JP4341860B2 - ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 - Google Patents
ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4341860B2 JP4341860B2 JP7188399A JP7188399A JP4341860B2 JP 4341860 B2 JP4341860 B2 JP 4341860B2 JP 7188399 A JP7188399 A JP 7188399A JP 7188399 A JP7188399 A JP 7188399A JP 4341860 B2 JP4341860 B2 JP 4341860B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chuck
- rotating plate
- pieces
- annular member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウエハ目視検査装置は、目視検査前のウエハがスタックに複数枚載置され、このスタックに載置されている複数枚のウエハのうちで任意の段に載置されているウエハをハンドが把持し、検査ステージに搬送し、この検査ステージにおいてそのウエハが検査者によって目視検査される。なお、上記従来例における検査ステージにおいて、ウエハを載置する台が皿状であり、この皿の上にウエハが載置される。
【０００３】
この搬送ステージでは、ウエハの表（おもて）面のみが目視検査され、上記ウエハの裏面を検査するには、ハンドによってウエハを載置し直す。つまり、ハンドがそのウエハを再び把持し、検査ステージの上方に移動し、ウエハの裏面が上に向くように、そのハンドがウエハを裏返し、この裏返し状態で、ウエハを検査ステージに再び載置する。すなわち、ハンドでウエハを持ち替える。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例において、ウエハの表面と裏面とを目視検査するためには、ハンドでウエハを持ち替える操作を実行する必要があり、このウエハの持ち替え操作を実行するために、ハンドによる搬送時間として約２０秒間を必要とし、したがって、迅速な目視検査を行うことができないという問題がある。また、ハンドによるウエハの持ち替え操作によって、ごみが発生し易いという問題があり、ウエハが破損する可能性があるという問題がある。 さらに、ハンドによるウエハの持ち替え操作を実現するには、目視検査装置を構成するユニットが増加し、このユニット増加によって、コストアップが生じるという問題がある。
【０００５】
また、上記実施例において、ウエハの傷、歪み、曇り等を目視で発見するためには、ウエハを照明する照明光の照射方向との関係で、検査者がその目の位置を常に変化させる必要があり、目視検査者にとって目視検査が煩雑であるという問題がある。
【０００６】
本発明は、ウエハを把持するときにおける発塵を少なくすることができるウエハ把持装置、ウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
また、本発明は、ウエハの目視検査を迅速に実行することができるウエハ把持装置、ウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
さらに、本発明は、ウエハの目視検査時に、付加機構（反転ハンド）によるウエハの破損の可能性がなく、安価なウエハ把持装置、ウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
また、本発明は、ウエハを照明する光源がどの位置に存在していても、また、光源からの光の照射方向がどのような方向であっても、検査者がその目の位置を変化させる必要がなく、目視検査者にとって目視検査が容易であるウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
さらに、本発明は、ウエハの把持手段の位置、状態のいかんにかかわらず、ウエハのノッチを確実に検出することができるウエハのアライメント装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、筐体に保持されている環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能な回転板と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置されている５個以上のチャックピースと、上記５個以上のチャックピースのうちの３個のチャックピースを上記ウエハの端面に押圧させたままで、残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけ、その後に上記ウエハの端面に押圧させる直線運動を、チャックピースの並び順に実行させるチャックピース駆動手段と、上記残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけた状態で、上記ウエハとともに上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手段とを有し、汚染のないチャックピースがウエハを把持した状態で、ウエハを回転し、ノッチを検出する光センサであって１対の光センサの光軸付近では、上記チャックピースがウエハから離れることによって、上記チャックピースがノッチに掛かっている場合でも、ウエハに接触せずに、ノッチの位置を検出することを特徴とするウエハ把持装置である。
【００１２】
【発明の実施の形態および実施例】
図１は、本発明の一実施例であるウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図である。
【００１３】
ウエハのアライメント装置ＡＳ１は、ウエハの把持装置ＷＨとセンサＳＥとを具備する装置であり、図１の状態は、ウエハ把持装置ＷＨを構成するチャックピース４１〜４５のうちで、チャックピース４１、４３、４４のみがウエハＷの端面を把持している状態である。
【００１４】
なお、アライメント装置は、複数のウエハＷをスタックに収納するときにノッチを揃えて位置合わせする場合や、露光されたパターンを顕微鏡等で見るときにそのパターンの向きが同一になるようにする場合等に必要である。
【００１５】
センサＳＥは、投光器ＳＥ１と、図３に示す受光器ＳＥ２とによって構成され、チャックピースがウエハＷの端面から離れる領域であって、ウエハＷのノッチ（ウエハＷの端面における切り込み）が通過する位置に設置されている投受光装置の例である。なお、センサＳＥは、後述するアームＡに固定されている。また、センサＳＥの代わりに、反射型のセンサを使用するようにしてもよい。
【００１６】
図２は、図１におけるＩＩーＩＩ’線からみたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【００１７】
リング１０は、後述のアームＡ等を介して、筐体に固定されている。リング１０は、図２に示すように、縦断面がほぼコ字状であり、端面１１と、延出部１２、１３とを有する。また、端面１１と延出部１２、１３とよって空洞部１４が構成され、端面１１に透孔１１１、１１２が設けられている。また、空洞部１４は負圧に保たれ、これによって、ゴミの発散を阻止している。
【００１８】
ウエハ把持装置ＷＨは、自転する回転板ＳＢと、回転板駆動手段２０と、チャックピース４１〜４５と、チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄと、回転板用ケース５０とを有する。チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄは、チャックピース４１〜４５のそれぞれに対応している。
【００１９】
回転板ＳＢは、リング１０に対して回転可能であり、ウエハＷの面と同一の平面上を回転可能な回転板である。回転板ＳＢには、回転ガイドローラＧＲが設けられている。
【００２０】
回転板駆動手段２０は、回転板ＳＢを回転駆動させる手段であり、自転モータ２１と、軸２２と、軸２２と連動する駆動伝達ギア２３と、軸２２と連動する軸２４と、軸２４の先端に設けられている回転駆動ローラ２５と、ギア２３と噛み合う駆動伝達ギア２６と、ギア２６と連動する軸２７と、軸２７の先端に設けられている回転駆動ローラ２８とを有する。回転駆動ローラ２５、２８は、自転モータ２１の回転力を回転板ＳＢに伝達するものである。軸２４、２７は、それぞれ、透孔１１、１１２を貫通している。
【００２１】
チャックピース４１〜４５は、ウエハＷの中心に向ってウエハＷの端面を押圧可能であり、回転板ＳＢに載置されているチャックピースである。
【００２２】
チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄは、ウエハＷの中心に向ってそれぞれチャックピース４１〜４５を直線往復運動させる手段である。
【００２３】
チャックピース駆動手段４１は、チャックピース４１ｐと、軸４１ｓと、チャック閉用バネ４１ｂと、カム１２ｃ１、１２ｃ２と、カムフォロア４１ｆとを有する。
【００２４】
軸４１ｓは、チャックピース４１ｐに固定されている軸である。チャック閉用バネ４１ｂは、軸４１ｓを包み、チャックピース４１ｐとケース５０との間に設けられ、常時は、チャックピース４１ｐをケース５０から遠ざけることによって、ウエハＷの端面を押圧するバネである。カム１２ｃ１、１２ｃ２は、リング１０の延出部１２の内面に設けられているカムである。カムフォロア４１ｆは、カム１２ｃ１、１２ｃ２を倣うものであり、軸４１ｃに固定されている。
【００２５】
なお、チャックピース駆動手段４２Ｄ〜４５Ｄのそれぞれの構成は、チャックピース駆動手段４１Ｄの構成と同様である。
【００２６】
ケース５０は、図２に示すように、その縦断面がほぼコ字状を有し、端面部５１と、延出部５２、５３と、端面部５１に設けられている透孔５１１〜５１５とを有する。延出部５２、５３は、リング１０のそれぞれ延出部１２、１３に対向している。
【００２７】
また、リング１０の空洞部１４には、回転駆動ローラ２５、２８と、回転板ＳＢの主要部分と、カムフォロア４１ｆとが内蔵されている。
【００２８】
次に、上記実施例において、ウエハＷを把持する動作について説明する。
【００２９】
まず、図１に示す状態では、カムフォロア４１ｆ、４３ｆ、４４ｆのそれぞれが、カム１２ｃ１、１２ｃ２と当接していないので、バネ４１ｂ、４３ｂ、４４ｂが、チャックピース４１ｐ、４３ｐ、４４ｐをケース５０から遠ざけ、チャックピース４１ｐ、４３ｐ、４４ｐがウエハＷの端面を押圧し、ケース５０を介して、ウエハＷがリング１０に把持されている。
【００３０】
図３は、ウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図であり、チャックピース４１、４３がウエハＷの端面から離れ、チャックピース４２、４４、４５がウエハＷの端面を把持している状態を示す図である。
【００３１】
図４は、図３におけるＩＶーＩＶ’線からみたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【００３２】
図１、図２に示す状態から、自転モータ２１によって回転板ＳＢが、図１中、反時計方向に７２度回動されると、カムフォロア４１ｆがカム１２ｃ１に当接し、バネ４１ｂに抗して、軸４１ｃが、図３中、右方向に押しやられ、チャックピース４１ｐがウエハＷの端面から遠ざかる。
【００３３】
また、図３に示す状態である場合、カムフォロア４３ｆがカム１２ｃ２に当接し、バネ４３ｂに抗して、軸４３ｃが、図３中、右方向に押しやられ、チャックピース４３ｐがウエハＷの端面から遠ざかる。この場合、カムフォロア４２ｆ、４４ｆ、４５ｆがカム１２ｃ１、１２ｃ２には当接しないので、チャックピース４２ｐ、４４ｐ、４５ｐがウエハＷの端面を押圧し、ウエハＷが把持され続ける。
【００３４】
その後、自転モータによって、回転板ＳＢが、図１中、反時計方向に７２度回動されると、上記と同様にして、チャックピース４２ｐ、４４ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、次のタイミング以降（再び７２度回動されると）、順次、チャックピース４３ｐ、４５ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、チャックピース４４ｐ、４１ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、チャックピース４５ｐ、４２ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、その次のタイミングで、図３に示す最初のタイミングに戻り、チャックピース４１ｐ、４３ｐがウエハＷの端面から遠ざかる。以後、これらの動作を繰り返す。
【００３５】
上記動作の過程で、ウエハＷを自転させながら、ウエハＷを目視検査することができ、また、チャックピース４１ｐ〜４５ｐがウエハＷを把持することによってウエハＷが隠れていた部分をも、目視することができる。
【００３６】
また、ウエハＷが自転する過程で、そのウエハＷの縁部に設けられているノッチも回動し、このノッチが回動する軌跡を挟むように、センサＳＥを構成する投光器ＳＥ１と受光器ＳＥ２とが対向している。つまり、投光器ＳＥ１から受光器ＳＥ２に向かう光線の光路を横切るようにノッチが通過する。また、投光器ＳＥ１から受光器ＳＥ２に向かう光線の光路付近では、チャックピース４１〜４５がノッチから離れるようになっている。したがって、センサＳＥの近傍にノッチがさしかかると、ノッチ検出に際してチャックピース４１〜４５が邪魔することがなく、ノッチをセンサＳＥが検出することに支障がない。
【００３７】
上記実施例において、チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５ＤによってウエハＷが把持され、チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄの動作が、直線運動であるので、チャックピース４１〜４５と回転板用ケース５０との間にスリットを設ける必要がなく、ウエハＷを傾斜させても、スリットからごみが落下する可能性が極めて少ない。
【００３８】
また、上記実施例において、ウエハＷがカム１２ｃ１、１２ｃ２の位置に回転してくると、チャックピース４１〜４５がウエハＷの端面から自動的に外れ、チャックピース４１〜４５が押えて部位（チャックピース４１〜４５によって隠れていた部位）を確実に目視検査することができる（エッジ目視検査が可能になる）。つまり、カム１２ｃ１、１２ｃ２が存在する位置の近傍を見ていれば、チャックピース４１〜４５に邪魔されずにウエハＷを目視することができる。
【００３９】
上記実施例では、目視検査者の意思によるウエハＷの持替えを行わずに、ウエハＷの持ち替えが自動的に行われるので、ウエーハＷが１回転すれば、ウエハＷのノッチ（ウエハＷの端面における切り込み）を必ず目視検出することができる。したがって、ウエハＷの目視検査が高速で行われる。また、ウエハＷの持替え動作を必要としないので、ウエハＷの損傷に対する懸念から開放される。
【００４０】
図５は、本発明の別の実施例であるウエハ目視検査装置１００を示す斜視図である。
【００４１】
ウエハ目視検査装置１００は、基台Ｂの上に、Ｙ軸ボールネジＢＮｙと、Ｙ軸ボールネジＢＮｙを駆動するＹ軸駆動モータＭｙと、２つのＹ軸ガイドＧｙとが設けられている。Ｙ軸駆動モータＭｙによって、Ｙ軸ボールネジＢＮｙ上をＹ軸用スライダＳｙが摺動し、このＹ軸用スライダＳｙに第１載置板Ｂ１が固定され、この第１載置板Ｂ１は、２つのＹ軸ガイドＧｙを摺動するものである。
【００４２】
第１載置板Ｂ１には、Ｘ軸ボールネジＢＮｘと、Ｘ軸ボールネジＢＮｘを駆動するＸ軸駆動モータＭｘと、２つのＸ軸ガイドＧｘとが設けられている。Ｘ軸駆動モータＭｘによって、Ｘ軸ボールネジＢＮｘ上をＸ軸用スライダＳｘが摺動し、このＸ軸用スライダＳｘに第２載置板Ｂ２が固定され、この第２載置板Ｂ２は、２つのＸ軸ガイドＧｘを摺動するものである。
【００４３】
第２載置板Ｂ２には、円板６０と、Ｕ字状のアームＡと、アーム回動モータＭａと、ベルトＢＴ２とが設けられている。
【００４４】
円板６０は、第２載置板Ｂ２に軸支されている回転可能な円板であり、Ｕ字状のアームＡは、円板６０を介して第２載置板Ｂ２に設けられ、アーム回動モータＭａは、鉛直線を中心にアームＡを回動させるモータである。また、円板６０は、ベルトＢＴａを介して、アーム回動モータＭａによって回転され、アーム回動モータＭａによる回転力が円板６０に伝達される。
【００４５】
アームＡには、ウエハの粗い面と装置ＡＳ１が設けられ、つまり、自転する回転板ＳＢを内蔵するリング１０と、自転モータ２１と、表裏反転モータＭ２とが設けられている。 回転板ＳＢは、ウエハＷを把持するとともに、ウエハＷの平面上で、駆動ローラＲを介して自転モータ２１によって回転される環状部材である。
【００４６】
表裏反転モータＭ２は、回転板ＳＢの軸心と直交する直線を中心に回転板ＳＢを回動させるモータである。
【００４７】
また、ウエハ目視検査装置１００は、制御盤７０を有し、制御盤７０には、ウエハ目視検査装置１００の全体を制御する制御手段と、搬送開始スイッチＳＷと、自転スイッチＳＷ１と、表裏反転スイッチＳＷ２と、アーム回動スイッチＳＷａと、Ｘ軸調整スイッチＳＷｘと、Ｙ軸調整スイッチＳＷｙとを有する。
【００４８】
搬送開始スイッチＳＷは、スタックに載置されている複数枚のウエハのうちの１枚をウエハ目視監査装置１００に搬送させるとき、または、ウエハ目視監査装置１００から、目視検査を終了したウエハを別のスタックにウエハを搬送させるときに押すスイッチである。
【００４９】
自転スイッチＳＷ１は、回転板ＳＢに保持されているウエハＷを自転させるときに押すスイッチである。表裏反転スイッチＳＷ２は、ウエハＷの俯角、仰角を所定角度だけ調整させる場合、または、ウエハＷの面を裏返すときに押すスイッチである。アーム回動スイッチＳＷａは、鉛直線を中心にアームＡを回転させるときに押すスイッチである。
【００５０】
Ｘ軸調整スイッチＳＷｘ、Ｙ軸調整スイッチＳＷｙは、基台Ｂに対して、アームＡの位置を、それぞれＸ、Ｙ軸方向の位置を調整するときに押すスイッチである。
【００５１】
図６は、ウエハ目視検査装置１００を簡略化して示す斜視図である。
【００５２】
図６に示すウエハ目視検査装置１００において、チャックピース４１〜４５を介して回転板ＳＢがウエハＷを挟み、この状態で、回転板ＳＢともにウエハＷを自転させることができ、また、回転板ＳＢを前傾、後傾または表裏反転させることができ、さらに、鉛直線を中心としてアームＡを回転することができる。
【００５３】
次に、ウエハ目視検査装置１００の動作について説明する。
【００５４】
まず、回転板ＳＢにウエハＷがセットされず（挟まれておらず）、アームＡの長手方向がＸ軸ボルトねじＢＮｘと平行にセットされ、回転板ＳＢが水平にセットされているとする。この場合、回転板ＳＢにおけるチャックピース４１〜４５の全てが回転板ＳＢの中央から遠ざかる。つまり、図１、図２に示すように、チャックピース４１〜４５のうちの２つは、カム１２Ｃ１、１２Ｃ２によってウエハＷの端面から離れ、残りの３つのチャックピースは、図示しないハンドによって、ウエハＷの端面から離される。
【００５５】
ここで、制御盤７０の搬送開始スイッチＳＷを押すと、図示しないハンドが、図示しないスタックからウエハＷを１枚挟み取り、回転板ＳＢの中央に搬送し、ウエハＷの中心位置と回転板ＳＢの中心位置とが一致したときに、ウエハＷが停止する。
【００５６】
そして、図１に示すように、ウエハＷがチャックピース４１、４３、４４によって把持される。
【００５７】
ここで、自転スイッチＳＷ１を押すと、これを押している間だけ、自転モータ２１が徐々に回動し、駆動ローラ２５、２８を介して、回転板ＳＢが回動する。回転板ＳＢの回動に伴って、ウエハＷも徐々に回動する。
【００５８】
また、表裏反転スイッチＳＷ２を押すと、これを押している間だけ、回転板ＳＢが、回転板ＳＢの軸と直交する直線を中心として、徐々に前傾または後傾する。表裏反転スイッチＳＷ２は、２つ設けられ、そのうちの１つの表裏反転スイッチを押した場合と、残りの１つの表裏反転スイッチを押した場合とでは、ウエハＷが傾斜する方向が異なる。つまり、ウエハＷは、その前後に傾斜し、その仰角、俯角が変化する。なお、表裏反転スイッチＳＷ２を押し続けると、回転板ＳＢが水平に向いている状態から、鉛直方向に向き、引き続いて、水平に向き、回転板ＳＢの裏側が上に向く、つまり、ウエハＷの裏側が上に向く。
【００５９】
そして、アーム回動スイッチＳＷａを押すと、これを押している間だけ、アーム回動モータＭａが回動し、ベルトＢＴａを介して円板６０が回動し、これと連動してアームＡが回動する。これによって、目視検査者から見て、ウエハＷの左右の向きが変化する。
【００６０】
なお、基台Ｂに対するウエハＷの中心位置を調整する場合には、Ｘ軸調整スイッチＳＷｘ、Ｙ軸調整スイッチｙを押すことによって、アームＡについて、それぞれ、Ｘ軸上の位置、Ｙ軸上の位置を所望の位置に調整することができる。
【００６１】
上記実施例によれば、ウエハＷの目視検査時に、ウエハＷを自転させることができ、また、ウエハＷを前傾、後傾させることができるので、ウエハＷを照明する光源がどの位置に存在していても、また、光源からの光の照射方向がどのような方向であっても、検査者がその目の位置を変化させる必要がなく、目視検査者にとって目視検査が容易である。
【００６２】
また、上記実施例によれば、ウエハＷの目視検査時に、検査ステージにおいて、ハンドを使用せずに、ウエハＷを裏返しすることができるので、ウエハＷを裏返しする時間が従来の半分程度の時間で足り、ウエハＷの目視検査を迅速に実行することができ、ウエハＷに付着するごみの発生量を少なくすることができ、ウエハＷの破損が少く、複雑は構成を必要としないので、ウエハＷ目視検査装置が安価である。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、チャックピースがウエハ端面から離れたときに、チャック部分のウエハの端面を検査することができ、よって、ウエハの表面、裏面、端面、ノッチ等、ウエハ全ての面について検査することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図である。
【図２】図１におけるＩＩーＩＩ’線からみたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【図３】ウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図であり、チャックピース４１、４３がウエハＷの端面から離れ、チャックピース４２、４４、４５がウエハＷの端面を把持している状態を示す図である。
【図４】図３におけるＩＶーＩＶ’線からみたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【図５】本発明の別の実施例であるウエハ目視検査装置１００を示す斜視図である。
【図６】ウエハ目視検査装置１００を簡略化して示す斜視図である。
【符号の説明】
ＡＳ１…ウエハのアライメント装置、
ＷＨ…ウエハの把持装置、
ＳＥ…センサ、
ＳＥ１…投光器、
ＳＥ２…受光器、
Ｗ…ウエハ、
Ｂ…基台、
Ｂ１…第１載置台、
Ｂ２…第２載置台、
ＢＮｘ…Ｘ軸ボールネジ、
ＢＮｙ…Ｙ軸ボールネジ、
Ａ…アーム、
Ｍａ…アーム回動モータ、
ＳＢ…自転板、
Ｍ２…表裏反転モータ、
１００…ウエハ目視検査装置、
１０…リング、
１２ｃ１、１２ｃ２…カム、
２０…回転板駆動手段、
２１…自転モータ、
４１〜４５…チャックピース、
４１ｂ…チャック閉用バネ、
４１ｆ…カムフォロア、
４１Ｄ〜４５Ｄ…チャックピース駆動手段、
５０…回転板用ケース。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウエハ目視検査装置は、目視検査前のウエハがスタックに複数枚載置され、このスタックに載置されている複数枚のウエハのうちで任意の段に載置されているウエハをハンドが把持し、検査ステージに搬送し、この検査ステージにおいてそのウエハが検査者によって目視検査される。なお、上記従来例における検査ステージにおいて、ウエハを載置する台が皿状であり、この皿の上にウエハが載置される。
【０００３】
この搬送ステージでは、ウエハの表（おもて）面のみが目視検査され、上記ウエハの裏面を検査するには、ハンドによってウエハを載置し直す。つまり、ハンドがそのウエハを再び把持し、検査ステージの上方に移動し、ウエハの裏面が上に向くように、そのハンドがウエハを裏返し、この裏返し状態で、ウエハを検査ステージに再び載置する。すなわち、ハンドでウエハを持ち替える。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例において、ウエハの表面と裏面とを目視検査するためには、ハンドでウエハを持ち替える操作を実行する必要があり、このウエハの持ち替え操作を実行するために、ハンドによる搬送時間として約２０秒間を必要とし、したがって、迅速な目視検査を行うことができないという問題がある。また、ハンドによるウエハの持ち替え操作によって、ごみが発生し易いという問題があり、ウエハが破損する可能性があるという問題がある。 さらに、ハンドによるウエハの持ち替え操作を実現するには、目視検査装置を構成するユニットが増加し、このユニット増加によって、コストアップが生じるという問題がある。
【０００５】
また、上記実施例において、ウエハの傷、歪み、曇り等を目視で発見するためには、ウエハを照明する照明光の照射方向との関係で、検査者がその目の位置を常に変化させる必要があり、目視検査者にとって目視検査が煩雑であるという問題がある。
【０００６】
本発明は、ウエハを把持するときにおける発塵を少なくすることができるウエハ把持装置、ウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
また、本発明は、ウエハの目視検査を迅速に実行することができるウエハ把持装置、ウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
さらに、本発明は、ウエハの目視検査時に、付加機構（反転ハンド）によるウエハの破損の可能性がなく、安価なウエハ把持装置、ウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
また、本発明は、ウエハを照明する光源がどの位置に存在していても、また、光源からの光の照射方向がどのような方向であっても、検査者がその目の位置を変化させる必要がなく、目視検査者にとって目視検査が容易であるウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
さらに、本発明は、ウエハの把持手段の位置、状態のいかんにかかわらず、ウエハのノッチを確実に検出することができるウエハのアライメント装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、筐体に保持されている環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能な回転板と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置されている５個以上のチャックピースと、上記５個以上のチャックピースのうちの３個のチャックピースを上記ウエハの端面に押圧させたままで、残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけ、その後に上記ウエハの端面に押圧させる直線運動を、チャックピースの並び順に実行させるチャックピース駆動手段と、上記残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけた状態で、上記ウエハとともに上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手段とを有し、汚染のないチャックピースがウエハを把持した状態で、ウエハを回転し、ノッチを検出する光センサであって１対の光センサの光軸付近では、上記チャックピースがウエハから離れることによって、上記チャックピースがノッチに掛かっている場合でも、ウエハに接触せずに、ノッチの位置を検出することを特徴とするウエハ把持装置である。
【００１２】
【発明の実施の形態および実施例】
図１は、本発明の一実施例であるウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図である。
【００１３】
ウエハのアライメント装置ＡＳ１は、ウエハの把持装置ＷＨとセンサＳＥとを具備する装置であり、図１の状態は、ウエハ把持装置ＷＨを構成するチャックピース４１〜４５のうちで、チャックピース４１、４３、４４のみがウエハＷの端面を把持している状態である。
【００１４】
なお、アライメント装置は、複数のウエハＷをスタックに収納するときにノッチを揃えて位置合わせする場合や、露光されたパターンを顕微鏡等で見るときにそのパターンの向きが同一になるようにする場合等に必要である。
【００１５】
センサＳＥは、投光器ＳＥ１と、図３に示す受光器ＳＥ２とによって構成され、チャックピースがウエハＷの端面から離れる領域であって、ウエハＷのノッチ（ウエハＷの端面における切り込み）が通過する位置に設置されている投受光装置の例である。なお、センサＳＥは、後述するアームＡに固定されている。また、センサＳＥの代わりに、反射型のセンサを使用するようにしてもよい。
【００１６】
図２は、図１におけるＩＩーＩＩ’線からみたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【００１７】
リング１０は、後述のアームＡ等を介して、筐体に固定されている。リング１０は、図２に示すように、縦断面がほぼコ字状であり、端面１１と、延出部１２、１３とを有する。また、端面１１と延出部１２、１３とよって空洞部１４が構成され、端面１１に透孔１１１、１１２が設けられている。また、空洞部１４は負圧に保たれ、これによって、ゴミの発散を阻止している。
【００１８】
ウエハ把持装置ＷＨは、自転する回転板ＳＢと、回転板駆動手段２０と、チャックピース４１〜４５と、チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄと、回転板用ケース５０とを有する。チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄは、チャックピース４１〜４５のそれぞれに対応している。
【００１９】
回転板ＳＢは、リング１０に対して回転可能であり、ウエハＷの面と同一の平面上を回転可能な回転板である。回転板ＳＢには、回転ガイドローラＧＲが設けられている。
【００２０】
回転板駆動手段２０は、回転板ＳＢを回転駆動させる手段であり、自転モータ２１と、軸２２と、軸２２と連動する駆動伝達ギア２３と、軸２２と連動する軸２４と、軸２４の先端に設けられている回転駆動ローラ２５と、ギア２３と噛み合う駆動伝達ギア２６と、ギア２６と連動する軸２７と、軸２７の先端に設けられている回転駆動ローラ２８とを有する。回転駆動ローラ２５、２８は、自転モータ２１の回転力を回転板ＳＢに伝達するものである。軸２４、２７は、それぞれ、透孔１１、１１２を貫通している。
【００２１】
チャックピース４１〜４５は、ウエハＷの中心に向ってウエハＷの端面を押圧可能であり、回転板ＳＢに載置されているチャックピースである。
【００２２】
チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄは、ウエハＷの中心に向ってそれぞれチャックピース４１〜４５を直線往復運動させる手段である。
【００２３】
チャックピース駆動手段４１は、チャックピース４１ｐと、軸４１ｓと、チャック閉用バネ４１ｂと、カム１２ｃ１、１２ｃ２と、カムフォロア４１ｆとを有する。
【００２４】
軸４１ｓは、チャックピース４１ｐに固定されている軸である。チャック閉用バネ４１ｂは、軸４１ｓを包み、チャックピース４１ｐとケース５０との間に設けられ、常時は、チャックピース４１ｐをケース５０から遠ざけることによって、ウエハＷの端面を押圧するバネである。カム１２ｃ１、１２ｃ２は、リング１０の延出部１２の内面に設けられているカムである。カムフォロア４１ｆは、カム１２ｃ１、１２ｃ２を倣うものであり、軸４１ｃに固定されている。
【００２５】
なお、チャックピース駆動手段４２Ｄ〜４５Ｄのそれぞれの構成は、チャックピース駆動手段４１Ｄの構成と同様である。
【００２６】
ケース５０は、図２に示すように、その縦断面がほぼコ字状を有し、端面部５１と、延出部５２、５３と、端面部５１に設けられている透孔５１１〜５１５とを有する。延出部５２、５３は、リング１０のそれぞれ延出部１２、１３に対向している。
【００２７】
また、リング１０の空洞部１４には、回転駆動ローラ２５、２８と、回転板ＳＢの主要部分と、カムフォロア４１ｆとが内蔵されている。
【００２８】
次に、上記実施例において、ウエハＷを把持する動作について説明する。
【００２９】
まず、図１に示す状態では、カムフォロア４１ｆ、４３ｆ、４４ｆのそれぞれが、カム１２ｃ１、１２ｃ２と当接していないので、バネ４１ｂ、４３ｂ、４４ｂが、チャックピース４１ｐ、４３ｐ、４４ｐをケース５０から遠ざけ、チャックピース４１ｐ、４３ｐ、４４ｐがウエハＷの端面を押圧し、ケース５０を介して、ウエハＷがリング１０に把持されている。
【００３０】
図３は、ウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図であり、チャックピース４１、４３がウエハＷの端面から離れ、チャックピース４２、４４、４５がウエハＷの端面を把持している状態を示す図である。
【００３１】
図４は、図３におけるＩＶーＩＶ’線からみたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【００３２】
図１、図２に示す状態から、自転モータ２１によって回転板ＳＢが、図１中、反時計方向に７２度回動されると、カムフォロア４１ｆがカム１２ｃ１に当接し、バネ４１ｂに抗して、軸４１ｃが、図３中、右方向に押しやられ、チャックピース４１ｐがウエハＷの端面から遠ざかる。
【００３３】
また、図３に示す状態である場合、カムフォロア４３ｆがカム１２ｃ２に当接し、バネ４３ｂに抗して、軸４３ｃが、図３中、右方向に押しやられ、チャックピース４３ｐがウエハＷの端面から遠ざかる。この場合、カムフォロア４２ｆ、４４ｆ、４５ｆがカム１２ｃ１、１２ｃ２には当接しないので、チャックピース４２ｐ、４４ｐ、４５ｐがウエハＷの端面を押圧し、ウエハＷが把持され続ける。
【００３４】
その後、自転モータによって、回転板ＳＢが、図１中、反時計方向に７２度回動されると、上記と同様にして、チャックピース４２ｐ、４４ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、次のタイミング以降（再び７２度回動されると）、順次、チャックピース４３ｐ、４５ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、チャックピース４４ｐ、４１ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、チャックピース４５ｐ、４２ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、その次のタイミングで、図３に示す最初のタイミングに戻り、チャックピース４１ｐ、４３ｐがウエハＷの端面から遠ざかる。以後、これらの動作を繰り返す。
【００３５】
上記動作の過程で、ウエハＷを自転させながら、ウエハＷを目視検査することができ、また、チャックピース４１ｐ〜４５ｐがウエハＷを把持することによってウエハＷが隠れていた部分をも、目視することができる。
【００３６】
また、ウエハＷが自転する過程で、そのウエハＷの縁部に設けられているノッチも回動し、このノッチが回動する軌跡を挟むように、センサＳＥを構成する投光器ＳＥ１と受光器ＳＥ２とが対向している。つまり、投光器ＳＥ１から受光器ＳＥ２に向かう光線の光路を横切るようにノッチが通過する。また、投光器ＳＥ１から受光器ＳＥ２に向かう光線の光路付近では、チャックピース４１〜４５がノッチから離れるようになっている。したがって、センサＳＥの近傍にノッチがさしかかると、ノッチ検出に際してチャックピース４１〜４５が邪魔することがなく、ノッチをセンサＳＥが検出することに支障がない。
【００３７】
上記実施例において、チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５ＤによってウエハＷが把持され、チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄの動作が、直線運動であるので、チャックピース４１〜４５と回転板用ケース５０との間にスリットを設ける必要がなく、ウエハＷを傾斜させても、スリットからごみが落下する可能性が極めて少ない。
【００３８】
また、上記実施例において、ウエハＷがカム１２ｃ１、１２ｃ２の位置に回転してくると、チャックピース４１〜４５がウエハＷの端面から自動的に外れ、チャックピース４１〜４５が押えて部位（チャックピース４１〜４５によって隠れていた部位）を確実に目視検査することができる（エッジ目視検査が可能になる）。つまり、カム１２ｃ１、１２ｃ２が存在する位置の近傍を見ていれば、チャックピース４１〜４５に邪魔されずにウエハＷを目視することができる。
【００３９】
上記実施例では、目視検査者の意思によるウエハＷの持替えを行わずに、ウエハＷの持ち替えが自動的に行われるので、ウエーハＷが１回転すれば、ウエハＷのノッチ（ウエハＷの端面における切り込み）を必ず目視検出することができる。したがって、ウエハＷの目視検査が高速で行われる。また、ウエハＷの持替え動作を必要としないので、ウエハＷの損傷に対する懸念から開放される。
【００４０】
図５は、本発明の別の実施例であるウエハ目視検査装置１００を示す斜視図である。
【００４１】
ウエハ目視検査装置１００は、基台Ｂの上に、Ｙ軸ボールネジＢＮｙと、Ｙ軸ボールネジＢＮｙを駆動するＹ軸駆動モータＭｙと、２つのＹ軸ガイドＧｙとが設けられている。Ｙ軸駆動モータＭｙによって、Ｙ軸ボールネジＢＮｙ上をＹ軸用スライダＳｙが摺動し、このＹ軸用スライダＳｙに第１載置板Ｂ１が固定され、この第１載置板Ｂ１は、２つのＹ軸ガイドＧｙを摺動するものである。
【００４２】
第１載置板Ｂ１には、Ｘ軸ボールネジＢＮｘと、Ｘ軸ボールネジＢＮｘを駆動するＸ軸駆動モータＭｘと、２つのＸ軸ガイドＧｘとが設けられている。Ｘ軸駆動モータＭｘによって、Ｘ軸ボールネジＢＮｘ上をＸ軸用スライダＳｘが摺動し、このＸ軸用スライダＳｘに第２載置板Ｂ２が固定され、この第２載置板Ｂ２は、２つのＸ軸ガイドＧｘを摺動するものである。
【００４３】
第２載置板Ｂ２には、円板６０と、Ｕ字状のアームＡと、アーム回動モータＭａと、ベルトＢＴ２とが設けられている。
【００４４】
円板６０は、第２載置板Ｂ２に軸支されている回転可能な円板であり、Ｕ字状のアームＡは、円板６０を介して第２載置板Ｂ２に設けられ、アーム回動モータＭａは、鉛直線を中心にアームＡを回動させるモータである。また、円板６０は、ベルトＢＴａを介して、アーム回動モータＭａによって回転され、アーム回動モータＭａによる回転力が円板６０に伝達される。
【００４５】
アームＡには、ウエハの粗い面と装置ＡＳ１が設けられ、つまり、自転する回転板ＳＢを内蔵するリング１０と、自転モータ２１と、表裏反転モータＭ２とが設けられている。 回転板ＳＢは、ウエハＷを把持するとともに、ウエハＷの平面上で、駆動ローラＲを介して自転モータ２１によって回転される環状部材である。
【００４６】
表裏反転モータＭ２は、回転板ＳＢの軸心と直交する直線を中心に回転板ＳＢを回動させるモータである。
【００４７】
また、ウエハ目視検査装置１００は、制御盤７０を有し、制御盤７０には、ウエハ目視検査装置１００の全体を制御する制御手段と、搬送開始スイッチＳＷと、自転スイッチＳＷ１と、表裏反転スイッチＳＷ２と、アーム回動スイッチＳＷａと、Ｘ軸調整スイッチＳＷｘと、Ｙ軸調整スイッチＳＷｙとを有する。
【００４８】
搬送開始スイッチＳＷは、スタックに載置されている複数枚のウエハのうちの１枚をウエハ目視監査装置１００に搬送させるとき、または、ウエハ目視監査装置１００から、目視検査を終了したウエハを別のスタックにウエハを搬送させるときに押すスイッチである。
【００４９】
自転スイッチＳＷ１は、回転板ＳＢに保持されているウエハＷを自転させるときに押すスイッチである。表裏反転スイッチＳＷ２は、ウエハＷの俯角、仰角を所定角度だけ調整させる場合、または、ウエハＷの面を裏返すときに押すスイッチである。アーム回動スイッチＳＷａは、鉛直線を中心にアームＡを回転させるときに押すスイッチである。
【００５０】
Ｘ軸調整スイッチＳＷｘ、Ｙ軸調整スイッチＳＷｙは、基台Ｂに対して、アームＡの位置を、それぞれＸ、Ｙ軸方向の位置を調整するときに押すスイッチである。
【００５１】
図６は、ウエハ目視検査装置１００を簡略化して示す斜視図である。
【００５２】
図６に示すウエハ目視検査装置１００において、チャックピース４１〜４５を介して回転板ＳＢがウエハＷを挟み、この状態で、回転板ＳＢともにウエハＷを自転させることができ、また、回転板ＳＢを前傾、後傾または表裏反転させることができ、さらに、鉛直線を中心としてアームＡを回転することができる。
【００５３】
次に、ウエハ目視検査装置１００の動作について説明する。
【００５４】
まず、回転板ＳＢにウエハＷがセットされず（挟まれておらず）、アームＡの長手方向がＸ軸ボルトねじＢＮｘと平行にセットされ、回転板ＳＢが水平にセットされているとする。この場合、回転板ＳＢにおけるチャックピース４１〜４５の全てが回転板ＳＢの中央から遠ざかる。つまり、図１、図２に示すように、チャックピース４１〜４５のうちの２つは、カム１２Ｃ１、１２Ｃ２によってウエハＷの端面から離れ、残りの３つのチャックピースは、図示しないハンドによって、ウエハＷの端面から離される。
【００５５】
ここで、制御盤７０の搬送開始スイッチＳＷを押すと、図示しないハンドが、図示しないスタックからウエハＷを１枚挟み取り、回転板ＳＢの中央に搬送し、ウエハＷの中心位置と回転板ＳＢの中心位置とが一致したときに、ウエハＷが停止する。
【００５６】
そして、図１に示すように、ウエハＷがチャックピース４１、４３、４４によって把持される。
【００５７】
ここで、自転スイッチＳＷ１を押すと、これを押している間だけ、自転モータ２１が徐々に回動し、駆動ローラ２５、２８を介して、回転板ＳＢが回動する。回転板ＳＢの回動に伴って、ウエハＷも徐々に回動する。
【００５８】
また、表裏反転スイッチＳＷ２を押すと、これを押している間だけ、回転板ＳＢが、回転板ＳＢの軸と直交する直線を中心として、徐々に前傾または後傾する。表裏反転スイッチＳＷ２は、２つ設けられ、そのうちの１つの表裏反転スイッチを押した場合と、残りの１つの表裏反転スイッチを押した場合とでは、ウエハＷが傾斜する方向が異なる。つまり、ウエハＷは、その前後に傾斜し、その仰角、俯角が変化する。なお、表裏反転スイッチＳＷ２を押し続けると、回転板ＳＢが水平に向いている状態から、鉛直方向に向き、引き続いて、水平に向き、回転板ＳＢの裏側が上に向く、つまり、ウエハＷの裏側が上に向く。
【００５９】
そして、アーム回動スイッチＳＷａを押すと、これを押している間だけ、アーム回動モータＭａが回動し、ベルトＢＴａを介して円板６０が回動し、これと連動してアームＡが回動する。これによって、目視検査者から見て、ウエハＷの左右の向きが変化する。
【００６０】
なお、基台Ｂに対するウエハＷの中心位置を調整する場合には、Ｘ軸調整スイッチＳＷｘ、Ｙ軸調整スイッチｙを押すことによって、アームＡについて、それぞれ、Ｘ軸上の位置、Ｙ軸上の位置を所望の位置に調整することができる。
【００６１】
上記実施例によれば、ウエハＷの目視検査時に、ウエハＷを自転させることができ、また、ウエハＷを前傾、後傾させることができるので、ウエハＷを照明する光源がどの位置に存在していても、また、光源からの光の照射方向がどのような方向であっても、検査者がその目の位置を変化させる必要がなく、目視検査者にとって目視検査が容易である。
【００６２】
また、上記実施例によれば、ウエハＷの目視検査時に、検査ステージにおいて、ハンドを使用せずに、ウエハＷを裏返しすることができるので、ウエハＷを裏返しする時間が従来の半分程度の時間で足り、ウエハＷの目視検査を迅速に実行することができ、ウエハＷに付着するごみの発生量を少なくすることができ、ウエハＷの破損が少く、複雑は構成を必要としないので、ウエハＷ目視検査装置が安価である。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、チャックピースがウエハ端面から離れたときに、チャック部分のウエハの端面を検査することができ、よって、ウエハの表面、裏面、端面、ノッチ等、ウエハ全ての面について検査することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図である。
【図２】図１におけるＩＩーＩＩ’線からみたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【図３】ウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図であり、チャックピース４１、４３がウエハＷの端面から離れ、チャックピース４２、４４、４５がウエハＷの端面を把持している状態を示す図である。
【図４】図３におけるＩＶーＩＶ’線からみたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【図５】本発明の別の実施例であるウエハ目視検査装置１００を示す斜視図である。
【図６】ウエハ目視検査装置１００を簡略化して示す斜視図である。
【符号の説明】
ＡＳ１…ウエハのアライメント装置、
ＷＨ…ウエハの把持装置、
ＳＥ…センサ、
ＳＥ１…投光器、
ＳＥ２…受光器、
Ｗ…ウエハ、
Ｂ…基台、
Ｂ１…第１載置台、
Ｂ２…第２載置台、
ＢＮｘ…Ｘ軸ボールネジ、
ＢＮｙ…Ｙ軸ボールネジ、
Ａ…アーム、
Ｍａ…アーム回動モータ、
ＳＢ…自転板、
Ｍ２…表裏反転モータ、
１００…ウエハ目視検査装置、
１０…リング、
１２ｃ１、１２ｃ２…カム、
２０…回転板駆動手段、
２１…自転モータ、
４１〜４５…チャックピース、
４１ｂ…チャック閉用バネ、
４１ｆ…カムフォロア、
４１Ｄ〜４５Ｄ…チャックピース駆動手段、
５０…回転板用ケース。
Claims (7)
- 筐体に保持されている環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能な回転板と；
上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置されている５個以上のチャックピースと；
上記５個以上のチャックピースのうちの３個のチャックピースを上記ウエハの端面に押圧させたままで、残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけ、その後に上記ウエハの端面に押圧させる直線運動を、チャックピースの並び順に実行させるチャックピース駆動手段と；
上記残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけた状態で、上記ウエハとともに上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手段と；
を有し、汚染のないチャックピースがウエハを把持した状態で、ウエハを回転し、ノッチを検出する光センサであって１対の光センサの光軸付近では、上記チャックピースがウエハから離れることによって、上記チャックピースがノッチに掛かっている場合でも、ウエハに接触せずに、ノッチの位置を検出することを特徴とするウエハ把持装置。 - 請求項１において、
上記チャックピース駆動手段は、
上記チャックピースを上記ウエハの端面に押圧させるチャック閉用バネと；
上記環状部材に固定されているカムと；
上記チャックピースに固定され、上記カムを倣うカムフォロアと；
を有する手段であることを特徴とするウエハ把持装置。 - 筐体に保持されている環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能な回転板と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置されている５個以上のチャックピースと、上記５個以上のチャックピースのうちの３個のチャックピースを上記ウエハの端面に押圧させたままで、残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけ、その後に上記ウエハの端面に押圧させる直線運動を、チャックピースの並び順に実行させるチャックピース駆動手段と、上記残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけた状態で、上記ウエハとともに上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手段とを具備するウエハ把持装置と；
上記チャックピース駆動手段によって上記チャックピースが上記ウエハの端面から離れる領域であって、上記ウエハのノッチが通過する位置に設置されている投受光装置と；
を有し、汚染のないチャックピースがウエハを把持した状態で、ウエハを回転し、上記ノッチを検出する光センサであって１対の光センサの光軸付近では、上記チャックピースがウエハから離れることによって、上記チャックピースがノッチに掛かっている場合でも、ウエハに接触せずに、ノッチの位置を検出することを特徴とするウエハのアライメント装置。 - 筐体に保持されている環状部材と；
上記環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能な回転板と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置されている５個以上のチャックピースと、上記５個以上のチャックピースのうちの３個のチャックピースを上記ウエハの端面に押圧させたままで、残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけ、その後に上記ウエハの端面に押圧させる直線運動を、チャックピースの並び順に実行させるチャックピース駆動手段と、上記残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけた状態で、上記ウエハとともに上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手段とを具備し、上記環状部材に保持されているウエハ把持装置と；
を有し、上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の中心を中心として、上記ウエハの平面上で上記環状部材を回動させることによって、上記ウエハを自転させ、汚染のないチャックピースがウエハを把持した状態で、ウエハを回転し、ノッチを検出する光センサであって１対の光センサの光軸付近では、上記チャックピースがウエハから離れることによって、上記チャックピースがノッチに掛かっている場合でも、ウエハに接触せずに、ノッチの位置を検出することを特徴とするウエハ目視検査装置。 - 請求項４において、
上記環状部材を保持するアームと；
鉛直線を中心に上記アームを回動させるアーム回動手段と；
を有することを特徴とするウエハ目視検査装置。 - 筐体に保持されている環状部材と；
上記環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能な回転板と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置されている５個以上のチャックピースと、上記５個以上のチャックピースのうちの３個のチャックピースを上記ウエハの端面に押圧させたままで、残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけ、その後に上記ウエハの端面に押圧させる直線運動を、チャックピースの並び順に実行させるチャックピース駆動手段と、上記残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけた状態で、上記ウエハとともに上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手段とを具備し、上記環状部材に保持されているウエハ把持装置と；
上記環状部材の軸心と直交する直線を中心に上記環状部材を傾斜させる環状部材傾斜手段と；
を有し、汚染のないチャックピースがウエハを把持した状態で、ウエハを回転し、ノッチを検出する光センサであって１対の光センサの光軸付近では、上記チャックピースがウエハから離れることによって、上記チャックピースがノッチに掛かっている場合でも、ウエハに接触せずに、ノッチの位置を検出することを特徴とするウエハ目視検査装置。 - 筐体に保持されている環状部材と；
上記環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能な回転板と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置されている５個以上のチャックピースと、上記５個以上のチャックピースのうちの３個のチャックピースを上記ウエハの端面に押圧させたままで、残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけ、その後に上記ウエハの端面に押圧させる直線運動を、チャックピースの並び順に実行させるチャックピース駆動手段と、上記残りの２個以上のチャックピースを、ウエハの中心から遠ざけた状態で、上記ウエハとともに上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手段とを具備し、上記環状部材に保持されているウエハ把持装置と；
上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の軸心と直交する直線を中心に上記環状部材を１８０度以上回動させることによって、上記ウエハの表裏を目視することが可能であるウエハ裏返し手段と；
を有し、汚染のないチャックピースがウエハを把持した状態で、ウエハを回転し、ノッチを検出する光センサであって１対の光センサの光軸付近では、上記チャックピースがウエハから離れることによって、上記チャックピースがノッチに掛かっている場合でも、ウエハに接触せずに、ノッチの位置を検出することを特徴とするウエハ目視検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7188399A JP4341860B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7188399A JP4341860B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000269312A JP2000269312A (ja) | 2000-09-29 |
| JP4341860B2 true JP4341860B2 (ja) | 2009-10-14 |
Family
ID=13473385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7188399A Expired - Fee Related JP4341860B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4341860B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4637756B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2011-02-23 | 京セラ株式会社 | 試料位置決め装置 |
| CN110931419B (zh) * | 2019-12-24 | 2024-08-16 | 苏州展德自动化设备有限公司 | Led晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置 |
-
1999
- 1999-03-17 JP JP7188399A patent/JP4341860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000269312A (ja) | 2000-09-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3132353B2 (ja) | チップの搭載装置および搭載方法 | |
| JP4756766B2 (ja) | ワークの供給装置 | |
| US3972424A (en) | Automatic wafer loading and pre-alignment system | |
| JP6024046B2 (ja) | マクロ観察装置 | |
| JP4697211B2 (ja) | 基板アライメント機構を備えた搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置または基板検査装置 | |
| JP2003273187A5 (ja) | 薄板材の移載方法、装置及び薄板材の測定装置 | |
| US6018415A (en) | X-Y table having belt drives for moving a stage of the table in fine increments and microscope comprising the same | |
| JP4341860B2 (ja) | ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 | |
| KR102067982B1 (ko) | 기판 절단 장치 | |
| JPS61208841A (ja) | 半導体ウエハの位置合せ装置 | |
| JP3249717B2 (ja) | 汎用位置決めクランプ装置 | |
| KR102067984B1 (ko) | 기판 절단 장치 | |
| JP2004063668A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP3832982B2 (ja) | ウエハ目視検査装置 | |
| JP3791698B2 (ja) | ウエハ検査装置 | |
| JPH08197474A (ja) | チャック装置 | |
| KR102341797B1 (ko) | 단재 제거 유닛 | |
| KR102067985B1 (ko) | 기판 절단 장치 | |
| JP2001315951A (ja) | 移送部材の回転装置 | |
| JP5227688B2 (ja) | マスク用基板検査装置 | |
| JP4003184B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP3923988B2 (ja) | ウエハ検査装置 | |
| JPH09153534A (ja) | ウェーハ移載装置 | |
| JP4572440B2 (ja) | ステージの駆動装置 | |
| JP2010032336A (ja) | マスク用基板検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060113 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080814 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080912 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081106 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090123 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090309 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090331 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090515 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090609 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090703 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090703 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150717 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |