JP4346610B2 - 複合弁 - Google Patents
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Description
図14に、半導体製造工程で使用される従来技術1のプロセスガスユニット200の構成を示す。プロセスガスユニット200は、手動弁201、入力エアオペレート弁205、マスフローコントローラ208、出力エアオペレート弁210、手動弁211等が直列に接続されている。そして、プロセスガスは左端矢印部GIから入り、右端矢印部GOから出て、真空チャンバ等(不図示)に送り込まれる。
また、プロセスガスユニット200の保守点検状態(マスフローコントローラ208を取りはずす場合等)では手動弁201、211を弁閉状態に保持し、エアオペレート弁205、210の開閉状態に関わらずガスの供給を停止する。よって、手動弁201、211が開状態の場合にはガス供給の開始・停止が自在であり、手動弁201、211が閉状態の場合には必ずガスの供給を遮断状態にできる。
さらに、ガスの供給中であっても、緊急時等には手動弁201、211を開から閉状態にすることでガスの供給を遮断できる。このように配管に手動弁とエアオペレート弁とを直列に接続する配管構成をとれば、手動弁201、211が安全装置の役割を果たす。
(1)従来技術1については、図14に記載の従来技術1における配管構成方法によると、手動弁201、211は安全装置の機能を有するが、エアオペレート弁205、210と手動弁201、211との二種類の弁が必要となるため、弁の設置スペースの省スペース化が図れないため問題である。
トグルの効果として、トグルにより装置の外側から容易に処理液の流通状態を制御することができることが得られるため、図15に記載の従来技術2では、トグルのうち動作レバー111を採用し、動作レバー弁付エアオペレート弁としている。
しかし、これにより、動作レバー弁とエアオペレート弁とを一体に形成できるが、手動により弁閉にすることができるだけで、動作レバー111の位置を所定の位置に固定保持する機構はない。そのため、確実に弁閉状態を維持できず、安全装置としての機能がない。
すなわち、従来技術2は、手動により一時的に弁閉する機能を有することを目的とするものにすぎず、例えばメンテナンス等により配管を外した際、エアオペレート弁の誤動作によって液が流出してしまう。
確かに、特許文献2の段落(0038)には、「これにより従来のトグルバルブ(13)と安全弁(17)の二つの機能を一体にすることができるので、取り付けスペースを小さくできる主動作弁21を実現することができる。」と記載されている。しかし、前記のとおり確実に弁閉状態を維持する機能は有しておらず、本来の安全弁としての機能は有していない。
従って、塑性変形が進めば、弁体と弁座間でのシール力が低下して、漏れが発生するおそれがある。
すなわち、前記従来技術の課題(1)乃至(3)を解消するために、安全機構として動作する手動弁が解除状態のときにのみパイロット弁の開閉が有効であり、またパイロット弁が弁開状態であっても手動弁を弁閉状態にすることで流体の流れを遮断し、その状態を維持できるような薬液弁としての用途も備えた複合弁を提供することを目的とする。
また、前記従来技術の課題(4)を解消するために、手動弁の弁開状態を保持する機構により、パイロット弁としての通常の使用を維持できる複合弁を提供することを目的とする。
さらに、前記従来技術の課題(5)を解消するために、作業者が力を要することなく操作できる手動弁を有する複合弁を提供することを目的とする。
(1)弁座に当接または離間して流体の流れを制御するダイアフラム弁体を有する弁機構と、付勢手段により当接されている前記弁座と前記ダイアフラム弁体とを空気圧により離間させるパイロット機構と、前記パイロット機構と同軸上に備えられた手動機構とを有する複合弁において、前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるものであって、前記ダイアフラム弁体を前記弁閉位置に保持する手動弁弁閉保持手段を有することを特徴とする。
また、手動機構によりパイロット機構へのエア供給のいかんに関わらず、弁機構を弁閉状態に保持することが可能であるので、例えばメンテナンス時に誤ってパイロット機構へのエア供給を行っても、弁機構が弁開状態にならず、作業者は安全にメンテナンス作業を行うことができる。
また、仮にパイロット弁の長期間の使用により、弁座がダイアフラム弁体から繰り返し荷重を受けて、弁座が塑性変形して軸方向に縮んだとしても、ダイアフラム弁体を経由してスプリングの荷重により、ダイアフラム弁体が弁座に対して軸方向に追従することができる。そのため、弁座とダイアフラム弁体とのシール力が低下することはなく、弁機構の弁閉状態における流体の吐出を防止できる。
11 弁本体
12 シリンダ
13 カバー
21 ピストンロッドまたはロッド
23 加圧室
24 操作ポート
31 弁座
32 ダイアフラム弁体
33 ポート
34 ポート
35 連通部
51 ロッドまたは調整ロッド
53 ノブ
54 偏心軸
55 ハンドル
71 送りねじ
75 ロックナット
<その他>
S 安全機構セット位置
R 安全機構解除位置
<第1実施形態>
第1実施形態として、複合弁1の実施例を図1乃至図6を用いて説明する。
図1乃至図3は、本発明の複合弁1の第1実施例を示した断面図である。図3に示すように複合弁1のボディ部は、弁本体11、シリンダ12及びカバー13が一体になって構成されている。そして、複合弁1はパイロット弁と手動弁と弁座追従機構から成り立っている。なお、複合弁1で「上方」とは手動弁側、「下方」とはパイロット弁側を指すものとする。
始めにパイロット弁としての通常の作用について説明する。手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁開することにより流体を流す状態を図3に、手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁閉することにより流体を流さない状態を図2に示す。
すなわち、手動弁を弁開状態にしておけば、電磁弁によりパイロット弁の開閉動作を行うことができる。
まず、図3の手動弁を弁開にした状態から弁閉にした状態において説明する。
具体的には、手動弁を弁開にしたときのノブ53のハンドル55の位置(以下、安全機構解除位置Rという)から、ハンドル55を図面正面から見て反時計回りに偏心軸54を中心に180度回転させた位置(以下、安全機構セット位置Sという)に作業者が回転させる。すると、ロッド51とピストンロッド21とが当接し、さらに、スプリング22及びスプリング52の下方への付勢力も働くため、ピストンロッド21が下方に付勢され、ピストンロッド21と一体のダイアフラム弁体32が弁座31に当接し、ポート33から流入した流体は、ダイアフラム弁体32によって遮断された連通部35を通過できず、ポート34側へ流れない。
具体的には、手動弁を安全機構解除位置Rから、安全機構セット位置Sに作業者が回転させる。すると、ロッド51とピストンロッド21とが当接し、さらに、スプリング22及びスプリング52の下方への付勢力も働いているため、ピストンロッド21が下方に付勢され、ピストンロッド21と一体のダイアフラム弁体32が弁座31に当接した状態を保ち、ポート33から流入した流体は、ダイアフラム弁体32によって遮断された連通部35を通過できず、ポート34側へ流れない。
すなわち、たとえ図3のようにパイロット弁が弁開状態の場合においても、作業者はハンドル55を安全機構解除位置Rから安全機構セット位置Sへ回転させることにより、強制的にパイロット弁を弁開状態から弁閉状態に遷移させることができる。そのため、流体の吐出を即座に停止しなければならないとする緊急事態に対しても、作業者は対応することができる。
すなわち、作業者が手動弁を弁閉状態で施錠しておけば、たとえ操作ポート24からエアを供給する誤動作があっても流体が流出することはなく、作業者は安全にメンテナンス等を行うことができる。
複合弁1を薬液弁として使用するために、弁座31の材質を例えば耐腐食性のあるフッ素系樹脂とした場合を考える。このとき、図2と図3のようなパイロット弁としての通常の使用を長期間にわたって続けると、弁座31はダイアフラム弁体32からの繰り返し応力を長期間受けることになり、いわゆるクリープ現象として、弁座31が塑性変形により下方へ縮むことが考えられる。そのため、手動弁を安全機構セット位置Sに設定したときに、ロッド51とピストンロッド21の間にクリアランスが生じることが考えられ、操作ポート24からエアを供給すると、スプリング22及びスプリング52の下方への付勢力に対抗して、ピストンロッド21が前記クリアランス分上方に摺動し、ピストンロッド21と一体のダイアフラム弁体32の下方への付勢力が低下し、ダイアフラム弁体32と弁座31の間のシール力が不十分となるおそれがある。
また、たとえ操作ポート24からエアを供給しなくても、ポート33からの薬液流体の圧力により、ダイアフラム弁体32及びピストンロッド21が上方に移動・摺動され、ダイアフラム弁体32と弁座31の間のシール力が不十分となるおそれがある。
すなわち、弁座31が塑性変形により下方へ縮むと、ダイアフラム弁体32と弁座31の間のシール力が不十分となり、ポート33、連通部35、ポート34が連通し、ポート33から供給される薬液がポート34から吐出されるおそれがある。
すなわち、送りねじ71を下方に移動させることにより、ダイアフラム弁体32と弁座31の間のシール力が満たされ、ポート33、連通部35、ポート34が連通せず、ポート33から供給される薬液がポート34から吐出されないようにできる。
第2実施形態として、複合弁2の実施例を図7乃至図10を用いて説明する。
図9に示すように複合弁2のボディ部は、弁本体311、シリンダ312、ピストンシリンダ314及びカバー313が一体になって構成されている。そして、複合弁2はパイロット弁と手動弁から成り立っている。なお、複合弁2で「上方」とは手動弁側、「下方」とはパイロット弁側を指すものとする。
シリンダ312、カバー313、ピストンシリンダ314は密閉容器を構成し、ピストンシリンダ314にはその中を摺動するピストン326、ピストン326を上方へ付勢するスプリング327、ピストン326を下方へ付勢するスプリング328が装填されている。そして、ピストン326によってピストンシリンダ314及びカバー313内の空間は上下2室に分割され、下室が加圧室323となり、加圧室323は操作ポート324と連通している。
さらに、ピストン326内にはシャフト325が装填され、シャフト325はロッド321と一体になっている。ここで、シャフト325とピストンシリンダ314間には、シャフト325を下方へ付勢するスプリング322が装填されている。
始めにパイロット弁としての通常の作用について説明する。手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁開することにより流体を流す状態を図9に、手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁閉することにより流体を流さない状態を図8に示す。
従って、ダイアフラム弁体332と弁本体311との間に流路スペースがなくなり、ポート333と連通部335とポート334とが連通しなくなるので、ポート333から供給される流体がポート334から吐出されることはない。
すなわち、手動弁を弁開状態にしておけば、電磁弁によりパイロット弁の開閉動作を行うことができる。
さらに、ノブ353のノッチ360に調整ロッド351を当接しておけば、手動弁が弁閉状態に遷移することなく、確実に電磁弁によりパイロット弁の開閉動作を行うことができる。
まず、図9の手動弁を弁開にした状態から弁閉にした状態において説明する。具体的には、手動弁を弁開にしたときのノブ353のハンドル355の位置(以下、安全機構解除位置Rという)から、ハンドル355を図面正面から見て反時計回りに偏心軸354を中心に回転させた所定の位置(以下、安全機構セット位置Sという)に作業者が回転させる。ここで所定の位置とは、ノブ353の外周と調整ロッド351がノブ353の外周のテーパ部で接合した位置をいう。すると、回転動作開始とともにノブ353のハンドル355の回転による下方への荷重を受けた調整ロッド351が下方に移動してピストン326と当接し、ピストン326を下方に摺動させて、ピストン326とシャフト325のフランジ形状部を離間させ、シャフト325はピストン326とは独立して上下方向に移動することができるようになる。そのため、シャフト325はスプリング322により下方に付勢され、シャフト325及びロッド321と一体のダイアフラム弁体332が弁本体311に当接する。
すなわち、たとえ図9ようにパイロット弁が弁開状態の場合においても、作業者はハンドル355を安全機構解除位置Rから安全機構セット位置Sへ回転させることにより、強制的にパイロット弁を弁開状態から弁閉状態に遷移させることができる。そのため、流体の吐出を即座に停止しなければならないとする緊急事態に対しても、作業者は対応することができる。
ここで、ノブ353のハンドル355を安全機構セット位置Sに固定することができる理由は以下のとおりである。すなわち、図10におけるノブ353の偏心軸354の中心点からノブ353の外周の変曲点までの距離(以下、距離R1という)は、ノブ353の偏心軸354の中心点からノブ353のテーパ部の外周までの距離(以下、距離R2という)よりも長い。そのため、ノブ353のハンドル355は、スプリング328の付勢力に対抗して調整ロッド351を距離R1と距離R2の差分距離について下方に押し下げる力がかからない限り回転せず、図7の状態が維持されるからである。
従って、操作ポート324からエアを供給してもパイロット弁は弁閉状態が維持される。
すなわち、作業者が手動弁を図7に示すような弁閉状態にしておけば、たとえ操作ポート324からエアを供給する誤動作があっても流体が流出することはなく、作業者は安全にメンテナンス等を行うことができる。
すなわち、作業者は手動弁の弁閉につき、エア圧に対抗するような大きな力を加えることなく行うことができる。
第3実施形態として、複合弁3の実施例を図11乃至図13を用いて説明する。
図13に示すように複合弁3のボディ部は、弁本体411、シリンダ412、ピストンシリンダ414及びカバー413が一体になって構成されている。そして、複合弁3はパイロット弁と手動弁から成り立っている。なお、複合弁3で「上方」とは手動弁側、「下方」とはパイロット弁側を指すものとする。
ピストンシリンダ414、調整ロッド451は密閉容器を構成し、その中を摺動するピストン426が装填されている。そして、調整ロッド451を上方へ付勢をし、ピストン426を下方へ付勢するスプリング422が装填されている。さらに、ピストン426によってピストンシリンダ414及び調整ロッド451内の空間は上下2室に分割され、下室が加圧室423となり、加圧室423は、ピストンシリンダ414のエア供給路415及び調整ロッド451の外周部に形成されたエア供給路459を通じて、操作ポート429と連通されている。
さらに、ピストン426内にはシャフト425が装填され、シャフト425はロッド421と一体になっている。ここで、シャフト425には、シャフト425及びロッド421を下方へ付勢するスプリング422が装填されている。
始めにパイロット弁としての通常の作用について説明する。手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁開することにより流体を流す状態を図13に、手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁閉することにより流体を流さない状態を図12に示す。
すなわち、作業者は手動弁の弁閉につき、力を要することなく行うことができる。
第4実施形態として、複合弁4の実施例を図16乃至図20を用いて説明する。
図18に示すように複合弁4のボディ部は、弁本体511、ピストンシリンダ512、スプールシリンダ514及びカバー513が一体になって構成されている。そして、複合弁4はパイロット弁と手動弁から成り立っている。なお、複合弁4で「上方」とは手動弁側、「下方」とはパイロット弁側を指すものとする。
ピストンシリンダ512、スプールシリンダ514は密閉容器を構成し、その中を摺動するピストン526が装填されている。そして、スプールシリンダ514を上方へ付勢をし、ピストン526を下方へ付勢するスプリング522が装填されている。
さらに、ピストン526によってピストンシリンダ512及びスプールシリンダ514内の空間は上下2室に分割され、下室が加圧室523となる。そして、加圧室523はピストン526内に形成されるエア供給流路515および後述する調整ロッド551内に形成されるエア供給流路559を通じて操作ポート529と連通されているか、あるいはピストン526内に形成されるエア供給流路515通じて排気ポート530と連通されている。
始めにパイロット弁としての通常の作用について説明する。手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁開することにより流体を流す状態を図18に、手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁閉することにより流体を流さない状態を図17に示す。
まず、図18の手動弁を弁開にした状態から弁閉にした状態において説明する。具体的には、図16に示すように、手動弁を弁開にしたときのノブ553のハンドル555の位置(以下、安全機構解除位置Rという)から、ハンドル555を図面正面から見て時計回りに偏心軸554を中心に回転させた所定の位置(以下、安全機構セット位置Sという)に作業者が回転させる。すると、回転動作開始とともにノブ553のハンドル555による下方への押さえつける量が小さくなるため、調整ロッド551が上方に移動する。このとき、操作ポート529と調整ロッド551のエア供給路559が遮断される一方で、加圧室523は排気ポート530と連通する。そのため、加圧室523のエアは排気ポート530から排気され、ピストン526がスプリング522の付勢力により下方へ摺動し、ピストン526と一体のダイアフラム弁体532が下方へ移動して弁本体511と当接して、図16に示すように複合弁4は弁閉状態になる。
なお、このときノブ553にて動作させる部品は調整ロッド551のみであり、ピストン526を押さえることがない。そのため、ピストン526にノブ553の回転による力が掛からず、弁本体511には、ピストン526からダイアフラム弁体532を介してスプリング522の付勢力のみが掛かるにすぎない。従って、クリープの影響は生じず、いつまでも弁機構のシール力は維持される。
すなわち、作業者は手動弁の弁閉につき、力を要することなく行うことができる。
第5実施形態として、複合弁5の実施例を図21乃至図32を用いて説明する。
ここで、図21は複合弁5の弁開状態における断面図を、図22は複合弁5の上面図を、図23は複合弁5の上方部分の外観図を示している。
図21に示すように複合弁5のボディ部は、主に弁本体611、シリンダ612、ハウジング613が一体になって構成されている。そして、複合弁5はパイロット弁と手動弁から成り立っている。なお、複合弁5で「上方」とは手動弁側、「下方」とはパイロット弁側を指すものとする。
シリンダ612及びハウジング613は密閉容器を構成し、その中を摺動するピストン626が装填されている。そして、ハウジング613を上方へ付勢をし、ピストン626を下方へ付勢するスプリング622が装填されている。
さらに、ピストン626によってシリンダ612及びハウジング613内の空間は上下2室に分割され、下室が加圧室623となる。そして、加圧室623はピストン626内に形成されるエア供給流路615を通じて後述するエア供給ポート659と連通している。
図21から図23に示すように、ハウジング613には、操作ポート629、排気ポート630、エア供給ポート659が形成されており、後述するロッド651との組み合わせにより図24に示すような3ポート弁を形成している。ここで、図24は図21のA−A断面図を示している。図24の(a)は手動弁が弁開状態にある場合を、(c)は手動弁が弁閉状態にある場合を、(b)は(a)と(c)の間の状態を示している。
始めにパイロット弁としての通常の作用について説明する。手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁開することにより流体を流す状態を図21に、手動弁は弁開したうえでパイロット弁を弁閉することにより流体を流さない状態を図25に示す。
そこで、手動弁を弁開にした状態から弁閉にした状態において説明する。具体的には、図27に示すように、手動弁を弁開にしたときのノブ653のハンドル655の位置(以下、安全機構解除位置Rという)から、ハンドル655を図面正面から見て反時計回りに回転させた所定の位置(以下、安全機構セット位置Sという)に作業者が回転させようとする。すると、ハンドル655を所定量回転させたところで図28(a)の状態から図28(b)に示すように、ピン664を介してロッド651にノブ653の回転が伝わり、ロッド651が回転し始める。そして、ハンドル655を回転し終えて安全機構セット位置Sに達した時には、図28(c)の状態になる。
なお、図28に示すようにノブ653の回転がピン664を介してロッド651に伝わるまでに所定量の遊びを設けてある。すなわち、ノブ653の回転量に対してロッド651の回転量にはバックラッシを設けており、そのバックラッシの回転量は90度から110度としている。そのため、ノブ653が回転する量は180度であるが、実際にロッド651が回転する量は70度から90度の間である。
さらに、この状態から図21および図23に示すようにスライドプレート665をノブ653の設置方向にスライドさせて、スライドプレート665の先端部に形成される鍵孔665aに例えば南京錠657を挿入して施錠する。これにより、ノブ653は回転することができず複合弁5の弁閉状態は維持されることになる。
(1)スライドプレート665に形成されたツマミ665bを指で押して手動で行なう方法。
(2)スライドプレート665とハウジング613の間に配設される復帰バネを利用して自動的にスライドする方法。
そして、上記(2)に述べる復帰バネを利用して自動的にスライドする方法としては、具体的に以下のような方法(A)および方法(B)が考えられる。
方法(A)は、図29に示すようにスライドプレート665にツマミ665bとツメ形状665cを形成し、さらにハウジング613との間に復帰バネ666を配設する方法である。この方法では、手動弁が弁開状態にあるときには、図29(a)に示すようにツメ形状665cの部分をロッド651の端部651aに引っ掛けておくことにより、スライドプレート665はスライドが出来なくなる。このとき、復帰バネ666には引張り力が作用している。
ここで、ノブの端部651aは切り欠き形状を有しており、ノブ653を回転し手動弁を弁閉状態にした時点では、図29(b)に示すように切り欠き形状の部分が丁度スライドプレート665のツメ形状665cの部分に位置することになっている。そのため、スライドプレート665のツメ形状665cによる引っ掛かりがなくなる。そのため、復帰バネ666に引張り力が作用しなくなり、スライドプレート665は自動的にスライドするというものである。
方法(B)は、図30に示すようにスライドプレート665にツマミ665bを形成し、ハウジング613との間に復帰バネ666を配設する方法である。この方法では方法(A)とは復帰バネ666の作用を逆に設定している。すなわち、スライドプレート665に形成されたツマミ665bを指で押さないときには、復帰バネ666は自然長の状態でありバネ力が生じておらず、スライドプレート665はスライドされない状態が維持される。そのため、スライドプレート665に形成されたツマミ665bを指で押して復帰バネ666を収縮させてスライドさせるというものである。
すなわち、作業者は手動弁の弁閉につき、力を要することなく行うことができる。
Claims (5)
- 弁座に当接または離間して流体の流れを制御するダイアフラム弁体を有する弁機構と、
付勢手段により当接されている前記弁座と前記ダイアフラム弁体とを空気圧により離間させるパイロット機構と、
前記パイロット機構の動作に作用する手動機構とを有する複合弁において、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるものであって、
前記ダイアフラム弁体を前記弁閉位置に保持する手動弁弁閉保持手段を有すること、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるときに、前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構を有すること、
前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構として、エア圧が生じる前記パイロット機構のピストン内に軸方向に摺動可能に装填され、前記ピストンとフランジ形状部で当接または離間可能なシャフトを有することを特徴とする複合弁。 - 弁座に当接または離間して流体の流れを制御するダイアフラム弁体を有する弁機構と、
付勢手段により当接されている前記弁座と前記ダイアフラム弁体とを空気圧により離間させるパイロット機構と、
前記パイロット機構の動作に作用する手動機構とを有する複合弁において、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるものであって、
前記ダイアフラム弁体を前記弁閉位置に保持する手動弁弁閉保持手段を有すること、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるときに、前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構を有すること、
前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構として、エア供給を受ける前記手動機構のピストン形状部の外周部に形成されたエアの供給路とピストンシリンダの供給路を遮断する機構を有することを特徴とする複合弁。 - 弁座に当接または離間して流体の流れを制御するダイアフラム弁体を有する弁機構と、
付勢手段により当接されている前記弁座と前記ダイアフラム弁体とを空気圧により離間させるパイロット機構と、
前記パイロット機構の動作に作用する手動機構とを有する複合弁において、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるものであって、
前記ダイアフラム弁体を前記弁閉位置に保持する手動弁弁閉保持手段を有すること、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるときに、前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構を有すること、
前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構として、エア供給を受ける前記手動機構のピストン形状部の内部に形成されたエアの供給路と、前記ピストン形状部が摺動するスプールシリンダの供給路を遮断する機構を有することを特徴とする複合弁。 - 弁座に当接または離間して流体の流れを制御するダイアフラム弁体を有する弁機構と、
付勢手段により当接されている前記弁座と前記ダイアフラム弁体とを空気圧により離間させるパイロット機構と、
前記パイロット機構の動作に作用する手動機構とを有する複合弁において、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるものであって、
前記ダイアフラム弁体を前記弁閉位置に保持する手動弁弁閉保持手段を有すること、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるときに、前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構を有すること、
前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構として、エア供給を受ける前記手動機構の操作ポートと、カバーに形成されるエア供給ポートとを連通および遮断する機構を有することを特徴とする複合弁。 - 弁座に当接または離間して流体の流れを制御するダイアフラム弁体を有する弁機構と、
付勢手段により当接されている前記弁座と前記ダイアフラム弁体とを空気圧により離間させるパイロット機構と、
前記パイロット機構の動作に作用する手動機構とを有する複合弁において、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるものであって、
前記ダイアフラム弁体を前記弁閉位置に保持する手動弁弁閉保持手段を有すること、
前記手動機構が前記ダイアフラム弁体を前記軸方向に弁開位置から弁閉位置へ移動させるときに、前記手動機構に操作ポートからのエア圧がかからない機構を有すること、
カバーに、操作ポート、排気ポート、エア供給ポートが形成される3ポート弁を有することを特徴とする複合弁。
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