JP2010023257A - 液体噴射ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】液体の粘度を効率良く調整することで、安定して液体を吐出することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】記録ヘッド１は、液体を吐出するノズル開口３３に連通する圧力発生室３６を複数列設した流路ユニット５と、圧力発生室毎に設けられた圧電素子１０を有し圧力発生室に圧力変動を生じさせるアクチュエータユニット３と、アクチュエータユニットを内包し、流路ユニットを一面に接合する金属製ヘッドケース４と、を備え、アクチュエータユニットは、圧力発生室毎に対応して設けられた複数本の圧電素子を圧力発生室の列設方向に並設して備え、該ヘッドケースに圧電素子の並設方向Ｌに沿ってヒータ１４を延在させる。
【選択図】図３

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドに係り、特に、ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変動を与えて、圧力発生室内の液体をノズル開口から吐出させる液体噴射ヘッドに関する。

圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出（噴射）させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレーなどのカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）などの電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどがある。

例えば、上記の記録ヘッドでは、リザーバから圧力発生室を経てノズルに至る一連の液体流路が形成された流路ユニットや圧力発生室の容積を変動可能な圧力発生素子を有するアクチュエータユニットなどを樹脂製のヘッドケースに取り付けて構成されている。上記流路ユニットには、ノズルを開設した金属製のノズルプレートが接合されている。

このような記録ヘッドから吐出する液体には、液体の種類に応じて、例えば、常温でおよそ４ｍＰａ・ｓなどのように、吐出に適した粘度がある。液体の粘度は、温度と相関関係にあるために、温度が低いほど粘度が高くなり、温度が高いほど粘度が低くなる特性がある。そのため、通常使用する液体の粘度に適するように設計された記録ヘッドが、低温（高温）環境に置かれた場合や、粘度の高い（低い）液体を吐出する場合などには、液体を加熱（冷却）するための温度調節部を備えたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

この温度調節部は、リング状であり、ノズルに至るまでの一連の液体流路の一部に近接させて配置されており、液体流路内の液体を直接加熱（冷却）している。そのため、液体流路の内であっても温度調節部に近接していない部分は、液体を所望温度まで効率良く加熱することができなかった。即ち、このような構成の記録ヘッドは、液体流路内の液体を所望温度に調整するまでに長時間を必要とし、実用に供することができなかった。そして、効率良く加熱するために、液体流路と温度調節部とを近接させて、尚且つ長尺に亘って配置する必要があった。

特開２００１−２７００９０号公報

しかしながら、液体流路と温度調節部との距離が離れてしまうと、熱伝導率が低く、また伝わる方向も制御できないので、液体流路内の液体を効率良く加熱することができなかった。また、温度調節部を液体流路に近接させて、尚且つ長尺に亘って配置しようとすると、配置が限定されてしまうために、記録ヘッドの大型化の虞や、記録ヘッドの形状の自由度を損なう虞があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体の粘度を効率良く調整することで、安定して液体を吐出することが可能な液体噴射ヘッドを提供することにある。

本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を複数列設した流路ユニットと、
前記圧力発生室に圧力変動を生じさせるアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータユニットを内包し、前記流路ユニットを一面に接合する金属製ヘッドケースと、を備え、
該ヘッドケースに加熱手段を設けたことを特徴とする。

上記構成によれば、液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を複数列設した流路ユニットと、圧力発生室に圧力変動を生じさせるアクチュエータユニットと、アクチュエータユニットを内包し、流路ユニットを一面に接合する金属製ヘッドケースと、を備え、該ヘッドケースに加熱手段を設けたので、加熱手段の熱をヘッドケース及び流路ユニットに伝導させることで、液体を効率良く温めて供給することができる。これにより、液体の粘度を効率良く調整して、ノズル開口から安定して吐出させることが可能となる。また、樹脂製のヘッドケースを用いた場合に比べ、液体に対する薬品性を高めることができ、吐出可能な液体の種類を増やすことができる。さらに、ヘッドケースの剛性が高まることで、圧力発生室におけるクロストークを抑制することができる。そして、ヘッドケースが導電体となって、静電気を逃がすことができ、静電気による駆動回路の損傷や、この静電気がノイズとして駆動信号に重畳することによる誤作動などの不具合を防止できる。そのため、液体噴射ヘッドの信頼性を高めることができる。

また、上記構成において、前記アクチュエータユニットは、前記圧力発生室毎に対応して設けられた複数本の圧力発生素子を圧力発生室の列設方向に沿って櫛歯状に並設して備え、
前記加熱手段を、前記圧力発生素子の並設方向に沿って延在させることが望ましい。

上記構成によれば、アクチュエータユニットは、圧力発生室毎に対応して設けられた複数本の圧力発生素子を圧力発生室の列設方向に沿って櫛歯状に並設して備え、加熱手段を、圧力発生素子の並設方向に沿って延在させたので、加熱手段と各圧力発生室との距離が均等になって加熱手段の熱を均一に伝導させ易くなり、液体噴射ヘッドの起動の際にも短時間で液体を加熱することができる。さらに、加熱手段をヘッドケース内の圧力発生素子の並設方向に沿わせることで、ヘッドケース内のスペース効率を高めることができ、液体噴射ヘッドの小型化が可能になる。

前記流路ユニットは、温度センサを備えることが望ましい。

上記構成によれば、流路ユニットは、温度センサを備えたので、流路ユニット内の液体の温度を計測することができ、温度センサでの測定結果に基づいて加熱手段の温度を調整することで、液体を吐出に適した粘度に調整することができる。

前記流路ユニットは、前記ノズル開口が開設されたノズル形成部材と、前記圧力発生室が形成された流路形成基板と、を有し、
前記流路形成基板に凹部を形成し、該凹部内に温度センサを配置することが望ましい。

上記構成によれば、流路ユニットは、ノズル開口が開設されたノズル形成部材と、圧力発生室が形成された流路形成基板と、を有し、流路形成基板に形成した凹部内に温度センサを配置するので、温度センサを流路形成基板に設けられた圧力発生室に近づけることができ、これにより、圧力発生室内の液体の温度をより正確に計測することができる。また、温度センサが突出する虞がなく、凹部内に収容することができる。

上記構成において、前記凹部を、前記流路形成基板における前記ノズル形成部材との接合面に形成し、該凹部内に配置した温度センサを前記ノズル形成部材に接触させることが望ましい。

上記構成によれば、凹部を、流路形成基板におけるノズル形成部材との接合面に形成し、凹部内に配置した温度センサをノズル形成部材に接触させるので、ノズル開口の形成されたノズルプレートの温度を直接計測して、吐出される寸前の液体の粘度を調整することができる。

上記構成において、前記ノズル開口を複数列設して備えるノズル列を、該ノズル列方向に直交する方向に複数列設し、
平板状に形成した当該加熱手段を、隣り合うノズル列の間に配置することが望ましい。

上記構成によれば、ノズル開口を複数列設して備えるノズル列を、ノズル列方向に直交する方向に複数列設し、平板状に形成した加熱手段を、隣り合うノズル列の間に配置したので、加熱手段をその両側に位置するノズル列の各ノズル開口に近づけることができ、各ノズル開口から吐出される液体を均等に加熱することができる。この結果、各ノズル開口から吐出される液体の粘度を均一にすることができる。

上記構成において、前記ヘッドケースの前記流路ユニットとの接合面に、前記圧力発生室側に供給するための液体を貯留する液体貯留空間を形成することが望ましい。

上記構成によれば、ヘッドケースの流路ユニットとの接合面に、圧力発生室側に供給するための液体を貯留する液体貯留空間を形成したので、ヘッドケースの液体貯留空間で液体を効率良く加熱した後に、温めた液体を圧力発生室へ供給することができる。

以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドと略す）の外観を示す分解斜視図、図２は、流路ユニットとヘッドケース（以下、ケースと略す）の一部の内部構造を示す要部断面図である。

記録ヘッド１は、圧電素子群２を有するアクチュエータユニット３と、このアクチュエータユニット３を収納するケース４と、ケース４の一方の面に接合される流路ユニット５と、流路ユニット５とは反対側のケース４の他方の面に配置される接続基板６と、接続基板６の上方に配設された供給針ユニット７と、ケース４に収容されるヒータ１４（本発明における加熱手段の一種）等から概略構成されている。

上記のアクチュエータユニット３は、櫛歯状の圧電素子群２と、この圧電素子群２の基端部分が接合される固定板８と、圧電素子群２に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル９とにより構成される。

圧電素子群２は、列状に並べて形成された複数本の圧電素子１０を備える（以下、この並設方向を矢印Ｌで示す）。これらの各圧電素子１０は、列の両端に位置する一対のダミー素子と、これらのダミー素子の間に配置された複数の駆動素子とから構成されている。そして、各駆動素子は、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられ、１８０本設けられる。また、ダミー素子は、駆動素子よりも十分広い幅であり、駆動素子を衝撃等から保護する保護機能と、アクチュエータユニット３を所定位置に位置付けるためのガイド機能とを有する。

圧電素子群２は、固定端部を固定板８上に接合することにより、自由端部を固定板８の先端面よりも外側に突出させている。即ち、圧電素子群２は、所謂片持ち梁の状態で固定板８上に支持されている。そして、圧電素子群２の自由端部は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成されており、対向する電極間に電位差を与えることで素子長手方向に伸縮するようになっている（以下、この並設方向を矢印Ｋで示す）。

フレキシブルケーブル９は、固定板８とは反対側となる固定端部の側面で圧電素子群２と電気的に接続されている。そして、このフレキシブルケーブル９の表面には、各圧電素子１０の駆動等を制御するための制御用ＩＣが実装されている。また、圧電素子群２を支持する固定板８は、圧電素子群２からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板状部材であり、本実施形態においては、ステンレス鋼を用いている。

接続基板６は、記録ヘッド１に供給する各種信号用の電気配線が形成されると共に、信号ケーブルを接続可能なコネクタ１１が取り付けられた配線基板である。そして、この接続基板６は、フレキシブルケーブル９の電気配線が半田付け等によって接続される。また、コネクタ１１には、制御装置（図示せず）からの信号ケーブルの先端が挿入される。

上記のケース４は、例えば、ＳＵＳなどの金属を加工したブロック状部材である。そして、このケース４の内部には、アクチュエータユニット３が収納される一対の収納空部１２と、ヒータ１４が収容されるヒータ収容部１５と、インク（本発明における液体の一種）の流路の一部を構成するインク供給路１３（液体供給路）とが形成されている。

ケース４の流路ユニット接合面側には、本発明の液体貯留空間の一種である共通インク室（共通液体室）１６となる空部が形成されている。
インク供給路１３は、ケース４の高さ方向を貫通するように形成され、一端は、共通インク室１６に連通するようになっている。また、インク供給路１３における上面側の端部は、ケース４の上面から突設した接続口１３´内に形成されている。なお、高さ方向とは、後述するノズルプレート３１を基準（最下部）とした、ヘッド構成部材の積層方向を示すものと、前記したＫ方向と同じである。

上記の供給針ユニット７は、インクカートリッジ（図示せず）が接続される部分であり、針ホルダ２１と、インク供給針２２と、フィルタ２３とから概略構成される。

インク供給針２２は、インクカートリッジ内に挿入される部分であり、インクカートリッジ内に貯留されたインクを導入する。このインク供給針２２の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針２２の内外を連通するインク導入孔が穿設されている。

針ホルダ２１は、インク供給針２２を取り付けるための部材であり、その表面にはインク供給針２２の根本部分を止着するための台座２４を形成している。この台座２４の底面には、針ホルダ２１の板厚方向を貫通するインク排出口２５を形成している。また、この針ホルダ２１は、フランジ部を側方に延出している。

フィルタ２３は、埃や成型時のバリ等のインク内の異物の通過を阻止する部材であり、例えば、目の細かな金属網によって構成される。このフィルタ２３は、台座２４内に形成されたフィルタ保持溝に接着されている。

そして、この供給針ユニット７は、ケース４の上方に配設される。この配設状態において、供給針ユニット７のインク排出口２５と、ケース４のインク供給路１３とは、パッキン２６を介して液密状態で連通する。

次に、上記の流路ユニット５について説明する。この流路ユニット５は、流路形成基板３０の一方の面にノズルプレート３１（本発明におけるノズル形成部材の一種）を、他方の面に振動板３２をそれぞれ配置して積層し、接着して一体化することで構成される。

ノズルプレート３１は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口３３を列状に開設したステンレス鋼製のプレートである。本実施形態では、例えば、１８０ｄｐｉのピッチで１８０個のノズル開口３３により１つのノズル列を構成し、インクの種類に対応してノズル列（３３ａ，３３ｂ）を横並び（ヘッド主走査方向）に２列平行に開設している。

流路形成基板３０は、圧力発生室３６となる空部を隔壁で区画した状態で各ノズル開口３３に対応させて複数ノズル列方向に沿って列状に形成した板状の部材である。この流路形成基板３０は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。上記の圧力発生室３６は、ノズル開口３３の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向（ヘッド副走査方向）に細長い室として形成されている。そして、各圧力発生室３６は、矢印Ｌに沿って形成された圧電素子１０毎に対応した位置に配される。また、流路形成基板３０には、共通インク室１６における後述するコンプライアンス部４２の作動空間となる逃げ凹部３７が形成されている。
なお、本発明における流路形成基板３０は、シリコンで作製するが、ステンレス鋼やニッケル等の金属の基板などをプレス加工することで作製しても良い。なお、流路ユニット全体の線膨張率が金属の線膨張率と同等であることが望ましい。

振動板３２は、図２に示すように、支持板３８と弾性体膜３９とからなる２層構造の板材である。本実施形態では、支持板３８としてステンレス板を用い、弾性体膜３９としてステンレスフィルム（金属箔の一種）を用いている。なお、弾性体膜３９としては、上記のステンレスフィルム以外のもの、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂フィルムを用いることも可能である。即ち、この場合、振動板３２は金属板と樹脂フィルムの２層構造となる。

振動板３２には、ダイヤフラム部４０と、インク供給口４１と、コンプライアンス部４２とが形成されている。図２に示すように、ダイヤフラム部４０は、流路形成基板３０の圧力発生室３６の開口面を封止する機能を有し、各圧力発生室３６に対応させて矢印Ｌに沿って列設されている。このダイヤフラム部４０は、圧力発生室３６に対応する部分を環状に薄くして弾性体膜３９のみとすることで作製され、この環内には島部４３を形成し、この島部４３に圧電素子１０の先端面が接合されている。

インク供給口４１は、圧力発生室３６と共通インク室１６とを連通するための孔であり、振動板３２の板厚方向を貫通している。このインク供給口４１も、ダイヤフラム部４０と同様に、各圧力発生室３６毎に形成されている。

コンプライアンス部４２は、共通インク室１６の一部を区画する部分である。即ち、コンプライアンス部４２は、共通インク室１６となる空部の一方の開口面を封止している。このコンプライアンス部４２もまた、弾性体膜３９によって構成される。

この振動板３２では、圧電素子１０を駆動して素子長手方向に沿って伸長させると、島部４３が圧力発生室３６側に押圧され、島部４３周辺の弾性体膜３９が変形して圧力発生室３６が収縮する。一方、圧電素子１０を素子長手方向に沿って収縮させると、弾性体膜３９の弾性により圧力発生室３６が膨張する。
そして圧力発生室３６の膨張や収縮を制御すると、圧力発生室３６内のインク圧力が変動するので、ノズル開口３３からインク滴（液滴）が吐出される。

次に、ケース４に設ける加熱手段であるヒータ４５について説明する。本実施形態に示すヒータ１４は、平板状に形成され、セラミックや電熱線などの発熱体を金属ケースで封止した、所謂カートリッジヒータである。ヒータ１４は、リード線４６に電流を流すことによって発熱する。このように構成されたヒータ１４は、ケース４に設けられたヒータ収容部１５に収容される。

ヒータ収容部１５は、隣り合う収納空部１２の間に、ケース４の流路ユニット５とは反対側の上面からケース４の深さ方向に向かって形成され、その底面が矢印Ｌに沿って長尺となるように形成されている。即ち、ヒータ収容部１５は、図１に示すように、ノズルプレート３１に対する投影方向において隣り合うノズル列３３ａ，３３ｂの間であって、矢印Ｌに沿ってヒータ１４を両側に位置する櫛歯状圧電素子群２に挟まれて三者がそれぞれ平行になる状態で形成される。このようにして形成したヒータ収容部１５の内部に板状のヒータ１４を収容し、隙間に充填剤を充填して固定し、ヒータ１４の下端を矢印Ｌに沿って延在させる。

そして、ヒータ収容部１５に収容されたヒータ１４に電流が流れると、ヒータ１４が発熱し、その熱がヒータ収容部１５からケース４全体に伝導する。このため、インク供給路１３及び共通インク室１６内のインクが加熱されると共に、ケース４の流路ユニット５との接合面から振動板３２を介して流路形成基板３０に形成された圧力発生室３６やノズル開口３３内のインクが加熱される。

この結果、インク供給路１３及び共通インク室１６で加熱されたインクが圧力発生室３６に供給され、さらにヒータ１４の熱が流路ユニット５に伝導されることで、インクの流量や粘度に拘らずに、インクを効率良く加熱することができる。この様にして、圧電素子１０を駆動させると、インクは、温められて粘度が低くなっているので、粘度を効率良く調整されたインク滴は、圧力発生室４６の変動により、ノズル開口３３から安定した状態で設計通りの量が吐出される。また、樹脂製のヘッドケースを用いた場合に比べ、インクに対する薬品性を高めることができ、吐出可能なインクの種類を増やすことができる。さらに、ヘッドケース４の剛性が高まり、圧力発生時における固定板８から反力を強固に受け止めることができる。そして、ヘッドケース４が導電体となって、静電気を逃がすことができ、静電気による駆動回路の損傷や、この静電気がノイズとして駆動信号に重畳することによる誤作動などの不具合を防止できる。そのため、液体噴射ヘッド１の信頼性を高めることができる。

また、ヒータ１４は、矢印Ｌに沿って延在しているので、列設した圧力発生室３６のそれぞれに均一にヒータ１４の熱を伝導させ易くなり、記録ヘッド１の起動の際にも短時間で液体を加熱することができる。さらに、平板状のヒータ１４をヘッドケース４内の圧電素子１０の並設方向に沿わせることで、平面視面積を可及的に小さくしてあるので、ヘッドケース４内のスペース効率を高めることができ、これにより、記録ヘッド１の小型化が可能になる。

また、平板状のヒータ１４が、ノズルプレート３１に対する投影方向において隣り合うノズル列３３ａ、３３ｂの間に配置されているので、各ノズル開口３３からヒータ１４までの距離が等しくなる。そのため、ヒータ１４による加熱によって、各ノズル開口３３に均一な粘度に調整されたインクを供給することが可能となる。

さらに、本実施形態においては、流路形成基板３０に、熱電対４８（本発明における温度センサの一種）を収容するための凹部４９が形成されている。この凹部４９は、流路形成基板３０の振動板３２との接合面に、その表面から窪んだ状態で、隣り合うノズル列３３ａ，３３ｂに属する圧力発生室３６の列の間に設けられ、矢印Ｌに沿って溝状に延びている。このような凹部４９内に熱電対４８が接着剤などによって接着固定される。
なお、流路ユニット５の接着工程の際に、凹部４９内に接着剤を同時に充填して、熱電対４８を凹部４９内に接着固定すると、熱電対４８を別途固定する工程を省くことができる。

そして、凹部４９内に収容された熱電対４８は、流路形成基板３０の温度を測定して、圧力発生室３６及びノズル開口３３内のインクの温度を測定することができる。したがって、この測定値に基づいて、ヒータ１４の温度を調整することで、インクの温度を吐出に適した粘度に調整することができる。また、凹部４９がその内部に熱電対４８を確実に収容する寸法に形成することで、熱電対４８が流路ユニット５から突出する虞がなくなり、ノズルプレート３１表面をワイピング（払拭）する際にも邪魔にならない。

次に、本発明の第２実施形態について説明する。図３は、本変形例におけるケース４と流路ユニット５の要部断面図であり、図２と同じ部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。この変形例は、凹部４９が流路形成基板３０のノズルプレート３１との接合面に形成され、熱電対４８がノズルプレート３１と接触していることに特徴を有する。即ち、熱電対４８は、ノズルプレート３１の温度を間近で測定することができる。

このように、本実施形態の記録ヘッド１は、熱電対４８によってノズルプレート３１の温度を間近で測定することができるので、吐出寸前のノズル開口３３内のインクの粘度を正確に調整することができる。

ところで、本発明は、上記各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。上記実施形態では、ヒータ収容部１６にヒータ１４を収容することで、ケース４の内部にヒータ１４を配置する例を示したが、これには限らずに、例えば、ケース４の側面にヒータ１４を配置しても良い。結果的にヒータ１４を金属製のケース４に配置させれば良い。

以上は、インクジェット式記録ヘッドに本発明を適用した例を説明したが、これに限定されるものではない。本発明は、例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。

第１実施形態における記録ヘッドの分解斜視図である。 第１実施形態における記録ヘッドの要部断面図である。 第２実施形態における記録ヘッドの要部断面図である。

符号の説明

１…記録ヘッド、３…アクチュエータユニット、４…ヘッドケース、５…流路ユニット、１０…圧電素子、１４…ヒータ、１６…共通インク室、３０…流路形成基板、３１…ノズルプレート、３３…ノズル開口、３３ａ，３３ｂ…ノズル列、３６…圧力発生室、４８…熱電対、４９…凹部、Ｌ…並列方向

Claims (7)

1. 液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を複数列設した流路ユニットと、
   前記圧力発生室に圧力変動を生じさせるアクチュエータユニットと、
   前記アクチュエータユニットを内包し、前記流路ユニットを一面に接合する金属製ヘッドケースと、を備え、
   該ヘッドケースに加熱手段を設けたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記アクチュエータユニットは、前記圧力発生室毎に対応して設けられた複数本の圧力発生素子を当該圧力発生室の列設方向に沿って櫛歯状に並設して備え、
   前記加熱手段を、前記圧力発生素子の並設方向に沿って延在させたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記流路ユニットは、温度センサを備えたことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記流路ユニットは、前記ノズル開口が開設されたノズル形成部材と、前記圧力発生室が形成された流路形成基板と、を有し、
   前記流路形成基板に凹部を形成し、該凹部内に温度センサを配置したことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記凹部を、前記流路形成基板における前記ノズル形成部材との接合面に形成し、該凹部内に配置した温度センサを前記ノズル形成部材に接触させたことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記ノズル開口を複数列設して備えるノズル列を、該ノズル列方向に直交する方向に複数列設し、
   平板状に形成した当該加熱手段を、隣り合うノズル列の間に配置したことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記ヘッドケースの前記流路ユニットとの接合面に、前記圧力発生室側に供給するための液体を貯留する液体貯留空間を形成したことを特徴とする請求項６に記載の液体噴射ヘッド。

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