JP4312877B2 - マイクロ波放電装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ケミカル・ドライ・エッチング装置のマイクロ波放電に係り、とくにマイクロ波放電の始動を容易化するための励起を行う方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造プロセスの一つに、タングステンエッチバック処理がある。この処理は、マイクロ波放電下で行うが、圧力などのプロセス条件が放電の始動を難しくするものであり、マイクロ波放電の始動が容易ではない。
【0003】
そこで、従来、マイクロ波放電の容易化のために、励起手段として紫外線照射手段を設け、放電管内に紫外線を照射して励起状態とし、マイクロ波放電が起き易くなるようにしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ケミカル・ドライ・エッチングのタングステンエッチバック処理ではプロセス条件に自由度が少なく、紫外線照射方式では励起が十分に行えない条件となるため、放電始動が必ずしも確実に行われなかった。
【0005】
本発明は上述の点を考慮してなされたもので、ケミカル・ドライ・エッチング処理装置におけるマイクロ波放電を容易かつ確実にするための電気的な励起方法および装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題解決のための手段】
上記目的達成のため、本発明では、
処理室と、
前記処理室に連通した放電管と、
前記放電管の周囲に設けられた一対の電極と、
前記電極に高周波、高電圧のパルス状電圧を供給し前記放電管内のガスを励起して励起ガスを生成し、グロー放電を行わせるパルス電源と、
前記励起ガスにマイクロ波を与えるマイクロ波源と、
をそなえ、前記マイクロ波源からのマイクロ波が与えられて前記励起ガスを前記処理室内に供給するようにしたマイクロ波放電装置において、
前記パルス電源は、
パルス信号源と、
このパルス信号源からの信号に応じてスイッチング動作し、パルス電圧を形成するスイッチング素子と、
を有することを特徴とするマイクロ波放電装置、
を提供するものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明に係るマイクロ波放電装置の構成を示したものである。この図1において、図の中央左右方向に延びるのが放電管DTであり、この放電管DTの左端上方からプロセスガスGが供給され、右端からエッチング処理室に抜けていく。そして、放電管DTの中央がマイクロ波放電室であり、その左側にグロー放電装置が設けられる。グロー放電装置は、放電管DTの管壁に密着した状態で設けられた一対の電極Eと、この電極Eに高周波、高電圧のパルス電圧を供給するスタータ基板とにより構成されている。
【0008】
電極Eは、図示の例では放電管DTの長手方向に沿った細長いグロー放電を形成するために放電管DTの長手方向に沿って設けられているが、長手方向と直角方向に並置されてもよい。スタータ基板には直流電源DCが給電され、パルス電圧に変換してトランスTrを介して電極Eに供給する。
【0009】
これにより、放電管DTの左端上方から送り込まれたプロセスガスGが図示左側部分で励起されてグロー放電が開始し、これにより励起されたプロセスガスGが図示直ぐ右側の放電室に送り込まれ、マイクロ波が与えられてマイクロ波放電を行う。
【0010】
図2は、図1のマイクロ波放電装置の回路構成を示したものである。この回路は、直流電源DCに対しフィルタを介して接続されている。フィルタは、抵抗R1,コンデンサC1,C2を有するコモンモード・フィルタCMFとして構成されている。フィルタを経た直流電圧が、まず大容量のコンデンサC3に充電され、次いでトランスTrの1次側巻線の一端と、スイッチング素子であって逆流阻止用ダイオードDを介しトランスTrに接続された電界効果トランジスタFETとの直列回路に供給される。コンデンサC3としては、タンタルコンデンサなどが適当である。
【0011】
このFETは、パルス発生回路の出力を抵抗R2を介して受け、スイッチング動作することにより、大容量コンデンサC3に充電された電荷をトランスTrの1次側巻線にパルス状に通電し、2次側巻線にパルス状電圧を形成して電極Eに供給する。
【0012】
ここで、トランスTrは事実上インダクタンスおよび漂遊容量を有するから、出力電圧を減衰振動性のものに変換し、この減衰振動性の電圧を電極Eに供給する。これにより、放電管DTの管内には減衰振動性の電界が与えられ、グロー放電が励起する。
【0013】
図3は、トランスTrの1次側巻線における電圧Vp、電流Ipおよび2次側巻線の電圧Vsの各波形を示している。すなわち、1次側巻線の電圧VpはFET(図2)のスイッチング動作により形成されたパルス電圧であり、電流Ipは時間の経過とともに直線的に上昇する鋸歯状電流であり、また2次側巻線の電圧Vsは1次側巻線のパルス状電圧と同タイミングで逆極性のパルス状電圧に続いて減衰振動性の電圧である。これは、1次側巻線にパルス状電圧を供給したときに、1次側巻線に流れる電流、および2次側巻線に生じる電圧としての、一般的な挙動の下における電圧、電流波形である。
【0014】
この図3に示したトランスTrの各部波形を、回路理論的に述べると次の通りである。
【0015】
トランスTrの1次側巻線に直流電圧Vinを与えたときに1次側巻線に流れる電流Ipは、
Ip=(Vin−L1・di/dt)/Rw1
ただし、L1:トランスTrの1次側巻線インダクタンス、
Rw1:1次側巻線抵抗。
となる。このとき2次側巻線は開放状態であるため、電流が流れず入力エネルギは磁気エネルギとしてトランスTrのコアに蓄積される。このとき蓄積されるエネルギEは、
E=1/2・L1・Ip2
となる。
【0016】
次いでFETをオフにして1次側の電流を遮断すると、トランスTrのコアに蓄積されたエネルギEが1次側巻線、2次側巻線に電圧Vp、Vsとして形成される。
このときの2次側巻線電圧Vsは、上記エネルギEの式
E=1/2・L1・I2
=1/2・Cs・Vs2
ただし、Cs:トランスTrの2次側巻線漂遊容量
の関係式から求まる値となる。
【0017】
そして、トランスTrの2次側電圧は、L2つまりトランスTrの2次側巻線インダクタンスと漂遊容量Csとにより決まる周波数
f0=1/{2π(L2・Cs)}1 / 2
で振動し、2次側巻線抵抗で消費されるため減衰振動波形となる。
【0018】
図4は、図3に示した減衰振動性の2次側巻線電圧を形成する原因をなすトランスTrの漂遊容量を示したものである。すなわち、トランスTrの巻線の各ターン相互間には1次側巻線に漂遊容量Cs1が、2次側巻線にCs2が存在し、これら両漂遊容量がトランスTrのインダクタンス分と協働して振動動作を行う。この結果、2次側巻線に誘起する電圧は振動性のものとなる。
【0019】
図5は、図1の実施例に使用するのに適したトランスTrの巻線構成を示したもので、図5(a)は側面図、図5(b)は図5(a)のA−A線に沿う側断面図であり、図5(b)の左端の目盛および数値「3」は3mmを表している。このトランスTrは、ボビンBの一端寄りに1次側巻線Wpが巻装され、残りの部分における1次側巻線Wpとは分離した位置に2次側巻線Wsが巻装されている。そして、2次側巻線Wsは層状に巻装されており、各層間には難燃絶縁性を持つポリイミドフィルム(商品名:カプトンテープ)による絶縁を施す。そして、1次側巻線Wpと2次側巻線Wsとの間の距離は3mmとなっている。
【0020】
この絶縁構成により、1次側巻線Wpと2次側巻線Wsとの間に10kVp-p の電位差が生じるが、この電位差に起因して放電が起きることはない。そして、1次側巻線Wpと2次側巻線Wsとの間のインピーダンスを、周波数100kHz時に400kΩ以上にすることができる。また、2次側巻線Wsの線間容量を10pF以下にすることができる。
【0021】
【発明の効果】
本発明は上述のように、マイクロ波放電によりエッチング処理を行う処理室に連通した放電管に一対の電極を設け、この電極間に高周波、高電圧のパルス状電圧を供給するようにしたグロー放電装置を設けたため、マイクロ波放電の安定的な火種としてのグロー放電を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に係るマイクロ波放電装置の構成を示す説明図。
【図2】図2は、図1のマイクロ波放電装置の回路構成を示す図。
【図3】図3は、図2におけるトランスTrの1次側巻線における電圧Vp、電流Ipおよび2次側巻線の電圧Vsの各波形を示す波形図。
【図4】図4は、図3に示した減衰振動性の2次側巻線電圧を形成する原因をなすトランスTrの漂遊容量を示す説明図。
【図5】図5は、図1の実施例に使用するのに適したトランスTrの巻線構成を示したもので、図5(a)は側面図、図5(b)は図5(a)のA−A線に沿う側断面図。
【符号の説明】
DT 放電管
E 電極
G プロセスガス
M マイクロ波
Tr トランス
CMF コモンモードフィルタ
FET 電界効果トランジスタ
R 抵抗
Vp トランスTrの1次側電圧
Vs トランスTrの2次側電圧
Ip トランスTrの1次側電流
Wp トランスTrの1次側巻線
Ws トランスTrの2次側巻線
Claims (5)
- 処理室と、
前記処理室に連通した放電管と、
前記放電管の周囲に設けられた一対の電極と、
前記電極に高周波、高電圧のパルス状電圧を供給し前記放電管内のガスを励起して励起ガスを生成し、グロー放電を行わせるパルス電源と、
前記励起ガスにマイクロ波を与えるマイクロ波源と、
をそなえ、前記マイクロ波源からのマイクロ波が与えられて前記励起ガスを前記処理室内に供給するようにしたマイクロ波放電装置において、
前記パルス電源は、
パルス信号源と、
このパルス信号源からの信号に応じてスイッチング動作し、パルス電圧を形成するスイッチング素子と、
を有することを特徴とするマイクロ波放電装置。 - 請求項1記載のマイクロ波放電装置において、
前記スイッチング素子は、直列接続された逆流阻止ダイオードを有するマイクロ波放電装置。 - 請求項1記載のマイクロ波放電装置において、
前記パルス電源は、
前記スイッチング素子からのスイッチング出力を1次側巻線の入力とし、2次側巻線にパルス状電圧を生じるトランスを有するマイクロ波放電装置。 - 請求項3記載のマイクロ波放電装置において、
前記トランスは、
前記1次側巻線と前記2次側巻線とが分離して配置され、両巻線間が難燃性絶縁膜により絶縁されたマイクロ波放電装置。 - 請求項4記載のマイクロ波放電装置において、
前記2次側巻線は、層状に巻装され、各層間は前記難燃性絶縁膜により絶縁されたマイクロ波放電装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP11522899A JP4312877B2 (ja) | 1999-04-22 | 1999-04-22 | マイクロ波放電装置 |
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ID=14657532
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-
1999
- 1999-04-22 JP JP11522899A patent/JP4312877B2/ja not_active Expired - Lifetime
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