JP4331086B2 - 電磁アクチュエータおよびそれを用いた光デバイス - Google Patents
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Description
この特許では、光路を切り替えるための反射板(ミラー)をMEMS技術(特許文献1中ではマイクロマシニング技術と呼んでいる)を用いて形成し、さらに磁性体とコイルを固定して可動部を構成している。さらに可動部の駆動方向に対して、可動部を挟むように2個1組の永久磁石を配置しており、永久磁石は駆動方向に沿って逆方向に着磁されている。この状態で、可動部をどちらかの永久磁石に吸引させるが、その位置の切り替えは可動部のコイルに電流を印加することによって行う。この特許では、永久磁石によって可動部が自己保持されるため、可動部の切り替え時以外には、電流を印加する必要がなく、低消費電流が実現できる。
この構造により、永久磁石可動部を吸引ヨークと開離ヨーク間で駆動することで、可動部に設けられた磁性体に対して作用する磁気吸引力を大きく切り替えることが可能となり、その結果可動部の位置を精度良く切り替えることが可能となる。また吸引部の断面積を、吸引ヨークに永久磁石可動部が接した際に、吸引部で磁気飽和、あるいはそれに近い状態となるように設定することにより、可動部に作用する吸引力を強くすることが可能となる。
(実施の形態1)
本発明の第1の実施の形態について、図1〜図6を用いて説明する。
図1は、本発明の電磁アクチュエータを光スイッチとして応用した際の構成を模式的に示した斜視図である。ヨーク5、ヨーク6は、それぞれU字型となっており、その開放端側に、永久磁石2とおよびエンドヨーク3、エンドヨーク4から構成された永久磁石可動部1が位置している。永久磁石可動部1は、ヨーク5あるいはヨーク6の開放端に接するように、駆動可能となっている。なお、図中には示していないが、この永久磁石可動部1は板バネなどの可撓性部材により支持してもよいし、不要な動作を防止するためのガイドなどをその周辺に設けてもよい。例として板バネにより永久磁石可動部1を支持した際の模式図を図2に示す。永久磁石可動部1上に板バネ13を接合し、その反対側端面付近を固定することで、不要な方向への動作を制限できるとともに、板バネ13の復元力を利用可能となる。
ヨーク6の1辺には、ヨーク穴7が形成されており、その上部に可動磁性体10が位置している。可動磁性体10は、可撓部12によって支持された可動ミラー部11に固定されている。可撓部12は可動ミラー部11に対して両持ち梁構造となっているが、片持ち梁構造でも問題ない。なお可撓部12と可動ミラー部11はMEMS技術を用いて高精度に一体形成が可能であり、本来は可撓部12端で同じく一体形成された基板に固定されているが、簡略化のため図1では割愛している。また、その他の部材についても、非磁性材料で固定される必要があるが、同じく割愛している。また、各ヨークにはそれぞれ永久磁石可動部1を駆動するためのコイル8、コイル9が固定されている。この場合、それぞれのヨークに直接コイル線を巻いてもよいし、ボビン等に巻いたコイルをヨークに挿入してもよい。
つまり、このBが飽和磁束密度に達しないよう、ヨーク断面積は十分に大きくする必要がある。45パーマロイであれば、通常磁束密度Bを1.2T以下となるように設計することが望ましい。仮に、図4(a)の状態で、ヨーク5の断面積が小さく磁気飽和を起こしてしまうと、ヨーク6側にも磁束が導かれ、結果的に永久磁石可動部1とヨーク5間の磁気吸引力が低下する結果となる。あるいは、他の部分に磁束が漏れ、本アクチュエータに近接する他の電子機器などに悪影響を及ぼす可能性もある。
つまり、結果としてヨーク6が可動部の吸引用、ヨーク5がその開離用となっており、永久磁石可動部をそれぞれのヨーク間で駆動することで、可動部の位置を切り替えることが可能となっている。なお、本実施の形態では、ヨーク穴7により断面積を低減したが、加工の容易さ等を考慮して、様々な形状にすることが可能である。例えば、図6に示すように、ヨーク6の両側に凹部19を設けても良いし、また貫通穴と凹部を組み合わせても良い。
(実施の形態2)
本発明の第2の実施の形態を、図7〜図10を用いて説明する。
図7は、本発明の電磁アクチュエータを光スイッチとして応用する場合の構成を模式的に示した斜視図である。また図8は分解図となっており、(a)が上面図、(b)が側面図となっている。なお、図8では、可撓部12、可動ミラー部11および可動磁性体10は図の簡略化のため省略している。第2の実施の形態では、光スイッチの光学系に関与する可動ミラー部11、可動磁性体10、可撓部12は、第1の実施の形態と同じ構成であり、光路切り替えも同様に実施可能となっている。また、永久磁石可動部1が永久磁石2とヨーク3、4から構成される点も、第1の実施の形態と同様である。
2 永久磁石
3、4 エンドヨーク
5、6 ヨーク
7 ヨーク穴
8、9 コイル
10 可動磁性板
11 可動ミラー部
12 可撓部
13 板バネ
14 入力用光ファイバー14
15、16 出力用光ファイバー
17、18 光路
19 凹部
20 磁化曲線
21 横軸
22 縦軸
23、24 ヨーク
25 ヨーク穴
26、27 コイル
28 ヒンジバネ
29 固定部
30 弾性支持部
Claims (8)
- 可撓部によって支持され磁性体を有する可動部と、
永久磁石を有し磁気による力を受けて移動する永久磁石可動部と、
前記永久磁石可動部を駆動する少なくとも1個以上のコイルと、
前記永久磁石可動部が接触あるいは近接することで、前記永久磁石の磁束により前記可動部を磁気吸引する吸引部を有する吸引ヨークと、
前記永久磁石可動部が接触あるいは近接することで、前記磁束を導き前記吸引ヨークから前記可動部を開離する開離ヨークを有し、
前記吸引部における前記磁束と直交する断面積が、前記吸引ヨークの他の部位における前記磁束と直交する断面積よりも小さい電磁アクチュエータ。 - 前記吸引部の断面積が、前記吸引ヨークに前記永久磁石可動部が接触あるいは近接した際に、前記吸引部で飽和磁束密度、あるいはそれに近い磁束密度となるように設定されていることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
- 前記吸引部が、前記吸引ヨークに設けられた円形の貫通穴を含むことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の電磁アクチュエータ。
- 前記吸引部が、前記吸引ヨークに設けられた凹形状を含むことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石可動部が、直線運動するものであることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石可動部が、回転運動するものであることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石可動部が、可撓性部材で支持されていることを特徴とする請求項5あるいは請求項6記載の電磁アクチュエータ。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の電磁アクチュエータを有する光デバイス。
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