JP4277061B2 - 液滴吐出装置 - Google Patents
液滴吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4277061B2 JP4277061B2 JP2008514989A JP2008514989A JP4277061B2 JP 4277061 B2 JP4277061 B2 JP 4277061B2 JP 2008514989 A JP2008514989 A JP 2008514989A JP 2008514989 A JP2008514989 A JP 2008514989A JP 4277061 B2 JP4277061 B2 JP 4277061B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- bracket
- protrusion
- plate
- bonded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000012620 biological material Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 241000233866 Fungi Species 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
【0001】
本発明は、液滴吐出装置に関する。さらに詳しくは、ノズルに連通する圧力室と、この圧力室の一部をなす振動膜と、この振動膜を振動させる圧電素子と、この圧電素子に接合してその振動を前記振動膜に伝える振動膜上の突起と、ブラケットとを備え、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置に関する。
【0002】
上述の如き液滴吐出装置としては、例えば特許文献1に記載の如きものが知られている。また、特許文献2では、同文献の図7〜9に示すように、ブラケットに相当するプレート228に形成した複数のスロット232に、圧電素子に相当する変換器204が複数個取り付けられている。特許文献2の構造では、複数の変換器204をプレート228に固定するのが煩雑で精度品質が低下しかねない。そこで、特許文献1では、あらかじめ固定板に圧電素子を接着してユニットを形成し、これをブラケットに相当する部材のスロットに嵌合させている。特許文献3も特許文献1と同趣旨の技術であり、基台に対して圧電素子が接着されている。
【0003】
しかし、特許文献1,3では圧電素子は固定板等に平面的に接着されるのみであり、また、特許文献2ではシリコーンゴムの如きしなやかな弾性材料230によりスロット232内に配置されるに過ぎない。そして、これらの接着や固定が圧電素子の伸縮に影響する点について何らの配慮もなされていない。
【0004】
一方、特許文献1にみられるように、ブラケットに相当する構造体16とは別の固定板等を設けねばならないので、その点で構成や工程が複雑化し、部品点数が増えることで製作精度の問題や工程管理の労力が増大している。
【特許文献1】
特開2000−85126号(特願平3−956号分割)
【特許文献2】
特開昭57−188372号
【特許文献3】
特開平5−77431号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
かかる従来の実情に鑑みて、本発明は、構造及び組み立て工程が簡素でありながら組み立て精度が高く、しかも圧電素子の伸縮を突起に伝達する効率のよい液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【0006】
上記目的を達成するため、本発明に係る液滴吐出装置の特徴は、ノズルに連通する圧力室と、この圧力室の一部をなす振動膜と、この振動膜を振動させる圧電素子と、この圧電素子に接合してその振動を前記振動膜に伝える振動膜上の突起と、ブラケットとを備え、前記ノズルから液滴を吐出する構成であって、前記ブラケットは前記圧力室、前記振動膜及び前記突起を備えた部材を固定可能であり、前記圧電素子は、棒状で通電により伸縮する活性部と外部電極を有する接続部との間に保持部を有し、前記ブラケットはその解放部と前記突起との間に前記圧電素子を位置させる溝部を備え、前記圧電素子を前記溝部に押し込み嵌合させると共に接着させることで、前記圧電素子はこの溝部内に前記保持部において接着固定され、この接着固定によりブラケットに対する圧電素子の姿勢が固定され、振動膜及び突起が板状部材に形成され、この板状部材が前記ブラケットと嵌合して位置決め固定されることによりブラケットに対する前記突起の位置決めがなされ、前記圧電素子の先端を前記突起に接着したことにある。
[0007]
同構成によれば、圧電素子は固定板等を介さずに直接ブラケットに固定されるので、その分だけ部品点数が削減されて、組み立て工程も簡素化される。圧電素子は溝部でブラケット解放部と突起との間に位置させられるので、組み立てが容易となるし、組み付け精度も向上する。さらに、圧電素子が溝部内に活性部と接続部との間の保持部において接着固定されるので、平面的に接着した場合に比較して、接着面が立体的であり圧電素子の固定度が高いため、圧電素子振動時の反力を強固に支持し、突起に振動を効率よく伝達することができる。
[0008]
より具体的には、前記圧電素子はその長手方向直交断面において方形をなし、前記圧電素子は前記溝部と前記方形の少なくとも2面において接着されることが望ましい。また、前記ブラケットは前記突起の近傍において前記圧電素子との非固定部を有することで、圧電素子の変位を妨げずに振動効率が向上する。
【0011】
また、前記ノズル、圧力室、振動膜及び突起が板状部材に形成され、この板状部材が前記ブラケットと嵌合して位置決め固定されるようにしてもよい。この前記嵌合を前記板状部材に形成された凹部と前記ブラケットに形成された凸部とによりなすことで、ノズルからの液体によるヘッド下面の汚染を防止することができる。この構造は、前記嵌合が前記板状部材に形成された凸部と前記ブラケットに形成された凹部とによりなされるようにしてもよい。
【0014】
上記本発明に係る液滴吐出装置の特徴によれば、構造及び組み立て工程が簡素でありながら組み立て精度が高く維持でき、しかも圧電素子の伸縮を突起に伝達する効率を向上させることが可能となった。
【0015】
本発明の他の目的、構成及び効果については、以下の発明の実施の形態の項から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】(a)はヘッドの分解斜視図、(b)は突起近傍の斜視図である。
【図2】ヘッドの縦断面図である。
【図3】図2の斜視図である。
【図4】(a)は図2のA−A断面図、(b)は図2のB−B断面図、(c)は図2のC−C断面図、(d)は図2のD−D断面図である。
【図5】ヘッドの縦断面図である。
【図6】図5の部分斜視図である。
【図7】治具の挿入状態をなす斜視図である。
【図8】振動プレート、ノズルプレート近傍の縦断面図である。
【図9】本発明の別実施形態を示す図4(a)相当図である。
【図10】(a)は本発明のさらに別の実施形態を示す図4(a)相当図、(b)は治具の横断面図である。
【符号の説明】
【0017】
1:液滴吐出装置、2:ヘッド、6:上蓋、7:ケーブル、7a,b:導線、8:押さえ具、9:治具、9a:斜面、9b,c;接当部、10:圧電素子、10a:保持部、10b:活性部、10c:接続部、10d:下端、10f1,2:外部電極、11:接着剤、20:ブラケット、21:溝部、21a,b:傾斜面、22:上解放部、23:固定部、23a:横面、23b:底面、23c:斜面、24:非固定部、25:第2の溝部、25a:突部、25b:対抗面、25c:小溝部、26:第3の溝部、26a:分岐部、27:接続口、27a:凹部、27b:突出部、27c:流路、27d:回転止、29:突起、30:振動プレート、31:突起、32:振動膜、33:凹部、34:上面、35:流路、35x:溝、36:連通孔、39a:丸孔、39b:長孔、40:ノズルプレート、41:ノズル、42:圧力室、42x:凹部、43:速通路、49a:丸穴、49b:長穴、50:接触子、50a:第一接触子、50b:第二接触子、51:基部、52:屈曲部、54:中間部、55:接続片
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
次に、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
図1〜8に示すように、本発明に係る液滴吐出装置1は、図示しないカートリッジから供給される液体をノズル41から液滴として吐出するヘッド2を備えている。このヘッド2は、ブラケット20に対し、圧電素子10、振動プレート30、ノズルプレート40、接触子50、上蓋6及びケーブル7が固定されてなる。ここで、ブラケット20、振動プレート30、ノズルプレート40及び上蓋6は、それぞれ樹脂材料により射出成形されている。なお、これら各部材はガラス、金属等で構成してもよく、また、エッチングや電鋳加工等により形成してもよい。
【0019】
ブラケット20には、圧電素子10を誘導する溝部21が上下に貫通して形成されており、この誘導する溝部21の上解放部22から下側に向かって固定部23,空洞である非固定部24が配置されている。また、上解放部22近傍には第2の溝部25が形成され、ブラケット20の上部には上解放部22からブラケット20の背部に向かってケーブル7固定用の第3の溝部26が形成されている。また、ブラケット20の背面には、カートリッジ接続用の接続口27が設けられ、ブラケット20の下面は振動プレート30,ノズルプレート40と嵌合されると共にこれらに係合する突起29を備えている。ヘッド2の下部先方には振動プレート30,ノズルプレート40によって圧電素子10により駆動される圧力室やノズルが形成され、第2の溝部25には圧電素子10とケーブル7とを電気接続する接触子50が嵌合される。
【0020】
圧電素子10は例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)を用いて構成され、下端側の活性部10bは通電により伸縮する。中央の保持部10aでブラケット20に固定されるので、下端10dの位置を上下振動させ、後述の突起31を介して振動膜32を振動させる。上部の接続部10cには一対の外部電極10f1,10f2が形成され、接触子50と接続される。圧電素子10は断面方形であり、上解放部22から挿入されて固定部23を介して先端側を非固定部24に位置させる。また、圧電素子10は固定部23において図4(a)の如く接着剤11により固定される。図4に示すように、誘導する溝部21は圧電素子10の取り付け状態で上下に貫通し、上解放部22より突起31を観察可能である。誘導する溝部21の圧電素子10に対する対向面には、上解放部22から離れて下側に向かうほど圧電素子10に近接する傾斜面21aを備えている。この傾斜面21aは治具9の斜面9aと接触し、治具9の押し込みで圧電素子10を固定部23に精度良く嵌合させる。
【0021】
図4(a)に示すように、本実施形態では、固定部23が一対の横面23aと底面23bとを備え、方形の圧電素子10が溝部21の三方と接着剤11により接着されている。仮に固定部が平面であり、符号23bの部分のみで接着されていれば、Z軸方向に対する変位の支持はX軸方向に対して符号23bの面から離れる程疎かとなる。しかし、本実施形態では、圧電素子10は両横面23aでも固定部23に接着されているため、符号23bの面から離隔した位置でも、Z軸方向に対する反力を十分に伝達でき、突起31を振動させる効率に優れる。なお、圧電素子10と固定部23とのクリアランスにもよるが、圧電素子10振動の反力を保持する趣旨から、接着剤11は硬化時の剛性が高めのものがよく、例えば熱硬化型のエポキシ系接着剤等を好適に用いることができる。
【0022】
上部の第2の溝部25に嵌合される一対の接触子50は、図1〜3,図4(c)(d)に示すように、それぞれ基部51の先端に幅の狭い屈曲部52を有し、基部51に直交する中間部54と、さらにその中間部54に直交する接続片55とを備えている。第2の溝部25は、上解放部22の中央から前側に向かってレール状に突出する突部25aと、その左右に位置する一対の対抗面25bとよりなる2本の溝であり、さらに、基部51の両側をそれぞれ受け入れる一対の小溝部25cを備えている。この小溝部25cを介して屈曲部52より張り出した基部51を受け入れることで、各接触子50a、50bが他方側へ傾いて倒れることを防止している。圧電素子10の固定部23への挿入後に、第一、第二接触子50a、50bをそれぞれ第2の溝部25に挿入する。突部25aには屈曲部52が接当し、対抗面25bには基部51が接当するが、突部25aの厚みを接線部10cよりも若干薄く設定してあるので、屈曲部52の不測の弾性により圧電素子10が折損するのを防止でき、また、外部電極10f1、10f2と屈曲部52との接触を確実なものとすることができる。
【0023】
第3の溝部26には先端に導線7a,7bを露出させたケーブル7が嵌入され、押さえ具8で抜け止めがなされる。導線7a、7bは上解放部22の中央部に突出する分岐部26aで左右に振り分けられ、第一、第二接触子50a,50bと接続片55の折り曲げにより接続される。その後、上蓋6が取り付けられて、上部を保護する。
【0024】
振動プレート30,ノズルプレート40はそれぞれ重ね合わされて接着され、ブラケット20の下部に嵌合される。振動プレート30は、丸孔39a,長孔39bを有しており、ブラケット20の下端から突出する一対の突起29をそれぞれ貫通し、位置決めがなされる。また、ノズルプレート40のうち、先の振動プレート30における丸孔39a、長孔39bの同位置には、丸穴49a,長穴49bがそれぞれ形成されている。丸孔39a、丸穴49a、長孔39b及び長穴49bには一対の突起29が各々嵌合し、これらブラケット20,振動プレート30,ノズルプレート40の位置決めが高精度に維持される。なお、丸穴49a,長穴49bは底を有し、突起29を貫通しないので、吐出された液体等がノズルプレート40の下面に付着してもその清掃が容易であり、異種液体の不測の混入を防止することができる。
【0025】
図1,6,8に示すように、振動プレート30には先の誘導する溝部21の下端近傍に突起31,振動膜32、凹部33を有している。ノズルプレート40の上面には圧力室42形成用の凹部42xが設けられ、振動プレート30の下面には圧力室42に連通する流路35を形成するための溝35xが設けられ、これら両プレートの貼り合わせで圧力室42及び流路35が形成される。この流路35は連通孔36を介してブラケット20の流路27cに連通する。突起31,振動膜32,凹部33の境界部は図4,6に示すように同心円状であり、順次拡径している。圧力室42は連通路43を介してノズル41と連通している。圧電素子10の下端10dはその一部を突起31の一部に接当させ、両者は接着剤により固着されている。また、下端10dよりも凹部33の外形は大きく、したがって、下端10dが上面34に接触することを防いでいる。
【0026】
先の接続口27は、図1,5に示すように、カートリッジの接続部を受け入れる凹部27aと、その中央に位置し流路27cを有する突出部27bとを備えている。また、回転止27dはカートリッジ接続部の突起と嵌合してカートリッジの相対回転を防ぐものである。
【0027】
上述の如きヘッド2の組み立てを行うに際しては、まず、圧電素子10に接着剤を塗布すると共に、この圧電素子10を上解放部22から誘導する溝部21に挿入し、固定部23へ移動する。この状態で治具9を誘導する溝部21に挿入し、斜面9a,接当部9bと圧電素子10及び溝部21との接当により固定部23に圧電素子10を押し込み、接着剤を硬化させる。
【0028】
一方、別工程で振動プレート30及びノズルプレート40を互いに接着する。そして、これら両プレートの丸孔39a、丸穴49a、長孔39b及び長穴49bにブラケット20の下部の一対の突起29を各々嵌合させて接着する。なお、プレート30,40のブラケットへの接着に先立って圧電素子10の下端10dに接着剤を塗布することで、振動プレート30の突起31に圧電素子10の下端10dを接当させ、これらを接着する。
【0029】
その後、第2の溝部25の小溝部25cに接触子50の基部51を挿入すると共に第3の溝部26にケーブル7を嵌入し、導線7a,7bを接続片55の折り曲げで固定し、外部電極10f1、10f2、第一、第二接触子50a,50b、導線7a,7bそれぞれの電気接続を完了させる。そして、ケーブル7から駆動電流を供給し、誘導する溝部21を介して突起31を観察する。下端10dと突起31との固着は突起31の振動により確認が可能である。
【0030】
本発明に係る液滴吐出装置1は本発明の趣旨に添う限り様々な改変が可能である。
上記実施形態では、治具9と接当する斜面21aを底面23bの対向面に設けた。しかし、図9に示すように、一方の横面23aの対向面側に治具9の斜面に接当する斜面21bを形成してもよい。また、溝部内に圧電素子10を接着するには、この実施形態や図10の実施形態の如く、少なくとも2面で圧電素子10を接着するようにしてもよい。図10(a)の実施形態では、治具9の圧電素子10に対する接当部10cは90度の溝状に形成されている。
【産業上の利用可能性】
【0031】
本発明は、化学実験、バイオテクノロジー実験、医療診断、エレクトロニクス生産等に利用することができる。液体は多種類のものを用いることができる。例えば、DNA・蛋白質・菌類等の生体材料、蛍光微粒子、導電体微粒子、樹脂微粒子、セラミック微粒子、顔料染料等、微粒子を含む液体を用いることができる。また、蒸留水等、表面張力の高い液体や、高価な液体を少量用いるのにも適している。印刷により線画等を描く他、例えば、電極形成やマイクロレンズを作成することができる。さらに、液滴を吐出させることで、例えば生体材料チップ等所定の複数箇所に液滴を配置させる他、分注、散布による匂い発生、吐出量調整による配合調整、成膜等に用いることもできる。
Claims (6)
- ノズルに連通する圧力室と、この圧力室の一部をなす振動膜と、この振動膜を振動させる圧電素子と、この圧電素子に接合してその振動を前記振動膜に伝える振動膜上の突起と、ブラケットとを備え、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
前記ブラケットは前記圧力室、前記振動膜及び前記突起を備えた部材を固定可能であり、前記圧電素子は、棒状で通電により伸縮する活性部と外部電極を有する接続部との間に保持部を有し、前記ブラケットはその解放部と前記突起との間に前記圧電素子を位置させる溝部を備え、前記圧電素子を前記溝部に押し込み嵌合させると共に接着させることで、前記圧電素子はこの溝部内に前記保持部において接着固定され、この接着固定によりブラケットに対する圧電素子の姿勢が固定され、振動膜及び突起が板状部材に形成され、この板状部材が前記ブラケットと嵌合して位置決め固定されることによりブラケットに対する前記突起の位置決めがなされ、前記圧電素子の先端を前記突起に接着してある液滴吐出装置。 - 前記圧電素子はその長手方向直交断面において方形をなし、前記圧電素子は前記溝部と前記方形の少なくとも2面において接着される請求項1記載の液滴吐出装置。
- 前記ブラケットは前記突起の近傍において前記圧電素子との非固定部を有している請求項1又は2記載の液滴吐出装置。
- 前記ノズル、圧力室、振動膜及び突起が板状部材に形成され、この板状部材が前記ブラケットと嵌合して位置決め固定されている請求項1〜3のいずれかに記載の液滴吐出装置。
- 前記嵌合が前記板状部材に形成された凹部と前記ブラケットに形成された凸部とによりなされている請求項4記載の液滴吐出装置。
- 前記嵌合が前記板状部材に形成された凸部と前記ブラケットに形成された凹部とによりなされている請求項4記載の液滴吐出装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2006/321394 WO2008050432A1 (fr) | 2006-10-26 | 2006-10-26 | Appareil d'éjection de gouttelette et procédé de fabrication dudit appareil |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008071155A Division JP4590462B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 液滴吐出装置及びその製造方法 |
JP2008071142A Division JP4607201B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 液滴吐出装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4277061B2 true JP4277061B2 (ja) | 2009-06-10 |
JPWO2008050432A1 JPWO2008050432A1 (ja) | 2010-02-25 |
Family
ID=39324246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008514989A Active JP4277061B2 (ja) | 2006-10-26 | 2006-10-26 | 液滴吐出装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2077394A1 (ja) |
JP (1) | JP4277061B2 (ja) |
WO (1) | WO2008050432A1 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57188372A (en) | 1981-01-30 | 1982-11-19 | Exxon Research Engineering Co | Ink jet device |
JP3347346B2 (ja) | 1991-09-24 | 2002-11-20 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録装置用圧電変位ユニット、及びインクジェット記録装置用記録ヘッド |
JP3228338B2 (ja) | 1999-10-18 | 2001-11-12 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド、及びこれに適した振動子ユニット |
JP2004116327A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | マイクロディスペンサ |
-
2006
- 2006-10-26 JP JP2008514989A patent/JP4277061B2/ja active Active
- 2006-10-26 WO PCT/JP2006/321394 patent/WO2008050432A1/ja active Application Filing
- 2006-10-26 EP EP06822363A patent/EP2077394A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2008050432A1 (ja) | 2010-02-25 |
WO2008050432A1 (fr) | 2008-05-02 |
EP2077394A1 (en) | 2009-07-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5598240B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JPH10202876A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP3687662B2 (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP2002361868A (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及び、その製造方法 | |
JP4277061B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
WO2019124029A1 (ja) | ポンプ | |
JP4607201B2 (ja) | 液滴吐出装置及びその製造方法 | |
JP4590462B2 (ja) | 液滴吐出装置及びその製造方法 | |
JP2010023257A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP3997485B2 (ja) | 液体移送装置 | |
KR20140060582A (ko) | 초음파 트랜스듀서 | |
JP3879297B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP4129614B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
KR20090040911A (ko) | 액적 토출 장치 및 그 제조 방법 | |
US7525236B2 (en) | Piezoelectric element unit, manufacturing method of the same, and liquid ejecting head using the same | |
JP4234194B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
US7399061B2 (en) | Bonding structure, actuator device and liquid-jet head | |
CN113365746A (zh) | 振动装置及其制造方法 | |
JP4238285B2 (ja) | 液滴吐出装置及び液滴吐出装置の製造方法 | |
US20100156994A1 (en) | Liquid ejection head and recording apparatus including the same | |
CN113352755B (zh) | 液体喷出头 | |
US11440319B2 (en) | Liquid discharge head, liquid discharge apparatus, and method of manufacturing liquid discharge head | |
JP2010041061A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP3591571B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 | |
JP2005286292A (ja) | ワイヤボンディング方法及び液体噴射ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090303 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4277061 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150313 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |