JP4299504B2 - ポンプのモータ制御装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、実験研究の設備や半導体製造工業などにおいて真空装置に使用される分子ポンプその他のポンプのモータ制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、上記の真空装置に使用される分子ポンプを駆動するモータは、本来最大能力を発揮するフルパワーで駆動続行すべきであるがロータが真空中で断熱されているので、そのロータ自体が過熱して破損するなど寿命を著しく阻害することになるため、図6に示す如く予め電流を低く抑える制御を行っている。(特開平9−310696)
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この従来のモータ制御方法によれば、多量のガス排気などの高負荷を受けると回転数は徐々に下降し、一旦回転数が下がると、高負荷が取り去られた後も電流が抑えられているのでなかなか回転数が上昇せず、定常の負荷運転に移行するまで長時間を必要とする問題点があった。又、通常の起動時の加速や外部指令による定格回転数を上方に変更する加速の際に、フルパワー制御に比べて加速が遅いという問題点もあった。
【0004】
本発明はこれらの問題点を解消して運転効率を高めると共にロータの過熱による破損を防止する分子ポンプなどのポンプのモータ制御装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべくロータを駆動するモータの回転速度検出手段と、複数のモータ制御指令パラメータを記憶したメモリ手段と、前記回転速度検出手段からの検出信号を入力し前記モータの回転速度が各所定の速度範囲内にあるときにそれまでの速度経過に応じて前記メモリ手段より前記モータ制御指令パラメータのいずれか1のパラメータを選択的に読み出して前記モータの供給電流を制御する制御手段とからなり、前記メモリ手段内のパラメータは、少なくともフルパワー制御指令パラメータと負荷追随制御指令パラメータとからなり、前記制御手段は、モータの回転速度が低速回転から定格回転速度に近い一方の設定回転速度までフルパワー制御指令パラメータを選択し、該一方の設定回転速度で切換えて負荷追随制御指令パラメータを選択し、もし回転速度が低速側の他方の設定回転速度まで下がれば前記フルパワー制御指令パラメータを選択して前記モータを制御することを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の1実施の形態を図1乃至図5により説明する。
【0007】
図1は制御系のブロック線図を示し、該ブロック線図において、1は本発明の1実施の形態であるモータ制御装置のコントローラ部、2は分子ポンプ本体内のロータを駆動するモータ部を示す。
【0008】
該モータ部2はブラシレスDCモータで永久磁石N、Sからなるモータロータ2aとY結線のステータ巻線2bとからなり、該モータ部2には該モータロータ2aの回転速度を検出するためのホール素子からなる回転速度検出手段である回転速度センサ3を具備しており、前記モータロータ2aの磁極がNかSかにより1か0かの出力信号を発生するようにした。
【0009】
前記コントローラ部1は、制御手段である制御ユニット部4と、該制御ユニット部4から読出可能に接続したメモリ手段であるメモリ部5と、前記Y結線のステータ巻線2bへ供給されている電流を検出する検出コイルからなる電流検出部6と、該電流検出部6からの電流検出信号を前記制御ユニット部4へ信号変換して出力するA/D変換部7と、該制御ユニット部4からの制御信号に応じて電流を前記ステータ巻線2bに供給するインバータ回路部8と制御内容を表示する表示部9とからなる。
【0010】
ここで、前記メモリ部5は図2のグラフで示す複数の制御指令パラメータを記憶している。
【0011】
即ち、図2のグラフはモータの特性図を示し、縦軸はモータの入力電流であり、横軸はモータの回転速度である。
【0012】
このグラフにおいて、a点はモータの許容最大電流の略1/3の電流値での定格回転速度の定格点を、b点は許容最大電流で定格回転速度の略90%の回転速度の第1速度設定点を、c点は同じく許容最大電流で定格回転速度の略60%の回転速度の第2速度設定点を、d点は許容最大電流で回転速度0の起動点を示し、前記メモリ部5には、d点からb点に至る直線で示すいずれの回転速度でも許容最大電流を保持しているフルパワー制御指令パラメータAと、c点からa点に至る直線で示す所定の回転速度の範囲内でモータ部2の負荷が大となるのに伴って回転速度が減少するのに対して入力電流を大にする負荷追随制御指令パラメータBとを予め記憶しておく。尚、a点の電流値はロータの耐熱性などに関係し、1/3以外のこともある。
【0013】
次に本発明の1実施の形態のモータ制御装置のモータの制御方法を図3乃至図5により説明する。
【0014】
モータの起動時、制御ユニット部4はメモリ部5よりフルパワー制御指令パラメータAを読み出し、d点の回転速度が零からb点即ち回転速度センサ3による検出回転速度が定格回転速度の90%の回転速度まで許容最大電流をモータ部2へ供給制御し、前記b点に至ると、制御ユニット部4は制御指令パラメータをフルパワー制御指令パラメータAより負荷追随制御指令パラメータBに切換えて、入力電流を低く抑えてモータ部2を加速するのに対して入力電流を減少する制御を実行する。かくて短時間で定格速度に到達することができる。
【0015】
その後定格回転速度に達した後、ポンプにはガスが流されモータ部2は負荷を受け、この負荷が大となるのに応じて回転速度が低下する。
【0016】
この負荷運転時において、制御ユニット部4は負荷追随制御指令パラメータBに従い、図4のグラフの如く回転速度の大或いは小とは逆にモータ部2への入力電流を小或いは大とするように制御し、この制御によりロータの過熱を防ぐことができる。
【0017】
更に、負荷が増大する過負荷運転になると、回転速度がより低下してc点に達し、制御ユニット部4は回転速度センサ3による検出回転速度が定格回転速度の60%になると、負荷追随制御指令パラメータBよりフルパワー制御指令パラメータAに切換えて、図5の如く、許容最大の入力電流の状態になる。又、この過負荷の状態から低負荷になり回転速度が大になると、先の図3のモータの起動時の如くc点を越えてb点までフルパワー制御指令パラメータAに従ってモータ部2は制御される。かくて低下した回転数を短時間に上昇させることができる。
【0018】
これらの実行中の制御指令パラメータを確認するために、例えばフルパワー制御指令パラメータなら加速中、負荷追随指令パラメータならば定格運転中などの制御指令内容を前記表示部9に外部表示して確認することができる。
【0019】
尚、前記メモリ部5に記憶した複数のモータ制御指令パラメータは、フルパワー制御指令パラメータの加速モードと負荷追随制御指令パラメータの定常モードに限るものではなく、定格点や速度設定の位置を変えたり、又、分子ポンプ以外の他のポンプにそれぞれ適応した制御指令パラメータであってもよい。
【0020】
更に、モータは誘導モータでもよく、又、回転速度検出手段もロータリーエンコーダなど他の方法でもよい。
【0021】
【発明の効果】
このように本発明によると、ロータの過熱による損傷を防止してポンプの寿命を長くすると共に回転速度を短時間に上昇させる加速性を向上し運転効率を高める効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施の形態の制御系のブロック線図である。
【図2】モータの電流と回転速度の特性グラフ図である。
【図3】モータ起動時のパラメータのグラフ図である。
【図4】負荷運転時のパラメータのグラフ図である。
【図5】過負荷運転時のパラメータのグラフ図である。
【図6】従来の駆動モータの特性を示すグラフ図である。
【符号の説明】
2 モータ部
2a モータロータ
3 回転速度検出手段
4 制御手段
5 メモリ手段
Claims (2)
- ロータを駆動するモータの回転速度検出手段と、複数のモータ制御指令パラメータを記憶したメモリ手段と、前記回転速度検出手段からの検出信号を入力し前記モータの回転速度が各所定の速度範囲内にあるときにそれまでの速度経過に応じて前記メモリ手段より前記モータ制御指令パラメータのいずれか1のパラメータを選択的に読み出して前記モータの供給電流を制御する制御手段とからなり、前記メモリ手段内のパラメータは、少なくともフルパワー制御指令パラメータと負荷追随制御指令パラメータとからなり、前記制御手段は、モータの回転速度が低速回転から定格回転速度に近い一方の設定回転速度までフルパワー制御指令パラメータを選択し、該一方の設定回転速度で切換えて負荷追随制御指令パラメータを選択し、もし回転速度が低速側の他方の設定回転速度まで下がれば前記フルパワー制御指令パラメータを選択して前記モータを制御するポンプのモータ制御装置。
- 前記制御手段は、選択したパラメータの確認のために加速中や定格運転中などの制御内容を外部表示する請求項1に記載のポンプのモータ制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002187100A JP4299504B2 (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | ポンプのモータ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002187100A JP4299504B2 (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | ポンプのモータ制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004027990A JP2004027990A (ja) | 2004-01-29 |
JP4299504B2 true JP4299504B2 (ja) | 2009-07-22 |
Family
ID=31182239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002187100A Expired - Fee Related JP4299504B2 (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | ポンプのモータ制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4299504B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005045283B4 (de) * | 2005-09-22 | 2014-05-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpsystem |
JP4811719B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2011-11-09 | 株式会社島津製作所 | 液晶注入装置 |
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2002
- 2002-06-27 JP JP2002187100A patent/JP4299504B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004027990A (ja) | 2004-01-29 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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