JP4334123B2 - Precision substrate storage container - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやガラス基板等からなる精密基板を収納する精密基板収納容器に関し、より詳しくは、開口面からの精密基板の飛び出しを規制する規制具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体ウェーハからなる精密基板Wは、生産性を向上させるために大口径に形成され、精密基板収納容器により自動搬送機で取り扱われる。
この種の精密基板収納容器は、複数枚の精密基板Wを収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の底面に装着されるボトムプレートと、容器本体の正面を閉鎖する着脱自在の蓋体とから構成されている。容器本体は、図10や図11に部分的に示すように、内部両側壁に、複数枚の精密基板Wを上下に並べて整列収納する棚状の支持部4がそれぞれ成形されている。また、蓋体の裏面には、複数枚の精密基板Wの前部周縁を保持するフロントリテーナが装着され、このフロントリテーナが搬送時に各精密基板Wを保持して安全を確保するよう機能する。
【0003】
ところで、容器本体から精密基板Wを取り出すため、容器本体の正面から蓋体を取り外し、容器本体の正面を開口させて工程内で容器本体を移動させる場合、容器本体の開口した正面に精密基板Wを保持するフロントリテーナ等が存在しないので、設備の振動や移動時の衝撃で容器本体内の精密基板Wが正面側に位置ずれしたり、精密基板Wが正面から飛び出して破損したり、あるいは基板搬送ロボットが精密基板Wを再度アンローディングする際、位置ずれした精密基板Wと基板搬送ロボットのハンドとが干渉し、精密基板Wを破損させるおそれがある。
このような問題を解消するため、従来においては、支持部4の正面側にストッパを一体成形し、このストッパに精密基板Wの飛び出しを規制させる方法が提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、支持部4の正面側にストッパを成形する方法では、容器本体がフロントオープンボックス構造の場合、ストッパが成形後の金型からの離型の抵抗になる構造、すなわちアンダーカットになる。したがって、容器本体の支持部4にストッパを成形するのは、現実的にはきわめて困難である。
上記問題を解消するには、金型に可動の組立中子や置中子等を使用したり、あるいは金型を複雑に分割して特殊構造とし、ストッパを成形すれば良い。しかし、これでは、金型関連の費用が実に高額となり、到底コストダウンを図ることができない。
【0005】
また、容器本体の支持部4にストッパを成形すると、洗浄装置で容器本体を洗浄する場合に、ストッパが洗浄液の循環の障害となり、支持部4を十分に洗浄することができないおそれがある。この結果、ストッパ周辺に水滴が溜まって乾燥の障害となり、乾燥時間の遅延を招くこととなる。
【0006】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、金型関連の費用を削減することができ、容器本体の洗浄時等に必要な流体を効率的に循環させ、乾燥作業等の作業時間の短縮を図ることのできる精密基板収納容器を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明においては、上記課題を達成するため、容器本体の内部両側壁に、精密基板を収納する略棚状の支持部をそれぞれ設け、該容器本体内に、開口面からの該精密基板の飛び出しを規制する規制具を取り付けたものであって、
上記規制具を、上記容器本体の少なくとも内部一側壁の開口面側に着脱自在に取り付けられる支持プレートと、この支持プレートから該容器本体の開口面とは反対側の方向に伸びる弾性アームと、この弾性アームの自由端部に設けられて上記精密基板の周縁部に対向する当接片とから構成したことを特徴としている。
【0008】
なお、上記容器本体の少なくとも内部一側壁の開口面側と上記支持プレートのいずれか一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ設け、これら凹部と凸部とを嵌め合わせることができる。
また、上記弾性アームの当接片の下面のそれぞれを対向する上記支持部のそれぞれの下面よりも突出するガタツキ規制部とすることができる。
【0009】
ここで、特許請求の範囲における容器本体は、フロントオープンボックスタイプでも良いし、透明でも良いし、そうでなくても良い。精密基板には、少なくとも単数複数枚の半導体ウェーハやガラス基板等が含まれる。また、支持部は、容器本体の内部両側壁に一体的に設けられるものでも良いし、別体として設けられるものでも良い。規制具の支持プレートは、容器本体の少なくとも内部一側壁の開口面側に取り付けることができる。したがって、容器本体の内部両側壁の開口面側にそれぞれ取り付けることも可能である。また、支持プレート、弾性アーム、当接片は、同じ材質でも良いし、そうでなくても良い。さらに、弾性アームと当接片は、同じ厚さにすることもできるし、異なる厚さにすることも可能である。さらにまた、凹部と凸部との嵌め合わせとして、本ざねはぎやありざねはぎ等の接合技術を用いることも可能である。
【0010】
請求項1記載の発明によれば、容器本体の支持部に支持された単一あるいは複数枚の精密基板が容器本体の開口面から外部に飛び出そうとすると、規制具の当接片に精密基板が接触し、精密基板の外部への飛び出しや位置ずれが規制される。この際、規制具の支持プレートから伸びる可撓性の弾性アームが接触時の衝撃を緩和しながら精密基板を受け止めるので、精密基板の損傷等が有効に回避される。
また、規制具が支持部と一体ではなく、取り外し可能な別体なので、必要に応じて容器本体内に規制具を自由に取り付けたり、規制具を取り外すことができる。
【0011】
また、請求項2記載の発明によれば、容器本体の少なくとも内部一側壁の開口面側と支持プレートのいずれか一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ設け、これらを相互に嵌め合わせて支持プレートを着脱自在に継ぎ合わせるので、構成の簡素化が期待でき、しかも、容器本体に規制具を比較的簡単にセットすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における精密基板収納容器は、図1ないし図5に示すように、複数枚(例えば、13枚、25枚、26枚)の精密基板(例えば、300mmのシリコンウェーハ)Wを収納する容器本体1と、この容器本体1の底面に装着されるボトムプレート6と、容器本体1の正面をエンドレスのシールガスケット13を介して閉鎖する着脱自在の蓋体10とを備え、容器本体1の内部両側壁の正面側には、容器本体1の開口した正面から外方向への精密基板Wの飛び出しを規制する一対の規制具20をそれぞれ着脱自在に装着するようにしている。
【0013】
容器本体1は、図1や図2に示すように、十分な強度・剛性を有するポリカーボネートやポリブチレンテレフタレート樹脂等の各種合成樹脂を使用してフロントオープンボックスタイプの透明に成形されている。この容器本体1の底面は、前部両側と後部中央とに加工装置に対して位置決め手段として機能するVグルーブ9がそれぞれ形成され、この複数のVグルーブ9に板状のボトムプレート6が嵌合保持される。このボトムプレート6については、この他にも、周端部の複数箇所にL字形等をした保持部を設け、容器本体1の底部に保持部が嵌合する保持溝を設け、これらを嵌合させて保持させたり、螺刻部と螺子部材を使用することにより、固定することもできる。
【0014】
容器本体1の正面は、同図に示すように、段差を備えた拡幅に成形され、内周面には、図示しない複数の係止穴が所定の間隔をおいて凹み形成されている。この正面の左右両側部等からは、被クランプ部2がそれぞれ左右横方向にそれぞれ張り出している。また、容器本体1の内部背面には、複数枚の精密基板Wの後部周縁を保持するリヤリテーナ3が装着され、このリヤリテーナ3が搬送時に各精密基板Wを保持して安全を確保するよう機能する。
【0015】
容器本体1の相対する内部両側壁には図1ないし図5に示すように、棚状の支持部4がそれぞれ成形され、この支持部4の支持溝が複数枚の精密基板Wを所定のピッチで上下に並べて整列収納するとともに、各精密基板Wを水平に支持する。容器本体1の内部両側壁における開口面側の上下部からは、図1や図5に示すように、被嵌合部5がそれぞれ正面方向に水平に突出し、各被嵌合部5が凸部として機能する。この被嵌合部5は、細長い突リブの他、I字やL字の突リブにしたり、凹部に形成することもできる。これら被嵌合部5の表面には、嵌合力を調製するため、半球状、三角形状等をした係止突起や凹部を必要に応じて形成することができる。
【0016】
ボトムプレート6は、図1に示すように、ポリカーボネートやポリブチレンテレフタレート樹脂等の各種合成樹脂を使用して基本的には平面略Y字に形成されている。このボトムプレート6は、左右に分かれた前部両側と後部中央とに、Vグルーブ9の周囲に嵌合する誘導部7がそれぞれ形成され、中央部には、加工装置固定用の貫通口8が穿孔されている。
【0017】
蓋体10は、対向嵌合する裏面プレート11と表面プレート12とを備え、周囲に密封閉鎖用のシールガスケット13が嵌合され、左右両側部には、可撓性のクランプ板14がそれぞれ前後方向に回転可能に枢着されており、各クランプ板14の切り欠き15やその可撓区画片16が容器本体1の被クランプ部2等に嵌合して蓋体10の嵌合を強固に保持する。裏面プレート11には、複数枚の精密基板Wの前部周縁を保持するフロントリテーナ17が装着され、このフロントリテーナ17が精密基板Wの後部周縁を保持したリヤリテーナ3と共に搬送時に精密基板Wを保持して安全を確保する。
【0018】
なお、蓋体10については、相互に対向嵌合する裏面プレート11と表面プレート12とを備え、これら略矩形の裏面プレート11と表面プレート12の間の中空部に、表面側の外部から操作可能な一対のラッチ機構を内蔵し、この一対のラッチ機構が容器本体1に蓋体10が嵌合する際、各係止穴に出没可能な係止爪を突出係合させ、基板収納容器の気密状態を確保するようにすることもできる。
【0019】
各規制具20は、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂、ポリオレフィン系、ポリエステル系の熱可塑性エラストマーや合成ゴム等の高弾性の材料を使用して成形される。この規制具20は、図1ないし図5に示すように、容器本体1の内部各側壁における被嵌合部5に着脱自在に嵌合保持されて側壁と平行に伸長する断面略コ字形、U字形で弾性の支持プレート21と、この略柱状の支持プレート21の内側面に略櫛歯状に一体成形されて容器本体1の背面方向(開口面とは反対側の方向)に少々屈曲・湾曲しながら伸長する複数本の弾性アーム22と、各弾性アーム22の先端部、すなわち自由端部に少々大きく一体成形されて精密基板Wの側部周縁付近に近接対向する略矩形の当接片23とから構成されている。
【0020】
各弾性アーム22の幅寸法と肉厚とは、原材料の剛性を考慮し、1〜5mm、好ましくは2〜3.5mmの間で適宜設定される。各当接片23は、基板搬送ロボットからなる自載機での精密基板Wの移載に支障がないよう、SEMI規格で定められている支持部4の上面からの高さが0.7mmよりも低い高さに設定され、0.2〜0.3mm程度の適当な間隔をおいて精密基板Wと対向する。
【0021】
上記構成において、容器本体1の正面から蓋体10を取り外して開口させ、工程内で容器本体1を移動させたり、別の基板加工装置に移し替える場合、容器本体1の正面側に一対の規制具20がストッパとして存在し、各弾性アーム22の当接片23が精密基板Wに当接してその飛び出しを効果的、かつ有効に防止(図3参照)するので、設備の振動や移動時の衝撃で容器本体1内の精密基板Wが正面側に位置ずれしたり、精密基板Wが正面から飛び出して破損することがない。また、基板搬送ロボットが精密基板Wを再度アンローディングする際、位置ずれした精密基板Wと基板搬送ロボットのハンドとが干渉し、精密基板Wを破損させるおそれもない。
【0022】
上記構成によれば、支持部4の正面側にストッパである規制具20をなんら一体成形するものではないから、規制具20が離型の不可能なアンダーカットになることがない。したがって、金型に可動の組立中子や置中子等を使用したり、あるいは金型を複雑に分割して特殊構造に構成する必要性が全くなく、これを通じて金型関連の費用を削減し、大幅なコストダウンを図ることができる。また、必要に応じて容器本体1に規制具20をセットしたり、取り外すことができるので、洗浄装置で容器本体1を洗浄する場合に、容器本体1から規制具20を取り外せば洗浄液の循環の障害となることがなく、支持部4を十分に洗浄することが可能となる。したがって、水滴の残留を著しく抑制することができ、乾燥時間の短縮を通じて処理作業の効率化が大いに期待できる。
【0023】
また、取り外した規制具20は、容器本体1とは別に洗浄することができる。また、規制具20をオプション部品として活用することもできるし、破損した場合でも簡単に交換することができる。さらに、支持プレート21が断面略コ字形、U字形の簡易な凹字形状、換言すれば、嵌合用の溝を有するので、容器本体1の被嵌合部5に規制具20を簡単にセットすることができ、しかも、製造の容易化等も大いに期待できる。さらにまた、嵌合用の溝の内周部には、係止突起や係止凹部を必要に応じて設けることができる。
【0024】
次に、図6や図7は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、各当接片23の一部を容器本体1の背面方向に伸長して精密基板Wの側部周縁やその付近と隙間を介し部分的にオーバーラップさせ、各当接片23の下面を隣接する下段の精密基板Wの面方向に相対するガタツキ規制部30とするようにしている。
各ガタツキ規制部30は、支持部4の下面から0.1〜3mm、好ましくは1〜2mm突出するよう形成されている。ガタツキ規制部30の下方の突出量は、基板取り出しロボットの先端アームと干渉しない高さに設定されている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【0025】
次に、図8や図9は本発明の第3の実施形態を示すもので、この場合には、各当接片23の一部を容器本体1の背面方向に伸長して精密基板Wの側部周縁やその付近と隙間を介し部分的にオーバーラップさせ、各当接片23から断面略半球状、略半楕球状のガタツキ規制突起であるガタツキ規制部30を隣接する下段の精密基板Wの面方向に突出させるようにしている。
各ガタツキ規制部30は、支持部4の下端面から0.5〜3mm、好ましくは1〜2mm突出するよう成形されている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【0026】
本実施形態によれば、例え容器本体1を縦置きにした場合でも、精密基板W同士が接触して破損するのをきわめて有効に防ぐことができる。この点を詳しく説明すると、自載機で精密基板Wを取り扱う場合には、横置きの容器本体1から水平の精密基板Wを取り出すのが好都合であるが、精密基板Wの検査等の場合、縦置きの容器本体1から垂直の精密基板Wを取り出すことがある。このように容器本体1の正面を上向きにして精密基板Wを縦置きする場合には、リヤリテーナ3の支持溝内に精密基板Wの下部が位置決めされるが、開口した正面には精密基板Wの動きを規制するフロントリテーナ17等が存在しないので、支持部4の間で複数枚の精密基板Wがガタツクこととなり、ひどいときには複数枚の精密基板W同士が接触したりして破損することもある。
【0027】
本実施形態によれば、例え容器本体1を縦置きにした場合でも、支持部4の支持溝内における複数枚の精密基板Wのガタツキを各ガタツキ規制部30が接触して小さく抑制する。よって、複数枚の精密基板W同士が傾斜接触して破損するのをきわめて有効に防止することが可能になる。
【0028】
なお、上記実施形態では容器本体1の凸部である被嵌合部5に、凹部である支持プレート21を嵌合したが、なんらこれに限定されるものではない。例えば、容器本体1における側壁の正面側に単数複数の凹部を、支持プレート21に単数複数の凸部をそれぞれ配設することもできる。これら凹部や凸部の位置、数、形状等は、適宜増減変更することができる。また、支持プレート21を高剛性の熱可塑性樹脂を使用して成形し、弾性アーム22や当接片23を弾性の熱可塑性エラストマーで成形することも可能である。さらに、蓋体10を、裏面プレート11と表面プレート12とから構成するのではなく、単一のプレートで形成しても良い。
【0029】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、アンダーカット用の対策を取る必要がないから、金型関連の費用を削減することができるという効果がある。また、容器本体から規制具を取り外すことができるので、例えば洗浄液等の液体を容器本体内で循環・流通させ、乾燥作業等の作業時間の短縮を図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す全体斜視説明図である。
【図2】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体を示す斜視説明図である。
【図3】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す要部斜視説明図である。
【図4】図3のIV‐IV線断面説明図である。
【図5】図3のV‐V線断面説明図である。
【図6】本発明に係る精密基板収納容器の第2の実施形態を示す要部斜視図である。
【図7】図6のVII‐VII線断面説明図である。
【図8】本発明に係る精密基板収納容器の第3の実施形態を示す要部断面説明図である。
【図9】本発明に係る精密基板収納容器の第3の実施形態における縦置きの容器本体を示す断面説明図である。
【図10】従来における精密基板収納容器の支持部と精密基板とを示す部分斜視説明図である。
【図11】従来における精密基板収納容器の支持部と精密基板とを示す部分断面説明図である。
【符号の説明】
1 容器本体
3 リヤリテーナ
4 支持部
5 被嵌合部(凸部)
10 蓋体
17 フロントリテーナ
20 規制具
21 支持プレート(凹部)
22 弾性アーム
23 当接片
30 ガタツキ規制部
W 精密基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a precision substrate storage container for storing a precision substrate made of a semiconductor wafer, a glass substrate, or the like, and more particularly to a restricting tool for restricting a precision substrate from protruding from an opening surface.
[0002]
[Prior art]
In recent years, a precision substrate W made of a semiconductor wafer is formed in a large diameter in order to improve productivity, and is handled by an automatic transfer machine by a precision substrate storage container.
This type of precision substrate storage container includes a front open box type container main body that stores a plurality of precision substrates W, a bottom plate that is attached to the bottom surface of the container main body, and a detachable that closes the front of the container main body. And a lid. As shown partially in FIGS. 10 and 11, the container body is formed with shelf-
[0003]
By the way, in order to take out the precision substrate W from the container main body, when removing the lid from the front of the container main body and opening the front of the container main body to move the container main body within the process, the precision substrate W is placed on the front of the container main body opened. Because there is no front retainer etc. that holds the substrate, the precision substrate W in the container body is displaced to the front side due to the vibration of the equipment or the impact at the time of movement, the precision substrate W jumps out from the front and is damaged, or the substrate When the transport robot unloads the precision substrate W again, the precision substrate W that has been misaligned may interfere with the hand of the substrate transport robot, and the precision substrate W may be damaged.
In order to solve such a problem, conventionally, there has been proposed a method in which a stopper is integrally formed on the front side of the
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the method of forming a stopper on the front side of the
In order to solve the above problem, a movable assembly core, a placement core, or the like may be used for the mold, or the mold may be divided into a special structure to form a stopper. However, with this, the cost related to the mold becomes very high, and the cost cannot be reduced at all.
[0005]
In addition, if a stopper is formed on the
[0006]
The present invention has been made in view of the above, and can reduce mold-related costs, efficiently circulate the fluid necessary for cleaning the container body, etc., and shorten the work time of drying work and the like. An object of the present invention is to provide a precision substrate storage container that can be realized.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In the first aspect of the invention, in order to achieve the above-mentioned object, a substantially shelf-like support portion for storing the precision substrate is provided on each of the inner side walls of the container body, and the container body is provided with the support from the opening surface. It is equipped with a regulator that regulates the jumping out of the precision board,
A support plate detachably attached to the opening surface side of at least one inner side wall of the container body; an elastic arm extending from the support plate in a direction opposite to the opening surface of the container body; It is characterized by comprising a contact piece provided at the free end of the elastic arm and facing the peripheral edge of the precision substrate.
[0008]
A concave portion is provided on at least one of the opening side of the inner side wall of the container body and the support plate, and a convex portion is provided on the other, and the concave portion and the convex portion can be fitted together.
Further, the back surface of the contact piece of the elastic arm can be a backlash restricting portion that protrudes from the bottom surface of each of the supporting portions facing each other.
[0009]
Here, the container body in the claims may be a front open box type, may be transparent, or not. The precision substrate includes at least one or more semiconductor wafers or glass substrates. Moreover, a support part may be integrally provided in the internal both side wall of a container main body, and may be provided as a different body. The support plate of the restricting tool can be attached to the opening surface side of at least one inner side wall of the container body. Therefore, it is also possible to attach each to the opening surface side of the inner side walls of the container body. Further, the support plate, the elastic arm, and the contact piece may be made of the same material or not. Further, the elastic arm and the abutting piece can be the same thickness or different thicknesses. Furthermore, it is also possible to use a joining technique such as regular ridges and ridges to fit the recesses and protrusions.
[0010]
According to the first aspect of the present invention, when a single or a plurality of precision substrates supported by the support portion of the container body are about to jump out of the opening surface of the container body, the precision substrate is placed on the contact piece of the restricting tool. , And the protrusion and displacement of the precision substrate are regulated. At this time, since the flexible elastic arm extending from the support plate of the restricting tool receives the precision substrate while mitigating the impact at the time of contact, damage to the precision substrate is effectively avoided.
In addition, since the restricting tool is not integral with the support portion and is removable, the restricting tool can be freely attached to or removed from the container body as necessary.
[0011]
According to the invention described in
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 5, the precision substrate storage container according to the present embodiment includes a plurality of sheets (for example, 13, 25, 26 sheets). ) A precision substrate (for example, a 300 mm silicon wafer) W, a
[0013]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the
[0014]
As shown in the figure, the front surface of the
[0015]
As shown in FIGS. 1 to 5, shelf-
[0016]
As shown in FIG. 1, the
[0017]
The
[0018]
The
[0019]
Each restricting
[0020]
The width dimension and thickness of each
[0021]
In the above configuration, when the
[0022]
According to the above configuration, since the
[0023]
Further, the removed restricting
[0024]
Next, FIG. 6 and FIG. 7 show a second embodiment of the present invention. In this case, a part of each
Each
[0025]
Next, FIG. 8 and FIG. 9 show a third embodiment of the present invention. In this case, a part of each
Each
[0026]
According to this embodiment, even when the container
[0027]
According to the present embodiment, even when the
[0028]
In addition, in the said embodiment, although the
[0029]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since there is no need to take measures for undercutting, there is an effect that costs related to the mold can be reduced. Further, since the restricting tool can be removed from the container main body, for example, a liquid such as a cleaning liquid can be circulated and distributed in the container main body, so that it is possible to shorten the working time of the drying work or the like.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall perspective view showing an embodiment of a precision substrate storage container according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective explanatory view showing a container body in an embodiment of a precision substrate storage container according to the present invention.
FIG. 3 is a perspective view of a main part showing an embodiment of a precision substrate storage container according to the present invention.
4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3;
FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view taken along line VV in FIG. 3;
FIG. 6 is a perspective view of a principal part showing a second embodiment of a precision substrate storage container according to the present invention.
7 is a cross-sectional explanatory view taken along the line VII-VII in FIG. 6;
FIG. 8 is an explanatory cross-sectional view of a relevant part showing a third embodiment of a precision substrate storage container according to the present invention.
FIG. 9 is a cross-sectional explanatory view showing a vertically placed container body in a third embodiment of a precision substrate storage container according to the present invention.
FIG. 10 is a partial perspective explanatory view showing a support portion and a precision substrate of a conventional precision substrate storage container.
FIG. 11 is a partial cross-sectional explanatory view showing a support portion and a precision substrate of a conventional precision substrate storage container.
[Explanation of symbols]
1 Container Body 3
10
22
Claims (3)
上記規制具を、上記容器本体の少なくとも内部一側壁の開口面側に着脱自在に取り付けられる支持プレートと、この支持プレートから該容器本体の開口面とは反対側の方向に伸びる弾性アームと、この弾性アームの自由端部に設けられて上記精密基板の周縁部に対向する当接片とから構成したことを特徴とする精密基板収納容器。A precision substrate storage container in which a substantially shelf-like support portion for storing a precision substrate is provided on both side walls of the container body, and a regulation tool for restricting the protrusion of the precision substrate from the opening surface is mounted in the container body. Because
A support plate detachably attached to the opening surface side of at least one inner side wall of the container body; an elastic arm extending from the support plate in a direction opposite to the opening surface of the container body; A precision substrate storage container comprising a contact piece provided at a free end of an elastic arm and facing a peripheral edge of the precision substrate.
Priority Applications (3)
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