JP4308332B2 - 低電力xrf応用のための、空冷式で端部に窓を有する金属―セラミック製x線管 - Google Patents
低電力xrf応用のための、空冷式で端部に窓を有する金属―セラミック製x線管 Download PDFInfo
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Description
1.発明の分野
本発明は、X線管技術に関する。特に、本発明は、同様の電力入力のX線管と比較してより高いX線フラックスが与えられるように設計した空冷式で金属−セラミック製のX線蛍光計測器用の低電力X線管の線源の新規な構造に関する。最も利点的に、端部の窓が小形の先端部分に設けられるように、陰極組立体と陽極組立体が構成され、これにより、照射されるべきサンプルにX線の線源を接近させることができる。
2.従来技術の説明
従来のX線管は、典型的に、陰極組立体及び陽極組立体がガラス製の外囲器内に真空密封される。電子が、陰極組立体の少なくとも一つの陰極フィラメントによって生成される。この電子は、高電圧電場によって、陽極組立体へ向けて加速される。この高エネルギー電子が陽極組立体に衝突してX線が生成される。このとき、不可避の熱が大量に生成される。この熱をできるだけ放散させることが、X線管の寿命に重要なことである。
上述のX線管は、ハウジングの内部に取り付けられ、不要のX線から周囲環境を保護する。従来のX線管冷却方法では、このハウジングがオイルで満たされる。このオイルは、電気的な絶縁をするだけでなく、陽極組立体で発生した熱を吸収する。オイルポンプやホースを要するので、システムの信頼性が低下し、漏れや引火の可能性があり、余分なコストもかかる。また、オイルによる冷却方法では、X線管の修理や維持が、より困難である。
オイルの代替物が開発された。例えば、六フッ化イオウ(SF6)が、様々な理由のため、オイルよりも好適である。しかし、これは、高価であり、安全な取り扱いが難しく、これが漏れると、高電圧隔離能力が低下し得る。
X線蛍光(XRF)に使用されるX線管の重要な構造的特徴は、照射されるもの又はサンプルにX線の線源をできるだけ接近させることである。X線がサンプルに吸収されると、蛍光を発する。蛍光エネルギー検出器が、サンプル及びX線の線源に対して所望の角度でサンプル付近に配列される。この所望の角度により、典型的に、蛍光エネルギー検出器が最大量の蛍光エネルギーを受けることができる。
X線蛍光計測器に使用するX線管は、典型的に、三つの異なったX線管構造のうちの一つである。このX線管には、端部に窓を有するように設計され、この窓からX線エネルギーがサンプルに向けて放射される透過X線管として知られるものや側部に窓を有するように設計された側窓型がある。
このようなX線管設計の各々には、XRF計測器の性能を阻害する、という設計上の欠点がある。図1に、本発明に関連する透過X線管10の構成要素を示す。図1には、陰極組立体14の周囲を取り囲むハウジング12が示される。陰極組立体14は、陽極/窓(陽極と窓の組合せ)16の後方中央に位置する。電子18は、陰極組立体14にあるフィラメント(図示せず)から放射され、陰極組立体14と陽極/窓16との間に形成される高電圧場によって、陽極/窓16に向けて流れる。陽極/窓16は、例えば、陽極物質でコーティングされ得る。陽極/窓16に衝突する電子フラックス18がX線20を生成する。有効X線21は、陽極/窓16を通じて連続的に放射される。このことから、陽極に衝突する電子18及びある角度で偏向されるX線20よりも、むしろ、有効X線21が、陰極組立体14からの電子18の元々の流れと同一の方向に連続して放射される。
この設計には様々の不利点がある。第一に、信頼性に欠ける。透過X線管の高電圧安定性は、側窓型のX線管からのものよりも一般的に良くない。また、大量の熱が生成されるため、陽極/窓は、別様に構成される。この熱は、陽極/窓の薄さの程度を限定する。不利点的に、陽極表面上で発生されるX線は、陽極窓の全厚を通過する際に実質的に低下される。その結果、X線放射は、それほど強くない。
端部に窓を有するように設計した端窓型のX線管の設計には、X線蛍光検出器の使用を妨げる、という欠点がある。特に、X線管の先端部分の大きさが、最適な検出器の位置に影響を及ぼす。
他方、側窓型のX線管もまた、典型的に、サンプル対ターゲット距離を大きくする必要があるため、XRF計測器への応用を阻害する、という致命的な欠点を有する。このサンプル対ターゲット距離が大きく、X線管自身が蛍光エネルギー24の検出に影響を及ぼし、図2のX線管22の断面図に示されるように、蛍光エネルギー検出器26が最適な位置に配列できない。言い換えると、X線管22の側壁28は、最適な検出角度で検出されるべき蛍光エネルギー24の大半を吸収する。しかし、側窓型のX線管をサンプルからさらに移動させることは、サンプルの利用可能X線フラックスを低下させる。側窓型のX線管では、ターゲット31からサンプル30への距離が大きいため、利用可能X線フラックスは小さい。
また、従来のX線管では、フィラメントの寿命が比較的短く、安定性が低く、X線管の電気的な漏れが大きい。
したがって、より大きい放射X線をサンプルに到達でき、蛍光エネルギー検出器を最適な検出角度に位置でき、最小のターゲット対サンプル距離と最良の検出器対サンプル接続を可能にするX線管を提供することが、従来技術を越える利点である。
端部や側部に窓を有する従来のX線管の設計には他の構造的な不利点がある。例えば、ガラスが高電圧絶縁体として共通的に使用される。しかし、ガラスは割れ易い。ガラスはまた、繰り返して製造加工し難く、コストが増大する。また、ガラスでは、X線管の真空外囲器からの付加的なガスの除去を促進するより高温の管処理ができない。
ガラスをより頑丈な高電圧絶縁体に交換する点に、従来技術を越える他の利点がある。高電圧絶縁体によって、より高温の処理が可能となり、これにより、管処理が高められ、より良好な真空が得られ、より清浄なX線管が得られる、という点に利点がある。また、陽極を低温で作動でき、X線管の作動寿命を長くできる、より良好な熱伝導特性を有するX線管を提供する点に利点がある。
発明の目的及び概要
本発明の目的は、低電力X線蛍光応用に適したX線管の新規な方法及び装置を提供することである。
他の目的は、小形化、及び良好な全体的な熱伝導の利点を与える金属−セラミック製の高電圧絶縁体を使用するX線管を提供することである。
他の目的は、利点的に端部に窓を有するように設計される電子光学系の新規な構造及び幾何学的な配列を提供することである。
他の目的は、オイル、又は他の絶縁性又は熱伝導性の液体又は気体材料を使用する必要のないX線管を提供することである。
他の目的は、空冷式のX線管を提供することである。
他の目的は、熱伝導性を向上するとともに高電圧絶縁性を与えるために、ボロン窒化物粉末を有するポッティング(potting)材を使用するX線管を提供することである。
他の目的は、X線管に同一の電力を入力して、より高いX線フラックスを有するX線管を提供することである。
他の目的は、X線の線源を対象物により接近して配列できるように、より小さいターゲット対窓距離を有するX線管を提供することである。
他の目的は、システム全体の複雑さを低減するように熱伝導を向上するポッティング材を使用するX線管を提供することである。
本発明は、X線管の先端部分に陰極組立体と陽極組立体とを配列するX線管デバイス及びその構成方法で実現される。ここで、各組立体の放射面は、そのX線放射端部に向けられる。陰極組立体から放射された電子は、外向きの経路に沿って移動して陽極に衝突し、X線が生成され、このX線が、X線管のベリリウム製の窓に向けられる。この利点的な構造によって、ターゲット陽極対窓距離が小さくでき、大きいX線フラックスがサンプルに向けられる。また、X線管の小形の先端部分によって、蛍光検出器を最適な位置に配列させることができる。これは、X線管の形状が、蛍光検出器を別の位置へ移さなければならないような形状でないからである。また、窓は、陰極電位で作動し、電子の衝突が全く無く、窓が全く加熱されない。
本発明の第一の態様では、その構造に使用されるポッティング材は、通常、低熱伝導体であり、熱伝導性を向上するように変更される。X線管の冷却を高めることは、空気を強制的に通過させることによるなどして、ポッティング材の外面を冷却することによって達成される。
本発明の他の態様では、ポッティング材の外面に突起部が形成される。これにより、強制的な空気冷却が、冷却されるポッティング材の表面積の増大により、より効率的となる。
本発明の他の態様では、高電圧絶縁体及び冷却機構としてのオイルの使用に代えて、空冷システムが使用される。これにより、システム全体の複雑さ、及びコストが低減されるとともに、信頼性が増大される。
本発明の他の態様では、高電圧絶縁の長さが増加され、構成要素の間の径方向の空間が増加され、利点的に、X線管を高電圧で作動できる。
本発明の他の態様では、第一の陰極組立体とは別に、第二の陰極組立体が設けられ、これにより、二重のフォーカル・スポット(focal spot)が与えられる。同様に、より高いX線フラックス放射のため、フィラメントが、同時に作動され得る。
本発明の他の態様では、格子状電極が設けられ、1)フォーカル・スポットの制御を高め、2)陰極組立体からの電子放射を高め、又は基本的な電子光学系構造を使用して得ることのできないフォーカル・スポットのサイズにわたる制御を達成する。
本発明の他の態様では、ヒートパイプが陽極組立体の内部に設けられ、これにより、より高い電力で作動させることができる。
本発明の他の態様では、このヒートパイプが、高い冷却を実用的に求められる高い蒸発圧を有する別のターゲット材料の使用を可能にする。
本発明の他の態様では、X線管の真空外囲器からのガス分子の除去を向上するための電気的フラッシュド(flashed)ゲッター(又は電気的に発光するゲッター)が与えられ、その結果、X線管が、より浄化される。
本発明の他の態様では、コイル巻きフィラメントを有する陰極スロット設計を診断応用X線管設計から取り入れて、より効率的な電子放射及び向上したフォーカル・スポットのサイズの繰返し精度を与える。
本発明のこれら及び他の目的、特徴、利点及び変形的な態様は、添付図面を併用する以下の詳細な説明に基づいて当業者に明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
図1は、従来技術のX線管の典型的な構成要素の幾つかの断面図であり、陽極がX線放射端部の窓の一部分として構成される、透過X線管として知られるものである。
図2は、従来技術の典型的な側窓型のX線管の断面図であり、その構成は、蛍光を発する観察中のサンプルから放射されるエネルギーの検出に影響を及ぼす。
図3は、本発明の明細書に従ってなされた現時点での好適実施例の断面図である。
図4は、図3のX線管の一部拡大断面図である。
図5は、陰極フィラメントから放射される電子ビームフラックス線を示し、電子ビームフラックス線は、X線放射面上の陽極組立体に衝突する。
図6は、集束電極に対する陰極ヘッドの端面を示す。
図7は、陰極ヘッドの斜視図であり、陽極電子放射面の角度、二つのリード線用の穴、及び集束スロット、をより明確に示す。
図8は、集束電極の斜視図であり、U字形の好適実施例を示す。
図9は、より大きい熱伝導性を有するように変形したポッティング材から形成された突起部を有する第一の変形的な実施例を示す。
発明の詳細な説明
本発明の様々な構成要素を符号で示し、当業者が、本発明を製作でき、使用できるように本発明を説明する図面を参照する。以下の説明が本発明の原理を例示するだけのものであり、請求の範囲を限定するものではないことは理解されるべきである。
本発明は、X線管の設計での多くの改良物を達成する。しかし、上述したように、本発明の現時点での好適実施例は、X線蛍光計測器に使用されるX線管へ特定的に応用されるものである。これは、好適実施例の新規性の重要な点の一つが、X線管内の陰極組立体及び陽極組立体の利点的な配列であるためである。
図3は、現時点での好適実施例が端窓型のX線管30であることを示す。つまり、X線放射窓32が、X線管30の一端に配列される。真空外囲器34の内部に、陰極組立体36及び陽極組立体38が収容される。真空外囲器34は、高電圧絶縁体40によって部分的に封入される。高電圧絶縁体40は、ポッティング材42で包囲される。また、陽極組立体38及び陰極組立体36のそれぞれに電圧を与える陽極用リード線44のような電気的リード線、及び少なくとも二つのフィラメント用リード線45a、45bがある。また、図示のO字形環状溝58が、X線管30の回りを取り囲む。O字形環状溝58は、サンプル52が真空外囲器(図示せず)の内部で照射されるときに、気密にするためのものである。
図示の陰極組立体36は、従来技術と異なり、陽極組立体38に対して非常に異なった方位を有する。陽極組立体38のX線放射面48に向けられる陰極組立体36の電子放射面46に代えて、放射面46、48の両方が、X線放射窓32に向けられる。
ここで、放射面46、48のこのような方位は、できるだけ小さい先端部分を得るためである。このX線管30の先端部分を点線50にて示す。特に、これは、照射されるサンプル52に最も接近し且つサンプルから放射されるエネルギーを遮断又はこれに影響を及ぼし得るX線管30の部分である。言い換えると、照射されるサンプル52から蛍光を発するエネルギーをモニター及び検出することによって、このサンプル52から情報が得られる。このことから、図示のように、少なくとも一つのエネルギー検出器54がサンプル52の付近に配列される。
エネルギー検出のために最適な角度の一つが、X線管の軸線56に対して約45度であることが決定された。したがって、図3に示すように位置した少なくとも一つのエネルギー検出器54で、適当な角度が得られる。この説明が好適実施例の最終的な結果を示すものの、幾つかの重要な態様がある。
図4は、図3のX線管の一部拡大断面図である。この図から、付加的な構成要素を容易に識別できる。特に、陰極及び陽極組立体36、38に加えて、集束電極60、陰極フィラメント62の端部、及びフィラメントに電気的に接触するフィラメント用リード線76が図示される。
好適実施例で特異な点は、陰極組立体36の設計が、乳房撮影又はマンモグラフィー応用に使用されるX線管のような診断応用に使用される陰極組立体に基づいている点である。マンモグラフィー用の陰極組立体は、図示のように、集束スロット64を有する点に特徴がある。集束スロット64は、陰極フィラメント62によって生成される電子ビームの幅を集束できるように設計される。ときどき、多重レベルスロット(陰極カップとしても参照される)が、マンモグラフィー用の陰極組立体に使用される。しかし、スロット64の外に陰極フィラメント62を置くことに利点があり且つ非常に望ましいことがわかっている。特に、スロット64の外に陰極フィラメント62を置くことによって得られるパービアンスが、マモグラフィー管のものよりも著しく大きい。このような実施例の一つでは、4kVのX線管電圧での10mAの放射電流が、実用的なフィラメント温度で達成可能である。
大きいパービアンスに対する一つの特定的な利点は、陰極フィラメント62が、実質的により小さい電圧レベルで所望の電子放射レベルを供給できる、ということである。このことから、陰極フィラメント62は、より低温で実行できる。したがって、陰極フィラメント62として使用されるタングステンのような材料の蒸発が少ないので、陰極フィラメント62は長持ちする。
他の利点は、やや自明ではないが、陰極組立体36での陰極フィラメント62の配列が、他の陰極組立体よりも非常に容易であることである。また、陰極フィラメント62は、多数の異なったX線管30を使用しても、より予測可能な結果が得られるように、非常に正確に配列できる。
集束電極60について述べる前に、図5を参照することが最良である。図5は、陰極フィラメント62から放射される電子ビームフラックス線70を示す。電子ビームフラックス線70は、X線放射面48上の陽極組立体38に衝突する。図示の多数のフラックス線は、電子の曲線状の経路が陰極フィラメント62の全周の位置及び向きに関連して単に示される。
電子ビームフラックス線70が移動する経路は、純粋に、放射面46、48と窓32の位置の関数である。それでも、好適実施例の利点をとるために、陰極組立体36と陽極組立体38の方位は、電子ビームフラックス線70がX線放射面48に曲線的に向かうようになっていることがわかる。このことから、陰極組立体が、好適に(しかし、これに限定されない)、X線放射窓32に向けた電子放射窓を有することが明らかである。よって、陰極組立体が、小さい先端部分50を与えるような角度にある場合、X線管の軸線56に対して少なくとも45度だけ曲がった経路に沿って電子ビームフラックス線70が移動する角度に常にされている。
ここで、図5では、陰極フィラメント62がスロット64内に一部入り込むように配列される。上述したように、これは特に許されるものである一方、実質的により大きいパービアンスが、陰極電子放射面46によって形成される平面のほぼ上方に陰極フィラメント62を持ち上げることによって得られる。ここで、電子放射面46の平面の上方に持ち上げた陰極フィラメント62は図示せず。
図6は、陰極ヘッド72の端面を示す。図示のように、陰極ヘッド72には、陰極ヘッド72を通じる二つの穴74(これら端部にみられる)がある。各穴74の中心にはリード線76があり、陰極フィラメント62がこれらの間に配列される。この図には、集束電極60も示される。この好適な集束電極60は、陽極組立体38の周囲を囲むような独特なU字形に設計される。このU字形の端部82は、陰極72との物理的な接触には少し足りないところで終わっている。
図7は、図6の陰極ヘッド72を見やすくするために与えられる。図7は、陰極ヘッド72の斜視図であり、陰極電子放射面46の角度がより明らかに描かれている。
図8は、集束電極60を見やすくするために与えられる。図8は、好適実施例のU字形を示す集束電極60の斜視図である。ここで、集束電極は、所望の集束タイプ(長さ、幅、その他)を達成する任意の所望の形状を有することができる。
本発明の現時点での好適実施例を説明したが、顕著な利点を与える他の構造的特徴がある。例えば、本発明は、50ワット又はそれ以下のオーダーの低電力応用にも向けられる。この低電力は、従来技術で使用されるSF6のオイルを簡単な冷却方法に代える機会を与える。強制的な空冷には、コスト、重量、材料、等の理由から特に利点がある。強制的な空冷が従来技術で使用されてきたが、本発明の変形的な実施例により、より明らかに利点的な空冷がX線管で行われる。
特に、第一の変形的な実施例では、本発明のポッティング材が、第二の材料を加えることにより変更される。ボロン窒化物粉末から成る粉末が、典型的なシリコンのポッティング材に加えられる。シリコンのポッティングは低熱伝導体であるが、ボロン窒化物がその熱伝導性を実質的に増大させる。典型的なポッティング材が伝導性でないため、ポッティング材の外面の面積を増加させることが、熱を放散させる最小限度の有益的なことである。しかし、ポッティング材が熱伝導性であるが、本発明の変形的な実施例は、強制的に空冷を行うことによってこの構造的特徴の利点をとる。また、特に、図9に、ポッティング材の外面にこのポッティング材から形成した複数の突起部が示される。
図9は、好適に円筒状の突起部78を示す。これは、非常に簡単に実用できる。しかし、任意の形状の突起部78が使用できることは明らかである。このことから、好適実施例は、三つの各行に10個の突起部78を有する。また、突起部78は、規則的又は不規則的に間隔をあけて互い違いに配列するような異なったパターンで配列することができる。
本発明の他の態様では、現時点での好適実施例は、陽極組立体38がX線管の軸線56と共直線的且つ同軸であることを教示する。しかし、変形的な実施例では、このような関係が変更し得ることがわかる。よって、陽極組立体38が、共直線的であるが同軸でなく、X線管の軸線56から外れたX線ビームを生成する。また、陽極組立体38は、同軸でも共直線的でもない場合もある。
本発明の他の態様では、一つ以上の陽極組立体36をX線管に設けた変形的な実施例である。例えば、真空チャンバ内の径方向反対側に第二の陰極組立体が配列され得る。これは、二つの光学系を許容する。第一に、これら陽極組立体は、異なった時間に作動され、各陰極組立体は、サイズ、長さ、幅、等のそれ自身のフォーカル・スポット特性を有し得る。第二に、これら陰極組立体は、相互を補うように作用するように同時に作動され得る。これは、二重X線照射であるが、X線管陰極構造を冷却する大きな能力を要する。
陽極組立体にヒートパルプを連結することが可能である。ヒートパイプは、陽極組立体に異なった材料を使用することが望ましいときにも使用され得る。
本発明の他の変形的な実施例では、格子状電極が電子放射面46にわたって配列され得る。格子状電極は、それに印加され得る電荷を有し、この結果、フォーカル・スポットを変更し得る。この格子状電極は、フォーカル・スポット特性の変形的な手段であり得る。
本発明の他の態様では、本発明は、電気的に発光するゲッターを組み入れる。このゲッターは、X線管内の真空チャンバの清浄性を顕著に向上させることができ、これにより、X線管の寿命にわたる性能を向上させることができる。
上説した構造配列が本発明の原理の応用を示すものであることが理解されるべきである。多数の変更物及び構造配列が、本発明の精神及び範囲から逸脱せずに当業者によって構成され得る。このような変更物及び構造配列は、添付の請求の範囲に網羅される。
Claims (15)
- X線管であって、X線放射端部窓を通して陽極組立体からX線を放射できる構成をもつように、当該X線管内に第一の陰極組立体及び陽極組立体を設ける、ところのX線管であて、
当該X線管の軸線に垂直に配列したX線放射端部窓、
電子を生成するための電子放射面、及び該電子放射面に対して垂直で、X線管の軸線に対して斜めに配列した陰極の軸線を有する第一の陰極組立体、及び
電子を受け、X線放射端部窓に向けられるX線放射面からX線を生成するための陽極組立体、
を有し、
第一の陰極組立体は少なくとも部分的に当該X線管の断頭円錐形に形成された先端部内に配置され、
前記電子放射面が前記X線放射端部窓に向けられる、
X線管。 - 前記第一の陰極組立体が、さらに、前記第一の陰極組立体と前記陽極組立体との間の電子ビーム経路の長さを調節するように配列した集束電極を有する、ところの請求項1のX線管。
- 前記集束電極は、前記X線管の軸線に垂直な断面がU字状となるように形成される、ところの請求項2のX線管。
- 前記陽極組立体と前記X線放射端部窓との間の距離が8mm以下である、ところの請求項1のX線管。
- 前記第一の陰極組立体が、さらに、
前記電子放射面に平行なフィラメント軸線に関してコイル巻きされ、電子を生成するための陰極フィラメント、及び
前記電子放射面に平行なスロットを有する陰極ヘッドであって、前記陰極フィラメントが、前記スロットに平行になるように配列され、前記スロットは、前記電子から成る電子ビームの幅を集束させる、ところの陰極ヘッド、
を有する、
ところの請求項1のX線管。 - 前記陰極フィラメントが、前記スロットの外側に配列される、ところの請求項5のX線管。
- 当該X線管が、X線蛍光計測器で使用され、前記X線放射端部窓が、照射されるべきサンプルに向いて配列され、
当該X線管が、前記サンプルからの蛍光放射を検出するように配列した蛍光エネルギー検出器に関連して使用され、
当該X線管が、当該X線管の一部を真空チャンバに密封するための手段にフィットされ、蛍光エネルギー計測が、真空チャンバ内で行われる、
ところの請求項1のX線管。 - 第二の陰極組立体が、第一の陰極組立体と径方向反対側の位置で当該X線管内に配列され、これにより、二重フォーカル・スポットのための第二の電子の線源が与えられ、
前記第一の陰極組立体及び前記第二の陰極組立体が、同時に作動される、
ところの請求項1のX線管。 - さらに、フォーカル・スポット制御をするために、前記第一の陰極組立体に配列した格子状電極を有する、ところの請求項1のX線管。
- さらに、さらなる熱伝導能力を与えるために、前記陽極組立体に連結したヒートパイプを有する、ところの請求項1のX線管。
- さらに、前記陰極組立体及び前記陽極組立体の少なくとも一部を取り囲む真空外囲器からガスを除去するためにゲッターを有する、ところの請求項1のX線管。
- さらに、
絶縁体、及び
前記絶縁体に物理的に接触して配列したポッティング材であって、該ポッティング材が、少なくとも第二の材料と組み合わされる、ところのポッティング材、を有する、ところの請求項1のX線管。 - 前記ポッティング材に組み合わされる少なくとも第二の材料が、ボロン窒化物である、ところの請求項12のX線管。
- 前記ポッティング材が、当該X線管から外向きに伸長する複数の突起部に形成される、ところの請求項12のX線管。
- さらに、少なくとも前記ポッティング材にわたって空気を強制的に与える強制的空冷システムを有する、ところの請求項14のX線管。
Applications Claiming Priority (3)
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