means (not shown).
[0032]
The timing of the operation of moving the movable frames 26a and 27a forward and backward from the carry-in and carry-out moving bodies 26 and 27 is such that the lower mold 14 chucks the molded product that has been resin-sealed by the movable frame 27a entering the press portion 2. When the parting surface of the upper die 13 is retracted from the press portion 2 while cleaning the parting surface, the movable frame 26a holding the next workpiece enters while cleaning the parting surface of the upper die 13. That is, the movable frame 26a and the movable frame 27a move so as to be interchanged. When the movable frame 27a that has chucked the molded product is retracted from the press unit 2, the lower die 14 is moved upward, the chuck hand 29 of the movable frame 26a is released, and the lead frame and the resin tablet are placed in the cavity of the lower die 14. And set in the pot. Then, when the movable frame 26a is retracted from the press portion 2, the lower die 14 is further moved upward to close the upper die 13 and resin sealing is performed.
In this way, the work loading / unloading operation is linked to the open press unit 2 and the mold cleaning operation is performed simultaneously with the loading / unloading operation, thereby promoting rationalization of the apparatus and shortening of the cycle time. can do.
[0033]
Further, in the workpiece loading operation of the loading moving body 26 by the chuck hand 29, the vertical movement of the chuck hand 29 is omitted because the loader 6 itself can be reduced in thickness and reduced in size. Since the loader 7 is arranged vertically, when the movable frame 27a on the unloader 7 side is retracted from the press unit 2, there is a distance between the movable frame 26a holding the workpiece and the lower mold 14, so that Rather than moving the hand 29 down, the workpiece loading operation is performed using the intermediate movement of the lower mold 14 that moves up for the mold closing operation, so that the cycle time can be shortened and higher speed processing can be realized. is there.
[0034]
On the other hand, in the work unloading operation of the unloading moving body 27 by the chuck hand 39, the chuck hand 39 is moved up and down when the lower die 14 is moved down to the lowest point (not shown). This is because the molded product released by the chuck hand 39 must be picked up in order to push the molded product up and release. Further, the pushing-up of the molded product by the ejection rod uses the lifting / lowering operation of the movable platen, so that a drive source dedicated to lower mold ejection can be omitted.
However, since the mold release operation of the molded product is performed only when the lower mold 14 moves down to the lowest point, the position where the ejection rod is provided is restricted. For this reason, if a drive source dedicated to lower mold ejection is provided in the lower mold base, the chuck hand 39 does not need to be moved up and down, and the molded product is released by pushing up the ejection rod regardless of the position of the movable platen. Therefore, the unloader 7 can be disposed on the upper side of the loader 6.
[0035]
Next, the piping structure of the suction ducts 32 and 42 in the loader 6 and the unloader 7 will be described with reference to FIGS.
Suction ducts 32 and 42 formed along the periphery of the movable frames 26a and 27a from the suction ports 31 and 41 are connected to rotary ducts 50 and 51 mounted in the carry-in and carry-out frame bodies 28 and 38, respectively. (See FIG. 4 (b)). Since the rotating ducts 50 and 51 rotate together with the rotating shafts 17 and 18, the suction ducts 32 and 42 do not get entangled with the rotating shafts 17 and 18.
[0036]
In addition, movable ducts 52 and 53 are integrally attached to the movable support plate 22 (see FIGS. 4B and 4C). The rotary suction ports 54 and 55 formed in the rotary ducts 50 and 51 are respectively provided on both sides of the movable frames 26a and 27a in the forward and backward directions of the movable ducts 52 and 53 when the loader 6 and the unloader 7 are rotated. A suction operation is performed by connecting to either one of the movable suction ports 56 and 57 formed at two locations (see FIG. 4A). The rotary suction ports 54 and 55 are formed with an opening at the top of a metal spherical projection, for example, and the movable suction ports 56 and 57 are the top of a rubber or plastic spherical projection. An opening is formed in the portion. Therefore, as the loader 6 and the unloader 7 are rotated, the rotary suction ports 54 and 55 come into pressure contact with the movable suction ports 56 and 57 formed on either one, and the protruding portions of the movable suction ports 56 and 57 The ducts are connected to each other with airtightness by elastically deforming. The rotary suction ports 54 and 55 and the movable suction ports 56 and 57 may be connected to metal parts or rubber parts as long as airtightness is maintained.
[0037]
The mounting base 21 to which the movable support plate 22 is attached is provided with upper and lower fixed ducts 58 and 59, which are respectively connected to the movable ducts 52 and 53 by upper and lower connection hoses 60 and 61. It is connected. The upper and lower fixed ducts 58 and 59 are respectively connected to a dust collector (not shown) (see FIG. 4B).
[0038]
According to the above configuration, the loader 6 and the unloader 7 are arranged one above the other, and are respectively provided so as to be rotatable around the rotation shafts 17 and 18 by the rotation motors 15 and 16 provided individually. Work pieces such as lead frames, resin tablets, and molded products can be efficiently conveyed between the frame supply unit 3 and the press unit 2 and between the press unit 2 and the lead frame storage unit 5. Therefore, the cycle time of the press device can be shortened, and mass production of products and high speed processing can be realized. In addition, since the work is conveyed mainly by rotational movement, the installation area can be reduced and the apparatus can be reduced in size. The reduction of the installation area is significant because it can effectively use the space of a clean room for manufacturing a semiconductor device.
[0039]
In particular, the loader 6 and the unloader 7 are respectively provided with loading and unloading moving bodies 26 and 27 that hold the workpiece with respect to the press unit 2 and can be moved forward and backward individually, and the loading moving body 26 is moved up and down. A workpiece closing operation is carried out by transferring the workpiece before processing held by the chuck hand 29 onto the die 14 and moving the chuck hand 39 of the carry-out moving body 27 downward onto the lower die 14 to collect the workpiece after processing. By performing the workpiece loading operation using the mid-stage movement of the lower mold 14 entering, the cycle time can be shortened and higher speed processing can be realized. Further, by moving the chuck hand 39 up and down of the carry-out moving body 27, there is no possibility of interference with the molded product when the unloader 7 enters the press section 2, and the molded product is reliably chucked by the chuck hand 39. it can.
[0040]
The carry-in and carry-out moving bodies 26 and 27 include upper and lower cleaners 30 and 40 for cleaning the upper and lower molds 13 and 14 of the press unit 2, suction ports 31 and 41 for sucking cleaned unnecessary resin, dust, and the like, respectively. By providing the suction ducts 32 and 42 connected thereto, the workpiece loading / unloading operation is linked to the press unit 2 that has been opened, and the mold cleaning operation is performed simultaneously with the loading / unloading operation. As a result, the rationalization of the apparatus and the shortening of the cycle time can be promoted.
[0041]
Note that the holding of the workpiece is not limited to the chuck hand, and can be held by a suction method.
Moreover, although the said Example demonstrated the Example which equipped the press part as the structure of the resin sealing apparatus with the press part 2 so that attachment or detachment was possible with respect to the basic unit 1, as shown in FIG. The press unit 62 may be integrated into the basic unit 1. In this case, the moving direction of the movable support plate 22 attached to the mounting base 21 is configured to move in the vertical direction in FIG. 9 to a position facing each press portion 62.
[0042]
[Second Embodiment]
Next, another example of the conveyance mechanism of the press apparatus will be described with reference to FIG. In addition, the same number is attached | subjected to the same member as the said 1st Example, and description shall be used.
Although 1st Example demonstrated the case where it applied to the resin sealing apparatus which can mount | wear with the two press parts 2 to the press attachment / detachment part 10 of the basic unit 1, as shown in FIG. It is also possible to apply to a resin sealing device to which 2 can be mounted. In this case, the configurations of the loader 6 and the unloader 7 can be the same as those in the first embodiment.
[0043]
Further, when carrying in / out the workpiece to / from the both-side press portion 2 close to the basic unit 1, the rotating shafts 17 and 18 reach the advance / retreat position B in FIG. 4A as in the first embodiment. The movable support plate 22 is moved so that the movable frames 26a and 27a are advanced and retracted. Further, when carrying in / out the workpiece with respect to the both side press portions 2 far from the basic unit 1, the movable support plate 22 is moved so that the rotating shafts 17 and 18 reach the advance / retreat position C in FIG. Then, the movable frames 26a and 27a are advanced and retracted. In this case, as shown in FIG. 4B, the moving amount of the movable support plate 22 may be extended by changing the mounting base 21, the rail 23, and the ball screw 24 to a long one (L → L ′). Further, the distance Q between the position G of the guide 22a and the rotation position A is matched with the distance P between the forward and backward positions B and C, and the movable support plate 22 is moved out of the mounting base 21 in a cantilevered state. If it is further projected and moved by P, it can be adapted to both 2-press unit and 4-press unit devices by modification to the extent that a support or the like is provided on the extending portion of the moving path 9.
[0044]
[Third embodiment]
Next, another example of the conveyance mechanism of the press apparatus will be described with reference to FIGS. In addition, the same number is attached | subjected to the same member as the said 1st Example, and description shall be used.
In each of the above embodiments, the moving mechanism along the moving path 9 of the rotation shafts 17 and 18 of the loader 6 and the unloader 7 is provided. However, a form not equipped with the moving mechanism is also possible. Further, although the press unit 2 provided in the basic unit 1 is configured to be detachable, the present embodiment is configured such that the press unit 62 is provided integrally with the basic unit 1.
[0045]
A schematic configuration of the resin sealing device will be described with reference to FIGS. 11 is a plan view of the resin sealing device, FIG. 12 is a front view of the resin sealing device of FIG. 11, FIG. 13 is a right side view of the resin sealing device of FIG. 11, and FIGS. ) Are a plan view, a front view, and a left side view of the transport mechanism.
11 to 13, the basic unit 1 includes a lead frame supply unit 3, a resin supply unit 4, a press unit 62, a degate unit 8, and a lead frame storage unit 5 around a rotation position A of the loader 6 and the unloader 7. Is arranged. The loader 6 and the unloader 7 carry in and out the workpiece to and from the press unit 62 while performing a rotation operation around the rotation shafts 17 and 18 and an advance / retreat operation of the movable frames 26a and 27a. In other words, the loader 6 and the unloader 7 are fixed to the mounting base 21 so that the rotation shafts 17 and 18 can rotate without moving (see FIG. 14B).
[0046]
Further, the loading moving body 26 of the loader 6 drives the advance / retreat motor 48 to advance the movable frame 26a onto the frame alignment portion 3a, and chucks the lead frame cut out on the rotary table 3b by the chuck hand 29. (See FIG. 13). Further, after the movable frame 26a is once retracted, the rotation motor 15 is operated to rotate the loader 6 by 90 °, and the movable frame 26a is advanced to chuck the resin tablet from the cassette 4a. Then, after the movable frame 26a is retracted, the loader 6 is rotated 180 ° clockwise or counterclockwise to rotate the carry-in moving body 26 to a position facing the press portion 62 (FIG. 14 (a)). )reference). In FIG. 14A, R indicates a turning line of the loader 6 and the unloader 7.
[0047]
The carry-in moving body 26 is driven by an advancing / retracting motor 48 to enter the movable frame 26a into the press section 62 where the mold is opened, and the lead frame or resin tablet held by the chuck hand 29 on the lower mold 14 moved upward. Release the chuck and transfer. When the movable frame 26a enters the press part 62 with the mold opened, the upper cleaner cylinder 34 is operated to bring the upper cleaner 30 accommodated in the hood 33 into contact with the parting surface of the upper mold 13 and rotate to clean it. However, the dust enters the suction duct 32 while sucking it (see FIG. 14C).
[0048]
Further, when the molded product is taken out from the press part 62 that is opened after the resin is sealed, the unloading moving body 27 of the unloader 7 drives the advance / retreat motor 49 to open the movable frame 27 a in the press part 62. The movable frame 27a is entered.
Then, the hand base cylinder 47 is operated and the chuck hand 39 is moved down onto the lower mold 14 to chuck the released molded product and move up again, and then the press section 62 while holding the molded product. Then, it is retracted to the rotational position A. When the movable frame 27a is retracted from the press unit 2, the lower cleaner cylinder 44 is operated to bring the lower cleaner 40 accommodated in the hood 43 into contact with the parting surface of the lower mold 14 and rotate to clean it. Then, the dust is retracted while sucking into the suction duct 42 (see FIG. 14C).
[0049]
Next, if necessary, the rotation motor 16 is activated to rotate the unloader 7 by 90 °, and then the forward / backward motor 49 is driven to move the movable frame 27a from the rotation position A to the delegation section 8. The molded product is delivered from the chuck hand 39.
In the molded product gate-breaked by the degate part 8, the lead frame and the unnecessary resin are separated, and only the lead frame is accommodated in the lead frame accommodating part 5 by a conveying means (not shown) (see FIG. 11).
[0050]
The timing of the operation of moving the movable frames 26a, 27a mounted on the carry-in and carry-out moving bodies 26, 27 back and forth to the press unit 62 is such that the movable frame 27a enters the press unit 62 with the mold opened and resin sealing is performed. When the molded product is chucked and the parting surface of the lower die 14 is cleaned and retracted from the press unit 2, the movable frame 26 a holding the next workpiece enters while cleaning the parting surface of the upper die 13. That is, the movable frame 26a and the movable frame 27a move so as to be interchanged. When the movable frame 27a is retracted from the press unit 2, the lower die 14 is moved upward, the chuck hand 29 of the movable frame 26a is released, and the lead frame and the resin tablet are set in the cavity or pot of the lower die 14. . Then, when the movable frame 26a is retracted from the press portion 2, the lower die 14 is further moved upward to close the upper die 13 and resin sealing is performed.
[0051]
According to the above configuration, the loader 6 and the unloader 7 are moved only by the rotating operation and the loading / unloading moving bodies 26 and 27, and the rotating shafts 17 and 18 are not moved. Since workpieces can be loaded and unloaded smoothly, it can contribute to shortening the cycle time.
[0052]
[Fourth embodiment]
Next, another example of the conveyance mechanism of the press apparatus will be described with reference to FIG. In addition, the same number is attached | subjected to the same member as the said 1st Example, and description shall be used.
In the third embodiment, the resin sealing device equipped with one press unit 62 has been described. However, as shown in FIG. 15, a plurality of press units 62a and 62b (two in this embodiment) are installed. May be. For example, the press part 62 a is disposed at a position rotated 45 ° clockwise around the rotation position A with respect to the frame alignment part 3 a, and the press part 62 b is a rotation position with respect to the delegate part 8. It is disposed at a position rotated 45 ° counterclockwise around A. The press parts 62a and 62b are disposed with a rotation angle of 90 °.
[0053]
In FIG. 15, the loading moving body 26 of the loader 6 drives the advance / retreat motor 48 to advance the movable frame 26 a onto the frame alignment portion 3 a, and chucks the lead frame cut out on the rotary table 3 b by the chuck hand 29. To do. Further, after the movable frame 26a is temporarily retracted and the rotation motor 15 is operated to rotate the loader 6 by 90 °, the movable frame 26a is advanced to chuck the resin tablet from the cassette 4a. Then, after retracting the movable frame 26a, the loader 6 is rotated 135 ° clockwise or counterclockwise to rotate the carry-in moving body 26 to a position facing the press portion 62a or the press portion 62b. .
Then, the advancing / retreating motor 48 is activated to move the movable frame 26a forward and backward to the press portion 62a or 62b, and the work is carried in.
[0054]
Further, when the molded product is taken out from the press part 62 opened after the resin is sealed, the unloader 7 causes the movable frame 27a of the carry-out moving body 27 to enter the press part 62a or 62b opened. Then, the hand base cylinder 47 is actuated to lower the chuck hand 39 onto the lower mold 14, chuck the released molded product and move it up again, and then hold the molded product while holding the molded product 62a. Alternatively, it is retracted from 62b to the rotation position A.
[0055]
Next, after the rotation motor 16 is activated and the unloader 7 is rotated 225 ° counterclockwise from the position facing the press portion 62a or 45 ° clockwise from the position facing the press portion 62b. Then, the advancing / retreating motor 49 is driven to move the movable frame 27a from the rotation position A to the delegation unit 8, and the molded product is delivered.
In the molded product gate-breaked in the degate part 8, the lead frame and the unnecessary resin are separated, and only the lead frame is accommodated in the lead frame accommodating part 5 by a conveying means (not shown).
[0056]
As described above, even in the resin sealing device including a plurality of press portions 62 a and 62 b, a press portion, a workpiece supply / accommodation portion, and the like are disposed around the rotation position A of the loader 6 and the unloader 7. As a result, the loader 6 and the unloader 7 can carry out the work loading / unloading operation at a minimum by freely designing the apparatus layout and controlling the rotation angle without moving the rotation shafts 17 and 18. This can contribute to shortening of cycle time and downsizing of the apparatus.
In the configuration shown in the fourth embodiment, although it is difficult in terms of the apparatus layout even if the number of press sections is increased, if the moving mechanism for the loader 6 and the unloader 7 is provided as in the second embodiment, the press section is provided. It is easy to increase the number of parts, and it can cope with the mass production of molded products without increasing the installation area of the apparatus. As for the movement of the rotating shafts 17 and 18 at this time, since the press portions 2 are disposed on both sides of the moving path 9, a minimum moving amount is sufficient.
[0057]
[Fifth embodiment]
Next, another example of the transport mechanism of the press apparatus will be described with reference to FIG. In addition, the same number is attached | subjected to the same member as the said 1st Example, and description shall be used.
In FIG. 16, the lead frame supply unit 3, the resin supply unit 4, the press unit 2, and the lead frame housing are arranged so as to surround the periphery of the rotation position A of the loader 6 and the unloader 7. The parts 5 are detachably mounted on the basic unit 1. The loader 6 and unloader 7 carry out a lead frame, a resin tablet, and the like from the lead frame supply unit 3 and the resin supply unit 4, carry the molded lead frame into the lead frame storage unit 5, and lead to the press unit 2. Carry in the frame, resin tablet, etc., and carry out the molded lead frame.
[0058]
The basic unit 1 includes a lead frame supply unit 3, a resin supply unit 4, a press unit 2, and a lead frame supply / removal unit 63, a resin supply / removal unit 64, a press attachment / detachment unit 65, and a lead. A frame housing attaching / detaching portion 66 is formed. A plurality of rollers 63a, 64a, 65a, 66a are rotatably provided on the unit support surfaces 63d, 64d, 65d, 66d along the attaching / detaching direction in each of the attaching / detaching portions. Further, abutting portions 63b, 64b, 65b, 66b are formed on the back side in the mounting direction of the respective detachable portions. Further, guide rails 63c, 64c, 65c, 66c for guiding the width direction are provided on both sides in the longitudinal direction of each of the detachable portions.
These are preferably mounted on the basic unit 1 and at the same time the height of the loader 6 and unloader 7 is raised relative to the conveying path, but at least the height of the parting surface of the mold of the press unit 2 It is preferred that the take-out takes place. Further, even if the height is not raised by each of the attachment / detachment units, the unitized lead frame supply unit 3, the resin supply unit 4, the press unit 2, and the lead frame storage unit 5 are not provided with the attachment / detachment unit. You may equip with the basic unit 1 which has only a mechanism separately so that attachment or detachment is possible. In the fifth embodiment, the lead frame supply unit 3, the resin supply unit 4, the press unit 2, and the lead frame storage unit 5 are all detachable, but at least one of them may be detachable.
[0059]
For example, in the lead frame supply unit 3, it is necessary to replace each part of the resin sealing device as whether to cut one sheet or multiple sheets of the lead frame to the rotary table 3 b. If the resin supply unit 4 can change whether the resin tablet is supplied as a magazine type, a parts feeder, or a granular type resin instead of a resin tablet, it will meet the needs of the user. This is because the range of selection expands accordingly. Further, the press section 2 needs to exchange dies in order to adjust the production amount or change the product type, and the lead frame housing section 5 can select and use a laminated magazine and a slit magazine depending on the product. This is because the performance and usability are significantly improved.
[0060]
As described above, even in the resin sealing device designed to improve the convenience for the user, the work can be carried into and out of each part by the rotating operation of the loader 6 and the unloader 7, so that the convenience for the user can be improved. Thus, it is possible to contribute to downsizing of the apparatus and shortening of the cycle time of the manufacturing process.
[0061]
The present invention is not limited to the above embodiments, and the press device is not limited to the resin sealing device, and can be applied to other devices such as a lead processing device. Of course, many more modifications can be made without departing from the scope.
[0062]
【The invention's effect】
In the present invention, as described above, the work loading means and the work unloading means including the loading and holding means capable of moving forward and backward while holding the work with respect to the press unit equipped with one or a plurality are arranged so as to overlap each other on the apparatus main body. Equipped with each separately provided drive source so that it can be rotated around a rotation axis, so that workpieces can be efficiently conveyed between the supply unit and the press unit and between the press unit and the storage unit. can do. Therefore, the cycle time of the press device can be shortened, and mass production of products and high speed processing can be realized. In addition, since the work is conveyed mainly by rotational movement, the installation area can be reduced and the apparatus can be reduced in size.
In particular, the workpiece loading means transfers the unprocessed workpiece held by the loading and holding means onto the moved up lower mold, and the workpiece unloading means moves the unloading and holding means downward onto the opened lower mold. In this way, when the workpiece after processing is collected, the workpiece loading operation is performed using the lower die halfway operation that enters the mold closing operation, thereby shortening the cycle time and increasing the processing speed. Can be realized.
Further, when the unloading and holding means retreats from the press unit while cleaning the lower die while holding the processed workpiece, the loading and holding unit cleans the upper die while holding the workpiece before processing. The workpiece is moved in and out of the press part that is opened so that the carry-out holding means and the carry-in holding means are exchanged, and the work opening operation and the carry-out operation are linked to the mold opened, and the mold By performing the cleaning operation simultaneously with the carry-in / out operation, it is possible to promote rationalization of the apparatus and shortening of the cycle time.
Further, when the workpiece carrying-in means and the workpiece carrying-out means are equipped so as to be able to reciprocate in a direction intersecting with the advancing and retreating direction of the carrying-in holding means and the carrying-out holding means with respect to the press unit, according to the addition of the press unit The workpiece can be carried into and out of the press section by linearly moving the position of the rotation shaft.
In addition, when the work carrying-in means and the work carrying-out means are configured to carry in and / or carry out the work with respect to the supply unit, the press unit, and the storage unit respectively arranged to surround the periphery thereof, By combining the turning operation of the work carry-in means and the work carry-out means and the advance / retreat operation of the carry-in holding means and the carry-out holding means, the work can be carried in and out smoothly, thereby contributing to shortening of the cycle time.
Further, when the supply unit, the press unit, and the storage unit are unitized, and at least one unit is detachably mounted on the basic unit having the carry-in means and the carry-out means, it is convenient for the user. In addition to the improvement, it can contribute to the downsizing of the apparatus and the shortening of the cycle time.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a resin sealing device from which a press section according to a first embodiment is removed.
FIG. 2 is a front view of the resin sealing device of FIG.
3 is a right side view of the resin sealing device of FIG. 1. FIG.
FIG. 4 is a plan view, a front view, and a left side view of a transport mechanism.
FIG. 5 is an explanatory diagram of a loader.
FIG. 6 is an explanatory diagram of another example of a loader.
FIG. 7 is an explanatory diagram of an unloader.
FIG. 8 is an explanatory diagram of another example of the unloader.
9 is a plan view showing another configuration of the resin sealing device shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 10 is a plan view showing a schematic configuration of a resin sealing device from which a press section according to a second embodiment is removed.
FIG. 11 is a plan view of a resin sealing device according to a third embodiment.
12 is a front view of the resin sealing device of FIG. 11;
13 is a right side view of the resin sealing device of FIG. 11. FIG.
FIG. 14 is a plan view, a front view, and a left side view of a transport mechanism.
FIG. 15 is a plan view of a resin sealing device according to a fourth embodiment.
FIG. 16 is a plan view of the resin sealing device from which each unit according to the fifth embodiment is removed.
FIG. 17 is a plan view showing a configuration of a conventional resin sealing device.
[Explanation of symbols]
1 Basic unit
2,62,62a, 62b Press part
3 Lead frame supply section
3a Frame alignment part
3b rotary table
4 Resin Tablet Supply Department
4a cassette
5 Lead frame housing
6 Loader
7 Unloader
8 Degate part
9 Route
10,65 Press attaching / detaching part
10a, 63a, 64a, 65a, 66a roller
10b, 63b, 64b, 65b, 66b
10c, 28a, 38a, 63c, 64c, 65c, 66c Guide rail
10d, 63d, 64d, 65d, 66d Unit support surface
11 Operation unit
12 Control unit
13 Upper mold
14 Lower mold
15,16 Rotating motor
17, 18 Rotating shaft
17a, 18a Curl cable
19, 20 Pulley gear
21 Mounting base
22 Movable support plate
22a guide
22b nut
23 rails
24 Ball screw
25 Moving motor
26 Carry-in moving body
26a, 27a Movable frame
26b, 27b rack
27 Unloading moving body
28, 38 Loading and unloading frame
29, 39 Chuck hand
30, 40 Top and bottom cleaner
31, 41 Suction port
32, 42 Suction duct
33,43 Food
34, 44 Upper and lower cleaner cylinders
35, 45 Vertical cleaner drive motor
36, 46 Chuck hand mounting plate
37 Tablet holding hole
47 Hand Base Cylinder
48, 49 Forward / backward motor
50, 51 rotating duct
52, 53 Movable duct
54,55 Rotating suction port
56, 57 Movable suction port
58, 59 Vertical fixed duct
60, 61 Vertical connection hose
63 Lead frame supply / removal part
64 Resin supply attachment / detachment section
66 Lead frame housing attachment / detachment

Claims

In order to carry the workpiece before processing from the supply unit to the press unit equipped with one or more, the workpiece carrying means provided with a loading holding means capable of holding the workpiece against the press unit and moving forward and backward, In order to carry out the work from the press part to the storage part, the work carrying means provided with a carrying-out holding means capable of moving forward and backward while holding the work with respect to the press part, the work carry-in means and the work carry-out means include A movable support plate, which is arranged close to each other so as to overlap vertically along the same plane and which integrally supports a rotating shaft that is rotated by a drive source provided individually, reciprocates in the longitudinal direction of the mounting base. A transport mechanism of a press device, wherein the transport mechanism is attached to be possible .

The press section is equipped with a lower mold that can move up and down relative to the upper mold, and the work carry-in means transfers the unprocessed work held by the carry-in holding means onto the moved up lower mold. 2. The transport mechanism of a press apparatus according to claim 1, wherein the work unloading means collects the processed work by moving the unloading holding means downward onto a lower mold opened.

The carry-in holding means and the carry-out holding means respectively provided in the work carry-in means and the work carry-out means are respectively a cleaner for cleaning the upper and lower molds of the press unit, a suction port for sucking the cleaned dust and the like, and a suction connected to the suction port. The conveyance mechanism of the press apparatus according to claim 1 , further comprising a duct.

When said unloading holding means is retracted from or Maputo less portion holding the workpiece after machining, the carry holding means enters between Maputo less portion holding the workpiece before processing, carried retaining said unloading holding means 2. A transport mechanism of a press apparatus according to claim 1 , wherein the transport mechanism moves forward and backward to a press part that is opened so that the means can be replaced.

2. The press apparatus according to claim 1, wherein the work carry-in means and the work carry-out means are equipped so as to be capable of reciprocating in a direction crossing an advancing and retreating direction of the carry-in holding means and the carry-out holding means with respect to the press unit. Transport mechanism.

The work loading device and the work unloading means, according to claim 1 which workpiece supply portion disposed so as to surround the periphery thereof, to carry and / or unloading, respectively to the press section and the workpiece accommodating portion workpiece, characterized The conveyance mechanism of the press apparatus as described.

Workpiece supply unit, a press section and a workpiece accommodating portion is unitized, claims, characterized in that at least one of the units is equipped detachably to the basic unit having the work loading device and the work unloading device Item 2. A transport mechanism of a press apparatus according to Item 1 .

A suction port provided in each of the carry-in holding means and the carry-out holding means and a rotary duct that rotates together with the rotary shaft are connected to each other by the suction duct, and when the work carry-in means and the work carry-out means rotate, the movable support plate The transport mechanism of a press apparatus according to claim 1, wherein a suction duct is performed by connecting a rotary duct to any one of movable ducts provided on both sides of the advancing / retreating direction.